JPS5983012A - 耐食性磁気スケ−ルおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は耐食性磁気スケールおよびその製造方法に係る
。

従来の磁気スケールは記録媒体の酸化等による磁気特性
の劣化を避るため、記録媒体上に汚れが付着しないよう
に箱形の容器で覆ったシしていた。

しかしながら、湿気等は避けられず、よく管理された環
境で使用することが必要であった。

最近、磁気スケールの応用が広がり、悪環境で磁気特性
の劣化が生じない磁気スケールの要請が強まっている。

本発明は上記欠点を解決し、悪環境でも記録媒体は酸化
することなく、良好な特性を保持することのできる耐食
性磁気スケールおよびその製造方記録媒体として磁気的
に硬い磁性金属線材が埋込まれている磁気スケールの外
周面の記録媒体を含む１部あるいは全面に耐食性の非磁
性金属あるいは合金の層が形成されていることを特徴と
する耐食性磁気スケールが得られる。

本第２の発明によると非磁性基体に形成された溝に記録
媒体として磁気的に硬い磁性金属線材が形成されている
ことを特徴とする耐食性磁気スケールが得られる。

本第３の発明によると非磁性基体に形成された溝に記録
媒体として磁気的に硬い磁性金属線材が埋込まれている
磁気スケールの外周面の前記記録媒体を含む１部あるい
は全面にメッキ、蒸着あるを形成することを特徴とする
耐食性磁気スケールの製造方法が得られる。

本発明の要点の１つは磁気スケールの記録媒体が酸化し
、磁気特性の劣化および不均一になることを防止するこ
とにある。従って耐食性が優れている金属あるいは合金
が用いられなければならないが、その金属あるいは合金
が磁性を示すものであっては記録媒体から湧き出る磁束
が空間に分布しなくなるため、非磁性体であることが必
要である。具体的にはＡｕ、　Ｃｒ、非磁性Ｃｒ−Ｆｅ
合金、非磁性Ｃｒ−Ｎｉ合金あるいは非磁性Ｃｕ−Ｎｉ
合金が望ましい。

本発明の要点の他の１つは、センサが接触する場合は当
然摩擦が起るが、非接触式の場合でも、センサと記録媒
体の間隔を安定して一定に保つためには、センナ保持台
が磁気スケールと接触していることが望ましく、この場
合も摩擦が問題となるため、耐摩耗性に優れた金属ある
いは合金を用いることが必要である。具体的にはＣｒ、
非磁性Ｃｒ−Ｆｅ合金、非磁性Ｃｒ−Ｎｉ合金あるいは
前記Ｏものより多少劣るが非磁性Ｃｕ−Ｎｉ合金が望ま
しい。合金の組成比は、メッキ、蒸着あるいはスパッタ
ーによ）合金層を形成するときの組成比のずれおよび室
温付近で安定して非磁性体を保持できることから、７５
％Ｃｒ以上のＣｒ”−Ｆｅ＊　１０４　Ｃｒ以上のＣｒ
−Ｎｉあるいは３５％Ｃｕ以上ノＣｕ−１’Ｊｉ合金が
望ましく、９８％を越えてＣｒｆ含むＣｒ−Ｐａあるい
はＣｒ−Ｎｉ合金ではＣｒ単体の場合と何ら変わること
がなかった。また７０％を越えてＣｕ　ｆｔ含むＣｕ−
Ｎｉ合金では耐食性が劣化し、実用的でない。

金属あるいは合金層の形成は基体にステンレスを使用す
る場合は磁気スケールの外周面の記録媒体を含む１邪あ
るいは全面のどちらでも構わない。

磁気スケールの外周面の記録媒体を含む１部あるいは全
面に形成する金属あるいは合金層は高温高湿の悪環境で
はＡｕおよび非磁性Ｃｕ−Ｎｉ合金を除いて、十分には
耐えられなかった。しかしながら、Ａｕあるいは非磁性
Ｃｕ　−Ｎ’４合金を第１層として形成し、耐摩耗性の
隈れたＣｒあるいは前記Ｃｒ合金を第２層として形成す
れば、高温高湿の悪環境でも十分に耐えることができ、
記録媒体が酸化することはなかった。

製造方法としてはメッキ、蒸着あるいはスバ。

ター法があるが、どの方法を用いても本発明の目的は達
成できた。しかしながら、メッキ法の場合は、メッキ液
が磁性金属線材の埋込み部に磁気スケールの両端から浸
入することがあり、適当な方法で封じることが必要であ
る。また、蒸着およびスパッター法の場合は磁気スケー
ルの片側面だけ金属あるいは合金層を形成するので、磁
気スケール全一定の回転速度で回転させながら、全面に
形成するようにする必要がある。ただし、磁気スケール
の外周面の記録媒体を含む１都だけに形成する場合は回
転させる必要がない。

次−に本発明の耐食性磁気スケールおよびその製造方法
について実施例によって説明する。

実施例（１） Ｃｒ、３７％Ｃｒ−Ｆｅ、８０％Ｃｒ−Ｎｉｔ　４０　
％　（／　ｕ　−Ｎ　１およびＡｕの金属および合金を
各々磁気スケールの全外周面に１μｍの厚さにメッキし
た。その後１００℃で７０％と１００％湿度の耐湿試験
を行ったところ、７０チ湿度の場合は６０日を越えても
腐食等は起らなかった。しかしながら、１００％湿度の
場合はＡｕおよび４０％Ｃｕ−Ｎｊ　’ｊｒ除いて６０
日前に１都腐食等が起っていることが分かった。

Ａｕ　′（ｆ−磁気スケールの全外周面に０５μｍの厚
さにメッキし、該Ａｕ０層の上に０．５μｍの厚さにＣ
ｒ。

９８％Ｃｒ−Ｆｅ、９８％Ｃｒ−Ｎｉおよび３５％Ｃｕ
−Ｎｉの金属および合金を各々メッキした。その後１０
０’０で７０％と１００％湿度の耐湿試験全行ったとこ
ろ、どちらの湿度条件でも、６０日を越えて腐食等は起
らなかった。

また、７０％Ｃｕ−Ｎｉ合金を磁気スケールの全外周面
に０．５μｍ　の厚さにメッキし、前記７０％Ｃｕ−Ｎ
ｉ　　合金層の上に０．５μｍの厚さにＣｒ、７５チＣ
ｒ−Ｆｅおよび１０％Ｃｒ−Ｎｉの金属および合金全各
々メッキした。その後、１００℃で７０％と１００％湿
度の耐湿試験を行ったところ、どちらの湿度条件でも、
６０日全越えて腐食等は起らなかった。

実施例（２） Ｃｒ、８部％Ｃｒ−Ｆｅ、６０％Ｃｒ−Ｎｉ、３５％Ｃ
ｕ−ＮｉおよびＡｕの金属および合金を各々磁気スケー
ルの外周面の記録媒体を含む１部の面に０．８μｔｎの
厚さに蒸着した。その後１ｏＯ℃で７０チと１００％湿
度の耐湿試験を行ったところ、７０チ湿度の場合は６０
日を越えても腐食等は起らなかった。しかしながら、ｉ
ｏｏチ湿度の場合はＡｕおよび３５％Ｃｕ−Ｎｉ　ｆ除
いて６０日前に１都腐食等が起っていることがわかった
。

Ａｕ　ｆ磁気スケールの外周面の記録媒体を含むｉ　ｆ
ｆ１ｓの面に０．５μｍの厚さに蒸着し、前記Ａｕ、の
層の上にかつ該Ａｕ０層を完全に覆うようＫＯ，７μｍ
の厚さにＯｒ、　９８％Ｃｒ−Ｆｅ、　９８％Ｃｒ−Ｎ
ｉおよび３５％Ｃｕ　−Ｎ　ｉの金属および合金を各々
蒸着した。

その後、１００℃で７０チと１００％湿度の耐湿試験を
行ったところ、どちらの湿度条件でも６０日を越えて腐
食等は起らなかった。

また７０％Ｃｕ−Ｎｉ合金を磁気スケールの外周面の記
録媒体を含む１部の面に０．６μｍの厚さに蒸着し、前
記７０％Ｃｕ−Ｎｉ合金の層の上に、且つ該７０％Ｃｕ
−Ｎｉ　合金層を完全に覆うように０．３μｍの厚さに
ＣＩ　７５％Ｃｒ−Ｆｅ、および１０％Ｃｒ−Ｎｊの金
属および合金全各々メッキした。その後、１００℃で７
０％と１００％湿度の耐湿試験を行ったところ、どちら
の湿度条件でも、６０日を越えて腐食等は起らなかった
。

実施例（３） Ｃｒ、９０％Ｃｒ−Ｆｅ、Ｂ□％Ｃｒ−Ｎｉ、２０％Ｃ
ｕ−ＮｉおよびＡｕの金属および合金を各々磁気スケー
ルの全外周面に０．５μｍの厚さにスパッターで形成し
た。その後、１００℃で７０チと１００チ湿度の耐湿試
験を行ったところ、７０％湿度の場合は６０日を越えて
も腐食等は起らなかった。しかしながら、１００％湿度
の場合はＡｕおよび２０％Ｃｕ−Ｎ１ｆ除いて６０日前
に１都腐食等が起っていることがわかった。

Ａｕを磁気スケールの外周面の記録媒体を含む１部の面
に０．３μｍの厚さにスパッターで形成し、該Ａｕ０層
の上に且つ磁気スケールの全外周面に０．４μｍ　（７
）厚さＶＣＣｒ、　７５％Ｃｒ−Ｆｅ、ＩＱ％Ｃｒ−Ｎ
ｉおよび３５％Ｃｕ−Ｎｉの金属あるいけ合金を各々ス
パッターで形成した。その後１００℃で７０％と１００
％湿度の耐湿試験を行ったところ、どちらの湿度条件で
も６０日を越えて腐食等は起らなかった。

また、７０％Ｃｔ＋−Ｎｉ合金全磁気スケールの全外周
面に０．５μｍの厚さにスパッターで形成し、前記７０
％Ｃｕ−Ｎｉ合金の層の上に０．４μｔｎの厚さにＣｒ
。

９８％Ｃｒ−Ｆｅおよび９８％Ｃｒ−Ｎ１ｏ金属あルイ
は合金を各々スパッターで形成した。その後、１００°
Ｃで７０％と１００％湿度の耐湿試験を行ったところど
ちらの湿度条件でも６０日を越えて腐食等は越らなかっ
た。

以上のように、本発明の耐食性磁気スケールおよびその
製造方法は磁気スケールの応用範囲広が９１　しかも悪
環境での用途も広がる最近の状況でその工業的価値が太
きい。

手続補正書０．） 特許庁長官　殿 １、事件の表示　　　昭和５７年　　時許願第１Ｑ３１
’？’７号２°　発明ノ名称　　　　耐食性磁気スケ−
〜およびその製造方法３、補正をする者 事件との関係　　　　　　　出　願　人東京都港区芝五
丁目３３番１号 （４２３）　　　日本電気株式会社 代表者　関本忠弘 ４、代理人 〒１０８　　東京都港区芝五丁目３７番８号　住人三田
ビル５、補正の対象 １）明細書の「特許請求の範囲」の欄。

２）明細書の「発明の詳細な説明」の欄。

６　補正の内容 １）明細書の特許請求の範囲を別紙のとおり補正する。

２）明細書の第１Ｏ頁第１７行目の「かった。」の後に
次の文章を追加する。

「２０％Ｃｕ−Ｎｉ　は耐湿試験には充分耐えられたが
、室温で強磁性であったため、磁気スケールの記録媒体
への磁気書き込みおよび読み出し特性を劣化させ、実用
的でなかった。」 別紙 特許請求の範囲 （１）　　非磁性基体に形成された溝に記録媒体として
磁気的に硬め磁性金属線材が埋込まれている磁気スケー
ルの外周面の前記記録媒体を含む１部あるいは全面に耐
食性の非磁性金属あるいは合金の層が形成されているこ
とを特徴とする・耐食性磁気スケール。

（２）非磁性基材に形成された溝に記録媒体として磁気
的に硬い磁性金属線材が埋込まれている磁気スケールの
外周面の前記記録媒体を含む１部あるいは全面に、第１
層として耐食性の非磁性金属あるいは合金を形成し、第
２層として耐摩耗性耐食性の非磁性全域あるいは合金が
形成されていることを特徴とする耐食性磁気スケール。

（３１耐食性の非磁性金属あるいは合金はＣｒ１７５〜
９８％Ｃｒ−Ｆｅ、１０〜９８％　Ｃｒ−Ｎｉ、　３５
〜７０％Ｃｕ−Ｎｉ合金あるいはＡｕであることを特徴
とする特許請求の範囲第（１）項記載の耐食性磁気スケ
ール。

（４）第１層としての耐食性の非磁性金属はＡｕであシ
、第２層としての耐摩耗性、耐食性の非磁性金属あるい
は合金はＣｒ、７５−９８％Ｃｒ−Ｆｅ　ｌ　１０−’
９８％Ｃｒ−Ｎｉあるいは３５〜７０％Ｃｕ−Ｎｉ合金
であることを特徴とする特許請求の範囲第（２）項記載
の耐食性磁気スケール。

（５）第１層としての耐食性の非磁性合金は３５〜７０
％Ｃｕ−Ｎｉでお秒、第２層としての耐摩耗性、耐食性
の非磁性金属あるいは合金はＣｒ　、　７５〜９ＥＩＣ
ｒ〜Ｆｅあるいは１０〜９８チＣｒ−Ｎｉ合金であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第（２１項記載の耐食性
磁気スケール。

（６）非磁性基体に形成された溝に記録媒体として磁気
的・に硬い磁性金属線材が埋込まれている磁気スケール
の外周面の前記記録媒体を含む１部あるいは全面にメッ
キ、蒸着あるいけスパッター法によりＣｒ、７７−９８
％Ｃｒ−Ｆｅ、１０−９８％Ｃｒ−ＮＩ。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性基体に形成された溝に記録媒体として磁気
   的に硬い磁性金属線材が埋込まれている磁気スケールの
   外周面の前記記録媒体を含む１音ＩＳあるいは全面に耐
   食性の非磁性金属あるいはダ金の層が形成されているこ
   とを特徴とする耐食性磁気スケール。
2. （２）非磁性基材に形成された溝に記録媒体として磁気
   的に硬い磁性金属線材が埋込まれている磁気スケールの
   外周面の前記記録媒体を含む１部あるいは全面に、第１
   層として耐食性の非磁性金属あるいけ合金全形成し、第
   ２層としてＩ耐摩耗性耐食性の非磁性金属あるいは合金
   が形成されていることを特徴とする耐食性磁気スケール
   。
3. （３）耐食性の非磁性金属あるいは合金はＣｒ、７５〜
   ９８％　Ｃｒ−Ｆｅ、１０〜９８％　Ｃｒ−Ｎｉ、２０
   〜７０％Ｃｕ−Ｎｉ合金あるいはＡｕであることを特徴
   とする特許請求の範囲第（１）項記載の剛食性磁気スケ
   ール。
4. （４）第１層としての耐食性の非磁性金属はＡｕであり
   、第２層としての耐摩耗性、耐食性の非磁性金属あるい
   は合金はＣｒ、７５〜９８％Ｃｒ−１ｉ１　ｅ。 １０〜９８％Ｃｒ　−Ｎ　ｉあるいは３５〜７０　％　
   Ｃｕ−Ｎｉ合金であることを特徴とする特許請求の範囲
   第（２）項記載の耐食性磁気スケール。
5. （５）第１層としての耐食性の非磁性合金は３５〜７゜
   ％　Ｃｕ−Ｎｉであり、第２層としての耐摩耗性。 耐食性の非磁性金属あるいは合金はＣｒ、７５〜９８％
   Ｃｒ−Ｆｅあるいは１０〜９８％　Ｃｒ−４Ｊｉ合金で
   あることを特徴とする特許請求の４１α囲第（２）項記
   載の耐食性磁気スケール。
6. （６）非磁性基体に形成された溝に記録媒体として磁気
   的に硬い磁性金属線材が埋込まれている磁気スケールの
   外周面の前記記録媒体を含む１部あるいは全面にメッキ
   、蒸着あるいはスパッター法によｊ）Ｃｒ、７５〜９８
   ％Ｃｒ−Ｆｅ、１０〜９８％Ｃｒ−Ｎｊ、　２（１〜７
   ０％Ｃｕ−Ｎｉ合金あルイはＡｕ　ｆ形成することを特
   徴とする耐食性磁気スケールの製造方法。