JPS5974692A - ガスレ−ザ用放電装置 - Google Patents
ガスレ−ザ用放電装置Info
- Publication number
- JPS5974692A JPS5974692A JP18494882A JP18494882A JPS5974692A JP S5974692 A JPS5974692 A JP S5974692A JP 18494882 A JP18494882 A JP 18494882A JP 18494882 A JP18494882 A JP 18494882A JP S5974692 A JPS5974692 A JP S5974692A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- electrodes
- phase
- power source
- power
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
Landscapes
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、がスレーザの発振に使用する放電装置に関す
る。
る。
ガスレーザ装置の放電用電源として３相交流電源を使用
する場合、レーザ物質からなるガスの流路に第１図に例
示する態様で放電電極１１〜１４が配設される。この放
電電析１１〜１４に上記３相交流電源２を接続して各電
極間で放電を行なわせるさいには、グロー放電からアー
クへの遷移を防止するため上記電源２の各相と各電極間
に安定化抵抗ｒが介在される。
する場合、レーザ物質からなるガスの流路に第１図に例
示する態様で放電電極１１〜１４が配設される。この放
電電析１１〜１４に上記３相交流電源２を接続して各電
極間で放電を行なわせるさいには、グロー放電からアー
クへの遷移を防止するため上記電源２の各相と各電極間
に安定化抵抗ｒが介在される。
なお、電極１．１＋１２間、′電極１２＋１３問および
電極１３．ｉ４間の放電負荷をＲａｌ ＲｂおよびＲ８
と表わした場合、これらの負荷と上記電源２の接続態様
は等測的に第２図のように示される。
電極１３．ｉ４間の放電負荷をＲａｌ ＲｂおよびＲ８
と表わした場合、これらの負荷と上記電源２の接続態様
は等測的に第２図のように示される。
ところで上記安定化抵抗ｒを使用すると、この抵抗ｒが
放電には寄与しない電力を常時消費することになり、た
とえば直流電源を放電用電源として使用しているレーデ
装置をも含む従来のがスレーザ装置においては、入力電
力の３０％程度の電力を上記安定化抵抗ｒで消費してい
る。
放電には寄与しない電力を常時消費することになり、た
とえば直流電源を放電用電源として使用しているレーデ
装置をも含む従来のがスレーザ装置においては、入力電
力の３０％程度の電力を上記安定化抵抗ｒで消費してい
る。
上述３安定化抵抗ｒで消費される電力は、当然レーザ光
への変換効率を低下させる要因となるので、従来、上記
安定化抵抗ｒによる消費電力の少ないがスレーザ用放電
装置が望まれていた。
への変換効率を低下させる要因となるので、従来、上記
安定化抵抗ｒによる消費電力の少ないがスレーザ用放電
装置が望まれていた。
本発明の目的は、上記安定化抵抗の消費電力を可及的に
低減して入力電力をよシ多く放電に寄与させることがで
きるガスレーザ用放電装置を提供することにある。
低減して入力電力をよシ多く放電に寄与させることがで
きるガスレーザ用放電装置を提供することにある。
そのため本発明では、Ｙ結線３相交流電源を放電用電源
として使用し、この電源に接、続される放重用負荷をＹ
結線し、このＹ結線の中性点と上記放電用電源の中性点
との間に安定化用抵抗を介在させるように構成している
。
として使用し、この電源に接、続される放重用負荷をＹ
結線し、このＹ結線の中性点と上記放電用電源の中性点
との間に安定化用抵抗を介在させるように構成している
。
以下、図示する実施例を参照し々から本発明の詳細な説
明する。
明する。
第３図は、本発明に係るがスレーザ用放電装置の一実施
例を示した等価回路図である。この装置は、Ｙ結線３相
交流電源（出力電圧はｋＶオーダ）を放電用電源１０と
して使用１゛る一方、放電負荷Ｒａ、 ＲｂおよびＲｃ
をＹ結絆して、個々の負荷ＲａｌＲｂおよびＲｏの各一
端を上記電源１０のＡ相、Ｂ相およびＣ相に接続し、さ
らに上記電源１０の中性点Ｐｌと上記負荷のＹ結線中性
点Ｐ２との間に安定化抵抗ｒを介在させである。
例を示した等価回路図である。この装置は、Ｙ結線３相
交流電源（出力電圧はｋＶオーダ）を放電用電源１０と
して使用１゛る一方、放電負荷Ｒａ、 ＲｂおよびＲｃ
をＹ結絆して、個々の負荷ＲａｌＲｂおよびＲｏの各一
端を上記電源１０のＡ相、Ｂ相およびＣ相に接続し、さ
らに上記電源１０の中性点Ｐｌと上記負荷のＹ結線中性
点Ｐ２との間に安定化抵抗ｒを介在させである。
第４図は、放電電板の配％゛−例を示す。同図に示す電
極１１１〜１１５は、レーザ物質からなるガス１２の流
路中に該ガスの流れに直交する態様で平行配置してあシ
、それらのうち電極１１１．１１３および１１５は各々
上記電源１０のＡ相、Ｂ相およびＣ相に接続され、また
電極１１２１１１４は安定化抵抗ｒを介して上記電源１
０の中性点Ｐ１に共通接続されている。
極１１１〜１１５は、レーザ物質からなるガス１２の流
路中に該ガスの流れに直交する態様で平行配置してあシ
、それらのうち電極１１１．１１３および１１５は各々
上記電源１０のＡ相、Ｂ相およびＣ相に接続され、また
電極１１２１１１４は安定化抵抗ｒを介して上記電源１
０の中性点Ｐ１に共通接続されている。
なお、第３図における負荷Ｒａは電極１１１ ＋１１２
間の放電負荷を、また負荷Ｒｂは電極１１２＋１１３間
の放電負荷を、さらに負荷Ｒｃは電極１１４ 、ＩＩｓ
間の放電負荷を各々示している。
間の放電負荷を、また負荷Ｒｂは電極１１２＋１１３間
の放電負荷を、さらに負荷Ｒｃは電極１１４ 、ＩＩｓ
間の放電負荷を各々示している。
いま、上記電源１０の出力電圧が上記電極１１１〜１１
．に印加されると、ガス流１２の影響を受けてそれらの
電極間に鶴５図に示す放電領域１３ａ〜１３ｄが形成さ
れる。その結果、リアミラー１４、折返しミラー１５〜
２０およびアウトプットミラー２１からなる共振器によ
ってレーザ発振が行なわれ、上記アウトプットミラー２
１を介してレーザ光２２が出力される。
．に印加されると、ガス流１２の影響を受けてそれらの
電極間に鶴５図に示す放電領域１３ａ〜１３ｄが形成さ
れる。その結果、リアミラー１４、折返しミラー１５〜
２０およびアウトプットミラー２１からなる共振器によ
ってレーザ発振が行なわれ、上記アウトプットミラー２
１を介してレーザ光２２が出力される。
第６図は、上記電源１０のＡ、ＢおよびＣ相についての
電板間印加電圧の関係を示す。同図は、放電開始電圧ｔ
’ＴＨが印加電圧ピーク値υＰの腫である場合を示して
フ・シ、かかる場合、ある相の電圧が零になる点では他
の２つの相の電圧が同値でかつ互いに逆の極性となるこ
と示ら、上記安定化抵抗ｒＫ電流が流れない。ずなわぢ
、たとえば同図に○印で示す点では抵抗ｒ Ｋ ’：ｉ
：：ｔ’流が流れない。なお、υＴＨ≧歿・υＰのと首
、第６図の放電領域１３ａ〜１３ｄのうちの２つが常時
存在することになる。
電板間印加電圧の関係を示す。同図は、放電開始電圧ｔ
’ＴＨが印加電圧ピーク値υＰの腫である場合を示して
フ・シ、かかる場合、ある相の電圧が零になる点では他
の２つの相の電圧が同値でかつ互いに逆の極性となるこ
と示ら、上記安定化抵抗ｒＫ電流が流れない。ずなわぢ
、たとえば同図に○印で示す点では抵抗ｒ Ｋ ’：ｉ
：：ｔ’流が流れない。なお、υＴＨ≧歿・υＰのと首
、第６図の放電領域１３ａ〜１３ｄのうちの２つが常時
存在することになる。
第３図において、上記安定化抵抗ｒの端子間重台は以下
のように表わされる。
のように表わされる。
υ０
ＺＱ＝ −・・・■
そこで、いま仮に上記電極１１ｚ、１１□間にアークが
生じたとすると、このとき上記各放電負荷Ｒａ、 Ｒｂ
およびＲｃの関係はＲａ＜ Ｒｂ、 Ｒ６（Ｒｂ。
生じたとすると、このとき上記各放電負荷Ｒａ、 Ｒｂ
およびＲｃの関係はＲａ＜ Ｒｂ、 Ｒ６（Ｒｂ。
Ｒｏのうち一つがオープンっ１シωの場合もありうる）
となるので上式■よｆ）ｖｏ→ｅ、となシ、その結果、
上記電極１１．１２間の印加電圧が降下して上記アーク
を停止させる。なお実際には、アークが生じる以前にこ
のアークを阻止する電圧降下作用がなされるので、アー
クの発生は未然に防止の発生も同様にして防止される。
となるので上式■よｆ）ｖｏ→ｅ、となシ、その結果、
上記電極１１．１２間の印加電圧が降下して上記アーク
を停止させる。なお実際には、アークが生じる以前にこ
のアークを阻止する電圧降下作用がなされるので、アー
クの発生は未然に防止の発生も同様にして防止される。
上記放電負荷Ｒａ、 ＲｂおよびＲｃを互いに値が等し
い純抵抗とみなした場合、上記安定化抵抗ｒを流れる電
流は零となるが、放電負荷の場合、該電流は零には々ら
ない。しかし本発明に係る放電装置は安定化抵抗ｒによ
る電力損を可及的に低減した状態で上記するアーク阻止
作用をなすので、入力電力のほとんどを放電のために消
失：させることができる。
い純抵抗とみなした場合、上記安定化抵抗ｒを流れる電
流は零となるが、放電負荷の場合、該電流は零には々ら
ない。しかし本発明に係る放電装置は安定化抵抗ｒによ
る電力損を可及的に低減した状態で上記するアーク阻止
作用をなすので、入力電力のほとんどを放電のために消
失：させることができる。
なお、第７図に示すように３本の電極１１１′〜１１３
′をが電流１２に直交する態様で平行配置するとともに
、それらの電極の下方にそれらの電極に直交する態様で
適数本の電極１１６ 、・・・を配置し、電極１１１′
〜１１３′を各々上記電源１０のＡ〜Ｃ相に、また電極
１１６・・・を安定化抵抗ｒを介して該電源１０の前記
中性点Ｐｉに接続するようにしても本発明は実施可能で
ある。な゛お、この場合、レーザ光は３回折返され、そ
の放電の態様は第８図に示すようになる。
′をが電流１２に直交する態様で平行配置するとともに
、それらの電極の下方にそれらの電極に直交する態様で
適数本の電極１１６ 、・・・を配置し、電極１１１′
〜１１３′を各々上記電源１０のＡ〜Ｃ相に、また電極
１１６・・・を安定化抵抗ｒを介して該電源１０の前記
中性点Ｐｉに接続するようにしても本発明は実施可能で
ある。な゛お、この場合、レーザ光は３回折返され、そ
の放電の態様は第８図に示すようになる。
本発明によれば、安定化抵抗による電力損を可及的に低
減しうるので、入力電力の大部分を放電に寄与させるこ
とができ、そｉｌによって効率のよいがスレーブ発振を
行なうことができる。
減しうるので、入力電力の大部分を放電に寄与させるこ
とができ、そｉｌによって効率のよいがスレーブ発振を
行なうことができる。
第１図は三相変流電源からなる放電用電源と放電用電極
との結線態様を示した概念図、棺２図は第１図について
の等価採続回路、第３図は本発明に係る放電装置の等価
接続回路、第４図は電極智の配置態様を概念的に示した
斜視図、第５図は第４図に示した各電栖間技おける放電
の態様を示した概念図、第６図は各電極間に印加される
電圧の位相関係を示したグラフ、第７図は電極の他の配
置例を概念的に示した斜視図、第８図はり１７図に示し
た各電極間における放電の態様を示した概念図である。 １０−Ｙ結ｍ３相交流電、源、１１．、〜１１５゜１１
１’＋１１３’＋１１５’＋１１’６・・・放電電極、
１２・・・ガス流、１３ａ〜１３ｄ・・・放電領域、１
４・・・リアミラー、１５〜２０・・・折返しミラー、
２７・・・アウトフ０ットミラー、２２・・・レーザ光
。 第５図 １１５ 第６図 第８図 中・１玉戸Ｐ、へ
との結線態様を示した概念図、棺２図は第１図について
の等価採続回路、第３図は本発明に係る放電装置の等価
接続回路、第４図は電極智の配置態様を概念的に示した
斜視図、第５図は第４図に示した各電栖間技おける放電
の態様を示した概念図、第６図は各電極間に印加される
電圧の位相関係を示したグラフ、第７図は電極の他の配
置例を概念的に示した斜視図、第８図はり１７図に示し
た各電極間における放電の態様を示した概念図である。 １０−Ｙ結ｍ３相交流電、源、１１．、〜１１５゜１１
１’＋１１３’＋１１５’＋１１’６・・・放電電極、
１２・・・ガス流、１３ａ〜１３ｄ・・・放電領域、１
４・・・リアミラー、１５〜２０・・・折返しミラー、
２７・・・アウトフ０ットミラー、２２・・・レーザ光
。 第５図 １１５ 第６図 第８図 中・１玉戸Ｐ、へ
Claims (1)
- Ｙ結＃３相交流電源を放電用電源として備え、この放電
用電源に接続される放電負荷をＹ結線し、このＹ結線の
中性点と上記放電用電源の中性点との間に安定化抵抗を
介在させてなるガスレーザ用放電装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18494882A JPS5974692A (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | ガスレ−ザ用放電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18494882A JPS5974692A (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | ガスレ−ザ用放電装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5974692A true JPS5974692A (ja) | 1984-04-27 |
Family
ID=16162151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18494882A Pending JPS5974692A (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | ガスレ−ザ用放電装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5974692A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60127773A (ja) * | 1983-12-14 | 1985-07-08 | Mitsubishi Electric Corp | パルス発振レ−ザ装置 |
-
1982
- 1982-10-20 JP JP18494882A patent/JPS5974692A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60127773A (ja) * | 1983-12-14 | 1985-07-08 | Mitsubishi Electric Corp | パルス発振レ−ザ装置 |
| JPH0131714B2 (ja) * | 1983-12-14 | 1989-06-27 | Mitsubishi Electric Corp |
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