JPS5972003A - 測定装置 - Google Patents

測定装置

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Publication number
JPS5972003A
JPS5972003A JP18206782A JP18206782A JPS5972003A JP S5972003 A JPS5972003 A JP S5972003A JP 18206782 A JP18206782 A JP 18206782A JP 18206782 A JP18206782 A JP 18206782A JP S5972003 A JPS5972003 A JP S5972003A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
output
piezoelectric film
gate
contactor
pulse motor
Prior art date
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Pending
Application number
JP18206782A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiaki Otsu
大津 芳明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
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Publication of JPS5972003A publication Critical patent/JPS5972003A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は寸法等を測定する測定装置に関するものであり
、更に詳しくは、圧電フィルムを有する検出部を有する
測定装置に関するものである。
従来技術 プラスチック等の軟〈傷つきやすい材質より成るワーク
の寸法測定は、検出部を低圧により動作する様に構成す
る必要がある。従来は電気マイクロメータの様にプロー
ブのバネを低圧化し、指でプローブをワークにセットす
る方式であったので、手動操作による測定値のばらつき
が発生し又、自動化が困難であった。又空気を吹きつけ
て浮かすホール穴の測定装置や、圧電素子を用いる低圧
測定装置も有ったが、装置が大型で高価なものとなって
いた。
発明の目的 本発明の目的は圧電フィルムを用いることにより簡単な
構成で軟らかいワークを測定することが出来る測定措置
を提供する所にある。
第1図の実施例の説明 第1図において、6bは基台であり、この基台6bの一
端にはパルスモータ4が固定されており、3はこのパル
スモータの回転軸に固定した送り軸である。送り軸3の
一部は基台6bと一体に形成した固定部6Cにより移動
自在に保持されており、その端部には第2図に示す検出
部2を固定する。基台6bにおいて、前記検出部2に対
向する端部にはワーク固定具6を固定し、この固定具6
にはプラスチックより成る円筒状のワLり1が配置され
ている。5で示すのは制御部であり、この制御部5の一
部には表示部5dを設けて成るものである。
第1図に行ける検出部2を更に詳しく示すのが第2図で
あるが、この検出部2は円筒状の筒状体lOと、この筒
状体1oの端部を覆う如く設けた圧電フィルム9と、こ
の圧電フィルム9を筒状体10の端部に固定する為の筒
状の固定部材8と、この固定部材8の一部に移動自在に
設けた接触子7と、前記圧電フィルム9から引き出した
引出線11を有するものである。この様な構成より成る
検出γg82は接触子7がワークと接触して矢印P方向
に移動することにより圧電フィルム9を押し、圧電フィ
ルム9が変形することにより、電気信号を引出線ll上
に出力するものである。
第3図は測定装置の制御回路を示すブロックダイアグラ
ムであり、前記圧電フィルムを含む圧力センサー31の
アナログ出力t−r、演算増幅器32で増幅した後A/
D変換器33でデジタル変換し、表示部5dにおいてこ
のデジタル信号を表示するものである。一方前記演算増
幅器32の出力はコンパレーク34を介してアンドゲー
ト35に入力する。このアンドゲート35には周波数f
のパルス信号を出力する発振器36′の出力も入力され
ているものであり、前記演算増幅器32の出力が低レベ
ル(接触子7がワークと接触していない為圧力センサー
31から出力が導出されない状態)の時、前記発振器3
6の出力がカウンタ36と前記パルスモータ4に印加さ
れる。パルスモータ4はパルス信号を加えることにより
回転し、検出部2を第1図において矢印F方向に移動さ
せる。そして検出部2の接触子7がワークlに接触する
ことにより圧電フィルム9が押されると、圧電センサー
31から出力が出され、その結果演算増幅器32の出力
が高レベルとなり、アントゲ−I・35からのパルス信
号の導出が停止し、パルスモータ夕4が停止する。カウ
ンタ36はアンドゲート35から導出されたパルス信号
を計数するものであるので、表示部5d−2において表
示された値が前記ワークの寸法(正確には基準位刃から
ワークまでの距離)を示すことになる。
第2の実施例の説明 第4図は本発明を適用した測定装置の他の実施例を示す
ものであり、円筒状のワーク41の内径を計る為に2つ
の検出部2−1.2−2をパルスモータ4−1によって
回転する送り軸の回転に従って、矢印Fl、F2方向に
移動する様構成したものである。なお、検出部2−1も
しくは2−2からパルスモータ4−1へのフィードバッ
クは第3図と同様の構成である。検出部が高感度で小型
でフレキシブルであるので検出値にしきい仙を設ける事
により送り量にフィードバック制御をかける事ができる
。その結果3次元形状を一定圧で′ならってパ走査する
事ができる。この機能とロボツ)・のフィンガーやNC
機構のようなものと組み合せれば、XY平面を走査して
、Z軸の値を検出できるから、3次元のパターン認識へ
展開できる可能性がある。又塗装や溶接ロボットの触覚
センサーとして用いれば、フィードバック制御機能をロ
ボットにイづ加する事が可能である。
発明の効果 圧電フィルムを用いた検出部は低圧で動作し、スイッチ
機能に必要な複雑な構造を必要とせず、小型で安くつく
れる。又圧電フィルムを用いた検出部を用いるので電気
信号を直接取り出せるのでノイズ対策等を簡略化出来、
TTL回路等にも直接入れる事ができる。又、従来は塗
装や溶接ロボットにおいてt寸、ワークの形状を覚え込
ませる工程が必要であったっが、本発明による測定装置
をロボットに付加すれば、ワークの形状変化に従って自
動的にこれに追従してリアルタイムで作業を覚えさせる
ことが出来るものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明を適用した測定装置の」二面図、第2図
は検出部の断面図、 第3図は測定装置の制御回路図、 第4図は他の実施例による測定装置の要部」二面図であ
る。 ここで1はワーク、21才検出部、3は送り軸、4はパ
ルスモータ、5は制御部、7は接触子、そして9は圧電
フィルムである。 第1図 第2図 第3貼) 第4図 −2

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 接触子と圧電フィルムより成る検出部を有し、前記接触
    子が圧電フィルムを押圧することにより送り機構による
    検出部の送りを制御することを特徴とする測定装置。
JP18206782A 1982-10-19 1982-10-19 測定装置 Pending JPS5972003A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18206782A JPS5972003A (ja) 1982-10-19 1982-10-19 測定装置

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JP18206782A JPS5972003A (ja) 1982-10-19 1982-10-19 測定装置

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Publication Number Publication Date
JPS5972003A true JPS5972003A (ja) 1984-04-23

Family

ID=16111767

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JP18206782A Pending JPS5972003A (ja) 1982-10-19 1982-10-19 測定装置

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