JPS5965242A - レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ - Google Patents

レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ

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Publication number
JPS5965242A
JPS5965242A JP17452982A JP17452982A JPS5965242A JP S5965242 A JPS5965242 A JP S5965242A JP 17452982 A JP17452982 A JP 17452982A JP 17452982 A JP17452982 A JP 17452982A JP S5965242 A JPS5965242 A JP S5965242A
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JP
Japan
Prior art keywords
laser
sample
light
objective lens
raman scattered
Prior art date
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Granted
Application number
JP17452982A
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English (en)
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JPH0465336B2 (ja
Inventor
Kenji Tochigi
栃木 憲治
Yoshiaki Haniyu
羽生 孔昭
Yutaka Hiratsuka
豊 平塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Priority to US06/510,912 priority patent/US4586819A/en
Priority to FR8311469A priority patent/FR2530024B1/fr
Publication of JPS5965242A publication Critical patent/JPS5965242A/ja
Publication of JPH0465336B2 publication Critical patent/JPH0465336B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/65Raman scattering
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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    • G01N21/65Raman scattering
    • G01N2021/653Coherent methods [CARS]
    • G01N2021/656Raman microprobe

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  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、レーザ光源と、該レーザ光源からのレーザ光
の進路な半透鏡によって90’曲げ、対物レンズを経て
試料に照射し、がっし〜ザ光照射によって前記試料から
発生したラマン散乱光を前記対物レンズで集光し、さら
に前記半透鏡を経て試料と対物レンズのなす光軸方向に
取り出す光学顕微鏡と、該光学顕微鏡から取り出された
ラマン散乱光を分光、検出するためのラマン分光光度計
とよりなるレーザ・ラマン、マイクログローブに関する
従来の光学顕微鏡をレーザ光照射、ラマン散乱光集光に
用いるレーザ・ラマン・マイクログローブにおいては、
レーザ光を半透鏡で20″方向に曲げ、対物レンズを経
て試料に照射し、同じ対物レンズでラマン散乱光を集光
し、半透鏡を経てラマン散乱光を取り出す構造のため、
試料からのレーザ反射光とラマン散乱光は同一光路を通
る。このため試料の状態変化やレーザ照射点のずれをモ
ニタするには半透鏡を経て取り出されるレーザ反射光お
よびラマン散乱光の一部をビーム・スプリッタ等で分割
して取り出しプロジェクタ、テレビカメラなどで顕微鏡
像を観察するが、ラマン分光光度計へ導入するラマン散
乱光量がモニタ用に分割した分だけ減少するため、検出
感度が低下する欠点があった。またラマン分光光度計へ
はレーザ反射光もラマン散乱光と同一光路を通って同時
に導入されるため、分光光度計内で迷光となり、特にレ
ーザ波長圧近い低波数領域でのラマン散乱光測定の妨害
が著しい欠点があった。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし、ラ
マン散乱光測定時ラマン散乱光の損失が少ない状態で常
時試料状態のモニタができかつ、レーザ反射光に基づく
分光光度計内での迷光を減少できるレーザ・ラマン・マ
イクログローブを提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明による冒頭に述べた
種類のレーザ・ラマン・マイクロブ透鏡後方に前記光軸
に対し所定の角度をなすように設けられ、レーザ発振波
長のみを透過し、レーザ発振波長より長波長の光を反射
するダイクロイック・ミラーと、該ダイクロイック・ミ
ラー後方に設けられたレーザ波長での顕微鏡像モニタと
からなる試料モニタを備えることを要旨とする。すなわ
ち、本発明では対物レンズで集光され、半透鏡を経て取
り出したレーザ反射光とラマン散乱光を、レーザ反射光
を透過し、レーザ反射光より長波長のラマン散乱光を反
射するダイクロイック・ミラーによってラマン散乱光の
進路を変えることにより分割して別々に取り出し、レー
ザ反射光光路上に配置されたレーザ波長での顕微鏡像モ
ニタによりラマン散乱光測定中試料状態を観察するとと
もに、レーザ反射光の混入しないラマン散乱光を効率よ
く分光光度計に導入する。
以下に、対置を参照しながら、実施例を用いて本発明を
一層詳細に説明するが、それらは例示に過ぎず、本発明
の枠を越えることなしにいろいろな改良や変形があり得
ることは勿論である。
第1図において、ラマン散乱光励起用レーザ光1は集光
レンズ2を経て顕微鏡の半透鏡6に入射する。半透鏡6
で入射方向に対し90°曲げられたレーザ光は対物レン
ズ4により試料5の上に焦点を結ぶ。試料5から発生し
たレーザ反射光6およびラマン散乱光7は対物レンズ4
によって集光され、半透鏡3を経て対物レンズ4と半透
鏡3のなす光軸に対し45°の角をなすように配置され
たダイクロイック・ミラー8に入射する。ダイクロイッ
ク・ミラー8の特性によって、透過したレーザ反射光は
減光フィルタ9゜集光レンズ10を経てレーザ反射光に
よる顕微鏡像モニタ11に入射し、試料状態をモニタす
る。
またダイクロイック・ミラー8の特性によって対物レン
ズ4と半透鏡3のなす光軸に対し90゜方向に曲げられ
たラマン散乱光は集光レンズ12を経て分光光度計入射
スリット13上に結像する。
このように構成することによって、顕微鏡を用いたレー
ザ・ラマン・マイクロプローブにおいて、ラマン散乱光
測定時の試料状態の同時モニタをする場合でも、ラマン
散乱光の損失を少なくでき、また同時に分光光度計内で
迷光の原因となるレーザ反射光を除去できる効果がある
以上説明した通り、本発明によれば、試料の検出感度を
損なうことなく測定中の試料状態のモニタが可能となり
、試料の状態変化、照射点のずれなどを迅速に知ること
ができ、また特にレーザ波長に近い低波数領域でのラマ
ン散乱光の測定が感度良く、容易に行なえるという利点
が得られる。
【図面の簡単な説明】
シー図は本発明によるレーザ・ラマン・75イクロプロ
ープを模式的に示す構成図である。 1・・・・・・・・・・・・ラマン散乱光励起用レーザ
光2・・・・・・・・・・・・集光レンズ3・・・・・
−・・・・・半透鏡 4・・・・・・・・・・・・対物レンズ5・・・・・・
・・・・・・試料 6・・・・・・・・・・・・レーザ反射光7・・・・・
・・・・・・・ラマン散乱光8・・・・・・・・−・・
ダイクロイック・ミラー9・・・・・・・・・・・・減
光フィルタ10・・・・・・・・・集光レンズ 11・・・・・・・・・レーザ反射光による顕微鏡像モ
ニタ12・・・・・・・・・集光レンズ 16・・・・・・・・・分光光度計入射スリット245

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. レーザ光源と、該レーザ光源がらのレーザ光の進路な半
    透鏡によって90°曲げ、対物レンズを経て試料に照射
    し、かつレーザ光照射によって前記試料から発生したラ
    マン散乱光を前記対物レンズで集光し、さらに前記半透
    鏡を経て試料と対物レンズのなす光軸方向に取り出す光
    学顕微鏡と、該光学顕微鏡から取り出されたラマン散乱
    光を分光、検出するためのラマン分光光度計とよりなる
    レーザ・ラマン・マイクログローブにおいて、試料と対
    物レンズのなす光軸上の半透鏡後方に前記光軸に対し所
    定の角度をなすように設けられ、レーザ発振波長のみを
    透通し、レーザ発振波長より長波長の光を反射するダイ
    クロイック・ミラ〜と、該ダイクロイックミラー後方に
    設けられたレーザ波長での顕微鏡像モニタとからなる試
    料モニタを備えることを特徴とするレーザ・ラマン・マ
    イクロプローブ。
JP17452982A 1982-07-09 1982-10-06 レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ Granted JPS5965242A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17452982A JPS5965242A (ja) 1982-10-06 1982-10-06 レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ
US06/510,912 US4586819A (en) 1982-07-09 1983-07-05 Laser Raman microprobe
FR8311469A FR2530024B1 (fr) 1982-07-09 1983-07-08 Microsonde a effet raman a laser

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17452982A JPS5965242A (ja) 1982-10-06 1982-10-06 レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5965242A true JPS5965242A (ja) 1984-04-13
JPH0465336B2 JPH0465336B2 (ja) 1992-10-19

Family

ID=15980118

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17452982A Granted JPS5965242A (ja) 1982-07-09 1982-10-06 レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5965242A (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4030827A (en) * 1973-12-03 1977-06-21 Institut National De La Sante Et De La Recherche Medicale (Inserm) Apparatus for the non-destructive examination of heterogeneous samples
JPS53135660A (en) * 1977-04-30 1978-11-27 Olympus Optical Co Ltd Fluorescent photometric microscope using laser light

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4030827A (en) * 1973-12-03 1977-06-21 Institut National De La Sante Et De La Recherche Medicale (Inserm) Apparatus for the non-destructive examination of heterogeneous samples
JPS53135660A (en) * 1977-04-30 1978-11-27 Olympus Optical Co Ltd Fluorescent photometric microscope using laser light

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0465336B2 (ja) 1992-10-19

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