JPS59107243A - レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ - Google Patents
レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブInfo
- Publication number
- JPS59107243A JPS59107243A JP21540482A JP21540482A JPS59107243A JP S59107243 A JPS59107243 A JP S59107243A JP 21540482 A JP21540482 A JP 21540482A JP 21540482 A JP21540482 A JP 21540482A JP S59107243 A JPS59107243 A JP S59107243A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wavelength
- laser
- light
- sample
- scattered light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
- G01N2021/653—Coherent methods [CARS]
- G01N2021/656—Raman microprobe
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、発振波長を任意に設定することが・できるレ
ーザーラミン・マイクロプローブに関。
ーザーラミン・マイクロプローブに関。
する。
光学顕微儒をレーザ光照射、ラマン散乱光集光に用いる
従来のレーザ・ラマンマイクロプローブにおいては、レ
ーザ光を半透鏡で９０″方向に曲げ、対物レンズを経て
試料に照射し、同じ対物レンズでラマン散乱光を集光し
、半透鏡を経てラマン散乱光を取υ出す構造のため、試
料からのレーザ反射光とラマン散乱光は同一光路を通る
。このため試料の状態変化やレーザ照射点のずれをモニ
タするには、半透鏡を経て取）出したレーザ反射光およ
びラマン散乱光の一部をビーム・スプリッタ等で分割し
て取り出し、プロジエクタ、テレビ・カメラなどで顕微
鏡像を観察するが、ラマン分光光度計へ導入するラマン
散乱光量がモニタ用に分割した分だけ減少するため、検
出感度が低下する欠点があった。またラマン分光光度計
へはレーザ反射光もラマン散乱光と同一光路を通って同
時に導入されるため、分光光度計内で迷光となり、特に
レーザ波。
従来のレーザ・ラマンマイクロプローブにおいては、レ
ーザ光を半透鏡で９０″方向に曲げ、対物レンズを経て
試料に照射し、同じ対物レンズでラマン散乱光を集光し
、半透鏡を経てラマン散乱光を取υ出す構造のため、試
料からのレーザ反射光とラマン散乱光は同一光路を通る
。このため試料の状態変化やレーザ照射点のずれをモニ
タするには、半透鏡を経て取）出したレーザ反射光およ
びラマン散乱光の一部をビーム・スプリッタ等で分割し
て取り出し、プロジエクタ、テレビ・カメラなどで顕微
鏡像を観察するが、ラマン分光光度計へ導入するラマン
散乱光量がモニタ用に分割した分だけ減少するため、検
出感度が低下する欠点があった。またラマン分光光度計
へはレーザ反射光もラマン散乱光と同一光路を通って同
時に導入されるため、分光光度計内で迷光となり、特に
レーザ波。
長に近い低波数領域でのラマン散乱光測定の妨。
害が著しい欠点があった。迷光の除去する方法としては
、特定のレーザ波長に合致したシャープカットフィルタ
、ヨウ素ガスフィルタ等を使用することが考えられるが
、励起レーザ波長を変える毎に、それぞれのレーザ波長
に合致したフィルタを交換、使用する必要があシ、多数
のフィルタを用意しなければならないという不便を生じ
させる。
、特定のレーザ波長に合致したシャープカットフィルタ
、ヨウ素ガスフィルタ等を使用することが考えられるが
、励起レーザ波長を変える毎に、それぞれのレーザ波長
に合致したフィルタを交換、使用する必要があシ、多数
のフィルタを用意しなければならないという不便を生じ
させる。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくシ、任
意に設定されたレーザ波長光を励起光とし、ラマン散乱
光測定時、ラマン散乱光の損失が少ない状態で常時試料
状態のモニタができ、かつレーザ反射光に基づく分光光
度計内での迷光を減少できるレーザ・ラマン・マイクロ
プローブを提供することにある。
意に設定されたレーザ波長光を励起光とし、ラマン散乱
光測定時、ラマン散乱光の損失が少ない状態で常時試料
状態のモニタができ、かつレーザ反射光に基づく分光光
度計内での迷光を減少できるレーザ・ラマン・マイクロ
プローブを提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明による冒。
頭に述べた種類のレーザ・ラマン・マイクログローブは
、試料と対物レンズのなす光軸上の半。
、試料と対物レンズのなす光軸上の半。
透鏡後方に、前記光軸に対し所定の角度をなすように設
けられ、設定されたレーザ発振波長光のみを透過し、レ
ーザ発振波長とは異なる波長の光を反射する波長可変狭
帯域バンド・パス・フィルタと、該波長可変狭帯域バン
ド・パス・フィルタ後方に設けられた、前記レーザ発振
波長での顕微鏡像モニタとを有することを要旨とする。
けられ、設定されたレーザ発振波長光のみを透過し、レ
ーザ発振波長とは異なる波長の光を反射する波長可変狭
帯域バンド・パス・フィルタと、該波長可変狭帯域バン
ド・パス・フィルタ後方に設けられた、前記レーザ発振
波長での顕微鏡像モニタとを有することを要旨とする。
すなわち、本発明によれば、対物レンズで集光され、半
透鏡を経て取シ出された任意に波長設定されたレーザ反
射光と２マン散乱光を、レーザ反射光を最も効率よく透
過し、レーザ原料１光とは波長の異なるラマン散乱光を
反射するように波長位置を設定した波長可変狭帯域バン
ド・パス・フィルタを用いてラマン散乱光の進路を変え
ることにより分割して別々に取シ出し、レーザ反射光光
路上に配置された波長設定されたレーザ波長での顕微鏡
像モニタによシラマン量°“乱光測定中試料状態を観察
するとともに、レーザ反射光の混入しないラマン散乱光
を効率よく分光光度計に導入できる。
透鏡を経て取シ出された任意に波長設定されたレーザ反
射光と２マン散乱光を、レーザ反射光を最も効率よく透
過し、レーザ原料１光とは波長の異なるラマン散乱光を
反射するように波長位置を設定した波長可変狭帯域バン
ド・パス・フィルタを用いてラマン散乱光の進路を変え
ることにより分割して別々に取シ出し、レーザ反射光光
路上に配置された波長設定されたレーザ波長での顕微鏡
像モニタによシラマン量°“乱光測定中試料状態を観察
するとともに、レーザ反射光の混入しないラマン散乱光
を効率よく分光光度計に導入できる。
以下に、図面を参照しながら、実施例を用いて本発明を
一層詳細に説明するが、それらは例示に過ぎず、本発明
の枠を越えることなしにいろいろな変形や改良があり得
ることは勿論である０ 〔発明の実施例〕 第１図は本発明によるレーザ・ラマン・マイクロプロー
ブの構成を模式的に示す図で、図において、任意の波長
に設定されたラマン散乱光励起用レーザ光１は集光レン
ズ２を経て顕微晴の半透鏡６に入射する。半透鏡３で入
射方向に対し９０″曲げられだレーザ光は対物レンズ４
により試料５の上に焦点を結ぶ。試料５から発生したレ
ーザ反射光６およびラマン散乱光７け対物レンズ４によ
って集光され、半透鏡６を経て対物レンズ４と半透鏡６
のなす光軸に対し４５″の角をなすように配置された半
円状の波長可変狭帯域バンド・パス・フィルタ８に入射
する。
一層詳細に説明するが、それらは例示に過ぎず、本発明
の枠を越えることなしにいろいろな変形や改良があり得
ることは勿論である０ 〔発明の実施例〕 第１図は本発明によるレーザ・ラマン・マイクロプロー
ブの構成を模式的に示す図で、図において、任意の波長
に設定されたラマン散乱光励起用レーザ光１は集光レン
ズ２を経て顕微晴の半透鏡６に入射する。半透鏡３で入
射方向に対し９０″曲げられだレーザ光は対物レンズ４
により試料５の上に焦点を結ぶ。試料５から発生したレ
ーザ反射光６およびラマン散乱光７け対物レンズ４によ
って集光され、半透鏡６を経て対物レンズ４と半透鏡６
のなす光軸に対し４５″の角をなすように配置された半
円状の波長可変狭帯域バンド・パス・フィルタ８に入射
する。
波長可変狭帯域バンド・パス・フィルタ８は半円上の一
つの直径方向９上で波長λｌの光のみ透過し、他の波長
の光を反射する。９と異なった直径方向１０上では波長
λ饋は異なる波長λ２の兜のみを透過し、他の波長の光
を反射する特性を有する。しだがって、波長可変狭帯域
バンド・パス・フィルタ８の直径方向位置を選ぶことに
よシ任意に波長設定されだレーザ反射光６のみ波長可変
狭帯域バンド・パス・フィルタ８を透過し飄波長の異な
るラマン散乱光７は対物レンズ４と半透−４３のなす光
軸に対し９０゛方向に反射される。波長可変狭帯域バン
ド・パス・フィルタ８を透過したレーザ反射光は減光フ
ィルタ１１、集光レンズ１２を経て、レーザ反射光によ
る顕卆鏡像モニタ１３に入射し、試料状態のモニタに用
いられる。、また、波長可変狭帯域バンド・パス・フィ
ルタ８によって反射されたラマン散乱光は集光レンズ１
４を経て分光光度計入射スリット１５上に結像する。こ
のように構成することによって、従来の顕微鏡を用いた
レーザ・ラマン・マイクロプローブにおいて、ラマン散
乱光測定時の試料状態の同時モニタをする場合でも、ラ
マン散乱光の損失を少なくでき、また同時に１分光光度
計内で迷光の原因となるレーザ反射光。
つの直径方向９上で波長λｌの光のみ透過し、他の波長
の光を反射する。９と異なった直径方向１０上では波長
λ饋は異なる波長λ２の兜のみを透過し、他の波長の光
を反射する特性を有する。しだがって、波長可変狭帯域
バンド・パス・フィルタ８の直径方向位置を選ぶことに
よシ任意に波長設定されだレーザ反射光６のみ波長可変
狭帯域バンド・パス・フィルタ８を透過し飄波長の異な
るラマン散乱光７は対物レンズ４と半透−４３のなす光
軸に対し９０゛方向に反射される。波長可変狭帯域バン
ド・パス・フィルタ８を透過したレーザ反射光は減光フ
ィルタ１１、集光レンズ１２を経て、レーザ反射光によ
る顕卆鏡像モニタ１３に入射し、試料状態のモニタに用
いられる。、また、波長可変狭帯域バンド・パス・フィ
ルタ８によって反射されたラマン散乱光は集光レンズ１
４を経て分光光度計入射スリット１５上に結像する。こ
のように構成することによって、従来の顕微鏡を用いた
レーザ・ラマン・マイクロプローブにおいて、ラマン散
乱光測定時の試料状態の同時モニタをする場合でも、ラ
マン散乱光の損失を少なくでき、また同時に１分光光度
計内で迷光の原因となるレーザ反射光。
を除去できる。
以上説明したとうり、本発明によれば、波長可変狭帯域
バンド・パス・−フィルタの透過波長位置を選択するこ
とにより、ラマン散乱光励起用レーザ光の波長を変えた
場合でも、常に試料の検出感度を損なうことなく測定中
の試料状態のモニタが可能となり、試料の状態変化、照
射点のずれなどを迅速に知ることができ、また特にレー
ザ波長に近（ハ低波数領域でのラマン散乱光の測定を感
度良く容易に行なえるという利点が得られる。
バンド・パス・−フィルタの透過波長位置を選択するこ
とにより、ラマン散乱光励起用レーザ光の波長を変えた
場合でも、常に試料の検出感度を損なうことなく測定中
の試料状態のモニタが可能となり、試料の状態変化、照
射点のずれなどを迅速に知ることができ、また特にレー
ザ波長に近（ハ低波数領域でのラマン散乱光の測定を感
度良く容易に行なえるという利点が得られる。
第１図は本発明によるレーザ・ラマン・マイクロプロー
ブを模式的に示す構成図である０１・・・ラマン散乱光
励起用レーザ光、２・・・集光レンズ、 ３・・・半透鏡、 ４・・・対物レンズ、 ５・・・試料、 ６・・・レーザ反射光、 ７・・・２マン散乱光、 ８・・・波長可変狭帯域バンド・パス・フィルタ、９・
・・波長可変狭帯域バンド・パス・フィルタの一つの直
径方向（透過波長石）、 １０・・・波長可変狭帯域バンド・パス・フィルタの他
の一つの直径方向（透過波長λ２）、１１・・・減光フ
ィルタ、 １２・・・集光レンズ、 １３ ・顕微鏡像モニタ、 １４・・・集光レンズ、 １５・・分光光度計入射スリット。 才１ 圀
ブを模式的に示す構成図である０１・・・ラマン散乱光
励起用レーザ光、２・・・集光レンズ、 ３・・・半透鏡、 ４・・・対物レンズ、 ５・・・試料、 ６・・・レーザ反射光、 ７・・・２マン散乱光、 ８・・・波長可変狭帯域バンド・パス・フィルタ、９・
・・波長可変狭帯域バンド・パス・フィルタの一つの直
径方向（透過波長石）、 １０・・・波長可変狭帯域バンド・パス・フィルタの他
の一つの直径方向（透過波長λ２）、１１・・・減光フ
ィルタ、 １２・・・集光レンズ、 １３ ・顕微鏡像モニタ、 １４・・・集光レンズ、 １５・・分光光度計入射スリット。 才１ 圀
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 任意に発振波長を設定できるレーザ光源と、該レーザ光
源からのレーザ光の進路を半透鏡によりて９０°曲げ、
対物レンズを経て試料妬照射し、レーザ光照射によって
前記試料から発生したう□ マン散乱光を前記対物レンズで集光し、さらに前記半透
鏡を経て試料と対物レンズのなす光軸方向に取シ出す光
学顕微鏡と、該光学顕微鏡から取り出されたラマン散乱
光を分光、検出するだめのラマン分光光度計とからなる
レーザ・ラマン・マイクロプローブにおいて、試料と対
物レンズのなす光軸上の半透鏡後方に、前記光軸に対し
所定の角度をなすように設けられ、設定されたレーザ発
振波長光のみを透過し、前記レーザ発振波長とは異なる
波長の光を反射する波長可変狭帯域バンド・パス・フィ
ルタと、該波長可変狭帯域バンド・パス・フィルタ後方
に設けられた、前記レーザ発振波長での顕微鏡像モニタ
とを有することを特徴とするレーザ・ラマン・マイクロ
プローブ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21540482A JPS59107243A (ja) | 1982-12-10 | 1982-12-10 | レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ |
| US06/510,912 US4586819A (en) | 1982-07-09 | 1983-07-05 | Laser Raman microprobe |
| FR8311469A FR2530024B1 (fr) | 1982-07-09 | 1983-07-08 | Microsonde a effet raman a laser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21540482A JPS59107243A (ja) | 1982-12-10 | 1982-12-10 | レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59107243A true JPS59107243A (ja) | 1984-06-21 |
Family
ID=16671759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21540482A Pending JPS59107243A (ja) | 1982-07-09 | 1982-12-10 | レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59107243A (ja) |
-
1982
- 1982-12-10 JP JP21540482A patent/JPS59107243A/ja active Pending
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