JPS59220634A - レ−ザラマンマイクロプロ−ブ用レ−ザ光照射装置 - Google Patents
レ−ザラマンマイクロプロ−ブ用レ−ザ光照射装置Info
- Publication number
- JPS59220634A JPS59220634A JP9408183A JP9408183A JPS59220634A JP S59220634 A JPS59220634 A JP S59220634A JP 9408183 A JP9408183 A JP 9408183A JP 9408183 A JP9408183 A JP 9408183A JP S59220634 A JPS59220634 A JP S59220634A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- light
- sample
- raman
- efficiency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
- G01N2021/653—Coherent methods [CARS]
- G01N2021/656—Raman microprobe
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/064—Stray light conditioning
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はレーザラマンマイクロブローフ用レーザ光照射
装置に関するものであり、更に詳しくは試料に照射する
レーザ光強度と試料から放射されるラマン散乱光の集光
効率とを向上させ、同時にラマン散乱光に重なυ迷光原
因となるレーザ反射光を減少させ、検出感度を大幅に向
上させたレーザラマンマイクロプローブ用レーザ光照射
装置に関する。
装置に関するものであり、更に詳しくは試料に照射する
レーザ光強度と試料から放射されるラマン散乱光の集光
効率とを向上させ、同時にラマン散乱光に重なυ迷光原
因となるレーザ反射光を減少させ、検出感度を大幅に向
上させたレーザラマンマイクロプローブ用レーザ光照射
装置に関する。
顕微鏡をレーザ光照射とラマン散乱光集光に用いる従来
のレーザラマンマイクロプローブは、レーザ光に半透鏡
で９０°方向を曲げ、対物レンズを経て照射し、同一対
物レンズでラマン散乱光を集光し、半透鏡を経てラマン
散乱光を取シ出す構造になっている。そのため、半透鏡
において、レーザ光とラマン散乱光の双方が反射・透過
する際、強度がｉに減少し、加えてレーザ反射光が分光
光度計に入射して迷光原因となる欠点がある。従って、
従来技術では、検出感度が低いという欠点があった。
のレーザラマンマイクロプローブは、レーザ光に半透鏡
で９０°方向を曲げ、対物レンズを経て照射し、同一対
物レンズでラマン散乱光を集光し、半透鏡を経てラマン
散乱光を取シ出す構造になっている。そのため、半透鏡
において、レーザ光とラマン散乱光の双方が反射・透過
する際、強度がｉに減少し、加えてレーザ反射光が分光
光度計に入射して迷光原因となる欠点がある。従って、
従来技術では、検出感度が低いという欠点があった。
又、レーザ光照射全暗視野落射照明機構に用いるリング
状鏡及びリング状コンデンサレンズによ９行ない、ラマ
ン散乱光集光全リング状鏡及びリング状コンテンザレン
ズ中心部を透過させるレーザ光照射装置では、レーザ光
とラマン散乱光の減少は起こらず、又レーザ反射光をほ
とんど集光しないため分光光度計内の迷光も減少する。
状鏡及びリング状コンデンサレンズによ９行ない、ラマ
ン散乱光集光全リング状鏡及びリング状コンテンザレン
ズ中心部を透過させるレーザ光照射装置では、レーザ光
とラマン散乱光の減少は起こらず、又レーザ反射光をほ
とんど集光しないため分光光度計内の迷光も減少する。
しかし、直径１μｍ程度号でレーザスポットを絞ること
ができず、微小点の分析が行なえない欠点がある。
ができず、微小点の分析が行なえない欠点がある。
本発明は上記した従来技術の欠点に鑑みなされたもので
、レーザ光照射強度及びラマン散乱光集光効率全向上さ
せ、加えて迷光原因となるレーザ反射光を減少させるこ
とにより、微小点の高感度なラマンスペクトル測定を可
能にするレーザラマンマイクログローブ用レーザ光照射
装置を提供することにある。
、レーザ光照射強度及びラマン散乱光集光効率全向上さ
せ、加えて迷光原因となるレーザ反射光を減少させるこ
とにより、微小点の高感度なラマンスペクトル測定を可
能にするレーザラマンマイクログローブ用レーザ光照射
装置を提供することにある。
本発明のレーザラマンマイクログローブ用レーザ光照射
装置は、直線偏光性を有するレーザ光を発振するレーザ
光源と、レーザ偏光面を回転させる位相差装置と、レー
ザ光を試料に照射し試料から放射されるラマン散乱光を
集光する顕微鏡と、ラマン散乱光を波長の・違いにより
分散させ検出する分光光度側とからなるレーザラマンマ
イクロプローブにおいて、上記位相差装置からのレーザ
光を試料の方向に９０°折シ曲げて試料に照射し、かつ
試料から放射されるラマン散乱光を透過させて上記分光
光度計に入射させる偏光キューブ型ビームスプリッタを
備えていることを特徴としている。
装置は、直線偏光性を有するレーザ光を発振するレーザ
光源と、レーザ偏光面を回転させる位相差装置と、レー
ザ光を試料に照射し試料から放射されるラマン散乱光を
集光する顕微鏡と、ラマン散乱光を波長の・違いにより
分散させ検出する分光光度側とからなるレーザラマンマ
イクロプローブにおいて、上記位相差装置からのレーザ
光を試料の方向に９０°折シ曲げて試料に照射し、かつ
試料から放射されるラマン散乱光を透過させて上記分光
光度計に入射させる偏光キューブ型ビームスプリッタを
備えていることを特徴としている。
この偏光キューブ型ビームスグリツタは、位相差装置に
よって偏光したレーザ光（偏光キューブ薬ビームスプリ
ンタの入射光と反射光で作る平面に対して垂直方向に偏
光させる）’ｆｒ：、試料の方向に≦）９俤以上の効率
で９０°折り曲げ、他の光は１８００の方向に９０チ以
上の効率で透過させる特性を、広い波長領域に亘って有
している。本発明は、この偏光キューブ型ビームスプリ
ッタを従来用いられていた半透鏡のかわ９に用いること
により、レーザ光照射強度とラマン散乱光集光効率を大
幅に１向上させ、検出感度全大幅に向上させるものであ
る。
よって偏光したレーザ光（偏光キューブ薬ビームスプリ
ンタの入射光と反射光で作る平面に対して垂直方向に偏
光させる）’ｆｒ：、試料の方向に≦）９俤以上の効率
で９０°折り曲げ、他の光は１８００の方向に９０チ以
上の効率で透過させる特性を、広い波長領域に亘って有
している。本発明は、この偏光キューブ型ビームスプリ
ッタを従来用いられていた半透鏡のかわ９に用いること
により、レーザ光照射強度とラマン散乱光集光効率を大
幅に１向上させ、検出感度全大幅に向上させるものであ
る。
また、試料からのレーザ反射光の約１はレーザ入射光と
同じ偏光性を保持している。このレーザ反射光は偏光キ
ューブ型ビームスプリッタによシレーザ入射側に戻るた
め、ラマン散乱光に重畳したレーザ反射光は約フだけ減
少する。従って、これによっても検出感度が向上する。
同じ偏光性を保持している。このレーザ反射光は偏光キ
ューブ型ビームスプリッタによシレーザ入射側に戻るた
め、ラマン散乱光に重畳したレーザ反射光は約フだけ減
少する。従って、これによっても検出感度が向上する。
そして、偏光キューブ型ビームスグリツタでは半透鏡と
同様に明視野落射機構を利用でき、試料上のレーザスポ
ット径として直径１μｍ程度１で絞ることができ、微／
Ｊ％部分の分析が可能となる。
同様に明視野落射機構を利用でき、試料上のレーザスポ
ット径として直径１μｍ程度１で絞ることができ、微／
Ｊ％部分の分析が可能となる。
以下添付の図面に示す実施例により、更に詳細に本発明
について説明する。
について説明する。
図は本発明の一実施例を示す図である。図示していない
レーザ光源から出力される直線偏光したレーザ光１は、
偏光面全回転させる位相差装置２゜２′によって、第１
図紙面の垂直方向に偏光面が回転したレーザ光３となる
。レーザ光３は集光レンズ４によって集光され、偏光キ
ューブ型ビームスプリッタ５の分離面６によυ９９係以
上の効率で９０゜折υ曲けられ、その後対物レンズ７を
経て試料８に照射される。
レーザ光源から出力される直線偏光したレーザ光１は、
偏光面全回転させる位相差装置２゜２′によって、第１
図紙面の垂直方向に偏光面が回転したレーザ光３となる
。レーザ光３は集光レンズ４によって集光され、偏光キ
ューブ型ビームスプリッタ５の分離面６によυ９９係以
上の効率で９０゜折υ曲けられ、その後対物レンズ７を
経て試料８に照射される。
試料８から放射されるラマン散乱光９は、偏光キューブ
屋ビームスプリッタ５ｆｆｉ９０％以上の効率で透過し
、集光レンズ１１によって分光光度側の入射スリット１
２に結像する。
屋ビームスプリッタ５ｆｆｉ９０％以上の効率で透過し
、集光レンズ１１によって分光光度側の入射スリット１
２に結像する。
又、試料８から反射されるレーザ反射光総量の約−Σを
占め、レーザ光３と同じ方向の偏光性を有するレーザ反
射光成分１０は、偏光キューブ壓ビームスプリッタ５の
分離面６において、レーザ光３の入射方向に９９チ以上
の効率で折シ曲げられる。
占め、レーザ光３と同じ方向の偏光性を有するレーザ反
射光成分１０は、偏光キューブ壓ビームスプリッタ５の
分離面６において、レーザ光３の入射方向に９９チ以上
の効率で折シ曲げられる。
そのため、レーザ反射光成分１ｏは分光光度計の入射ス
リット１２に入射されない。
リット１２に入射されない。
従って、この実施例によれば、従来技術と比較して、試
料８に照射されるレーザ光強度が約２倍に向上し、ラマ
ン散乱光集光効率が約１．８倍に向上し、加えて分光光
度計内で迷光原因とｙｇ測測定妨害するレーザ反射光が
約ｉ減少する。このため、検出感度が大幅に向上し、微
小点のラマンスペクトルを高感度に測定できる効果があ
る。
料８に照射されるレーザ光強度が約２倍に向上し、ラマ
ン散乱光集光効率が約１．８倍に向上し、加えて分光光
度計内で迷光原因とｙｇ測測定妨害するレーザ反射光が
約ｉ減少する。このため、検出感度が大幅に向上し、微
小点のラマンスペクトルを高感度に測定できる効果があ
る。
本発明に゛よれば、レーザ照射光強度とラマン散乱光集
光効率を向上させ、加えて迷光原因となるレーザ反射光
の分光器への入光を減少させることができるため、微小
点のラマンスペクトルを高感度に検出することを可能に
するレーザラマンマイクログローブ用レーザ光照射装置
を提供することができる。
光効率を向上させ、加えて迷光原因となるレーザ反射光
の分光器への入光を減少させることができるため、微小
点のラマンスペクトルを高感度に検出することを可能に
するレーザラマンマイクログローブ用レーザ光照射装置
を提供することができる。
図は、本発明のレーザラマンマイクロプローブ用レーザ
光照射装置の一実施例を示す説明図である。 １・・・面線偏光したレーザ光、２，２′・・・位相差
装置、３・・・紙面垂直方向に偏光したレーザ光、４゜
１１・・・集光レンズ、５・・・偏光キューブ型ビーム
スプリッタ、７・・・対物レンズ、８・・・試料、９・
・・ラマン散乱光、１０・・・紙面垂直方向に偏光した
レーザ光、１２・・・分光光度計の入射スリット。 代理人 弁理士 秋 本 正 実
光照射装置の一実施例を示す説明図である。 １・・・面線偏光したレーザ光、２，２′・・・位相差
装置、３・・・紙面垂直方向に偏光したレーザ光、４゜
１１・・・集光レンズ、５・・・偏光キューブ型ビーム
スプリッタ、７・・・対物レンズ、８・・・試料、９・
・・ラマン散乱光、１０・・・紙面垂直方向に偏光した
レーザ光、１２・・・分光光度計の入射スリット。 代理人 弁理士 秋 本 正 実
Claims (1)
- 直線偏光性含有す′るレーザ光を発振するレーザ光源と
、レーザ偏光面全回転させる位相差装置と、レーザ光を
試料に照射し試料から放射されるラマン散乱光を集光す
る顕微鏡と、ラマン散乱光を波長の違いにより分散させ
検出する分光光度計とからなるレーザラマンマイクロプ
ローブにおいて、上記位相差装置からのレーザ光を試料
の方向に９０゜折り曲けて試料に照射し、かつ試料から
放射されるラマン散乱光を透過させて上記分光光度計に
入射させる偏光キューブ型ビームスプリッタ全備えてい
ることを特徴とするレーザラマンマイクログローブ用レ
ーザ光照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9408183A JPS59220634A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | レ−ザラマンマイクロプロ−ブ用レ−ザ光照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9408183A JPS59220634A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | レ−ザラマンマイクロプロ−ブ用レ−ザ光照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59220634A true JPS59220634A (ja) | 1984-12-12 |
Family
ID=14100525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9408183A Pending JPS59220634A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | レ−ザラマンマイクロプロ−ブ用レ−ザ光照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59220634A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7326876B2 (en) * | 2003-06-30 | 2008-02-05 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Sequential lateral solidification device |
-
1983
- 1983-05-30 JP JP9408183A patent/JPS59220634A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7326876B2 (en) * | 2003-06-30 | 2008-02-05 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Sequential lateral solidification device |
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