JPS5963537A - 圧電センサ - Google Patents
圧電センサInfo
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- JPS5963537A JPS5963537A JP57173250A JP17325082A JPS5963537A JP S5963537 A JPS5963537 A JP S5963537A JP 57173250 A JP57173250 A JP 57173250A JP 17325082 A JP17325082 A JP 17325082A JP S5963537 A JPS5963537 A JP S5963537A
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- piezoelectric
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/20—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
- G01F1/32—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow using swirl flowmeters
- G01F1/325—Means for detecting quantities used as proxy variables for swirl
- G01F1/3259—Means for detecting quantities used as proxy variables for swirl for detecting fluid pressure oscillations
- G01F1/3266—Means for detecting quantities used as proxy variables for swirl for detecting fluid pressure oscillations by sensing mechanical vibrations
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
- H10N30/302—Sensors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は圧電センサに関する。
導電性の電極間に圧電素子を挾み、外力によって圧電素
子が応力変形するときに生じる電圧に基づい゛Ｃ上記外
力を検知する圧電センサは公知である。
子が応力変形するときに生じる電圧に基づい゛Ｃ上記外
力を検知する圧電センサは公知である。
而して、上記の如き圧電センサが裸のま−で使用される
ことは少なく、通常は、外力を受けて変形する検知部材
の内部にガラス等の封着材を介して埋設され、上記検知
部材と一体的に変形するようにし゛ご用いられる。然し
なから、上記封着材としてのガラス等は、高温になるに
つれその体積抵抗が低下−Ｊる傾向があり、そのため圧
電素子を挾む両電極間の抵抗値が低くなって出力が低下
し、測定精度も低下する。
ことは少なく、通常は、外力を受けて変形する検知部材
の内部にガラス等の封着材を介して埋設され、上記検知
部材と一体的に変形するようにし゛ご用いられる。然し
なから、上記封着材としてのガラス等は、高温になるに
つれその体積抵抗が低下−Ｊる傾向があり、そのため圧
電素子を挾む両電極間の抵抗値が低くなって出力が低下
し、測定精度も低下する。
本発明は、斜上の問題点を解決するためなされたもので
あり、その要旨とするところは、圧電センザの側面上に
露出した上記圧電素子の端面と、これに隣接する電極端
面の所望の幅の領域とを、ｌ！￥ｉ絶縁性材′！Ｉ４で
被覆することにある。このようにすると、圧電素子を挾
む両電極間は高抵抗□に保たれ、従って、温度変化に伴
う封着材の抵抗変化に影響されるこ七なく正確な測定が
なされるものである。
あり、その要旨とするところは、圧電センザの側面上に
露出した上記圧電素子の端面と、これに隣接する電極端
面の所望の幅の領域とを、ｌ！￥ｉ絶縁性材′！Ｉ４で
被覆することにある。このようにすると、圧電素子を挾
む両電極間は高抵抗□に保たれ、従って、温度変化に伴
う封着材の抵抗変化に影響されるこ七なく正確な測定が
なされるものである。
以下、図面により本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明に係る圧電センサの−・実施例において
高検か）性材料による被覆を施ず前の状セを示ず斜視図
、第２図は第１図中ｌｌ−１１面に沿った断面図、第３
図は第１図中■−■面に沿った断面図、第４図は第１図
に示す圧電センサに高絶縁性オイ料による被覆を施した
本発明に係る圧電センサの一実施例を示すｆ１１間、第
５図は第１図中Ｖ−■面に沿った断面図、第６回は第１
図中■−■面に沿った断面図、第７図は本発明に係る圧
電センサを渦流量針に使用した状態を示す断面図、第８
図は第７図に示す渦流量計に用いられた圧大量調整用間
座の一実施例を示す平面図、第９図は木兄センタのその
他の−・実施例を示す断面図である。
高検か）性材料による被覆を施ず前の状セを示ず斜視図
、第２図は第１図中ｌｌ−１１面に沿った断面図、第３
図は第１図中■−■面に沿った断面図、第４図は第１図
に示す圧電センサに高絶縁性オイ料による被覆を施した
本発明に係る圧電センサの一実施例を示すｆ１１間、第
５図は第１図中Ｖ−■面に沿った断面図、第６回は第１
図中■−■面に沿った断面図、第７図は本発明に係る圧
電センサを渦流量針に使用した状態を示す断面図、第８
図は第７図に示す渦流量計に用いられた圧大量調整用間
座の一実施例を示す平面図、第９図は木兄センタのその
他の−・実施例を示す断面図である。
而して、第１図ないし第６図中、■はステンレス（ＪＩ
Ｓ ５ＵＳ３１６）若しくはニッケル笠の金属で作製さ
れた中心電極、２及び３は中心電極１の両側面に互いに
対向して接合された圧電素子１．４及び５は圧電素子２
及び３のもう一方の側面に中心電極１とそれぞれ対向す
るよ・）接合されたステンレス（ＪＩＳ ５ＵＳ３１Ｇ
）若しくはニッケル等の金属Ｔｉ極、６は金属電極４及
び５に形成された出力取出し口４′及び５′の間に掛は
渡して接合された電極棒取付金具、７及び８はそれぞれ
中心電極１及び電極枠取イき１金ｉＪ、６に固着された
出力取出し用のステンレス（ＪＩＳ ５ＵＳ３１６）若
しくは封着合金等から成る電極棒である。
Ｓ ５ＵＳ３１６）若しくはニッケル笠の金属で作製さ
れた中心電極、２及び３は中心電極１の両側面に互いに
対向して接合された圧電素子１．４及び５は圧電素子２
及び３のもう一方の側面に中心電極１とそれぞれ対向す
るよ・）接合されたステンレス（ＪＩＳ ５ＵＳ３１Ｇ
）若しくはニッケル等の金属Ｔｉ極、６は金属電極４及
び５に形成された出力取出し口４′及び５′の間に掛は
渡して接合された電極棒取付金具、７及び８はそれぞれ
中心電極１及び電極枠取イき１金ｉＪ、６に固着された
出力取出し用のステンレス（ＪＩＳ ５ＵＳ３１６）若
しくは封着合金等から成る電極棒である。
つ、この圧電センサに例えば第２図中矢符で示す方向へ
圧電センサを撓めるような外力が加わると、圧電素子２
及び３が湾曲変形し、中心電極１と金属型＠４との間、
及び中心ｉ′１極１と金属電極５との間に電圧が生じる
。電極４と電極５とは電極棒取付金具６により接続され
、中心電極１は圧電素子２及び３の双方の電極を兼ねる
と共に、圧電素子２及び３の極性が週明に配置されるご
とにより、電極棒７と８の間には圧電素子２または３が
１枚だけの場合に比べて２倍の電圧が得られるようにな
、っている。、 而して、このような圧電センサは、前記の如くその表面
全体が封着材でおおわれて所望の検知部材内に固着収納
されるものであるから、当該封着材の抵抗値が充分でな
い場合には、中心電極１の表面と金属電極４０表面との
間、及び中心電極１の表面と金属電極５の表面との間の
封着材を通じて電流が漏洩し、電極棒７及び８間の出力
が低下してしまう。
圧電センサを撓めるような外力が加わると、圧電素子２
及び３が湾曲変形し、中心電極１と金属型＠４との間、
及び中心ｉ′１極１と金属電極５との間に電圧が生じる
。電極４と電極５とは電極棒取付金具６により接続され
、中心電極１は圧電素子２及び３の双方の電極を兼ねる
と共に、圧電素子２及び３の極性が週明に配置されるご
とにより、電極棒７と８の間には圧電素子２または３が
１枚だけの場合に比べて２倍の電圧が得られるようにな
、っている。、 而して、このような圧電センサは、前記の如くその表面
全体が封着材でおおわれて所望の検知部材内に固着収納
されるものであるから、当該封着材の抵抗値が充分でな
い場合には、中心電極１の表面と金属電極４０表面との
間、及び中心電極１の表面と金属電極５の表面との間の
封着材を通じて電流が漏洩し、電極棒７及び８間の出力
が低下してしまう。
そこで、本発明に係る圧電センーリ・においては、第４
図ないし第６図に示す如く、圧電センサの側面上に露出
した上記圧電素子２及び３の端面と、これに隣接する電
極１，４及び５の端面の所望の幅の領域とを、高絶縁性
材料９及び１０によりそれぞれ！４Ｌ復するものである
。即ち、圧電素子２の端面と中心電極１及び電極４の圧
電素子２に隣接する領域とを高絶縁性材料９によって、
また、圧電素子３の端面と中心型ｍｌ及び電極５の圧電
素子３に隣接する領域とを高絶縁性材料１ｏによって、
それぞれ帯状にマスキングするものである。高絶縁性材
料の一例としては、セラミックス系のコーティング剤が
望ましい。このようにすると、圧電センサ全体を覆う封
着材の抵抗値が高嵩により低下しても、この封着材を通
して電極表面間で電流が漏洩することがなく、高感度且
つ高精度の測定が可能とダるものである。
図ないし第６図に示す如く、圧電センサの側面上に露出
した上記圧電素子２及び３の端面と、これに隣接する電
極１，４及び５の端面の所望の幅の領域とを、高絶縁性
材料９及び１０によりそれぞれ！４Ｌ復するものである
。即ち、圧電素子２の端面と中心電極１及び電極４の圧
電素子２に隣接する領域とを高絶縁性材料９によって、
また、圧電素子３の端面と中心型ｍｌ及び電極５の圧電
素子３に隣接する領域とを高絶縁性材料１ｏによって、
それぞれ帯状にマスキングするものである。高絶縁性材
料の一例としては、セラミックス系のコーティング剤が
望ましい。このようにすると、圧電センサ全体を覆う封
着材の抵抗値が高嵩により低下しても、この封着材を通
して電極表面間で電流が漏洩することがなく、高感度且
つ高精度の測定が可能とダるものである。
なお、第４図ないし第６図に示す実茄例は、最小限の被
ｆｆ１ｆｌＮ域を示すものであり、圧電センサの表面を
これ以上にＩ！！！覆することは一向に差支えない。即
ち、圧電センサの表面全体を高絶縁性材料で被覆しても
よく、そのようにすれば圧電センサと検知部材との間の
玲縁抵抗が向上する。
ｆｆ１ｆｌＮ域を示すものであり、圧電センサの表面を
これ以上にＩ！！！覆することは一向に差支えない。即
ち、圧電センサの表面全体を高絶縁性材料で被覆しても
よく、そのようにすれば圧電センサと検知部材との間の
玲縁抵抗が向上する。
而して、電極４及び５から出力を取り出すために、従来
は、電極４及び５の側面若しくは端面にリード線を金ペ
ースト等で熱溶着していたが、その場合、リード線が切
れ昌い詐りでなく、熱溶着の際に圧電センサとリード綿
をサポートする治具の構成が複雑となる等の難点があっ
た。これを改善するため、本発明においては板状の電極
４及び５の一部を突出させ′ζ電極と−・（イ・的に板
状の出力取出し口４）及び５′を形成しである。出力取
出し口４′及び５′の間に電極枠取（＝Ｊ金具６が固着
され、これに電極棒８が取り付勢」られる。このように
すると、出力取出し口が切れることが７５＜、電極棒取
付金具６の熱７８看も容易となり、更ζこζよ、圧電セ
ンサ全体を封着する陣に用いるプリフＡ−ムガラスの形
状も簡単になる等々のメリノ１が得られる。
は、電極４及び５の側面若しくは端面にリード線を金ペ
ースト等で熱溶着していたが、その場合、リード線が切
れ昌い詐りでなく、熱溶着の際に圧電センサとリード綿
をサポートする治具の構成が複雑となる等の難点があっ
た。これを改善するため、本発明においては板状の電極
４及び５の一部を突出させ′ζ電極と−・（イ・的に板
状の出力取出し口４）及び５′を形成しである。出力取
出し口４′及び５′の間に電極枠取（＝Ｊ金具６が固着
され、これに電極棒８が取り付勢」られる。このように
すると、出力取出し口が切れることが７５＜、電極棒取
付金具６の熱７８看も容易となり、更ζこζよ、圧電セ
ンサ全体を封着する陣に用いるプリフＡ−ムガラスの形
状も簡単になる等々のメリノ１が得られる。
次に、本発明に係る圧電センサの使用例を、渦流量計を
例にとって説明する。
例にとって説明する。
被測定流体が流れる管路内に渦発生体°（ブラノフボデ
ィ）を設け、そのＦ流にカルマン渦列が生じる際に引き
起される上記渦発生体の振動数から流量を測定する渦流
量計は公知である。この渦発生体の振動数を検知するた
めのセンサとして不発明に係る圧電センづを利用するこ
とができる。
ィ）を設け、そのＦ流にカルマン渦列が生じる際に引き
起される上記渦発生体の振動数から流量を測定する渦流
量計は公知である。この渦発生体の振動数を検知するた
めのセンサとして不発明に係る圧電センづを利用するこ
とができる。
ｆｆ１７図は、そのよ・）な渦流量計の一実施例を示し
ており、同図中、１１はその内部を被測定流体が流れる
管路、１２はネジ１３．１３によって上記管路１１の管
壁に取り付けられその主体部が管路内に伸びる例えば三
角柱等の棒状の渦発生体（ブラノフボディ）、１４は上
記渦発生体１２の内腔１２′内に挿入され、その外端の
フランジ部１４′がネジ１５．１５により渦発生体１２
の外端フランジ部１２Ｎ′に固定されると共にその先端
部１４“が渦発生体の内腔底部の圧入量１２″内に圧入
されたカセットセンサ（検知部材）、１６はカセットセ
ンサ１４の内部？こガラス等の封肴材１７によって固設
された例えば第４図に示す如き本発明に係る圧電センサ
、１８はカセットセンサのフランジ部１４′を渦発生体
のフランジ部１２Ｍに固定する際両者間に介在せしめら
れるカム・ノドセンサ圧入ｉｓ整用間座である。
ており、同図中、１１はその内部を被測定流体が流れる
管路、１２はネジ１３．１３によって上記管路１１の管
壁に取り付けられその主体部が管路内に伸びる例えば三
角柱等の棒状の渦発生体（ブラノフボディ）、１４は上
記渦発生体１２の内腔１２′内に挿入され、その外端の
フランジ部１４′がネジ１５．１５により渦発生体１２
の外端フランジ部１２Ｎ′に固定されると共にその先端
部１４“が渦発生体の内腔底部の圧入量１２″内に圧入
されたカセットセンサ（検知部材）、１６はカセットセ
ンサ１４の内部？こガラス等の封肴材１７によって固設
された例えば第４図に示す如き本発明に係る圧電センサ
、１８はカセットセンサのフランジ部１４′を渦発生体
のフランジ部１２Ｍに固定する際両者間に介在せしめら
れるカム・ノドセンサ圧入ｉｓ整用間座である。
而して、管路１１内を流れる流体の流れによって渦発生
体Ｉ２の下流域には左右交互にカルマン渦列が発生し、
これに伴って渦発す休１２が流れと略直角の方向Ｉ！１
１ち第７図中左右方向に振動する。然るときく３１、渦
発生体の内腔１２’中に挿入されたカセットヒソ→ノ１
４も葛の先☆ｔｒｓが圧入１１！： １２ ″′内に旺
め込ｔｉ１−こいるノ、〕め渦発生体１２と共に泥勅し
、力ｃノドレンチ内部に一体的に旧宅され；’Ｓ、 Ｌ
１ｇ電Ｑ７す１Ｇも上記振動に対しｔ＞ Ｌ−で変形し
、七の振動数か電圧変化としζに出されるものである。
体Ｉ２の下流域には左右交互にカルマン渦列が発生し、
これに伴って渦発す休１２が流れと略直角の方向Ｉ！１
１ち第７図中左右方向に振動する。然るときく３１、渦
発生体の内腔１２’中に挿入されたカセットヒソ→ノ１
４も葛の先☆ｔｒｓが圧入１１！： １２ ″′内に旺
め込ｔｉ１−こいるノ、〕め渦発生体１２と共に泥勅し
、力ｃノドレンチ内部に一体的に旧宅され；’Ｓ、 Ｌ
１ｇ電Ｑ７す１Ｇも上記振動に対しｔ＞ Ｌ−で変形し
、七の振動数か電圧変化としζに出されるものである。
ｊｌ二人慴調整用間座１Ｂは、力士ット七ン′４Ｊ＋４
を交１ｇ１する場合等に、交換後のカセツトセンサの先
耀１１圧入部１４″か渦発４１体の圧入量１２“と良々
ｆに密着しくＵるよう＋−−を乙ために設りられている
。
を交１ｇ１する場合等に、交換後のカセツトセンサの先
耀１１圧入部１４″か渦発４１体の圧入量１２“と良々
ｆに密着しくＵるよう＋−−を乙ために設りられている
。
カセットセンサを交換する場る、交１灸後の７Ｊセツト
セン４ノの先端が交換前のものと同−位恒゛に圧入され
ると、接触が不良となり、出力（１ｊ Ｆ及びノーイス
発生の原因となる。反挨の際に力せノドセンサの先端圧
入部１４″のり）径の人さメ五も（也゛と順ジ、交換す
る。Ｌうにしてもよいが、そのために１」、部品官理及
び交換ｕ８１数の記Ｕ等が必要となり、ｉＤ唯であζ。
セン４ノの先端が交換前のものと同−位恒゛に圧入され
ると、接触が不良となり、出力（１ｊ Ｆ及びノーイス
発生の原因となる。反挨の際に力せノドセンサの先端圧
入部１４″のり）径の人さメ五も（也゛と順ジ、交換す
る。Ｌうにしてもよいが、そのために１」、部品官理及
び交換ｕ８１数の記Ｕ等が必要となり、ｉＤ唯であζ。
そこで、第７図にボず実施汐すの如く圧入量＠整用間座
１８を取り付けておくと、力＆ ７ ＋センサ交換時に
この間座を前より曹いイ）のと交換するように１れば、
ｊＪｌ′人量が前のとさｅｌすω：くなるので上記の如
き間に９が解消される。、第８ぼけこの圧入ｍ調整用間
座ｊ８の平面図であり、同図中１８’ｉＪ沼７図中のカ
セットセンサ１４が挿通さねる孔、１８“。
１８を取り付けておくと、力＆ ７ ＋センサ交換時に
この間座を前より曹いイ）のと交換するように１れば、
ｊＪｌ′人量が前のとさｅｌすω：くなるので上記の如
き間に９が解消される。、第８ぼけこの圧入ｍ調整用間
座ｊ８の平面図であり、同図中１８’ｉＪ沼７図中のカ
セットセンサ１４が挿通さねる孔、１８“。
１８“はネジ＋５１５が挿通される孔である。
第９図は、カセットセンサ１４の先端圧入部１４“を渦
発生体１２の圧入量１２“に圧入し易くするために、カ
ムノドセンサ１４の先端圧入部１４″に割り溝１４′を
形成した実施例を示している。カセットセンサの先端圧
入部Ｉ４“の外径は圧入量１２“に適度の圧着力をもっ
て嵌合されるよう極めて厳密に設定されなりれはならず
そのため高精度の加工がｌ・要とさねるが、第９図に示
す如く割り溝１４１１’を形成しておけば、圧入部Ｉ４
／／の外径を圧入量１２“の内径よりも幾分大きめにし
ておいても圧入時に圧入部１４／／が内側に湾曲するの
で、圧入が容易となり、圧入部１４／／の夕（径を＃密
な積度で加工する必要がなくなる。割り溝１４′’の方
向は特定するセ・要はない。なお、Ｍ７図に示したよう
な圧大量調整用間座を使用した流量針に、第９図に示し
たような割り溝を有するカセットセンサを用いることは
勿論自由である。
発生体１２の圧入量１２“に圧入し易くするために、カ
ムノドセンサ１４の先端圧入部１４″に割り溝１４′を
形成した実施例を示している。カセットセンサの先端圧
入部Ｉ４“の外径は圧入量１２“に適度の圧着力をもっ
て嵌合されるよう極めて厳密に設定されなりれはならず
そのため高精度の加工がｌ・要とさねるが、第９図に示
す如く割り溝１４１１’を形成しておけば、圧入部Ｉ４
／／の外径を圧入量１２“の内径よりも幾分大きめにし
ておいても圧入時に圧入部１４／／が内側に湾曲するの
で、圧入が容易となり、圧入部１４／／の夕（径を＃密
な積度で加工する必要がなくなる。割り溝１４′’の方
向は特定するセ・要はない。なお、Ｍ７図に示したよう
な圧大量調整用間座を使用した流量針に、第９図に示し
たような割り溝を有するカセットセンサを用いることは
勿論自由である。
而して、第７図に示す如く、ｍ霜センサ１６をカセット
センサ１２内にガラス等の封着材１７によって封着して
用いるとき、本発明圧電センサにおいては第４図ないし
第６図に示す如くその圧電素子端たものにも）幅用可能
”ρあり センサの外形も：中形のものに限らず円！ん
状のものでもよく、従、て本発明はそれらＩべての変更
実施例を包摂するものである。
センサ１２内にガラス等の封着材１７によって封着して
用いるとき、本発明圧電センサにおいては第４図ないし
第６図に示す如くその圧電素子端たものにも）幅用可能
”ρあり センサの外形も：中形のものに限らず円！ん
状のものでもよく、従、て本発明はそれらＩべての変更
実施例を包摂するものである。
第１図は本発明に係る圧電センサの−′ｊ′、於；例に
１１いてハＩ絶縁廿材料による被覆を旌１′前の状態を
第：３図 第 ７ ［ツ１
１１いてハＩ絶縁廿材料による被覆を旌１′前の状態を
第：３図 第 ７ ［ツ１
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）導電性の電極間に圧電素子を接合して成る圧電セン
サにおいて、圧電センサの側面上に露出した上記圧電素
子の端面と、これに隣接する電極端面の所望の幅の領域
とを、高絶縁性材料で被覆したことを特徴とする圧電セ
ンサ。 ２）上記高絶縁性材料がセラミックス系のものである特
許請求の範囲第１項記載の圧電センサ。 ３）上記高絶縁性材料による被覆が上記圧電素子の端面
に沿って所定の幅だけ帯状に施された特許請求の範囲第
１項または第２項のうちいずれか１に記載の圧電センサ
。 ４）上記高絶縁性の被覆が圧電センサの表面全体に施さ
れた特許請求の範囲第１項または第２項のうちいずれか
１に記載の圧電センサ。 ５）上記電極が板状の部材から成り、上記電極からの出
力取出し口が上記板状の部材の一部を突出させて電極と
一体的に板状に形成されたことを特徴とする特許請求の
範囲第１項ないし第４項のうちいずれか１に記載の圧電
センサ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57173250A JPS5963537A (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 圧電センサ |
| US06/534,915 US4511819A (en) | 1982-10-04 | 1983-09-22 | Electrode connections for a piezoelectric sensor |
| KR1019830004528A KR890000690B1 (ko) | 1982-10-04 | 1983-09-27 | 압전 센서(sensor) |
| CA000437654A CA1200117A (en) | 1982-10-04 | 1983-09-27 | Piezoelectric sensor |
| EP83109771A EP0105483B1 (en) | 1982-10-04 | 1983-09-29 | Piezoelectric sensor |
| DE8383109771T DE3373384D1 (en) | 1982-10-04 | 1983-09-29 | Piezoelectric sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57173250A JPS5963537A (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 圧電センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5963537A true JPS5963537A (ja) | 1984-04-11 |
| JPH0225446B2 JPH0225446B2 (ja) | 1990-06-04 |
Family
ID=15956945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57173250A Granted JPS5963537A (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 圧電センサ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4511819A (ja) |
| EP (1) | EP0105483B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5963537A (ja) |
| KR (1) | KR890000690B1 (ja) |
| CA (1) | CA1200117A (ja) |
| DE (1) | DE3373384D1 (ja) |
Families Citing this family (3)
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|---|---|---|---|---|
| KR100850644B1 (ko) * | 2007-07-03 | 2008-08-07 | 한국과학기술연구원 | 압전액츄에이터를 이용한 파일롯밸브 |
| CN106441665A (zh) * | 2016-09-26 | 2017-02-22 | 郑州航空工业管理学院 | 基于压电石英晶片弯曲效应的弯矩测量方法及传感器 |
| EP3844461B1 (en) * | 2018-08-30 | 2023-07-19 | Micro Motion, Inc. | Non-invasive sensor for vortex flowmeter |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4996257A (ja) * | 1972-12-19 | 1974-09-12 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2289954A (en) * | 1942-01-08 | 1942-07-14 | Brush Dev Co | Leakage reducing means |
| US2483677A (en) * | 1946-06-24 | 1949-10-04 | Brush Dev Co | Moistureproof piezoelectric crystal and method of making same |
| US2558563A (en) * | 1948-10-29 | 1951-06-26 | Gen Electric | Piezoelectric strain gauge |
| FR1098774A (fr) * | 1953-02-12 | 1955-08-22 | Philips Nv | élément piézo-électrique |
| GB739632A (en) * | 1953-02-12 | 1955-11-02 | Philips Electrical Ind Ltd | Improvements in or relating to piezo-electric elements |
| US3054982A (en) * | 1959-02-16 | 1962-09-18 | Robert J Kieser | Hydrostatic pressure transducer |
| US3031591A (en) * | 1959-05-27 | 1962-04-24 | Gen Electric | Pressure measuring gage |
| US3509389A (en) * | 1969-03-05 | 1970-04-28 | Us Army | Piezo-electric crystal construction |
| US3821747A (en) * | 1973-04-23 | 1974-06-28 | Atomic Energy Commission | Recording system having piezoelectric stylus drive means |
| US4093883A (en) * | 1975-06-23 | 1978-06-06 | Yujiro Yamamoto | Piezoelectric multimorph switches |
-
1982
- 1982-10-04 JP JP57173250A patent/JPS5963537A/ja active Granted
-
1983
- 1983-09-22 US US06/534,915 patent/US4511819A/en not_active Expired - Lifetime
- 1983-09-27 CA CA000437654A patent/CA1200117A/en not_active Expired
- 1983-09-27 KR KR1019830004528A patent/KR890000690B1/ko not_active Expired
- 1983-09-29 DE DE8383109771T patent/DE3373384D1/de not_active Expired
- 1983-09-29 EP EP83109771A patent/EP0105483B1/en not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4996257A (ja) * | 1972-12-19 | 1974-09-12 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0105483A2 (en) | 1984-04-18 |
| KR890000690B1 (ko) | 1989-03-24 |
| EP0105483A3 (en) | 1984-09-12 |
| CA1200117A (en) | 1986-02-04 |
| JPH0225446B2 (ja) | 1990-06-04 |
| EP0105483B1 (en) | 1987-09-02 |
| KR840006694A (ko) | 1984-12-01 |
| US4511819A (en) | 1985-04-16 |
| DE3373384D1 (en) | 1987-10-08 |
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