JPS5963501A - 位置検知装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の背景） （発明の分野） この発Ｆ！！Ｊｉｔニ一般的に、測定及び計％ｊシステ
ムで使われる位置検知装置に関する。特にこの発明は、
接触式検知プローブを用いた機械的な位置復帰装置に関
するものである。

（従来技術の説明） 自動化工作システムや座標測定システムでは、工作部品
の表面を正確り位置決めする手段が必要である。本発明
の関係した７つの測定方法では、標準プローブと測定す
べき表面との機械的接触を検知し、その標準プローブの
接触時における工作台又ｈマシンスピンドルのＸ＋　ｙ
ｏＺ軸上の位ｔが求められている。この方法の精度は、
外部の接Ｍ力ｉ１グローブに加わっていないときに必ず
検知装置がグローブを所定の静止位置へ正確に復帰させ
られるかどうか、その装置の能力に依存している。又、
接触力はあらゆる方向にプローブ全変位させるから、復
帰又は再位置復帰装置は測定表面どの接触で生じた前回
のプローブ変位の方向と無関係に、正伴且つ反復的に静
止位置の゛状態へ戻るよう動作しなければならない。

プローブの正しい静止位置を反復的に得ようと試みた従
来の方法は、アメリカ特許第ｑ０，２り０９２７５号（
マツクマートリー）、第’１．　／３３．９９ｇ号（マ
ツクマートリー）及び第ｔ、コ’）９，０８０号（ナカ
ヤ）に開示されている、これらはいずれも１．複数の位
置決め手段又は入れ子によって限定されたテロープ位置
を与えており、可動グローブあるいはプローブハウジン
グの固定枠重点のいずれか一方に形成された一対の収束
面を有し、これらの収束面が可動プローブあるいは固定
標準点の他方に形成された一つの曲面と係合する。

プローブ金正確に位置復帰させるという目的を達成する
た返の別の従来法は、相互に複雑に接続されたリードヌ
プリング（板Ｉ（ネ）を利用して伝る。この種の方法は
、例えばアメリカ特許第３、　ｇｌ、９．７９９号（ニ
アー他）、第ｑ、θｇダ、３２３号（マツクマートリ〜
）及び第ダ、　ｙ８ｇ、　ｑｉｑ号（マツクマートリー
）に見られる。

こうし几従来法にもかかわらず、自動化測定の分野では
、楕迄的に簡単で、頑丈で、経済的で、正確に反復する
ばか９でなく、各種の１気的又は電気光学的な接点良知
表示＠月発生回路に適用できる接触プローブ型機械的位
置決め装置の必要が長い間望まれ続けてきた。

（発明の要旨） 従つ工この発明の主な目的は、接触テローブ組体全含む
改良された機械的プローブ位置復帰装置によって、上記
の要望１に満た事ことにある９、本発明の接触プローブ
は、ノ・ウソングから突き出几探針部を備えている、ノ
・ウジングの内部空所では、探針が従動体つまりビピッ
トプレートに結合され、このｖＥａ体がり′−トスゾリ
ン゛グ等実質上平板から成る弾性部材の片側に結合され
る。弾性部利の他側は、従動体の運動に対して静止した
標準面に結合される。従動体と標準面の間に少くとも３
個ｄ接点が配置され、従動体と標準面との間で安定した
静止位置接触を与える３、そいて、平板状の弾性部材が
従動体の運動として現われる横断方向及び軸方向に沿っ
てプローブに加わる接触力に応じてたわみ、接触力がな
くなったときは少くとも３個の接点によって限定される
静止位置へ正確にプロ／−ブ全反復復帰させるように構
成される。

（詳細な説明） 本発明のその他の目的及び特徴は、以下の図面を然照り
、た好適実施例の詳細な説明から明らかになるであろう
。同量−の装置又は部品は、その装置と部品を表わり、
た全ての図面中門−の参照番号で表わしである。

本発明の第１実施例を示した第１〜Ｓ図（おいて、接触
プローブ組体１００は、プローブノ・ウジ゛′グ１１０
の前面壁１１１に設けた開口を通って延びる探針１４０
を有する。開口部中の探針１４０は、シール用の夕゛イ
アフラムスリーブ１５０で取り囲まれている。ハウジン
グ１１Ｇはさらに、取付プレート１８０から成る背面壁
を有する。）−ウジング１１ｆ）は前面壁１１１と取付
プレート１８０の間でほぼ円筒形状を成し、その内部に
後述する探針偏差従動復帰装置全量は入れる空所１９０
を形成している。３本の取イ＝ｊ’　ｙｌ”ルｌ−１１
２，１１５，，１１６（第、２図に３本々も示す）が、
ハウジング１１０のほぼカップ状部分を取付プレート１
８Ｇに固定ｌ−ている。

プ′ローブハウジング１１０は取付ネジ１１３．１１４
（第１図）と数句パー゛ル１２０２・、２０４（第、２
図）を介しほぼ円部形状の中空ハウジング１２０に結合
され、この中空かウジ二／グの中にはゾローブハウシツ
ング１１０に収納される機械装置と連動して動作する検
知回路が入れられる。検知回路の７例は、７９ｇ７年を
月３０日に出願され、現在審査中で、本出願人に譲渡さ
れたアメリカ特許願第２５９．。２．タフ号に記載しで
ある。本発明では、この回路の詳細を理解する必要はな
いので、説明は繰り返さない。中空ハウジンク１２０内
に収納された検知回Ｐ３は、取付プレート１８０に隣接
して位置させた０−ＩＪソング７０で外部からの汚染に
対しシー、ルされる。

取付プレート１８０と反対側の検却回路用ハウノング１
２０の一白には、工作機械工偵規格のチー・ヤ−や駆動
キー受入れ用の溝付クラ／シフ１３１等を含むアダプタ
一部１３０が固楚され、このアダプター１３０は工作機
械のスピンドル又は工具取扱用タレットの対応ソケット
ｌ受は入れるのに適した形状を有する。゛アダシター１
３０は一般に、ネジ切り１／セプタクル１３１（１１−
介し丁ダシター１３０と噛み合う・引張バー　（図示せ
ず）ｔＣよって上記ソケット内・・引き込まれる。不発
明の構成要件ではないが、ＮＣ制御の下で切削工具が自
動的に選択され、所定の径路内を駆動きれるのと同じよ
うに、ＮＣ工作センターで接触ゾローグ装置を容易に使
えることを示すための一例とし１アダプター　１３０を
図示［また。接触！ロー・ブ組′体１００は、その他％
種環境での使用に−した形状とすることができ　例え−
ばロボット用のマニピ、ユレータに取付けてもよい。

次に第ユ、３及び５図を参照して、探針偏差従動復帰模
構装置について説明する。探針１４０ｒｉ接触先端１４
１から前面壁１１１の開口とスリーブ１５０を進抄、フ
ランジ部１４０Ａとネジ切り突出部１４２から成る接続
端へと延びている。突山部１４２は孔１４２Ａと保持ナ
ツト１４３￥ｆ−介して探針従動部つまυビ？ットプレ
ート５３０に結合され、このビゴットプレート５３０が
探針先端１４１に加わる接触力に応じて移動する。

はぼ３角荊を成すプレート５３０の３隅には、球状の接
点５４１．．５４６．５４８がそれぞれの軸部（例えば
第５図中の５４２）を介しプレート５３０へ結合され、
谷軸部はグレート５３０の対応孔５４２Ａ（！：唱壬子
ボスト５５０孔を通り接触保持ナツト５４３と係合して
いる。又接点５４１と５４６の間のプレート５３０には
、はぼ平板状の弾性部利例冬ばリードスプリング（板〕
（ネ）５２００片面が結合されている。リードスプリン
グ５２０とプレート５３０間の接続は３本の保持ネジ５
２３によって成され、各ネジ５２３は第１リードヌグリ
ング保持具５２２の対応穴５２３　Ａ。

リードスプリング５２０の対応穴５２３Ｂ及びグレート
５３０のネジ噛合孔５２３Ｃを通っている。

リードスプリング５２０ｉ１：’、探針１４０が貫通す
るようにハウジング前面壁１１１の開口とほぼ軸合せさ
れた第１の孔５２６を有する。リードスプリング５２０
はさらに孔５２７を有（７、ここから球状接点５４８が
突き出ている。リードスプリング５２０の他面は、ハウ
ジング前面壁１１１に固定されるかあるいはその一部を
成すペースプレー　）　５１’　０に結合される。ペー
スシレー）　５　ＬＯの役割は接点５４１，５４６．５
４８の標準面を与えるととにあり、この標準面はハウジ
ングに対し静止している。ペースプレ、＋　ト５１０も
、探針が貫通ずるようにハウ・ソング前面壁１１１の開
口と軸合せされた孔５１１を有する。

リードスプリング５２０１１２本のネジ５２５でペース
プレート５１０へ結合され、各ネジ５２５は第、２リー
ドスプリング保持具５２４の対応穴５２５、Ａ％　　リ
ードスプリング５２０の対応孔５２５Ｂ及びペースプレ
ート５１０のネジ噛合い孔５２５０を通っている。第コ
リートスプリング保持具５２４は、リードスプリング５
２０の孔５２７から突き出た接点５４８の一部が静止位
置でペースプレート５１０の標準面と当接するように形
成された切込み部を有する。

ピボットプレート、標準面、これに当接する球状接点及
びリードスプリングが上記のように構成されているため
、探針１４０はその先端１４１に接触力が加わっていな
い場合、リードスプリング５２０の作用で標準面と当接
する３個の接点によって繰返し正確に静止位置へと復帰
する。プローブカをいっそう高めると同時に、探針のは
ね返りつまり見かけのガタッキを防ぐため、コイル状の
偏倚スプリング１６０はピボットプレート５３０に形成
された適当な環状溝５３２と係合する一端と、取付プレ
ート１８０に形成された対応溝と係合する他端を有する
。従ってスプリング１６０は探針１４０の縦方向軸と平
行な偏倚力を与え、グレート５３０とペースプレート５
１０が接点５４１゜５４６．５４８を介して静止位置に
保たれるようにしている。スプリング１．６，０の役割
はリード７プリング５２０の強度を適切゛に選択するこ
とで果ずと一二＋シてきるが、この強度は極めて制限さ
れた探夕１の過ｆ’］移動を接触プローブ装置で吸収で
きるものでなけれ１・よいけない。

当業者にとっては明らかなように　ピボットプレート５
３０とペースプレーｈ１１０の間で３個の接点が静止位
置の状態にあるかどうかの検知は、さまざまな方法で行
える。例えば、ハウジング１２０内のダイオード加算回
路から延びたリード線？Ｉ一端子ボスｌ−５５０’ｔ−
介して並列に３個の接点５４１．５４６．５４８全てへ
配線し、検知回路からペースプレート５１０へ標準電位
を加えれば、″静止位置を表わすＷ、気信号を発生させ
ることができる。この場合には、３個の接点全てがペー
スプレート１１０と当接しているときのみ、接点５４１
゜５４６．５４８と並列に接続されたり−トゞ線上に真
の標準電位が現われる。一方、第を図に矢印４０１で示
したような接触力が探針の先端１４１Ｋ　７ＪＩｌ　ワ
ると、ピボットプレート５３０は探針の動きに従動し、
第７図中間ｌ！！４０２どして示したように接点５４１
を標準面５１０から離間させる。

そしてこの接点における交流インピーダンスが、第１図
のハウジング１２０内に収納された回路で高知の方法に
よシ検知される。

本発明の機械的構成に適用できるさらに別の検知方法と
しては、例えば接点とペースプレート１５０の標準面に
形成した電気絶縁接触領域から成る直列電気回路、各接
点と標準面の間での磁気的接近検知、各接点と標準面の
間での容量的接近検知、ペースプレート又はピボットプ
レートのひずみ検知、あるいは標準面に対するピボット
プレートの移動の光学的検知等が可能だが、これらに限
定されるものではない。直列接続式の接点を使った検知
回路の一例は、上記のアメリカ特許願第２３９、８７号
に示しである。直列回路法の場合、ビーＣットブＩ／−
ト５３０ｔ−非導体とするか、接点５４１．５４６．５
４８からグレート５３０を絶縁するため′の手段を設け
なければならないことは当業者にとって自明であろう。

この必要はあるが、検知回路と各接点の直列接続とをつ
なぐのが簡単となるため、直列回路検知法の方が一般に
望ましい。

本発明の原理に基いて構成され九接触プローブ装置の別
の実施例を第６．７図に示す。第６．７図に示すように
、この変形接触プローブは一体に分れた探針を有し　永
久固定された探針のペース部つ五り取付端部１゛０に連
結点１６Ａで接合される取外し可能な接点つ′ｔＩ７先
端部１６から成っている。この構成では、各種のサイズ
及び形状の先端を持った探針を、グロープノ・ウジング
本体２の外ｔ！ｌＶこ位置した連結点１６Ａで第り図の
接触プローブ装置へ用意に結合させることができる。

ハウジング本体２の前面壁には、シール用グイ・アフラ
ム９の外周を所定位置に保持するカバー留め具７がデル
ト止めされ、ダイアフラム９の内周はワッシャ８によっ
てダイアクラム８の内側面に保持され、５又探針取付端
部１０の７ラング部によってダイアクラムの外側面に保
持される。

ハウジング本体２の背面壁は取付グレート１から成シ、
この取付プレート１はコ個のナイロン製絶縁ワッシャの
うち一方５によって偏倚スゲリング６から電気的に絶縁
されている。他方のナイロン製絶総ワッシャ２０は、偏
倚スプリング６の他端をピ、３Ｆットプレート４から電
気的に絶縁する。

取付グレート１とハウジング本体２の間には、シール用
ガスケット１７が入れである。さらにノ・ウジングの背
面壁１には偏倚スプリング保持プレート１８が設けてあ
シ、この保持プレー′１１８はネジヘッド部１２で回転
される調整装置１９と協働して、偏倚スプリング６から
ピボットプレート４へ加わる力を可変とする。保持プレ
ート１Ｂは結紐ワッシャ５と一体状に図示しであるが、
別々に構成してもよい。

前述の実施例と同じく、第６．７図の接触プローブでも
探針の取付端部１０にピボットプレート４が結合され一
緒に移動する。し”かし第６．７図のグローブ装置では
前例と異シ、ノ・ウソング本体２と一体の面を固定標準
面として使い、ピボットプレートではなくこの固定面に
球状接点２１ｔｌ−備えている。各球状接点２１と対応
したピボットプレート４の位置には、接点２１と当接す
るほぼ平坦な面金力える耐摩耗・（ラド１３７５（＊＋
ｔけである。

／９ット１３と球状接点２１は、焼結タンク゛ステン炭
化物等耐摩耗性の高い素材で作るの力Ｘｔｊ子ましい。

球状接点と組合せて耐摩耗性の平坦面を使えば、ハウジ
ング内の空所に潤滑用流体を満たす必要カニ艶くなるば
かυか、これに伴って電気検知回路に問題を生ずる恐れ
も避けられることが見い出された。

リードスプリング（板］（ネ）３はその一端７５文第１
の保持具１１を介してピボットプレート４へ結合され、
他端が第２の保持具１５を介して一体の標準面に結合さ
れており、この標準面は探合１の軸にほぼ直角な方向に
、ノ・ウジ／グ本体２の前面壁に形成された探針只通口
の周囲へと延びている。

バネ接触式プローブ１４はノ１ウジング本体２と一体の
標準面と接する溝切端部を有する一方、取付７’Ｌ’−
ト１へと延び、ノ・ウジングの前１テ両面間の電気的接
続を確保している。

本発明の原理に従って構成した接触グローブの成品は、
接触力が探針から除かれ九時必ずいつでも探針がその静
止位置へ正確に復帰する点で、改善された反復性を示し
た。本発明による接触グローブの獣品／個は、最悪条件
の軸方向に沿ってコθ０万回繰返した結果、／２ミクロ
インチコシグマより優れ次反復復帰精度が得られた。こ
の性能向上は、平面プレートが３個の等しく離間した接
点上へ確実且つ正確に静止できることと、はｔ丁子板状
の弾性部材が平面プレートラ接点上の同じ反復位置へ位
置させられることによるものと考えられる。

以上本発明を、好適実施例を参照しながら説明した。こ
れらの実施例で示された個々の構成は説明の便宜上選ん
だもので、本発明の範囲を限定するものではない。本発
明の賛旨を逸脱することなく、当業者が上記以外の実施
例を考え出すことも勿論可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理に従って構成された接触グローブ
の一部断面を含む平面図； 第２図は第１図のスーユ線に沿った断面図；第３図は第
１図の３−３線に沿った断面図；第４図は第１図と同様
の部分断面図で、接触力により変位した位置にあるプロ
ーブを示す図；第Ｓ図は第１図に示した位置復帰装置の
分解斜視図； ｍ６図は別の実施例を示す断面図；及び第７図は第６゛
図の７−？線に沿った断面図である。 １・・取付プレート（背面壁）、 ２．１１０・ゾローブノ＼ウジング、 ３．５２０・・リードスプリング、 ４．５３０・・・ピボットプレート、 ５．２０・・絶糾ワッシャ、 ６．１６−０・・・偏倚ヌブ′リング、Ｔ・・・カバー
留め具、 ８・・ワッシャ、 ９・・・シール用ダイアフラム、 １０・・・探針取付ペース部、 １１．５２２・・・第１保持具、 １２・・・ネジヘッド部、 １３・・・パッドミ １４・・・バネ接触式プローブ、 １５．５２４・・・第、２保持具、 １６・・・探針先端部、 １６Ａ・・・連結点、 １７・・シール用ガスケット、 １８・・・保持プレート、 １９・・・調整装置、 ２１．５４１．５４６．５４８・・球状接点、１００・
・・接触フ０ローブ組体、 １１１・・・前面壁、 １１２．１１５．１１６．２０２．２０４・・・取付ボ
ルト、 １１３．１１４・・・取付ネジ、 １２０・・・中空ハウジング、 １３０・・・アダプター、 １３１・・・溝付フランジ、 １４０・・・探針、 １４０Ａ・・・フランジ部、 １４１・・・探針先端、 １４２・・・ネジ切シ突出部、 １４２Ａ・・・孔、 １４３・・−保持ナツト、 １５０・・・シール用ダイアスラムスリーブ、１７０・
・・０−リング、 １８０・・・取付デｌ／−）（背面壁）、１９０・・・
空所、 ４０２・・・間隙、 ５１０・・・ペースプレート、 ５１１・・・孔、 ５２３゛、５２５・・・ネジ、 ５２３Ａ−Ｃ，５２５Ａ−Ｃ・・対応穴、５２６・・・
第１の孔、 ５２７・・・孔、 ５３２・・・環状溝、 ５４２・・・接点軸部、 ５４２Ａ・・・対応孔、 ５４３・・・接触保持ナツト、 ５５０・・・端止ポスト。 Ｆｉｇ−７ 昭和　　年　　月　　日 １事件の表示　　昭和５８年特許願第１０５６２５号２
、発明の名称　　　位　置　検　知　装　置３、補正を
する者 事件との関係　　出願人 名称　　　ザ　ウ゛アレロン　コーポレーション４代理
人 ５、補正命令の日付　　昭和５８年９月２７日７、補正
の内容

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｌ　接触部と取付部を有する探針手段：核探釧手段の取
   付部に共に移動するように結合された従動手段； 該従動手段の移動に対して静止している標準面；それぞ
   れ表面の最外部が従動手段及び標準面のいずれか一方か
   ら突き出ている少くとも３個の接点手段；及び 該従動手段と標準面との間に位置し、探針手段の接触部
   が物体との接触によって移動されていないときは必ず突
   き出た接点手段面の最外部が従動手段及び標準面のいず
   れか他方の実質上平面を成す？「対向部と￥へ接するよ
   うに、第１点で従動手段へ結合され第２点で標準面へ結
   合された実質上平板状の弾性部材； から成る別の物体との接触を検知する装置。 λ、上記接点手・段の突出面が球状である特許請求の範
   囲第１項に記載の装置。 ３　実買上平面を成す各対向部が、耐摩耗性の焼結炭化
   物素材から勝る特許請求の範囲第１項に記載の装置。 ゛り　上記各球状面が標準面から突き出ている特許請求
   の範囲第２項に記載の装置。 左　上記各球状面が従動手段から突き出ている特許請求
   の範囲第２項に記載の装置。 ム　上記探針手段がさらに、接触部を有すると共に取外
   し可能に取付部へ連結され、容易に交換可能な探針を備
   えて成る特許請求の範囲第１項に記載の装置。 ７　上記探針手段が、接触部と取付部の間に延び且つ標
   準面に実質上垂直な縦方向軸含有し、上記接点手段が該
   軸を中心として等角度で離間している特許請求の範ｉ第
   ７項に記載の装置。 ＆　ハウジング； 該ハウシングに対して可動で、ノ・ウジング内に位置す
   る取付端から７１ウゾング前面壁の開ロ金通シハウジン
   グ外に位置する探針の接触端へ延びた探針； 該探１？１の取付端に共に移動するように結合されたビ
   ボットブル−ト； ハウジングに対して固定され、該ピボットプレートと直
   面する実質上平坦な標準面； 探針の縦方向軸を中心として等角度で離間し、それぞれ
   ピ°ボットブル−ｉ・及び標準面のいずれが一方から突
   き出た少くとも３個の英賃上球状の接点；及び ビホットブル−トと標準面との間に位置し、各球状接点
   がピボットプレート か他方の実質上平坦な各部と当接するように、第１端部
   でピボットグレートへ結合され第２端部で標準面へ結合
   された実質上平板を成すリードスプリング； から成る接触プローブ装置。 父　上記標準面が、探針の縦方向軸に対して実質上垂直
   方向に上記開口の周囲に延びたハウジングの一体部分か
   ら成る特許請求の範囲第３項に記載の接触プローブ装置
   。 ／θ上記の各球状接点が、耐摩耗性の焼結炭化物素材か
   ら成るピボットプレートの対応した平坦部分に対向した
   標準面から突き出ている特許請求の範囲第３項に記載の
   装置。 ／／１記ハ中ハウジング面壁と背面壁をつなぎ、内部に
   標準面、リードスフ０リング及びピボットグレートが配
   置される空所を内部に形成する実質上円筒形のハウジン
   グ周壁と、該空所に面した当接手段を含む背面壁と、ピ
   ボットグレートに第１端が保持され該当接手段に第２端
   が保持された探針偏倚スプリングとをさらに備えた特許
   請求の範囲第３項に記載の接触プローブ装置。 ／．２．上記ハウジングの背面壁を貫いて延び、上記当
   接手段と係合し、偏倚スプリングからピボットグレート
   へ加わる力を変える操作に応じて動作する調整手段をさ
   らに備えた特許請求の範囲第１１項に記載の接触プロー
   ゾ装置。 ／３．上記調整手段が、ハウジングの背面壁とネジ嵌合
   し、その回転に応じて当接手段をピボットグレートに対
   し接近、離反させることのできるネジから成る特許請求
   の範囲第１２項に記載の接触プローブ装置。 ／ｊ　上記探針が、その取付端から上記前面壁の開口を
   貫いて延びた永久固定部と、探針の接触端を含みハウジ
   ング外の位置で該永久固定部に取外せるように結合され
   た交換可能な先端部とから成る特許請求の範囲第３項に
   記載の接触グローブ装置。 ／．１　前面壁、８壁、背面壁で限定された内部空所を
   有し、前面壁に外表面から空所へ通じる開口を有する実
   質上円筒形のノ・ウジング： 該開口を取り囲むように窒所内に配置された実質上平坦
   な標準面； 第１の境界部で標準面へ結合され、上記開口と実質上回
   ａな貫通孔を有する実質上平板状のリードスプリング； 標準面とは反対側のＩＪ−１・’スプリング面でリード
   スプリングの第２境界部に結合され、３階が上記リード
   スプリング孔及び開口の共通縦方向軸から実質上等距離
   を隔てて配置され、３隅のうち一隅がリードスプリング
   と標準面の間の接続部の外側で標準面と対向し、残った
   第３の隅がリードスプリングに設けた開口を介して標準
   面と対向している実質上３角形のピボットプレート；そ
   れぞれが該ビ′ボッ）　ニア″Ｉ／　＝　）の各隅で、
   標準面及びピボットプレートのいずれか一力゛から突き
   出ている３個の実質上球形の接点；及び上記開口及びリ
   ードスプリング孔の軸と実質上等しい縦方向軸を有し、
   一端でピボットプレートに固定され、上記リードスプリ
   ング孔及び開ロ管通シハウジング外側の接触端まで延び
   た細長い探針；から成シ、 該探針の接触端が物体と接触していないときは必ず、リ
   ードスゲリングの作用でピボットプレートと標準面が球
   状接点を介し３点静止位置での相互当接全正確に繰返す
   、物体との接触を検知する装置。 ／ム　コイルの第１１Ｓがピボットプレートと係合した
   コイル状のバイアススプリングと、ビゝボットプレート
   と対向し且つ該コイルの第２備と係合したハウジング背
   面壁−ヒの当接面とをさらに備えた特許請求の範囲第１
   Ｓ項に記載の装置。 ／７　上記ハウジングの背面壁を貫いて延び、当接面と
   係合［−１その回転操作によってコイル状偏倚スブ′リ
   ングからビｙｌクツドブレートへ加わる力が可変となる
   ように動作するネジ７切り調整−ｒ＝段をさらに備えた
   特許請求の範囲第１４項に記載の装置。 ７ｇ第１及び第２部材のいずれか一方に作用する接触が
   存在しないとき、相対的に移動可能な第１及び第一部材
   を静止位置へ復帰させるλうな接触検知システムにおけ
   る機械的位置復・１争装置であって、 第１及び第一部材の間に位置し７、静止位置にあるとき
   第１及び第一部材の間で安定な接触を生じる形状を持っ
   た接点手段；及び 第１及び第２部材の間に位置し２、接触力が存在しない
   とき、ｔｓ／及び第一部材が接点手段によって限定され
   た静止位置方向へ正確に付勢されるように、片側で第１
   部材へ結合され他側で第２部材へ結合さｉまた実質上平
   板状の弾性位置決め手段；から成る装置。