JPS596024B2 - イオン源用電源装置 - Google Patents

イオン源用電源装置

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JPS596024B2
JPS596024B2 JP56092185A JP9218581A JPS596024B2 JP S596024 B2 JPS596024 B2 JP S596024B2 JP 56092185 A JP56092185 A JP 56092185A JP 9218581 A JP9218581 A JP 9218581A JP S596024 B2 JPS596024 B2 JP S596024B2
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JP
Japan
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power supply
cathode
ion source
voltage
power source
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JP56092185A
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English (en)
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JPS57208029A (en
Inventor
亨 菅原
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Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns
    • H01J27/08—Ion sources; Ion guns using arc discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/248—Components associated with high voltage supply

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)
  • Generation Of Surge Voltage And Current (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、直熱型線条陰極を有するイオン源の電源装置
に関する。
直熱型線条を陰極とするアーク放電によって源プラズマ
を生成する型式のイオン源では、アーク放電電流が線条
陰極に流入し、線条負電圧端子に向って流れろ。
この電流は線条を加熱するための電流と重畳するため線
条の負電圧端子に近い領域が局所的に過熱され、線条物
質の局所的蒸発を導き、線条寿命を制約する要因の一つ
となっている。
この発明の目的は、イオンビームの出射を短かい休止時
間を挾む連続パルス運転とし、ビームの休止時間内に、
線条端子間電圧を交替せしめ、ばつて線条物質の局所的
蒸発を低減し、線条寿命を延長するイオン源用電飾装置
を提供することにある。
この発明によるイオン源用電源装置は、通電により加熱
されｔこ線条を陰極として用いてアーク放電し、このア
ーク放電で生成した電離プラズマからイオンを引出し加
速してイオンを出射するイオン源用の電源装置において
、上記陰極に梯形波状交流電圧を印加し、この梯形波状
電圧の起上げ起下げの時間帯にアーク放電電流を限流し
、かつイオンビームの出射を停止せしめる回路を具備す
ることによって、一定時間のパルス・ビームを出射させ
た後、短かいビーム休止時間を設け、再び一定時間のパ
ルス・ビームを出射する連軟サイクル運転を行ない、こ
のサイクルに同期して、ビーム休止時間の間に陰極電源
の梯形波状電圧の起下げ起上げを完了せしめ、同時にア
ーク電流の限流と再起上げを行なうものである。
以下本発明の一実施例について詳細に説明する。
第１図は本発明装置を示す構成図で、イオン源１は直熱
線条陰極２、放電陽極３、ビーム形成電極４、加速電極
５および減速型、極６とで主に構成され、これらの電極
には放電電源γ、線条加熱電源８、イオンビーム加速電
源９および電子抑制電極１０の四種の電源が組み合わさ
れて印加されている。
このイオン源１に印加する電源装置は線条加熱電源８で
直熱線条陰極２を加熱し、この陰極２と放電陽極３との
間に放電電源γでアーク放電を生起させ、電離プラズマ
を生成せしめ、この電離プラズマからイオンをイオンビ
ーム加速電源９と電子抑制電極１０とによって引出し加
速するように構成されている。
線条加熱電源８は第２図ａに示すような梯形波状の交番
電圧を出力し、この出力電圧をイオン源１内の直熱線条
陰極２に印加して加熱する。
すなわち直熱線条陰極２は梯形部１Ｌ１２では正電圧（
→あるいは負電圧（→で交互に直流加熱される。
この間の電圧上昇部分１３および電圧下降部１４では第
２図すに示すような陽極３出力電流が流れるように放電
電源γの出力電圧を割出１シてアーク電流を眼光してい
る。
同様にこれと同期して加速電源９も陰極２に印加される
電圧が正負切換わる時にはイオンを加速しないように第
２図Ｃに示すような電圧を発生して加速電極４に印加し
ている。
各すの電源部の具体的な構成は、第３図に示すように、
放電電源γは所定電圧を発生する直流電源１５と、この
直流電圧を所定のタイミングでＯＮ、ＯＦＦするスナツ
パ回路部１６とで構成されている。
なおこのタイミング動作はスイッチ開閉指令器１１から
の指令信号によって行なわれろ。
線条加熱電源８は所定周波数の交流電圧を発生する交流
電源１８と、この出力の交流電圧を正および負の電圧で
各々整流して梯形波を発生する可逆整流回路１９とこの
回路１９を構成する逆並列接続のＳＣＲ回路を制（財）
するゲート整形回路２０と、構成され、これらの動作の
タイミングはスイッチ開閉指令器１１によって行なわれ
るように構成されている。
加速電源９は高電圧を発生する直流電源２１と、この出
力電子をスイッチ開閉指令器１γからのタイミングでＯ
Ｎ、ＯＦＦ動作する電力真空管などで構成された電圧安
定化スイッチ管部２２と、この電子安定化スイッチ管部
２２の出力する電圧値を所定値に設定する電圧設定器２
３とで構成している。
なお電子抑制電源１０は所定直流電圧を発生する直流電
源である。
このような構成のイオン源用電源装置をイオン源に接続
して動作させろと、イオン出力としては一定時間のパル
ス状のイオンビームが出射されることになる。
すなわち短かいビーム休止時間を設けた断続するパルス
状イオンビームの連続サイクル運転が行なわれろ。
そしてこのビーム休止時間に、線条物質の局所的蒸発を
防ぐための線条陰極へ印加する梯形波電圧の極性の交替
が行なわれるので、線条陰極はあたかも直流加熱された
かのように安定に動作し、しかも線条物質の局所的蒸発
を防ぎ線条寿命を制約することなく動作する。
以上詳述したように、この発明によるイオン源用電源装
置によれば出射ビームを断続せしめ、ビームの出射時間
帯ではイオン源を直流動作させると同時に、ビームの停
止時間帯に線条端子間電圧を交替せしめて、安定なイオ
ン源動作と、線＋寿命の延長を実現する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明のイオン源用電源装置を示す構成図、第
２図は本発明の電源装置の出力波形を示す波形図、第３
図は本発明の要部ブロック図である。 １・・・イオン源、２・・・直熱線条陰極、３・・・放
電陽極、４・・・ビーム形成電極、５・・・加速電極、
６・・・減速電極、γ・・・放電電源、８・・・線条加
熱電源、９・・・加速電源、１０・・・減速電源。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 直熱型線条陰極を通電加熱し、この陰極と陽極との
    間でアーク放電を発生し、このアーク放電で生成した電
    離プラズマからイオンを引出し加速するイオン源用電源
    装置において、前記陰極に印加しかつ梯形波状交流電圧
    を発生する手段を設けた陰極加熱電源と、この陰極加熱
    電源で発生しｔこ梯形波状交流電圧の起上げ起き下げの
    時間帯に前記陰極と前記陽極との間に流れるアーク放電
    電流を限流する手段を設けた放電電源とを具備してなる
    ことを特徴とするイオン源用電源装置。
JP56092185A 1981-06-17 1981-06-17 イオン源用電源装置 Expired JPS596024B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56092185A JPS596024B2 (ja) 1981-06-17 1981-06-17 イオン源用電源装置
US06/386,529 US4454453A (en) 1981-06-17 1982-06-09 Power source device for ion sources
EP82105249A EP0067450B1 (en) 1981-06-17 1982-06-15 Power source device for arc discharge ion sources
DE8282105249T DE3268007D1 (en) 1981-06-17 1982-06-15 Power source device for arc discharge ion sources

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JPS57208029A JPS57208029A (en) 1982-12-21
JPS596024B2 true JPS596024B2 (ja) 1984-02-08

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Country Status (4)

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US (1) US4454453A (ja)
EP (1) EP0067450B1 (ja)
JP (1) JPS596024B2 (ja)
DE (1) DE3268007D1 (ja)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4754200A (en) * 1985-09-09 1988-06-28 Applied Materials, Inc. Systems and methods for ion source control in ion implanters
US4743767A (en) * 1985-09-09 1988-05-10 Applied Materials, Inc. Systems and methods for ion implantation
US4825080A (en) * 1986-03-25 1989-04-25 Universite De Reims Champagne-Ardenne Electrical particle gun
GB8725459D0 (en) * 1987-10-30 1987-12-02 Nat Research Dev Corpn Generating particle beams
US4838021A (en) * 1987-12-11 1989-06-13 Hughes Aircraft Company Electrostatic ion thruster with improved thrust modulation
JPH0772758B2 (ja) * 1991-09-12 1995-08-02 工業技術院長 低エネルギー荷電粒子ビームチョッピング装置
JPH0772759B2 (ja) * 1991-09-12 1995-08-02 工業技術院長 低エネルギー荷電粒子ビームパルス化装置
DE19522221A1 (de) * 1995-06-20 1997-01-02 Zeiss Carl Fa Verfahren zur Regelung des Emissionsstromes einer Elektronenquelle und Elektronenquelle mit einer Regelung des Emissionsstromes
AUPR179500A0 (en) 2000-11-30 2000-12-21 Saintech Pty Limited Ion source
US6914386B2 (en) * 2003-06-20 2005-07-05 Applied Materials Israel, Ltd. Source of liquid metal ions and a method for controlling the source
WO2005045874A1 (en) * 2003-10-31 2005-05-19 Saintech Pty Ltd Ion source control system
JP5955709B2 (ja) * 2012-09-04 2016-07-20 住友重機械工業株式会社 サイクロトロン
US11509130B2 (en) * 2021-02-10 2022-11-22 Qualcomm Incorporated Disconnection arc prevention in cable-supplied power connection

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE823767C (de) * 1949-03-04 1951-12-06 Siemens & Halske A G Hochvakuum-Ionenstrahlroehre mit Gluehkathode
DE2325786C2 (de) * 1973-05-22 1983-10-06 Leybold-Heraeus Gmbh, 5000 Koeln Schaltung zur Regelung der Betriebsparameter eines Elektronenstrahlerzeugers
US3952228A (en) * 1974-11-18 1976-04-20 Ion Tech, Inc. Electron-bombardment ion source including alternating potential means for cyclically varying the focussing of ion beamlets
AU522643B2 (en) * 1977-07-15 1982-06-17 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Filament heating apparatus
DE2844183C2 (de) * 1978-10-10 1984-09-13 Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren und Einrichtung zum Einstellen des Kathodenheizstromes in einem technischen Elektronenstrahl-Gerät

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Publication number Publication date
JPS57208029A (en) 1982-12-21
EP0067450A3 (en) 1983-02-16
EP0067450B1 (en) 1985-12-18
US4454453A (en) 1984-06-12
DE3268007D1 (en) 1986-01-30
EP0067450A2 (en) 1982-12-22

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