DE823767C - Hochvakuum-Ionenstrahlroehre mit Gluehkathode - Google Patents

Hochvakuum-Ionenstrahlroehre mit Gluehkathode

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DE823767C
DE823767C DEP35731A DEP0035731A DE823767C DE 823767 C DE823767 C DE 823767C DE P35731 A DEP35731 A DE P35731A DE P0035731 A DEP0035731 A DE P0035731A DE 823767 C DE823767 C DE 823767C
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DE
Germany
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ion beam
high vacuum
beam tube
cathode
vacuum ion
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Expired
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DEP35731A
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English (en)
Inventor
Dr Willy Krug
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Siemens and Halske AG
Siemens AG
Original Assignee
Siemens and Halske AG
Siemens AG
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Tonenstrahlröhre mit Glüh-Hohlkathode im Hochvakuum. Es sind bereits Anordnungen bekannt, bei denen einerseits mit der sogenan.nten Krugschen Hohlkathode im Glimmentladungszustand .gearbeitet wurde und bei denen andererseits aber auch eine Glüh-Hohlkathode im Hochvakuum zur Verwendung kam, um Elektronenstrahlbündel für Elektronenstrahloszillographen mit niedrigen Spannungen zu erzeugen.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde,. eine Ionenstrahlerzeugung mit einem einzigen System vorzunehmen. Erfindungsgemäß wird hierzu eine beiderseits offene Glüh-Hohlkathode verwendet, deren einer Öffnungsseite eine Elektrode als .11,node und deren anderer Öffnungsseite eine negative Spaltelektrode oder Lochelektrode gegenüberstehen. Dabei können zusätzliche elektrische bzw. magnetische Felder angewendet werden, die der Beeinflussung der Richtung und Konzentration des Tonenstrahles dienen.
  • An Hand der Zeichnung soll die Erfindung näher erläutert werden. Die Figur zeigt rein schematisch einen Ionenstrahlerzeiuger nach der Erfindung in seinen für die Erfindung wesentlichenTeilen. Mit r ist hierbei eine an beiden Seiten offene Glüh-Hohlkathode bezeichnet. Gegenüber der einen Öffnungsseite der Hohlkathode befindet sich eine
    gegenüber der Kathode positive Anode 2 zur Be-
    schleunigung der emittierten Elektronen und zur
    Stoßerzeugung mit dem Restgas. Gegenüber der
    anderen Öffnungsseite ist eine gegenüber der
    Kathode negative Spaltelektrode 3 vorgesehen, die
    zum Ansaugen der im Ionisierungsraum gebildeten
    positiven Ionen dient. Die Wirkung zusätzlicher
    elektrostatischer oder magnetischer Felder ist durch
    die gestrichelt gezeichneten Linsen :1 und 5 ver-
    anschaulicht, die eine Beeinflussung der Richtung
    und Konzentration des Ionenstrahles auf die
    Blende herbeiführen.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRÜCHE: t. Hochvakuum-Ionenstrahlröhre mit Glüh- kathode, gekennzeichnet durch eine beiderseits offene Glüh-Hohlkathode, deren einer Öffnungs- seite eine positive 1lektrode als Anode und deren anderer Öffnungsseite eine negative Spalt- elektrode gegenüberstellen. 2. Hochvakuum-Ionenstrahlröhre nach An- spruch r, dadurch gekennzeichnet, daß zusätz- liche elektrostatische und/oder magnetische Felder zur Beeinflussung der Richtung und Konzentration des Ionenstrahles vorgesehen sind.
DEP35731A 1949-03-04 1949-03-04 Hochvakuum-Ionenstrahlroehre mit Gluehkathode Expired DE823767C (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0067450A2 (de) * 1981-06-17 1982-12-22 Kabushiki Kaisha Toshiba Spannungsquelle für Lichtbogen-Ionenquelle

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0067450A2 (de) * 1981-06-17 1982-12-22 Kabushiki Kaisha Toshiba Spannungsquelle für Lichtbogen-Ionenquelle
EP0067450A3 (en) * 1981-06-17 1983-02-16 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Power source device for ion sources
US4454453A (en) * 1981-06-17 1984-06-12 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Power source device for ion sources

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