JPH10507869A - 低圧プラズマにバイポーラパルス状のエネルギーを供給する方法および回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 低圧プラズマにバイポーラパルス状のエネルギー供給を行う方法および回路において、時間平均で、できるだけ大きな電力を低圧放電に供給する。各極性において、インピーダンスは大幅に相違しているが、同じ電力を供給する。少なくとも２つの電極および電流供給源を有するプラズマおよび表面技術のためのシステムにおいて、一方の直流電流供給源の出力が他方の直流電流供給源の同じ極性の出力に電気的に接続されるように、少なくとも２つのポテンシャルのない直流電流供給源の出力が切換えられる。電極に対して各供給線に接続され、その他の出力が組合わされて直流電流供給源の他の出力に導かれているスイッチによって、タイミング発生器によって極性変化周波数のリズムでこれらのスイッチが動作する。アーク放電が発生した際にスイッチがオープンされる。この方法は、加工片上に電気的な絶縁層を形成するバイポーラパルススパッタリングのために利用される。好ましくは、このような層は、機械的な保護、磨耗防止および摺動特性の改善のために利用される。

Description

【発明の詳細な説明】発明の名称 低圧プラズマにバイポーラパルス状のエネルギーを供給する方法および回路技術分野 本発明は、電気的な低圧放電にバイポーラパルス状のエネルギーを供給する方 法およびこの方法を実施する関連する回路に関する。これは、２００ｋＨｚまで の極性変化周波数で動作するプラズマおよび表面技術のシステムおよび装置に利 用される。典型的な用途は、例えば機械的な保護、磨耗の減少または摺動特性の 改善のために、加工片上に電気的に絶縁している薄い層を形成するための反応性 バイポーラパルススパッタリングである。公知技術 １ＭＨｚから１００ＭＨｚまでの高周波によって低圧放電を行うことは知られ ている（ドイツ連邦共和国特許出願公開番号ＤＥ ３９ ４２ ５６０ Ａ１） 。このように、高い周波数の欠点は、高周波を大きな面積（電極）にカップリン グするには大きな技術的な困難さがあり、被覆速度がｋＨｚ範囲における周波数 によるものよりもファクタ１０から１００だけ低いという点にある。 電気的低圧放電を１００ｋＨｚまでの極性変化周波数によってバイポーラで行 うことは知られている。反応性スパッタリングに対して例えば２つのマグネトロ ン供給源によるこのような放電が使用される場合、電気的に高度の絶縁性を有す る層を形成する場合にもこのようにして放電の必要な安定性を達成することがで きる。極性の周期的な変化により、極性変化周波数が十分に高い時、放電は完全 にまたは部分的に絶縁層によって覆われプラズマに結合した表面で起こる（ドイ ツ民主共和国特許出願公開番号ＤＥ ２５２ ２０５ Ａ１、ＤＥ ４０ ４２ ２８７、ＤＥ ４１ ０６ ７７０ Ａ１）。これらの特許によれば、交流発 生器、特に正弦波発生器によってこのような放電にエネルギーを供給することも 知られている。エネルギー供給のこの形式は次の重大な欠点を有する。電気的な 低圧放電のインピーダンスが２つの極性方向において等しくないので、両方の極 性において同じ電力を供給することが非常に困難でありまたはそれどころか不可 能である。これは、特に、例えば電極が異なった材料からなるスパッタリング陰 極によって形成されまたは異なった方法で酸化物に覆われている場合にあてはま る。従って、プラズマ処理を行うために必要な動作点における放電の安定な動作 は不可能である。さらに、正弦波発生器によって、例えば直流的に離れた複数の 電極を有するマグネトロン供給源のために必要なように、両方の極性方向のため の所定の比の電力を供給することは可能ではない。 少なくとも半波の一部の時間にエネルギーが供給されないように、正および／ または負の半波の間の発生器についてのグロー処理のための作用時間としてエネ ルギーの供給時間を制御することが提案されている（ドイツ連邦共和国特許出願 番号Ｐ ４３ ２４ ６８３．４）。正弦波発生器を適応するこの方法は実験室 動作においてしか試験しておらず、これまでまだ使用されていない。正弦波発生 器による放電の供給の際の欠点はアークが発生することである。このようなアー クにおいて意図せずに変換される関連する変圧器または発振回路の残留エネルギ ーを所定値以下に低下させることは可能ではない。 さらに、スイッチオフ動作を向上する回路が知られている（ドイツ連邦共和国 特許出願公開番号ＤＥ ４１ ２７ ５０５）。しかし、その費用は必要な周波 数範囲においてはあまりにも高い。正弦波発生器による低圧ガス放電の供給中で の主な欠点は、全体として発生器の誤った適応としてそれぞれの極性変化中のガ ス放電のインピーダンスが大幅に増加することである。その結果、効率の低下に 加えて、これは知られている火花連絡の危険を伴う高い放電電圧が生じる。 バイポーラ方形波パルス発生器によって低圧ガス放電を供給することも知られ ている（ヨーロッパ特許出願公開番号ＤＥ ０ ５３４ ０６８ Ａ２；薄い層 、Ｖｏｌｕｍｅ ４／１９９２、１３〜１５頁）。それにより極性に依存した異 なったインピーダンスに発生器を適応することが可能である。両方の極性に対す る所定の電力比もいわゆるパルスオフおよびパルスオン時間の大きさによって調 整できる。両方の極性に対してパルス電圧が均一に生じる回路は不都合である。 さ らに、スイッチング回路素子の技術的なパラメータの限界の結果として、極性変 化のために周波数の上限が生じる。現在、周波数は５０ｋＨｚ以上に達すること はできない。さらに、平均時間でプラズマに供給可能なエネルギーの値が低いの はおおいに不都合である。この原因は各極性変化後に観察可能な制限された電流 上昇速度にある。この回路はパルス電圧供給源としての特性を有するので、他方 においてその回路は有利な自己安定化特性を有する。 さらに、低圧ガス放電にユニポーラエネルギーを供給するために、アーク放電 の発生の際にきわめて小さな時定数でエネルギーを遮断する装置に加えて、いわ ゆるチョッパ回路によってエネルギーをユニポーラパルス状に供給する方法も知 られている（ドイツ連邦共和国特許公開番号４１ ２７ ３１７、ＤＥ ３７ ００ ６３３、ＤＥ ４１ ３６ ６６５、ＤＥ４２ ０２ ４２５、ＤＥ ４ １ ２７ ５０４、ＤＥ ４２ ３９ ２１８ Ａ１、ＤＥ ４２ ３０ ７７ ９ Ａ１）。一部、プラズマに接触する面からの放電のために、ガス放電の周期 的な短絡が示されている。しかし、これらのすべての解決策は本発明の上位概念 の意図におけるバイポーラエネルギーの供給のためには不適当である。発明の概要 本発明の目的は、低圧放電において２００ｋＨｚまでの極性変化周波数でバイ ポーラパルス状エネルギーを供給する改善された方法および関連する回路を提供 することである。時間平均においてできるだけ大きな電力が低圧放電に供給され る。両方の極性においてガス放電のインピーダンスが大幅に相違しているとはい え、各極性において同じ電力が供給される。 本発明によれば、この目的は請求項１の特徴によって解決される。請求項２な いし４にはその他の有利な構成が記載されている。請求項５ないし７には方法を 実施する回路が示されている。 本発明による方法の決定的な利点は、各極性方向における安定に定義された電 力供給と連結して、それぞれの極性変化後の予期しなかった高い電流上昇速度の 特性にある。これは、明らかにインダクタンスＬ１・・・Ｌｎの形で分けられた エネルギーアキュームレータの効果と各極性の変化後のプラズマインピーダンス の動特性への影響とに基づいている。この効果は、従来の技術に従って専門家に とって容易に推考され図１に示された回路を使用する方法（ドイツ連邦共和国特 許出願公開番号ＤＥ ３５ ３８ ４９４Ａ１）と本発明による方法を比較して 明らかである。この回路において、直流電圧供給源ＤＣはインダクタンスＬを介 してスイッチＳに接続されている。スイッチＳは、低圧放電の電極Ｅ１およびＥ ２が接続されたそれ自体知られている極性変化回路として作用する。この回路は バイポーラパルス電流供給源の特性を有する。それにより達成可能な高い電流上 昇速度はきわめて有利である。しかし、これは、放電の極性に依存してインピー ダンスが異なる場合に電力供給を制御して行う可能性 がない。インピーダンスの極性に依存した差が微妙に増加するという、例えば酸 化アルミニウムのバイポーラ反応性スパッタリングの際に観察される効果はおお いに微妙である。 これに対して、本発明による方法は、１つのパルス周期で観察されるように、 電流供給源の特性を有するパルス状のエネルギーを供給することを示し、きわめ て大きな電流上昇時間を可能にしている。しかし、複数のパルス周期の間で観察 すると、それは、電圧供給源のように作用し、従って、上記の意図における自己 安定化特性を有する。この方法により、２つの極性の低圧放電でインピーダンス が異なった際にも各直流電圧供給源の電力を他方に関係なく予め与えることによ って、各極性のための電力は所定値に調整できる。 有利なことには、本発明による方法の場合には、スイッチにおけるスイッチ動 作はそれぞれ同時に起動する。しかし、パルス長の数分の１にわたってスイッチ を閉じ、このようにして低周波放電を短絡することも都合がよいことがある。そ の上、即座に極性変化が行われるない場合、このスイッチ状態はアーク放電の発 生中に生じる。しかし、スイッチを同時にオープンすることは都合が悪い。 処理実行の理由により、２つの極性に対して同じでないパルス長を、すなわち スイッチにおいて同じでないオープン時間をセットする場合、直流電圧供給源の 大きさはこの条件を考慮しなければならない。２つの直流電圧供給源を利用する 場合、一方の電圧は他方の 電圧の低下に応じて増加される。 特に精確に極性に依存した電力を低圧放電に供給することは、２つの極性のた めの電力が別々に測定され、少なくとも１つの制御されたシステムの実際の値と して利用される場合に達成される。 インダクタンスの大きさは、２つの極性変化の間の時間内に供給される割当て られた直流電圧供給源の全エネルギーが得られるように保証しなければならない 。しかし、スイッチのエネルギー負荷を減少するために、インダクタンスを一層 大きくすることは都合がよい。さらに、インダクタンスの大きさは、低圧放電に 供給される電流の時間経過に影響を与える。従って、結果として生じる電流曲線 の形はプラズマ処理または表面処理プロセスの要求に適応できる。図面の簡単な説明 図１は従来の技術による回路を示す図である。 図２は本発明による方法を実施する基本回路を示す図である。 図３は低圧放電に供給される電力を示す図である。 図４は複数の電極および直流電圧供給源を有する回路を示す図である。 図５は複数の電極および組合わされた直流電圧供給源を有する回路を示す図で ある。 図６は２つの電極および１つの直流電圧供給源を有する回路を示している。実施例 いくつかの実施例を基にして本発明を詳細に説明す る。 図２において、２つの直流電圧供給源ＤＣ１およびＤＣ２の出力端子は、イン ダクタンスＬ１およびＬ２を介して、低圧放電面である電極Ｅ１およびＥ２に接 続されている。インダクタンスＬ１、Ｌ２と電極Ｅ１、Ｅ２との間において、各 線はスイッチＳ１、Ｓ２に接続され、その際、スイッチＳ１、Ｓ２の他方の極は 互いに接続され、直流電圧供給源ＤＣ１およびＤＣ２の他方の出力端子が導かれ ている。スイッチＳ１に接続されたタイミング発生器Ｔは極性変化を与え、スイ ッチＳ２に接続されたトリガＡは、アーク放電が生じた際にスイッチオフを生じ させる。 図３は、タイミング発生器Ｔが動作中であり、２つの極性に対して開閉時間が 一致している場合に２つの極性のそれぞれに対する低圧放電に供給される電力を 概略的に示している。Ｐ１は時間平均における直流電圧供給源ＤＣ１から供給さ れる電力であり、Ｐ２は対応して直流電圧供給源ＤＣ２によって供給される電力 である。 周期ｔ１において低圧放電にエネルギーが供給され、このエネルギーはこの周 期において直流電圧供給源ＤＣ１から供給されるエネルギー成分と、インダクタ ンスＬ１に蓄えられるエネルギー成分とから構成される。この周期において、直 流電圧供給源ＤＣ２はインダクタンスＬ２に蓄えられるエネルギーを供給する。 極性変化後、周期ｔ２において低圧放電は直流電圧供給源ＤＣ２およびインダ クタンスＬ２に接続される。 この時、直流電圧供給源ＤＣ２から生じる成分と周期ｔ１においてインダクタン スＬ２に蓄えられるエネルギー成分とからなるエネルギーがこの放電に供給され る。理想化した限界の場合、２つの直流電圧供給源ＤＣ１およびＤＣ２の電力の 合計に相当する電力を電極Ｅ１とＥ２との間の放電に供給できる。 直流電圧供給源ＤＣは、都合よく電力制御される知られている直流電圧発生器 である。特別の場合、電流制御されまたは電圧制御される直流電圧発生器を使用 することは都合がよい。直流電圧発生器のどのようなタイプの制御が有利である かは、主として反応動作モードにおける低圧放電の電流電圧特性によって決めら れる。 インダクタンスＬに対して、望まれる動作点における低圧放電のインダクタン スについてオーミック抵抗が小さいインダクタンスコイルを選択すべきである。 コイルの構成は磁気的なカップリングを避けなければならない。このスイッチは 、バイポーラトランジスタ、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ） または電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）のような半導体スイッチとして構成する ことが望ましい。これらは、過電圧および過電流保護のために知られている回路 を備えている。同様に、投入／遮断緩和回路網が利用される。さらに、パルス周 波数より高い周波数を有するプラズマ振動に対するダンピング回路網を使用する ことは有利である。 回路の他の構成は図４に示されている。この回路の 場合、低圧放電は２つより多い電極によって行われる。プラズマに接続される複 数の電極Ｅ１からＥｎのために、複数の直流電圧供給源ＤＣ１からＤＣｎが利用 される。そのため、スイッチＳ１からＳｎおよびインダクタンスＬ１からＬｎが 互いに接続されている。低圧放電は、それぞれの場合で電極Ｅの少なくとも２つ の間で複数のバイポーラ動作する放電システムでバイポーラエネルギーを供給す ることによって作用する。タイミング発生器Ｔは、各パルスにおいてスイッチＳ の少なくとも１つがオープンし、スイッチＳの少なくとも１つがクローズするよ うに、さらに極性変化の際に電流の方向が少なくとも１つの電極Ｅにおいて反転 するように、時間的にスイッチＳが動作するという効果を有する。その他の構成 は図２による構成に類似している。 図４による装置において複数の直流電圧供給源ＤＣが同じ電圧で動作する場合 、これらは共通の電圧供給源としてまとめることができる。図５は対応する基本 回路図を示している。特殊な場合として、図６は２つの電極Ｅ１、Ｅ２および１ つだけの直流電圧供給源ＤＣを有する装置を示している。すでに説明したように 、この場合に両方の極性において低圧放電を動作させる電圧は同じである。 図１に示された回路によれば、本発明による方法は次のように実行される。反 応性マグネトロンスパッタリングにより小さなコンポーネントに酸化アルミニウ ム保護層を形成するために使われるプラズマシステム、 すなわち真空被膜形成システムの電極Ｅに、エネルギーがバイポーラで供給され る。真空被膜形成システムは加工片のための収容デバイスおよび２つのマグネト ロンスパッタリング供給源を有し、これらのマグネトロンスパッタリング供給源 のターゲットは低圧放電の電極Ｅを形成する。ターゲットはアルミニウムからな り、アルゴン酸素混合ガスにおいてスパッタリングされる。バイポーラパルス状 のエネルギーの供給によって、これらの電極はパルス変化周波数で時間的に交互 に放電の陰極または陽極として作用する。電極におけるアーク放電現象を防止し 、低圧放電の安定な動作を保証するために、７０ｋＨｚのパルス変化周波数が選 択される。 時間平均で、できるだけ大きな電力が低圧放電に供給される。２つの極性にお いてガス放電のインピーダンスが大幅に異なっているとはいえ、各極性において 同じ電力が供給される。このことは絶縁酸化層によるターゲットの異なった被覆 の結果として生じる。各極性における同じ電力が望まれるのは、このようにして のみ反応性スパッタリング処理の安定な動作点が設定できるという結果からであ る。図１に示した回路素子に加えて、真空被膜形成システムは、過電圧／過電流 保護回路、投入／遮断動作のための緩和回路網、およびプラズマ内で起動される 高周波振動のためのダンピング回路網をさらに含んでいる。スイッチＳ１、Ｓ２ は高負荷可能なＩＧＢＴによって構成されている。平均で３５ｋＷの望まれる総 電力はそれぞれ２０ｋＷ定 格出力の２つの直流電圧発生器によって供給される。インダクタンスＬ１および Ｌ２によって、直流電圧発生器は、直流電圧供給源ＤＣ１、ＤＣ２として動作す る。インダクタンスＬは、互いに影響されない７５Ａの電流輸送能力において５ ００μヘンリーのインダクタンスを有する中間周波数インダクタをそれぞれ構成 する。オーミック内部抵抗は１２ｍオームである。極性変化中、電流は０．５ｍ ｓから６０Ａまで上昇する。極性に依存して、電極Ｅ１とＥ２の間の電圧降下は ５６０Ｖと６４０Ｖの平均である。ほぼ１０００Ｖのピーク電圧が生じ、高い平 均プラズマ密度が維持される程度に急速に極性変化が行われるので、極性変化中 の点弧動作はきわめて良好である。直流電圧供給源ＤＣ１、ＤＣ２において、２ ８０Ｖまたは３２０Ｖの電圧が測定される。放電電圧に関する差はインダクタの エネルギー蓄積作用の結果として生じる。２０％以下の電流リップルが保証され ているので、パルスの２つの極性における電流の瞬時変化値は１２．８Ａと１１ ．２Ａである。高い電流上昇速度は、３５ｋＷの放電に高いバイポーラ電力を供 給することが可能であるという効果を有する。両方の極性における電力の均一性 および電流リップルの制限により、アルゴン酸素混合ガスが一定に流れている場 合に反応性スパッタリング処理の安定な動作点を可能にする。エネルギーを供給 する本発明による方法は従来の技術においてファクタ３だけ被覆速度を上昇させ ることに対するキーである。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】１９９７年１月１７日 【補正内容】 明細書発明の名称 低圧プラズマにバイポーラパルス状のエネルギーを供給する方法および回路技術分野 本発明は、電気的な低圧放電にバイポーラパルス状のエネルギーを供給する方 法およびこの方法を実施する関連する回路に関する。これは、２００ｋＨｚまで の極性変化周波数で動作するプラズマおよび表面技術のシステムおよび装置に利 用される。典型的な用途は、例えば機械的な保護、磨耗の減少または摺動特性の 改善のために、加工片上に電気的に絶縁している薄い層を形成するための反応性 バイポーラパルススパッタリングである。公知技術 １ＭＨｚから１００ＭＨｚまでの高周波によって低圧放電を行うことは知られ ている（ドイツ連邦共和国特許出願公開番号ＤＥ ３９ ４２ ５６０ Ａ１） 。このように、高い周波数の欠点は、高周波を大きな面積（電極）にカップリン グするには大きな技術的な困難さがあり、被覆速度がｋＨｚ範囲における周波数 によるものよりもファクタ１０から１００だけ低いという点にある。 電気的低圧放電を１００ｋＨｚまでの極性変化周波数によってバイポーラで行 うことは知られている。反応性スパッタリングに対して例えば２つのマグネトロ ン供給源によるこのような放電が使用される場合、電気的に高度の絶縁性を有す る層を形成する場合にもこのようにして放電の必要な安定性を達成することがで きる。極性の周期的な変化により、極性変化周波数が十分に高い時、放電は完全 にまたは部分的に絶縁層によって覆われプラズマに結合した表面で起こる（ドイ ツ民主共和国特許出願公開番号ＤＥ ２５２ ２０５ Ａ１、ＤＥ ４０ ４２ ２８７、ＤＥ ４１ ０６ ７７０ Ａ１）。これらの特許によれば、交流発 生器、特に正弦波発生器によってこのような放電にエネルギーを供給することも 知られている。エネルギー供給のこの形式は次の重大な欠点を有する。電気的な 低圧放電のインピーダンスが２つの極性方向において等しくないので、両方の極 性において同じ電力を供給することが非常に困難でありまたはそれどころか不可 能である。これは、特に、例えば電極が異なった材料からなるスパッタリング陰 極によって形成されまたは異なった方法で酸化物に覆われている場合にあてはま る。従って、プラズマ処理を行うために必要な動作点における放電の安定な動作 は不可能である。さらに、正弦波発生器によって、例えば直流的に離れた複数の 電極を有するマグネトロン供給源のために必要なように、両方の極性方向のため の所定の比の電力を供給することは可能ではない。 少なくとも半波の一部の時間にエネルギーが供給されないように、正および／ または負の半波の間の発生器についてのグロー処理のための作用時間としてエネ ルギーの供給時間を制御することが提案されている（ドイツ連邦共和国特許出願 番号Ｐ ４３ ２４ ６８３．４）。正弦波発生器を適応するこの方法は実験室 動作においてしか試験しておらず、これまでまだ使用されていない。正弦波発生 器による放電の供給の際の欠点はアークが発生することである。このようなアー クにおいて意図せずに変換される関連する変圧器または発振回路の残留エネルギ ーを所定値以下に低下させることは可能ではない。 さらに、スイッチオフ動作を向上する回路が知られている（ドイツ連邦共和国 特許出願公開番号ＤＥ ４１ ２７ ５０５）。しかし、その費用は必要な周波 数範囲においてはあまりにも高い。正弦波発生器による低圧ガス放電の供給中で の主な欠点は、全体として発生器の誤った適応としてそれぞれの極性変化中のガ ス放電のインピーダンスが大幅に増加することである。その結果、効率の低下に 加えて、これは知られている火花連絡の危険を伴う高い放電電圧が生じる。 バイポーラ方形波パルス発生器によって低圧ガス放電を供給することも知られ ている（ヨーロッパ特許出願公開番号ＤＥ ０ ５３４ ０６８ Ａ２；薄い層 、Ｖｏｌｕｍｅ ４／１９９２、１３〜１５頁）。それにより極性に依存した異 なったインピーダンスに発生器を適応することが可能である。両方の極性に対す る所定の電力比もいわゆるパルスオフおよびパルスオン時間の大きさによって調 整できる。両方の極性に対してパルス電圧が均一に生じる回路は不都合である。 さ らに、スイッチング回路素子の技術的なパラメータの限界の結果として、極性変 化のために周波数の上限が生じる。現在、周波数は５０ｋＨｚ以上に達すること はできない。さらに、平均時間でプラズマに供給可能なエネルギーの値が低いの はおおいに不都合である。この原因は各極性変化後に観察可能な制限された電流 上昇速度にある。この回路はパルス電圧供給源としての特性を有するので、他方 においてその回路は有利な自己安定化特性を有する。 さらに、低圧ガス放電にユニポーラエネルギーを供給するために、アーク放電 の発生の際にきわめて小さな時定数でエネルギーを遮断する装置に加えて、いわ ゆるチョッパ回路によってエネルギーをユニポーラパルス状に供給する方法も知 られている（ドイツ連邦共和国特許公開番号４１ ２７ ３１７、ＤＥ ３７ ００ ６３３、ＤＥ ４１ ３６ ６６５、ＤＥ４２ ０２ ４２５、ＤＥ ４ １ ２７ ５０４、ＤＥ ４２ ３９ ２１８ Ａ１、ＤＥ ４２ ３０ ７７ ９ Ａ１）。一部、プラズマに接触する面からの放電のために、ガス放電の周期 的な短絡が示されている。しかし、これらのすべての解決策は本発明の上位概念 の意図におけるバイポーラエネルギーの供給のためには不適当である。 バイポーラパルス状にエネルギーを供給する低圧プラズマを発生する装置も知 られている。極性変化周波数は２００ｋＨｚより低い。この装置はブリッジ回路 を有する制御可能な直流電力供給源からなり、このブ リッジ回路の出力は電流検出回路に接続されている（ドイツ連邦共和国実用新案 登録ＤＥ−Ｇ ９１ ０９ ５０３ Ｕ１）。この装置は、装置がどれくらい多 くの電極から構成されるかに依存せず、１つの電圧供給源だけによって動作する 。ガス放電のインピーダンスが大幅に相違する各極性の場合に同じ電力を供給す ることはこの装置によっては不可能である。発明の概要 本発明の目的は、低圧放電において２００ｋＨｚまでの極性変化周波数でバイ ポーラパルス状エネルギーを供給する改善された方法および関連する回路を提供 することである。時間平均においてできるだけ大きな電力が低圧放電に供給され る。両方の極性においてガス放電のインピーダンスが大幅に相違しているとはい え、各極性において同じ電力が供給される。 本発明によれば、この目的は請求項１の特徴によって解決される。請求項２な いし４にはその他の有利な構成が記載されている。請求項５ないし７には方法を 実施する回路が示されている。 本発明による方法の決定的な利点は、各極性方向における安定に定義された電 力供給と連結して、それぞれの極性変化後の予期しなかった高い電流上昇速度の 特性にある。これは、明らかにインダクタンスＬ１・・・Ｌｎの形で分けられた エネルギーアキュームレータの効果と各極性の変化後のプラズマインピーダンス の動特性への影響とに基づいている。この効果は、従来の技術に従って専門家に とって容易に推考され図１ に示された回路を使用する方法（ドイツ連邦共和国特許出願公開番号ＤＥ ３５ ３８ ４９４Ａ１）と本発明による方法を比較して明らかである。この回路に おいて、直流電圧供給源ＤＣはインダクタンスＬを介してスイッチＳに接続され ている。スイッチＳは、低圧放電の電極Ｅ１およびＥ２が接続されたそれ自体知 られている極性変化回路として作用する。この回路はバイポーラパルス電流供給 源の特性を有する。それにより達成可能な高い電流上昇速度はきわめて有利であ る。しかし、これは、放電の極性に依存してインピーダンスが異なる場合に電力 供給を制御して行う可能性がない。インピーダンスの極性に依存した差が微妙に 増加するという、例えば酸化アルミニウムのバイポーラ反応性スパッタリングの 際に観察される効果はおおいに微妙である。 これに対して、本発明による方法は、１つのパルス周期で観察されるように、 電流供給源の特性を有するパルス状のエネルギーを供給することを示し、きわめ て大きな電流上昇時間を可能にしている。しかし、複数のパルス周期の間で観察 すると、それは、電圧供給源のように作用し、従って、上記の意図における自己 安定化特性を有する。この方法により、２つの極性の低圧放電でインピーダンス が異なった際にも各直流電圧供給源の電力を他方に関係なく予め与えることによ って、各極性のための電力は所定値に調整できる。 有利なことには、本発明による方法の場合には、スイッチにおけるスイッチ動 作はそれぞれ同時に起動す る。しかし、パルス長の数分の１にわたってスイッチを閉じ、このようにして低 周波放電を短絡することも都合がよいことがある。その上、即座に極性変化が行 われるない場合、このスイッチ状態はアーク放電の発生中に生じる。しかし、ス イッチを同時にオープンすることは都合が悪い。 処理実行の理由により、２つの極性に対して同じでないパルス長を、すなわち スイッチにおいて同じでないオープン時間をセットする場合、直流電圧供給源の 大きさはこの条件を考慮しなければならない。２つの直流電圧供給源を利用する 場合、一方の電圧は他方のの電圧の低下に応じて増加される。 特に精確に極性に依存した電力を低圧放電に供給することは、２つの極性のた めの電力が別々に測定され、少なくとも１つの制御されたシステムの実際の値と して利用される場合に達成される。 インダクタンスの大きさは、２つの極性変化の間の時間内に供給される割当て られた直流電圧供給源の全エネルギーが得られるように保証しなければならない 。しかし、スイッチのエネルギー負荷を減少するために、インダクタンスを一層 大きくすることは都合がよい。さらに、インダクタンスの大きさは、低圧放電に 供給される電流の時間経過に影響を与える。従って、結果として生じる電流曲線 の形はプラズマ処理または表面処理プロセスの要求に適応できる。図面の簡単な説明 図１は従来の技術による回路を示す図である。 図２は本発明による方法を実施する基本回路を示す図である。 図３は低圧放電に供給される電力を示す図である。 図４は複数の電極および直流電圧供給源を有する回路を示す図である。 図５は複数の電極および組合わされた直流電圧供給源を有する回路を示す図で ある。 図６は２つの電極および１つの直流電圧供給源を有する回路を示している。実施例 いくつかの実施例を基にして本発明を詳細に説明する。 図２において、２つの直流電圧供給源ＤＣ１およびＤＣ２の出力端子は、イン ダクタンスＬ１およびＬ２を介して、低圧放電面である電極Ｅ１およびＥ２に接 続されている。インダクタンスＬ１、Ｌ２と電極Ｅ１、Ｅ２との間において、各 線はスイッチＳ１、Ｓ２に接続され、その際、スイッチＳ１、Ｓ２の他方の極は 互いに接続され、直流電圧供給源ＤＣ１およびＤＣ２の他方の出力端子が導かれ ている。スイッチＳ１に接続されたタイミング発生器Ｔは極性変化を与え、スイ ッチＳ２に接続されたトリガＡは、アーク放電が生じた際にスイッチオフを生じ させる。 図３は、タイミング発生器Ｔが動作中であり、２つの極性に対して開閉時間が 一致している場合に２つの極性のそれぞれに対する低圧放電に供給される電力を 概略的に示している。Ｐ１は時間平均における直流電 圧供給源ＤＣ１から供給される電力であり、Ｐ２は対応して直流電圧供給源ＤＣ ２によって供給される電力である。 周期ｔ１において低圧放電にエネルギーが供給され、このエネルギーはこの周 期において直流電圧供給源ＤＣ１から供給されるエネルギー成分と、インダクタ ンスＬ１に蓄えられるエネルギー成分とから構成される。この周期において、直 流電圧供給源ＤＣ２はインダクタンスＬ２に蓄えられるエネルギーを供給する。 極性変化後、周期ｔ２において低圧放電は直流電圧供給源ＤＣ２およびインダ クタンスＬ２に接続される。この時、直流電圧供給源ＤＣ２から生じる成分と周 期ｔ１においてインダクタンスＬ２に蓄えられるエネルギー成分とからなるエネ ルギーがこの放電に供給される。理想化した限界の場合、２つの直流電圧供給源 ＤＣ１およびＤＣ２の電力の合計に相当する電力を電極Ｅ１とＥ２との間の放電 に供給できる。 直流電圧供給源ＤＣは、都合よく電力制御される知られている直流電圧発生器 である。特別の場合、電流制御されまたは電圧制御される直流電圧発生器を使用 することは都合がよい。直流電圧発生器のどのようなタイプの制御が有利である かは、主として反応動作モードにおける低圧放電の電流電圧特性によって決めら れる。 インダクタンスＬに対して、望まれる動作点における低圧放電のインダクタン スについてオーミック抵抗が小さいインダクタンスコイルを選択すべきである。 コイルの構成は磁気的なカップリングを避けなければならない。このスイッチは 、バイポーラトランジスタ、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ） または電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）のような半導体スイッチとして構成する ことが望ましい。これらは、過電圧および過電流保護のために知られている回路 を備えている。同様に、投入／遮断緩和回路網が利用される。さらに、パルス周 波数より高い周波数を有するプラズマ振動に対するダンピング回路網を使用する ことは有利である。 回路の他の構成は図４に示されている。この回路の場合、低圧放電は２つより 多い電極によって行われる。プラズマに接続される複数の電極Ｅ１からＥｎのた めに、複数の直流電圧供給源ＤＣ１からＤＣｎが利用される。そのため、スイッ チＳ１からＳｎおよびインダクタンスＬ１からＬｎが互いに接続されている。低 圧放電は、それぞれの場合で電極Ｅの少なくとも２つの間で複数のバイポーラ動 作する放電システムでバイポーラエネルギーを供給することによって作用する。 タイミング発生器Ｔは、各パルスにおいてスイッチＳの少なくとも１つがオープ ンし、スイッチＳの少なくとも１つがクローズするように、さらに極性変化の際 に電流の方向が少なくとも１つの電極Ｅにおいて反転するように、時間的にスイ ッチＳが動作するという効果を有する。その他の構成は図２による構成に類似し ている。 図４による装置において複数の直流電圧供給源ＤＣ が同じ電圧で動作する場合、これらまたはこれらの多数は共通の電圧供給源とし てまとめることができる。図５は対応する基本回路図を示している。他の変更例 は図６に示されている。この場合、装置は２つの電極Ｅ１、Ｅ２で動作する。こ の目的のために必要な２つの直流供給源は、直流電圧源を形成するためにまとめ られまたは互いに接続される２つの直流電圧源とこれに直列に接続された２つの インダクタンスＬ１、Ｌ２から構成される。すでに説明したように、この場合、 両方の極性において低圧グロー放電を動作させる電圧は同じである。 図２に示された回路によれば、本発明による方法は次のように実行される。反 応性マグネトロンスパッタリングにより小さなコンポーネントに酸化アルミニウ ム保護層を形成するために使われるプラズマシステム、すなわち真空被膜形成シ ステムの電極Ｅに、エネルギーがバイポーラで供給される。真空被膜形成システ ムは加工片のための収容デバイスおよび２つのマグネトロンスパッタリング供給 源を有し、これらのマグネトロンスパッタリング供給源のターゲットは低圧放電 の電極Ｅを形成する。ターゲットはアルミニウムからなり、アルゴン酸素混合ガ スにおいてスパッタリングされる。バイポーラパルス状のエネルギーの供給によ って、これらの電極はパルス変化周波数で時間的に交互に放電の陰極または陽極 として作用する。電極におけるアーク放電現象を防止し、低圧放電の安定な動作 を保証するために、７０ｋＨｚのパルス変化周波数が選 択される。 時間平均で、できるだけ大きな電力が低圧放電に供給される。２つの極性にお いてガス放電のインピーダンスが大幅に異なっているとはいえ、各極性において 同じ電力が供給される。このことは絶縁酸化層によるターゲットの異なった被覆 の結果として生じる。各極性における同じ電力が望まれるのは、このようにして のみ反応性スパッタリング処理の安定な動作点が設定できるという結果からであ る。図１に示した回路素子に加えて、真空被膜形成システムは、過電圧／過電流 保護回路、投入／遮断動作のための緩和回路網、およびプラズマ内で起動される 高周波振動のためのダンピング回路網をさらに含んでいる。スイッチＳ１、Ｓ２ は高負荷可能なＩＧＢＴによって構成されている。平均で３５ｋＷの望まれる総 電力はそれぞれ２０ｋＷ定格出力の２つの直流電圧発生器によって供給される。 インダクタンスＬ１およびＬ２によって、直流電圧発生器は、直流電圧供給源Ｄ Ｃ１、ＤＣ２として動作する。インダクタンスＬは、互いに影響されない７５Ａ の電流輸送能力において５００μヘンリーのインダクタンスを有する中間周波数 インダクタをそれぞれ構成する。オーミック内部抵抗は１２ｍオームである。極 性変化中、電流は５μｓから６０Ａまで上昇する。極性に依存して、電極Ｅ１と Ｅ２の間の電圧降下は５６０Ｖと６４０Ｖの平均である。ほぼ１０００Ｖのピー ク電圧が生じ、高い平均プラズマ密度が維持される程度に急速に極性変化が行わ れるので、極性変化中の点 弧動作はきわめて良好である。直流電圧供給源ＤＣ１、ＤＣ２において、２８０ Ｖまたは３２０Ｖの電圧が測定される。放電電圧に関する差はインダクタのエネ ルギー蓄積作用の結果として生じる。２０％以下の電流リップルが保証されてい るので、パルスの２つの極性における電流の瞬時変化値は１２．８Ａと１１．２ Ａである。高い電流上昇速度は、３５ｋＷの放電に高いバイポーラ電力を供給す ることが可能であるという効果を有する。両方の極性における電力の均一性およ び電流リップルの制限により、アルゴン酸素混合ガスが一定に流れている場合に 反応性スパッタリング処理の安定な動作点を可能にする。エネルギーを供給する 本発明による方法は従来の技術においてファクタ３だけ被覆速度を上昇させるこ とに対するキーである。 請求の範囲 １．プラズマに接触する少なくとも２つの電極（Ｅ１乃至Ｅｎ）、直流供給源、 インダクタンス（Ｌ１乃至Ｌｎ）および少なくとも１つのスイッチ（Ｓ１乃至Ｓ ｎ）を有するプラズマおよび表面技術システムのために２００ｋＨｚまでの極性 変化周波数により低圧プラズマにバイポーラパルス状のエネルギーを供給する回 路において、 直流電圧源（ＤＣ１乃至ＤＣｎ）およびこれに直列に接続されたインダクタン ス（Ｌ１乃至Ｌｎ）からなる少なくとも２つの電位差のない直流供給源の同じ極 性の出力の一群は、低圧放電を行うプラズマ装置の同じ数の電極（Ｅ１乃至Ｅｎ ）に電気的に接続され、 直流供給源のそれぞれ他の出力は互いに接続され、 それにより生じる共通の極性と直流供給源の出力の一群についての電極（Ｅ１ 乃至Ｅｎ）の結合線との間に、極性変化のための共通のタイミング発生器（Ｔ） とアーク放電が生じた際の切換えのためのトリガ（Ａ）とを有するそれぞれ１つ のスイッチ（Ｓ１乃至Ｓｎ）が配置され、 インダクタンス（Ｌ１乃至Ｌｎ）が、２つの極性変化の間の時間間隔でそれぞ れ割当てられた直流電圧供給源（ＤＣ１乃至ＤＣｎ）によって供給されるエネル ギー全体を得ることができるような大きさであることを特徴とする回路。 ２．複数の直流供給源の中の複数の直流電圧供給源 （ＤＣ１、ＤＣ２、ＤＣｎ）は、電極（Ｅ１乃至Ｅｎ）の数に対応する複数のイ ンダクタンス（Ｌ１乃至Ｌｎ）を介してそれぞれ接続される共通の直流電圧源を 形成するように互いに接続されることを特徴とする請求項１に記載の回路。 ３．電極（Ｅ１乃至Ｅｎ）はマグネトロン放電の陰極であることを特徴とする請 求項１又は２に記載の回路。 ４．常に１つのスイッチ（Ｓ）がオープンされ、少なくとも１つのスイッチ（Ｓ ）がクローズされていて、低圧プラズマにバイポーラパルス状のエネルギーを供 給する方法において、 ２つより多い電極（Ｅ）を用いる場合、１つのスイッチ（Ｓ）がクローズされ 、他のスイッチ（Ｓ）がオープンされた後、極性変化周波数のリズムで、クロー ズされたスイッチ（Ｓ）がオープンされたら、隣接するスイッチ（Ｓ）がクロー ズされ、 アーク放電が発生しそれが認識された場合、それ自体知られているように、ア ーク放電が認識された電極（Ｅ）に接続されたそれぞれオープンされたスイッチ （Ｓ）は、１μｓより短い時間遅れで、最大限次の極性変換の時点までまたは前 記時間遅れで極性変化が行われるまでクローズされることを特徴とする方法。 ５．各極性に対して低圧プラズマに供給される電力はそれぞれの直流電圧供給源 （ＤＣ）の電力を示すことにより予め決めることを特徴とする請求項４に記載の 方法。 ６．各極性に対して低圧プラズマに供給される電力は 各極性に対するパルス長を示すことにより予め決めることを特徴とする請求項４ に記載の方法。 ７．各極性について供給される電力は別々に測定され、少なくとも１つの制御シ ステムの実際値として利用されることを特徴とする請求項４乃至６のいずれかに 記載の方法。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 グーディッケ クラウス ドイツ連邦共和国 デー−01307 ドレス デン ファイフェルハンズシュトラーセ 18 (72)発明者 ヴィンクレル トールステン ドイツ連邦共和国 デー−01097 ドレス デン フィッヒテンシュトラーセ ４ (72)発明者 キーリッヒホフ フォルケル ドイツ連邦共和国 デー−01324 ドレス デン ヴェットルール シュトラーセ ７ (72)発明者 フラッハ ペーテル ドイツ連邦共和国 デー−01324 ドレス デン バウツネル ランツシュトラーセ 53

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．プラズマに接触する少なくとも２つの電極および１つの電流供給ユニットを 有するプラズマおよび表面技術システムのために２００ｋＨｚまでの極性変化周 波数により低圧プラズマにバイポーラパルス状のエネルギーを供給する方法にお いて、 一方の直流供給源の出力が他の直流供給源の同じ極性の対応する出力に電気的 に接続されるように少なくとも２つの電位差のない直流供給源の出力が切換えら れ、 それにより生じる共通の極性と各直流供給源のそれぞれ他の出力との間におい て、少なくとも１つのスイッチがオープンされ、少なくとも１つのスイッチがク ローズされるように極性変化周波数のリズムでタイミング発生器によりそれぞれ １つのスイッチが動作され、 各極性変化中に電流方向が反転し、 アーク放電が発生しそれが認識された場合、それ自体知られているように、１ つまたは複数のそれぞれオープンされたスイッチは好ましくは１ｍｓより短い時 定数で次の極性変化までの期間中または前記時定数で極性変化が行われるまでク ローズされ、 直流供給源のそれぞれ他の出力はそれぞれ１つの電極に電気的に接続され、 前記直流供給源は、それぞれ１つの直流電圧供給源およびこれに直列接続され たインダクタンスで形成され、これらのインダクタンスが、２つの極性変化の間 の時間間隔で少なくとも割当てられた直流電圧供給源から供給されるエネルギー 全体を得ることができるような大きさであることを特徴とする方法。 ２．各極性に対して低圧プラズマに供給される電力はそれぞれの直流電圧供給源 の電力を示すことにより予め決めることを特徴とする請求項１に記載の方法。 ３．各極性に対して低圧プラズマに供給される電力は各極性に対するパルス長を 示すことにより予め決めることを特徴とする請求項１に記載の方法。 ４．各極性について供給される電力は別々に測定され、少なくとも１つの制御シ ステムの実際値として利用されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに 記載の方法。 ５．少なくとも２つの直流電圧供給源（ＤＣ１、ＤＣ２、ＤＣｎ）の同じ極性の それぞれの１つの出力は、インダクタンス（Ｌ１、Ｌ２、Ｌｎ）を介して低圧放 電を行うプラズマ装置の同じ数の電極（Ｅ１、Ｅ２、Ｅｎ）に接続され、 インダクタンス（Ｌ１、Ｌ２、Ｌｎ）と電極（Ｅ１、Ｅ２、Ｅｎ）との間で電 極（Ｅ１、Ｅ２、Ｅｎ）に対する各供給線において、スイッチ（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ ｎ）が接続され、スイッチの他方の端子は互いに接続され、これらの連結線は直 流電圧供給源の他の出力に接続され、 スイッチ（Ｓ１、Ｓ２、Ｓｎ）は、極性変化のための連結したタイミング発生 器（Ｔ）とアーク放電が生じた際の切換えのためのトリガ（Ａ）とに接続されて いることを特徴とする請求項１に記載の方法を実施する回路。 ６．複数の直流電圧供給源（ＤＣ１、ＤＣ２、ＤＣｎ）は連結された直流電圧供 給源になるように互いに接続され、連結された直流電圧供給源はそれぞれインダ クタンス（Ｌ１、Ｌ２、Ｌｎ）を介して対応する数の電極（Ｅ１、Ｅ２、Ｅｎ） に接続されていることを特徴とする請求項５に記載の回路。 ７．電極（Ｅ１、Ｅ２、Ｅｎ）はマグネトロン放電の陰極であることを特徴とす る請求項５又は６に記載の回路。