JPS5956992A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
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- JPS5956992A JPS5956992A JP16604382A JP16604382A JPS5956992A JP S5956992 A JPS5956992 A JP S5956992A JP 16604382 A JP16604382 A JP 16604382A JP 16604382 A JP16604382 A JP 16604382A JP S5956992 A JPS5956992 A JP S5956992A
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- JP
- Japan
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- discharge
- voltage
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- auxiliary
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
- H01S3/09713—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation
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- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はＣ０２レーザなど時間経過とともにレーザ出力
が変化するレーザ装置詮に１列する。
が変化するレーザ装置詮に１列する。
〔発明の技術的背見およびその問題点〕従来Ｃ０２レー
ザなどからパルス的なレーザ出力を得る装置としては第
１図に示すように１対の共振器鏡（１） 、 （２）と
直父する、１対の主放電電極（：（ｌ、（４）のいずれ
か一方の電極に誘電体層（５）を設け、主放電゛電極（
３）、（４）から引き出した合線ｔ６１．ｆ力に交流電
圧間欠的に印加し交流電圧の同期より間隔の広いくシ返
しパルスレーザ出力（８）を州ることを行っている。こ
の場合、交流入力電力は誘電体層（５）を介してレーザ
媒質を励起するため人力旭力に限度があシ、平均レーザ
出力の大きなパルスレーザは得られなかった５、父ｖＩ
Ｃ入力を犬′亀力にしこれを高速でＯＮ ＯＦＦするこ
とは電源の大形化をまねき実用上支障となる。
ザなどからパルス的なレーザ出力を得る装置としては第
１図に示すように１対の共振器鏡（１） 、 （２）と
直父する、１対の主放電電極（：（ｌ、（４）のいずれ
か一方の電極に誘電体層（５）を設け、主放電゛電極（
３）、（４）から引き出した合線ｔ６１．ｆ力に交流電
圧間欠的に印加し交流電圧の同期より間隔の広いくシ返
しパルスレーザ出力（８）を州ることを行っている。こ
の場合、交流入力電力は誘電体層（５）を介してレーザ
媒質を励起するため人力旭力に限度があシ、平均レーザ
出力の大きなパルスレーザは得られなかった５、父ｖＩ
Ｃ入力を犬′亀力にしこれを高速でＯＮ ＯＦＦするこ
とは電源の大形化をまねき実用上支障となる。
一方、レーザ出力光を穴あけ、熱処理、切断。
スポット溶接などのレーザ加工に利用する場合に、レー
ザの出力波形が連続発振出力ばかシでなくパルスレーザ
出力を用いた方が加工上都合の良いことも多い１．蛇来
り２軸直交もしくは３＠直交形の直流放′屯のＣＯ２レ
ーザでｔよパルス放電の制御が技術的に９！１［点がる
す実用化されていない。
ザの出力波形が連続発振出力ばかシでなくパルスレーザ
出力を用いた方が加工上都合の良いことも多い１．蛇来
り２軸直交もしくは３＠直交形の直流放′屯のＣＯ２レ
ーザでｔよパルス放電の制御が技術的に９！１［点がる
す実用化されていない。
本発明の目的Ｈ，ｃｏ２ガスレーザなど横励起形のガス
レーザにおいてパルスレーザの出力の波形をｉｔｉ’ｌ
１１．１１ したレーザ装置４を提供するにある。
レーザにおいてパルスレーザの出力の波形をｉｔｉ’ｌ
１１．１１ したレーザ装置４を提供するにある。
王放奄屯極間に１１１流亀圧を、また主放電電極の近傍
に訪１は体を介して設けた補助電極に交流電源よりの交
流Ｆ（（、ＩＪＥを印加し、その交流・電源の成力の用
度動作で主放電電力を制御１するように構成したもので
ある、。
に訪１は体を介して設けた補助電極に交流電源よりの交
流Ｆ（（、ＩＪＥを印加し、その交流・電源の成力の用
度動作で主放電電力を制御１するように構成したもので
ある、。
本発明を一実施例を示す。第２図に基すいて説明する。
図において、多数の針電極（１０ａ）、 （１０ｂ）と
平板状もしくはメソシー状、棒状、ガス貫通尺圓をもっ
た平板状などの電極ｔｌｌ）とを離間対向して主放電電
極が構成されでいる。針′電極（１０ａ）、 （１０ｂ
）は横断面がガス貫通穴０渇をもった十字状の板体から
なる訪軍性絶縁物０４の中央で上下に伸びている突出部
分ｕ３を間にしてそれぞれ対になって挿通して設けられ
ている。また挿通した各針電極（１０ａ）、 ０ｏｂ）
の上記電極（１１）側になるそれぞれの各端部は互いの
針電極側に向けて若干折曲されている。また上記突出部
分（１３）には一部を外側に出して板状の補助′電極ａ
力が針電極（１０ａ）、 （１０ｂ）と平行になって埋
設されている。上記針電極（ｉｏａ）、 （１０ｂ）、
電極Ｇｅｌおよび補助′電極■は炭酸ガス等のレーザ媒
質とともに密封容器住５）内に固定されている。上記レ
ーザ媒質は針電極（１０ａ）、 （１０りと・電極αυ
間の放電方向の軸に平行（Ｙ矢印方向）もしくは直交す
る方向（Ｘ矢印方向）ｖＩ−送風機（図示せず）で環流
される。
平板状もしくはメソシー状、棒状、ガス貫通尺圓をもっ
た平板状などの電極ｔｌｌ）とを離間対向して主放電電
極が構成されでいる。針′電極（１０ａ）、 （１０ｂ
）は横断面がガス貫通穴０渇をもった十字状の板体から
なる訪軍性絶縁物０４の中央で上下に伸びている突出部
分ｕ３を間にしてそれぞれ対になって挿通して設けられ
ている。また挿通した各針電極（１０ａ）、 ０ｏｂ）
の上記電極（１１）側になるそれぞれの各端部は互いの
針電極側に向けて若干折曲されている。また上記突出部
分（１３）には一部を外側に出して板状の補助′電極ａ
力が針電極（１０ａ）、 （１０ｂ）と平行になって埋
設されている。上記針電極（ｉｏａ）、 （１０ｂ）、
電極Ｇｅｌおよび補助′電極■は炭酸ガス等のレーザ媒
質とともに密封容器住５）内に固定されている。上記レ
ーザ媒質は針電極（１０ａ）、 （１０りと・電極αυ
間の放電方向の軸に平行（Ｙ矢印方向）もしくは直交す
る方向（Ｘ矢印方向）ｖＩ−送風機（図示せず）で環流
される。
マタ、針電極（ｉｏａ）、 （１０りと電極圓間になる
レーザ光路ａψ上に共振器鏡（図示せず）が設けられこ
の共振器鏡の一方からレーザ光が出力するようになって
いる。ここで、針電極（１０ａ）、 （１０ｂ） ト′
ｔ＋ｔ）＠Ｏυはｌｌｊ’、 ＋、＋ｔｒ、 ｉにａｃ
ｔ （１７１からの電圧が印加されるように回路ｒＡ成
されている。この回路の針電極（１０ａ）、、 （１０
ｂ）側には放電シンｔの／ζめに抵抗（１８）が共通に
設けられているとと・もに、それぞれ抵抗（ｌｔ、ｕｔ
を介した回路線間にコンデンサ四が設けられている。一
方、直流電源ｏ７）にも平渭用もしり（・よバイパス用
のコンデン゛シー （２（ｌｌが設けられ、これとは別
に交流変調電源Ｃ２１）が設けられ、補助鍼極側および
針ＩＩＪ、４ｉ（ｌｏａ）、（１０ｂ）に接続式れてい
る。上記交流袈調電源圓は第３１図（ａ）に示すように
連続に矩形波（２２）の元Ｊ辰を起す交流発振器０、）
１を・１イし、この矩形波（２２）の一部をケート回路
０．Ｄにおいて適宜、制御器（２句がらの第３図（０月
で示す１列御信樗いｉ）によってゲート回路シイ）のゲ
ートをＯＮにしてＪ’＋’ｆ幅器（２７）に入れ、との
出力をトランス（２８）で昇圧する（１−）成になって
いる。第３図（ｂ）は上記ゲートを；ｌ１Ｍ過したあど
増幅しだ電圧波形（２靭の例であり、数サイクルの電圧
が補助電極圓に印加される。上記の構成で、直ｖｌｉ：
′屯、ｊｇ、（ｉ′ｔ）からたとえば第３図（ｅ）に
示すパルス波形（１））が得られ、これにょシ同図（ｆ
）に示すレーザパルス波形ＣＬＩ）がイ（１られる。
レーザ光路ａψ上に共振器鏡（図示せず）が設けられこ
の共振器鏡の一方からレーザ光が出力するようになって
いる。ここで、針電極（１０ａ）、 （１０ｂ） ト′
ｔ＋ｔ）＠Ｏυはｌｌｊ’、 ＋、＋ｔｒ、 ｉにａｃ
ｔ （１７１からの電圧が印加されるように回路ｒＡ成
されている。この回路の針電極（１０ａ）、、 （１０
ｂ）側には放電シンｔの／ζめに抵抗（１８）が共通に
設けられているとと・もに、それぞれ抵抗（ｌｔ、ｕｔ
を介した回路線間にコンデンサ四が設けられている。一
方、直流電源ｏ７）にも平渭用もしり（・よバイパス用
のコンデン゛シー （２（ｌｌが設けられ、これとは別
に交流変調電源Ｃ２１）が設けられ、補助鍼極側および
針ＩＩＪ、４ｉ（ｌｏａ）、（１０ｂ）に接続式れてい
る。上記交流袈調電源圓は第３１図（ａ）に示すように
連続に矩形波（２２）の元Ｊ辰を起す交流発振器０、）
１を・１イし、この矩形波（２２）の一部をケート回路
０．Ｄにおいて適宜、制御器（２句がらの第３図（０月
で示す１列御信樗いｉ）によってゲート回路シイ）のゲ
ートをＯＮにしてＪ’＋’ｆ幅器（２７）に入れ、との
出力をトランス（２８）で昇圧する（１−）成になって
いる。第３図（ｂ）は上記ゲートを；ｌ１Ｍ過したあど
増幅しだ電圧波形（２靭の例であり、数サイクルの電圧
が補助電極圓に印加される。上記の構成で、直ｖｌｉ：
′屯、ｊｇ、（ｉ′ｔ）からたとえば第３図（ｅ）に
示すパルス波形（１））が得られ、これにょシ同図（ｆ
）に示すレーザパルス波形ＣＬＩ）がイ（１られる。
このような構成においてパルスレーザを発振器せる場合
の制御動作例を説明する。まず、主放電１ｔ ｌ１Ｍ
（１（Ｊａ）、 （１０ｂ）と０９間に直流＋ｔ ｕＭ
（ｔ７１から電圧を印加しｊ１電極電圧を求めｖｎｏ
とし、一方放電′屯流■Ｄｃとする。第４図はこのＶＤ
ＯとＩＤＣの関係の一例を示しだもので（３０）は補助
・電極に電圧を印加しない場合、（３１）は−１ｆｆｉ
助’＋Ｑ極（１４１に交流′１札力を印加した。翳合の
゛？ｉｌ；圧特性曲線を示した。交流電圧を印加すると
主放゛市市極（１０ａ）、 （１０りのまわりに補助・
電極ｕ４）の作用でイオン化がされるため主１に極間の
１−ＩＪ加’Ｉｌｉ；圧が低くてもよシ犬電流が流せる
。このように２つの動作条件に示すように補助父流成力
を供給すると主放′屯電極間の放電インピーダンスが低
くなる特注が・１ａられる。ここで、放【ｌ安定化抵抗
０８）。
の制御動作例を説明する。まず、主放電１ｔ ｌ１Ｍ
（１（Ｊａ）、 （１０ｂ）と０９間に直流＋ｔ ｕＭ
（ｔ７１から電圧を印加しｊ１電極電圧を求めｖｎｏ
とし、一方放電′屯流■Ｄｃとする。第４図はこのＶＤ
ＯとＩＤＣの関係の一例を示しだもので（３０）は補助
・電極に電圧を印加しない場合、（３１）は−１ｆｆｉ
助’＋Ｑ極（１４１に交流′１札力を印加した。翳合の
゛？ｉｌ；圧特性曲線を示した。交流電圧を印加すると
主放゛市市極（１０ａ）、 （１０りのまわりに補助・
電極ｕ４）の作用でイオン化がされるため主１に極間の
１−ＩＪ加’Ｉｌｉ；圧が低くてもよシ犬電流が流せる
。このように２つの動作条件に示すように補助父流成力
を供給すると主放′屯電極間の放電インピーダンスが低
くなる特注が・１ａられる。ここで、放【ｌ安定化抵抗
０８）。
（［坤を例えば負荷ＪＪｔ抗として第４図用もしくは■
（１２としておき、直流印加′電圧を（３０の特性でＩ
ＤＣ＝ Ｏのときの電圧Ｖ。に−例として設定する。こ
のように負荷抵抗と直流電圧電源を設定するとともに、
交流変調゛電源（２］）は第３図（ａ）〜（Ｃ）に示す
動作で電圧を制御して印加する。この交流＋ｔｌ、圧に
よって主電極（ＩＵａ）、 （ＨＪｌ））のまわりがイ
オン化されあらかじめｊ７ｊ ｌｌＬ ｆｕ圧孕Ｌ４Ｊ
加され−しいた主成′亀也極間に大電力の放′Ｃにが一
様に形成シれる。ここで、第３図（ｄ）は主電極同の′
ｌｉＬ ＩＪ：、全示し、Ｏ＋ｖｌは第４Ｍで負荷抵抗
■１．の場合を示した。第３図（ｄ）においてＶＯは主
成′１（山がおこっていないときの主放電電極でのいわ
ゆる無負的１山川で、またＶ、は主放電が交流変調電源
の補助励起作用によって開発され放に電流１．のときの
電圧降下Ｖ、である。すなわち、第４図におりる正／：
ｌ：ｉ特性曲紛Ｃ３］１と負荷抵抗（几、）とが父わる
動作点（１３，）を示ず１．このように交流補助励起電
圧を印加すると主放電がおこるが、主放電の約５〜１０
％の父ンＡｔ、 ′、ｌ、ｊ力を神助、戊力として交流
変調・電源に入力すれ（よ主成′屯がおこる。
（１２としておき、直流印加′電圧を（３０の特性でＩ
ＤＣ＝ Ｏのときの電圧Ｖ。に−例として設定する。こ
のように負荷抵抗と直流電圧電源を設定するとともに、
交流変調゛電源（２］）は第３図（ａ）〜（Ｃ）に示す
動作で電圧を制御して印加する。この交流＋ｔｌ、圧に
よって主電極（ＩＵａ）、 （ＨＪｌ））のまわりがイ
オン化されあらかじめｊ７ｊ ｌｌＬ ｆｕ圧孕Ｌ４Ｊ
加され−しいた主成′亀也極間に大電力の放′Ｃにが一
様に形成シれる。ここで、第３図（ｄ）は主電極同の′
ｌｉＬ ＩＪ：、全示し、Ｏ＋ｖｌは第４Ｍで負荷抵抗
■１．の場合を示した。第３図（ｄ）においてＶＯは主
成′１（山がおこっていないときの主放電電極でのいわ
ゆる無負的１山川で、またＶ、は主放電が交流変調電源
の補助励起作用によって開発され放に電流１．のときの
電圧降下Ｖ、である。すなわち、第４図におりる正／：
ｌ：ｉ特性曲紛Ｃ３］１と負荷抵抗（几、）とが父わる
動作点（１３，）を示ず１．このように交流補助励起電
圧を印加すると主放電がおこるが、主放電の約５〜１０
％の父ンＡｔ、 ′、ｌ、ｊ力を神助、戊力として交流
変調・電源に入力すれ（よ主成′屯がおこる。
上記は繰り返しパルスを得る例を示したが、補助父ｖｌ
ｅ 電力をＯＮ 、 ｏＦｉ；”、の波形にせずに、振
幅変調を行えば直流放ＴＩＪ 電力を交流′電力によっ
て制御できる４、即ち父び１１、補助放市電力が大きく
なるにつれて主放電極間の電圧降下が小さくなシ、直流
放′１４尤の最大数ｒｉＬｔＷ流が増す傾向を示すので
、交流電力γ（ＪＮ 、 ｕＦｉ；”）Ｉｉ］］ｌｌ１
ＩＩを行っ゛Ｃパルス的もしくは１１４ｊ欠的なＭ ｂ
ｒｔ王力又畦ばかシでなく、−アナログ的に交流電力を
振幅変調することによって、主成′屯・耐力をアナログ
的にｂＪ変制御ができる。また、レーザ発振を交流入力
のＯＮ、 （１”ｆ”を行っても交流入力のＯＦＦ時に
レーザ発振を弱い出力で持続するような第５図（ｅＪに
示すようなＬＩＣ度畳０バルスンーザ出力（Ｐ２）を発
振出力としてイけるためには主族′屯回路の動作点を負
荷抵抗几、の負荷抵抗線上とし、直流印加電圧を無負荷
時にはＶＤＯとなる電圧、すなわちこのＶＤＯは王放゛
亀電極に直流電圧印加のみで放電が持新できる高い電圧
に設定する。」二記負荷抵抗線上におい−Ｃ動作点（Ｂ
３）点は補助電極に交流電圧を印加してないときで、放
電電圧ｖｓでまた放市成流■３の点である。したがって
（ｖｌ・１３）の放ｉ社’ｔに力となる（１３４）点は
交流を印加したときの動作点である。放電電圧がＶ４で
放′甑電流が１４の点であり放電入力’ｄ￥、力は（Ｖ
４・１４）となる。したがってＭＥ ５図の（ａ）のよ
うに０〜１，１２〜ｔ３．・・・の間に交流電圧を交流
変調電源かり補助電極に電圧印加し、ｔｌ〜ｔ２＋・・
・の間は交流′Ｅ屁土圧印加仔止し、交互にＯＮ、 ０
ＦＩＩ”をくり返ずと主成重重極間に流れる電流ＩＤＯ
は第５図（ｂ）のようになり動作点（Ｂ３）と（Ｂ４）
の間を往復する。主成旧聞のｉｉｊ ＩＪＥ １４ ’
Ｆも同様である。第５図（Ｃ）にその様子を示した。〃
）＜て、レーザ活性媒質中に投入される放ｒｔｊ ’ｆ
ｉ：ｉ：力は第５図（ｄ）のように高人力と低入力領域
が交互にくシ区される６、放・１ａ空同のｌＪＬ極配置
によって第４図のようなＩＤＯ−ＶＤＯの特性の変化が
あられれるが、主成１戎ｒ、１極の近傍に農′１α性絶
縁物を介在さ亡て交流電力を印加することで類似の放電
部特性が碍られるから実施形）Ｊ旧、−Ｊ、種々変形実
施できる。誘電体を介して設ける油助電極は杷縁パイプ
の内部に４４体を設けた構造ても、ノＪ″４一体の上に
ガラス、セラミックスなどをコーティングしたものでも
良いし、板状の誘・毛体を神助・電極と主′中：４退の
間に設ける々ｔ（成でも良い、。
ｅ 電力をＯＮ 、 ｏＦｉ；”、の波形にせずに、振
幅変調を行えば直流放ＴＩＪ 電力を交流′電力によっ
て制御できる４、即ち父び１１、補助放市電力が大きく
なるにつれて主放電極間の電圧降下が小さくなシ、直流
放′１４尤の最大数ｒｉＬｔＷ流が増す傾向を示すので
、交流電力γ（ＪＮ 、 ｕＦｉ；”）Ｉｉ］］ｌｌ１
ＩＩを行っ゛Ｃパルス的もしくは１１４ｊ欠的なＭ ｂ
ｒｔ王力又畦ばかシでなく、−アナログ的に交流電力を
振幅変調することによって、主成′屯・耐力をアナログ
的にｂＪ変制御ができる。また、レーザ発振を交流入力
のＯＮ、 （１”ｆ”を行っても交流入力のＯＦＦ時に
レーザ発振を弱い出力で持続するような第５図（ｅＪに
示すようなＬＩＣ度畳０バルスンーザ出力（Ｐ２）を発
振出力としてイけるためには主族′屯回路の動作点を負
荷抵抗几、の負荷抵抗線上とし、直流印加電圧を無負荷
時にはＶＤＯとなる電圧、すなわちこのＶＤＯは王放゛
亀電極に直流電圧印加のみで放電が持新できる高い電圧
に設定する。」二記負荷抵抗線上におい−Ｃ動作点（Ｂ
３）点は補助電極に交流電圧を印加してないときで、放
電電圧ｖｓでまた放市成流■３の点である。したがって
（ｖｌ・１３）の放ｉ社’ｔに力となる（１３４）点は
交流を印加したときの動作点である。放電電圧がＶ４で
放′甑電流が１４の点であり放電入力’ｄ￥、力は（Ｖ
４・１４）となる。したがってＭＥ ５図の（ａ）のよ
うに０〜１，１２〜ｔ３．・・・の間に交流電圧を交流
変調電源かり補助電極に電圧印加し、ｔｌ〜ｔ２＋・・
・の間は交流′Ｅ屁土圧印加仔止し、交互にＯＮ、 ０
ＦＩＩ”をくり返ずと主成重重極間に流れる電流ＩＤＯ
は第５図（ｂ）のようになり動作点（Ｂ３）と（Ｂ４）
の間を往復する。主成旧聞のｉｉｊ ＩＪＥ １４ ’
Ｆも同様である。第５図（Ｃ）にその様子を示した。〃
）＜て、レーザ活性媒質中に投入される放ｒｔｊ ’ｆ
ｉ：ｉ：力は第５図（ｄ）のように高人力と低入力領域
が交互にくシ区される６、放・１ａ空同のｌＪＬ極配置
によって第４図のようなＩＤＯ−ＶＤＯの特性の変化が
あられれるが、主成１戎ｒ、１極の近傍に農′１α性絶
縁物を介在さ亡て交流電力を印加することで類似の放電
部特性が碍られるから実施形）Ｊ旧、−Ｊ、種々変形実
施できる。誘電体を介して設ける油助電極は杷縁パイプ
の内部に４４体を設けた構造ても、ノＪ″４一体の上に
ガラス、セラミックスなどをコーティングしたものでも
良いし、板状の誘・毛体を神助・電極と主′中：４退の
間に設ける々ｔ（成でも良い、。
なお、主成由、用の直１１ｉＬ ’４諒は第４図の動作
負荷曲線の選び方によっては交流補助電圧を印加しない
期間は１１Ａン）１［、ｌＩ、、源からの電流が十分小
さく設定できるからこの期間に直流放電回路に適宜スイ
ッチング回路を設けて１目４流屯源からの成力供帖ケ同
期をとってりＦ １！’にしでもよいことは明らかであ
る。
負荷曲線の選び方によっては交流補助電圧を印加しない
期間は１１Ａン）１［、ｌＩ、、源からの電流が十分小
さく設定できるからこの期間に直流放電回路に適宜スイ
ッチング回路を設けて１目４流屯源からの成力供帖ケ同
期をとってりＦ １！’にしでもよいことは明らかであ
る。
更に交びＩＬ駆画屯諒４２は上記では父υ１１１周波数
は一定であｐ、ｊ辰１ｌｌｉ、８才変調した例を示しだ
が、交びし人力電力の変調を行うには又流電圧振幅は一
定にしでおいて交流周波数を変調することでも交流入力
を変調できることケ」、明らかである。また交流’＋Ｉ
ｊ、 Ｊ、ｌＥ 。
は一定であｐ、ｊ辰１ｌｌｉ、８才変調した例を示しだ
が、交びし人力電力の変調を行うには又流電圧振幅は一
定にしでおいて交流周波数を変調することでも交流入力
を変調できることケ」、明らかである。また交流’＋Ｉ
ｊ、 Ｊ、ｌＥ 。
周波数同時に変化しても良いことは明らかで、（５る。
以上のよ）ＶＣ本発明は直流、丸みからの大成力放醜を
袖助父流′「電源の投入パワーで１ｌｉｌｌ １卸でさ
るため制御に要する駆動１ぺ源の設計が大幅しこ簡略化
されるとともに大出力の脈ｂ１シ、パルス、ＦＬ絖勤１
′「などの各種し−ザ元振出力が１台のレーザ光振装置
から得ることができ、レーザ出力葡各種カロエに利用す
る場合に最適レーザ出力波形の発生ができるから、加工
熱変質層を減少しノ辷り加工時グどけレーザ照射ができ
るから省エネルギーもでき、さらにレーザ出力が低出力
から高出力まで連続的にＯｆ変設＞ｊ’−Ｃさるのでｊ
（ｔ：ｌ１１パワ一苦度でレーザ照射が可能である。こ
のように本発明は竹にレーザ加工に適用し従来（′こな
い１−Ｉ−利なレーザ、＋６侭器の性能がイ皿保てきた
。
袖助父流′「電源の投入パワーで１ｌｉｌｌ １卸でさ
るため制御に要する駆動１ぺ源の設計が大幅しこ簡略化
されるとともに大出力の脈ｂ１シ、パルス、ＦＬ絖勤１
′「などの各種し−ザ元振出力が１台のレーザ光振装置
から得ることができ、レーザ出力葡各種カロエに利用す
る場合に最適レーザ出力波形の発生ができるから、加工
熱変質層を減少しノ辷り加工時グどけレーザ照射ができ
るから省エネルギーもでき、さらにレーザ出力が低出力
から高出力まで連続的にＯｆ変設＞ｊ’−Ｃさるのでｊ
（ｔ：ｌ１１パワ一苦度でレーザ照射が可能である。こ
のように本発明は竹にレーザ加工に適用し従来（′こな
い１−Ｉ−利なレーザ、＋６侭器の性能がイ皿保てきた
。
第１図は（ＩＥ来のパルス出力を発生するだめのレーザ
発振ハＩＳを７］”す（１１￥成図、第２１？）は本発
明の一実施例を示すイ１宵成図、１児３図（ａ）乃至（
０は動作波形図、第４図はｉｔｉ’Ｊ作訝１明図、第５
図は本発明の他の実施例に動作波形図でイする。 （１０ａ）、 （１０ｂ） −針電極 （ｔｌ、ｌ
＋＋＋ ｉｔ 極側・・・補助／ば＆０７）・・・
直流電源ＣＩＪ） −：；ごｒＪｉｒ、 Ｓ？Ｚ ｎ”
ｄ ｉｉ（源代理人 弁理士 則 近 盟 佑 （ほか１名） 箪１図 第２０ 工３図 軍４図
発振ハＩＳを７］”す（１１￥成図、第２１？）は本発
明の一実施例を示すイ１宵成図、１児３図（ａ）乃至（
０は動作波形図、第４図はｉｔｉ’Ｊ作訝１明図、第５
図は本発明の他の実施例に動作波形図でイする。 （１０ａ）、 （１０ｂ） −針電極 （ｔｌ、ｌ
＋＋＋ ｉｔ 極側・・・補助／ば＆０７）・・・
直流電源ＣＩＪ） −：；ごｒＪｉｒ、 Ｓ？Ｚ ｎ”
ｄ ｉｉ（源代理人 弁理士 則 近 盟 佑 （ほか１名） 箪１図 第２０ 工３図 軍４図
Claims (3)
- （１）直流電源とこの直流電源の電圧を印加されレーザ
媒質ガス放電励起用に設けられたアノードおよびカソー
ドからなる主放′＃！ｉ、１ｆｊ、極とこの主放電′電
極の少なくとも一方の電極の近傍に誘電体を介在して設
けられ補助電極とこの補助電極に交流電圧を印加する交
流電源と主放電空間を通るレーザ共振器とを１ｌｆｉ７
えるレーザ装置において、上記交流電Ｗは」二記主放亀
′屯極間の放゛亀祇力を制御するためのｔｔｌｉ助心極
の交流放電成力を可変にする動作部で変動するように搭
成されていることを特徴とするレーザ装置。 - （２）動作）Ｘｌζは一ヒの１１」変動作が交流印加電
圧の像幅変調であることをＩす徴とする特許請求の範囲
第１項記載のレーザ装置。 - （３）動作ｔ’？ｌｓはそのＤＪ′変動作が交流印加電
圧の周波数変調であることを７１！ｆ徴とする特許請求
の範囲第１項記載のレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16604382A JPS5956992A (ja) | 1982-09-25 | 1982-09-25 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16604382A JPS5956992A (ja) | 1982-09-25 | 1982-09-25 | レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5956992A true JPS5956992A (ja) | 1984-04-02 |
Family
ID=15823887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16604382A Pending JPS5956992A (ja) | 1982-09-25 | 1982-09-25 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5956992A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5010090A (ja) * | 1973-05-23 | 1975-02-01 | ||
| JPS595686A (ja) * | 1982-07-01 | 1984-01-12 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレ−ザ発振器 |
-
1982
- 1982-09-25 JP JP16604382A patent/JPS5956992A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5010090A (ja) * | 1973-05-23 | 1975-02-01 | ||
| JPS595686A (ja) * | 1982-07-01 | 1984-01-12 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレ−ザ発振器 |
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