JPS595686A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
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- JPS595686A JPS595686A JP11462882A JP11462882A JPS595686A JP S595686 A JPS595686 A JP S595686A JP 11462882 A JP11462882 A JP 11462882A JP 11462882 A JP11462882 A JP 11462882A JP S595686 A JPS595686 A JP S595686A
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- laser
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- electrode
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はガスレーザ発振器、特に無声放電を予備放電と
してレーザ発振を行なう発振器の改良に関するものであ
る。
してレーザ発振を行なう発振器の改良に関するものであ
る。
一般に、ガスレーザ発振器とては、光軸、直流グロー放
電路、気体流れ方向が互いにほぼ垂直な３軸直交型ＣＯ
２レーザが知られており、第１、２図にはこの種の発振
器の概略構成が示されている。
電路、気体流れ方向が互いにほぼ垂直な３軸直交型ＣＯ
２レーザが知られており、第１、２図にはこの種の発振
器の概略構成が示されている。
図において、陽極１０には複数の陰極１２が陰極基板１
４によって支持された状態で対向配置されており、陽極
１０と陰極１２との間にはＣＯ２、Ｎ２、Ｈｅの混合ガ
スからなるレーザガスが毎秒数十ｍの流量で矢印Ａ方向
に供給され、直流高電圧電源１６の電圧印加によって両
極陽極１０、陰極１２間に放電が生じる。そして、各陰
極１２には安定化抵抗１８が接続されており、この安定
化抵抗１８によって前記極間放電はアークに移行するこ
となく穏やかなグロー放電を維持し、この放電励起部２
０ではガス中のＣＯｓ分子の特定の振動準位間に反転分
布が生じ、この放電励起部２０を挾んで全反射鏡２２と
部分反射鏡２４とを対向配置させると、レーザ発振が生
じ、部分反射鏡２４からレーザ光線を取り出すことがで
きる。
４によって支持された状態で対向配置されており、陽極
１０と陰極１２との間にはＣＯ２、Ｎ２、Ｈｅの混合ガ
スからなるレーザガスが毎秒数十ｍの流量で矢印Ａ方向
に供給され、直流高電圧電源１６の電圧印加によって両
極陽極１０、陰極１２間に放電が生じる。そして、各陰
極１２には安定化抵抗１８が接続されており、この安定
化抵抗１８によって前記極間放電はアークに移行するこ
となく穏やかなグロー放電を維持し、この放電励起部２
０ではガス中のＣＯｓ分子の特定の振動準位間に反転分
布が生じ、この放電励起部２０を挾んで全反射鏡２２と
部分反射鏡２４とを対向配置させると、レーザ発振が生
じ、部分反射鏡２４からレーザ光線を取り出すことがで
きる。
前述した従来装置では、レーザ出力は放電電力と共に増
大し、これは放電密度に依存する。通常、装置の小型化
、低コスト化、の観点からは、放電密度を増加させるこ
とが望ましいか、ある限度を越えると、放電部に局所的
な高温部が発生し、安定化抵抗１８のみではグロー放電
の維持が困難となり放電はアークに移行し、この結果、
もはや所望のレーザ出力が得られずまたレーザガスの劣
化も著しく増大する。このため、レーザ発振器では、装
置の小型化と信頼性を向上させるために、放電がアーク
に移行する手前で最大出力が得られるような構成を用い
ている。
大し、これは放電密度に依存する。通常、装置の小型化
、低コスト化、の観点からは、放電密度を増加させるこ
とが望ましいか、ある限度を越えると、放電部に局所的
な高温部が発生し、安定化抵抗１８のみではグロー放電
の維持が困難となり放電はアークに移行し、この結果、
もはや所望のレーザ出力が得られずまたレーザガスの劣
化も著しく増大する。このため、レーザ発振器では、装
置の小型化と信頼性を向上させるために、放電がアーク
に移行する手前で最大出力が得られるような構成を用い
ている。
前述したように、レーザ発振器では、装置の小型化と大
出力化とが要求されるが、更に、各種の用途に応じてレ
ーザ出力の制御が要望されている。
出力化とが要求されるが、更に、各種の用途に応じてレ
ーザ出力の制御が要望されている。
例えば、金属或いは非金属板のレーザ切断時には、被加
工板の移動に同期してレーザ出力のＯＮ・ＯＦＦ或いは
スロープコントロール制御が必要となる。
工板の移動に同期してレーザ出力のＯＮ・ＯＦＦ或いは
スロープコントロール制御が必要となる。
従来、このようなレーザ出力制御は直流高電圧電源１６
の電流制御により行なわれていたが、切断加工などで必
要な大電力、例えば数ｍｍ厚の金属板切断時に必要な放
電電力５〜１０ＫＷを確実に制御することは容易でなか
った。通常、この様な大電力制御には、真空スイッチ或
いはイグナイトロンによるスイッチング制御が用いられ
ていたがスイッチ寿命が短いこと或いはメンテナンスが
厄介である等の欠点を有していた。更に、直流高電圧電
源１６は一般に整流回路、平滑回路を含むがこのために
、平滑回路の時定数により制御速度が制限されるという
欠点を有していた。
の電流制御により行なわれていたが、切断加工などで必
要な大電力、例えば数ｍｍ厚の金属板切断時に必要な放
電電力５〜１０ＫＷを確実に制御することは容易でなか
った。通常、この様な大電力制御には、真空スイッチ或
いはイグナイトロンによるスイッチング制御が用いられ
ていたがスイッチ寿命が短いこと或いはメンテナンスが
厄介である等の欠点を有していた。更に、直流高電圧電
源１６は一般に整流回路、平滑回路を含むがこのために
、平滑回路の時定数により制御速度が制限されるという
欠点を有していた。
本発明は上記従来の欠点に鑑み成されたものであり、そ
の目的は、小型でかつ大出力が得られ、更にレーザ出力
を容易に制御可能な改良されたガスレーザ発振器を捉供
することにある。
の目的は、小型でかつ大出力が得られ、更にレーザ出力
を容易に制御可能な改良されたガスレーザ発振器を捉供
することにある。
上記目的を達成するために、本発明は、レーザガス気流
を挾んで相対向するように配置され直流高電圧の印加に
よりグロー放電を生成する陽極及び陰極と、前記ガス気
流中に配置され陽極及び陰極との間で無声放電を生成す
る誘電体電極と、前記無声放電電力を任意に調整する制
御装置と、を有し、無声放電電力の調整によりレーザ出
力を制御することを特徴とするものである。
を挾んで相対向するように配置され直流高電圧の印加に
よりグロー放電を生成する陽極及び陰極と、前記ガス気
流中に配置され陽極及び陰極との間で無声放電を生成す
る誘電体電極と、前記無声放電電力を任意に調整する制
御装置と、を有し、無声放電電力の調整によりレーザ出
力を制御することを特徴とするものである。
以下図面に基づいて本発明の好適な実施例を説明する。
第３、４図には本発明において用いられる無声放電によ
る予備電離方式が適応された横方向励起型気体レーザ発
振器の概略構成が示されている。
る予備電離方式が適応された横方向励起型気体レーザ発
振器の概略構成が示されている。
この原理的な図において、第１、２図の従来装置の同一
部材には同一符号が付されており、従来と異なり、放電
励起部２０には誘電体電極２６が設けられており、この
誘電体電極２６はレーザガス気流中にあって交流高圧電
源２８からのパルス状の交流高電圧印加により陽極１０
、陰極１２との間で無声放電を生成する。
部材には同一符号が付されており、従来と異なり、放電
励起部２０には誘電体電極２６が設けられており、この
誘電体電極２６はレーザガス気流中にあって交流高圧電
源２８からのパルス状の交流高電圧印加により陽極１０
、陰極１２との間で無声放電を生成する。
前記誘電体電極２６は第５図に示されるように、鉄管２
３ａの周囲にガラスなどの誘電体２ ６ ｂが密着固定
されたいわゆる「ホーロー引き」の電極からなり、高電
圧ターミナル３０を介して交流高圧電源２８から電圧が
印加され、また両端に設けられた冷却水入口３２、冷却
水出口３４によって冷却水が循環されている。
３ａの周囲にガラスなどの誘電体２ ６ ｂが密着固定
されたいわゆる「ホーロー引き」の電極からなり、高電
圧ターミナル３０を介して交流高圧電源２８から電圧が
印加され、また両端に設けられた冷却水入口３２、冷却
水出口３４によって冷却水が循環されている。
以上のように、レーザガス気流中に配置された誘電体電
極２６に交流高電圧が印加されると陽極１０及び陰極１
２との間で無声放電が起こる。この状態で、従来と同様
の直流放電圧が印加されると、主放電のグローが生じ、
誘電体電極２６が形成され、この様な無声放電による予
備電離を行わないときに比べて、安定したグロー放電の
状態で２〜３倍の電力密度で電力供給を行うことができ
る。
極２６に交流高電圧が印加されると陽極１０及び陰極１
２との間で無声放電が起こる。この状態で、従来と同様
の直流放電圧が印加されると、主放電のグローが生じ、
誘電体電極２６が形成され、この様な無声放電による予
備電離を行わないときに比べて、安定したグロー放電の
状態で２〜３倍の電力密度で電力供給を行うことができ
る。
以上のように無声放電による予備電離を用いれば、小型
の発振器であっても、従来に比較して著しく大きなレー
ザ出力を取り出すことが可能となり、またこの時の、無
声放電の出力は主放電（グロー）の電力の約１／２０程
度である。
の発振器であっても、従来に比較して著しく大きなレー
ザ出力を取り出すことが可能となり、またこの時の、無
声放電の出力は主放電（グロー）の電力の約１／２０程
度である。
更に、本発明は、前記無声放電による予備電離を用いる
と共に、この無声放電をレーザ出力制御に用いることを
特徴とする。以下にこのレーザ出力制御を詳細に説明す
る。
と共に、この無声放電をレーザ出力制御に用いることを
特徴とする。以下にこのレーザ出力制御を詳細に説明す
る。
レーザ発振器によるグロー放電のグロー放電維持電圧と
放電電流との関係即ちＶｉ特性は無声放電の有無及び無
声放電電力の大ささによって大きく異なることが実験的
に確認された。
放電電流との関係即ちＶｉ特性は無声放電の有無及び無
声放電電力の大ささによって大きく異なることが実験的
に確認された。
第６図には前記Ｖ−ｉ特性が示され、縦軸にグロー放電
の放電維持電圧Ｖそして横軸にグロー放電電流ｉがとら
れている。図中、特性Ｉは無声放電の無い従来特性であ
り、また特性ＩＩ１〜ＩＩ−３は無声放電を定常的に行
なわせた（交流高圧電源２８の交流高電圧が常に印加さ
れている）場合の特性であり、無声放電の電力は各特性
において変えられている。特性Ｉ、ＩＩの平坦部（定電
流特性）はグロー放電が形成されている場合であり、電
流ｉの増大に伴い電圧Ｖが急激に降下している部分はア
ーク放電に移行した状態を示す。前述したように、通常
のレーザ装置では、アークに移行する直前近傍をその最
大動作点としている。
の放電維持電圧Ｖそして横軸にグロー放電電流ｉがとら
れている。図中、特性Ｉは無声放電の無い従来特性であ
り、また特性ＩＩ１〜ＩＩ−３は無声放電を定常的に行
なわせた（交流高圧電源２８の交流高電圧が常に印加さ
れている）場合の特性であり、無声放電の電力は各特性
において変えられている。特性Ｉ、ＩＩの平坦部（定電
流特性）はグロー放電が形成されている場合であり、電
流ｉの増大に伴い電圧Ｖが急激に降下している部分はア
ーク放電に移行した状態を示す。前述したように、通常
のレーザ装置では、アークに移行する直前近傍をその最
大動作点としている。
第６図から明らかなように、無声放電により予備電離を
行うとアークに移行する電流値が無声放電の無い場合に
比較して著しく増大し、かつこの増大は無声放電の電力
を増大するに従って大きくなることが理解される。尚、
グロー放電の敢電維持電圧Ｖは予備電離及びそのときの
無声放電電力の増大とともに低下している。
行うとアークに移行する電流値が無声放電の無い場合に
比較して著しく増大し、かつこの増大は無声放電の電力
を増大するに従って大きくなることが理解される。尚、
グロー放電の敢電維持電圧Ｖは予備電離及びそのときの
無声放電電力の増大とともに低下している。
本発明は、第６図のような特性を巧みに利用して、無声
放電の電力を変化させることによって任意にレーザ出力
のＯＮ・ＯＦＦスイッチング制御及びスロープコントロ
ール制御を行うことを特徴とする。
放電の電力を変化させることによって任意にレーザ出力
のＯＮ・ＯＦＦスイッチング制御及びスロープコントロ
ール制御を行うことを特徴とする。
第７図には、前述した原理を用いて、被加工板の切断加
工を行う好適な実施例が示されている。
工を行う好適な実施例が示されている。
被加工板３６は加工テーブル３８上に載置され、駆動モ
ータ４０によって所望軌跡に治って移動制御されており
、この駆動モータ４０と前記交流高圧電源２８へは外部
からの制御振号が供給され、前記被加工板３６の移動制
御が行われると共に、交流高圧電源２８の出力制御によ
って無声電力の電力調整を行い、これによってレーザ発
振器からミラー４２を介して被加工板３６へ供給される
レーザ出力を任意に制御している。
ータ４０によって所望軌跡に治って移動制御されており
、この駆動モータ４０と前記交流高圧電源２８へは外部
からの制御振号が供給され、前記被加工板３６の移動制
御が行われると共に、交流高圧電源２８の出力制御によ
って無声電力の電力調整を行い、これによってレーザ発
振器からミラー４２を介して被加工板３６へ供給される
レーザ出力を任意に制御している。
第８図には第７図のＶ−ｉ特性が示され、更に、この特
性には電気的な負荷特性が記入されている。
性には電気的な負荷特性が記入されている。
前記負荷特性は第９図に示されるレーザ発振器の等価回
路から求められ、グロー放電の放電維持電圧Ｖは直流高
電圧電源１６の出力電圧Ｅ、放電励起部２０に流れる電
流ｉそして安定化抵抗１８の抵抗値Ｒとから次の（１）
式から求められる。
路から求められ、グロー放電の放電維持電圧Ｖは直流高
電圧電源１６の出力電圧Ｅ、放電励起部２０に流れる電
流ｉそして安定化抵抗１８の抵抗値Ｒとから次の（１）
式から求められる。
Ｖ＝Ｅ−ｉＲ・・・・・・・・・（１）第８図の負荷特
性Ｖ１は無声放電を行なわないときにレーザ出力がなく
、無声放電の開始によっでレーザ出力を行なうＯＮ−Ｏ
ＦＦスイッチング制御を示す。すなわち、特性ＶｉはＶ
−ｉ特性との交点を有しておらず、このために、無声放
電がない状態では、グロー放電が生じることはない。
性Ｖ１は無声放電を行なわないときにレーザ出力がなく
、無声放電の開始によっでレーザ出力を行なうＯＮ−Ｏ
ＦＦスイッチング制御を示す。すなわち、特性ＶｉはＶ
−ｉ特性との交点を有しておらず、このために、無声放
電がない状態では、グロー放電が生じることはない。
従って、このような無声放電のないレーザ出力ＯＦＦ状
態をレーザ加工の待機状態とすることができる。そして
、第７図において、外部信号によって駆動モータ４０を
作動させ被加工板３６を所望位置に移動制御すると同時
に、この外部信号にて交流高電圧電源２８を励起すれば
、これによって誘電体電極２６と両極１０、１２との間
に無声放電が発生し、この結果、特性Ｖｉはいずれかの
特性ＩＩと交叉することが可能となり、例えばＶ−ｉ特
性ＩＩ−１により所望のグロー放電を行ない、これによ
ってレーザ出力が得られ被加工板３６の加工を行なうこ
とができる。
態をレーザ加工の待機状態とすることができる。そして
、第７図において、外部信号によって駆動モータ４０を
作動させ被加工板３６を所望位置に移動制御すると同時
に、この外部信号にて交流高電圧電源２８を励起すれば
、これによって誘電体電極２６と両極１０、１２との間
に無声放電が発生し、この結果、特性Ｖｉはいずれかの
特性ＩＩと交叉することが可能となり、例えばＶ−ｉ特
性ＩＩ−１により所望のグロー放電を行ない、これによ
ってレーザ出力が得られ被加工板３６の加工を行なうこ
とができる。
前記無声放電によるレーザ出力は特性Ｖｉと特性ＩＩ−
１との交点Ｐ１とにより定まり、このときのグロー放電
電力Ｗ１は第８図よりほぼＷ１＝Ｖｉ＝２．６×１．５
＝３．９（ＫＷ）となる。そして、このグロー放電電力
Ｗとレーザ出力との関係は、第１０図から、動作点Ｐ１
では０．２１（ＫＷ）のレーザ出力が得られることが理
解される。
１との交点Ｐ１とにより定まり、このときのグロー放電
電力Ｗ１は第８図よりほぼＷ１＝Ｖｉ＝２．６×１．５
＝３．９（ＫＷ）となる。そして、このグロー放電電力
Ｗとレーザ出力との関係は、第１０図から、動作点Ｐ１
では０．２１（ＫＷ）のレーザ出力が得られることが理
解される。
第８図の特性Ｖ２は前記電圧Ｅ１より大きな印加電Ｅ２
の場合を示し、この場合には特性Ｖ２はＶ−ｉ特性Ｉ及
びＩＩとそれぞれ交点を有するが、無声放電のない特性
Ｉに対しては、第１０図から明らかなように、この時の
放電電力Ｗ＝１．５（ＫＷ）はレーザ出力に必要なしき
い値（ほぼ１．７）を越えていないので、、グロー放電
のみが生じているだけでレーザ出力は得られない。
の場合を示し、この場合には特性Ｖ２はＶ−ｉ特性Ｉ及
びＩＩとそれぞれ交点を有するが、無声放電のない特性
Ｉに対しては、第１０図から明らかなように、この時の
放電電力Ｗ＝１．５（ＫＷ）はレーザ出力に必要なしき
い値（ほぼ１．７）を越えていないので、、グロー放電
のみが生じているだけでレーザ出力は得られない。
そして、前記特性Ｖｉと同様に、無声放電を開始すると
、■−ｉ特性ＩＩ−１との交点（Ｐ２′）から、グロー
放電電力Ｗ２′＝５．５（ＫＷ）が得られ、この結果、
レーザ出力Ｐ２′＝０．３８（ＫＷ）なる出力を得るこ
とができる。
、■−ｉ特性ＩＩ−１との交点（Ｐ２′）から、グロー
放電電力Ｗ２′＝５．５（ＫＷ）が得られ、この結果、
レーザ出力Ｐ２′＝０．３８（ＫＷ）なる出力を得るこ
とができる。
第１１図にはこのときのタイミングチャートが示され、
無声放電が生じる前には単にグロー放電Ｗ２（１０２）
が存在するが、レーザ出力は得られない。そして、時刻
ｔ１において無声放電が開始されると（１００）、グロ
ー放電（１０２）はＷ２′に移り、これと同時にレーザ
出力Ｐ２′を得ることが可能となる。
無声放電が生じる前には単にグロー放電Ｗ２（１０２）
が存在するが、レーザ出力は得られない。そして、時刻
ｔ１において無声放電が開始されると（１００）、グロ
ー放電（１０２）はＷ２′に移り、これと同時にレーザ
出力Ｐ２′を得ることが可能となる。
以上のように、無声放電の有無により、レーザ出力のＯ
Ｎ・ＯＦＦスイッチングを極めて容易に制御することが
可能となる。
Ｎ・ＯＦＦスイッチングを極めて容易に制御することが
可能となる。
更に、本発明においては、前述した単なるＯＮ・ＯＦＦ
スイッチングのみでなく、レーザ出力のスロープコント
ロールを無声放電により制御することが可能である。
スイッチングのみでなく、レーザ出力のスロープコント
ロールを無声放電により制御することが可能である。
一般に、無性放電電力Ｗ ｓＤは近似的に電源周波数ｆ
と印加電圧Ｖｏｐにより制御され、ＷｓＤ∝ｆＶｏｐ・
・・・・・・・・（２）なる関係がある。
と印加電圧Ｖｏｐにより制御され、ＷｓＤ∝ｆＶｏｐ・
・・・・・・・・（２）なる関係がある。
従って、第１２図（ａ）のごとき振幅変調された交流電
圧を外部信号と同期して交流高電圧電源２８から出力す
れば（２００） 、無声放電電力は第１２図（ｂ）のご
とく時間的に変化する電力特性（２０２）となり、グロ
ー放電電力も第１２図（ｃ）のごとく変化し、第１０図
から明らかなように、レーザ出力も同様に第１２図（ｄ
）に従って変化し、これによって、レーザ出力のスロー
プコントロールを行なうことが可能となる。更に、第１
２図（ｅ）のごとく無声放電の印加電圧を周波数変調す
ることによっても同様の時間的にスロープコントロール
のかけられた制御作用行なうことも可能となる。
圧を外部信号と同期して交流高電圧電源２８から出力す
れば（２００） 、無声放電電力は第１２図（ｂ）のご
とく時間的に変化する電力特性（２０２）となり、グロ
ー放電電力も第１２図（ｃ）のごとく変化し、第１０図
から明らかなように、レーザ出力も同様に第１２図（ｄ
）に従って変化し、これによって、レーザ出力のスロー
プコントロールを行なうことが可能となる。更に、第１
２図（ｅ）のごとく無声放電の印加電圧を周波数変調す
ることによっても同様の時間的にスロープコントロール
のかけられた制御作用行なうことも可能となる。
前述した各説明は、レーザ出力の開始時点を示すが、本
発明においては、もちろん、無声放電を外部信号に同期
して停止させ或いは時間的に徐々に減少させる事により
レーザ出力をＯＦＦスイッチングしまた出力の立ち下り
時間を時間的に制御することも可能である。
発明においては、もちろん、無声放電を外部信号に同期
して停止させ或いは時間的に徐々に減少させる事により
レーザ出力をＯＦＦスイッチングしまた出力の立ち下り
時間を時間的に制御することも可能である。
以上説明したように、本発明によれば、レーザ出力のス
イッチング及びスロープコントロール制御を従来の主放
電電源制御によることなく、予備放電の無声敢電電源制
御により行なうので制御電圧が小さ＜（１／２０以下）
、信頼性の高いかつ低コストの装置を得ることができる
。また、無声放電による制御は高速度であるため、レー
ザ出力制御を高速化し、例えばレーザ切断等における精
度を向上させることが可能となる。
イッチング及びスロープコントロール制御を従来の主放
電電源制御によることなく、予備放電の無声敢電電源制
御により行なうので制御電圧が小さ＜（１／２０以下）
、信頼性の高いかつ低コストの装置を得ることができる
。また、無声放電による制御は高速度であるため、レー
ザ出力制御を高速化し、例えばレーザ切断等における精
度を向上させることが可能となる。
第１図は従来のガスレーザ発振器の縦断面図、第２図は
第１図のＩＩ−ＩＩ線断面図、第３図は無声放電を用い
たガスレーザ発振器の縦断面図、第４図は第３図のＩＶ
−ＩＶ線断面図、第５図は無声放電を行なうための電極
の断面図、第６図はグロー放電のＶ − ｉ特性図、第
７図は本発明の一実施例を示す無声放電を用いたガスレ
ーザ発振器の縦断面図、第８図はグロー放電のＶ−ｉ特
性と動作点を示す特性図、第９図はグロー放電の等価回
路図、第１０図は放電電力とレーザ出力の関係図、第１
１、１２図は無声放電によるレーザ出力制御作用図であ
る。各図中同一部材には同一符号を付し、１０は陽極、
１２は陰極、２６ｆは誘電体電極、２８交流高電圧電源
である。 代理人 弁理士 葛野信一 （外１名）
第１図のＩＩ−ＩＩ線断面図、第３図は無声放電を用い
たガスレーザ発振器の縦断面図、第４図は第３図のＩＶ
−ＩＶ線断面図、第５図は無声放電を行なうための電極
の断面図、第６図はグロー放電のＶ − ｉ特性図、第
７図は本発明の一実施例を示す無声放電を用いたガスレ
ーザ発振器の縦断面図、第８図はグロー放電のＶ−ｉ特
性と動作点を示す特性図、第９図はグロー放電の等価回
路図、第１０図は放電電力とレーザ出力の関係図、第１
１、１２図は無声放電によるレーザ出力制御作用図であ
る。各図中同一部材には同一符号を付し、１０は陽極、
１２は陰極、２６ｆは誘電体電極、２８交流高電圧電源
である。 代理人 弁理士 葛野信一 （外１名）
Claims (2)
- （１） レーザガス気流を挾んで相対向するように配置
され直流高電圧の印加によりグロー放電を生成する陽極
及び陰極と、前記ガス気流中に配置され陽極及び陰極と
の間で無声放電を生成する誘電体電極と、前記無声放電
電力を任意に調整する制御装置と、を有し、無声放電電
力の調整によりレーザ出力を制御することを特徴とする
ガスレーザ発振器。 - （２）特許請求の範囲（１）記載の発振器において、待
機状態においてはレーザ発振に至らない状態で陽極及び
陰極間に直流高電圧を印加し、レーザ出力のＯＮ・ＯＦ
Ｆスイッチングが外部信号による無声放電の開始及び停
止により制御することを特徴とするガスレーザ発振器。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11462882A JPS595686A (ja) | 1982-07-01 | 1982-07-01 | ガスレ−ザ発振器 |
| US06/417,287 US4488309A (en) | 1981-09-16 | 1982-09-13 | Gas laser apparatus |
| DE8282108557T DE3271778D1 (en) | 1981-09-16 | 1982-09-16 | Gas laser apparatus |
| EP82108557A EP0075282B1 (en) | 1981-09-16 | 1982-09-16 | Gas laser apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11462882A JPS595686A (ja) | 1982-07-01 | 1982-07-01 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS595686A true JPS595686A (ja) | 1984-01-12 |
| JPS6346589B2 JPS6346589B2 (ja) | 1988-09-16 |
Family
ID=14642600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11462882A Granted JPS595686A (ja) | 1981-09-16 | 1982-07-01 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS595686A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5956992A (ja) * | 1982-09-25 | 1984-04-02 | Toshiba Corp | レ−ザ装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3588740A (en) * | 1969-04-14 | 1971-06-28 | Us Army | Pulsed gas ion laser |
| JPS5010090A (ja) * | 1973-05-23 | 1975-02-01 |
-
1982
- 1982-07-01 JP JP11462882A patent/JPS595686A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3588740A (en) * | 1969-04-14 | 1971-06-28 | Us Army | Pulsed gas ion laser |
| JPS5010090A (ja) * | 1973-05-23 | 1975-02-01 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5956992A (ja) * | 1982-09-25 | 1984-04-02 | Toshiba Corp | レ−ザ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6346589B2 (ja) | 1988-09-16 |
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