JPS5954158A - 走査型電子顕微鏡およびその類似装置における試料移動装置 - Google Patents
走査型電子顕微鏡およびその類似装置における試料移動装置Info
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- JPS5954158A JPS5954158A JP16534082A JP16534082A JPS5954158A JP S5954158 A JPS5954158 A JP S5954158A JP 16534082 A JP16534082 A JP 16534082A JP 16534082 A JP16534082 A JP 16534082A JP S5954158 A JPS5954158 A JP S5954158A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は走査型電子顕微鏡およびその類似装置に関し、
特にそれらにおける試料移動方法ならびにその装置に関
する。
特にそれらにおける試料移動方法ならびにその装置に関
する。
第１図に示すように、従来の走査型電子顕微鏡装置にお
ける試料移動手段は、鏡筒１の上部に荷電粒子線（電子
ビーム）を、放射する電子銃５がそなえられている。
ける試料移動手段は、鏡筒１の上部に荷電粒子線（電子
ビーム）を、放射する電子銃５がそなえられている。
この電子銃５から放射された電子ビーム５ａは、コー５
＝ ンデンサレンズ２と対物レンズ３を通って、移動台１０
上の試料１１に照射される。そして、試料１１からの２
次電子ビーム等の信号は検出器１３により検出され、増
幅器１４により増幅されて、表示部１８に試料１１の像
が表示される。
＝ ンデンサレンズ２と対物レンズ３を通って、移動台１０
上の試料１１に照射される。そして、試料１１からの２
次電子ビーム等の信号は検出器１３により検出され、増
幅器１４により増幅されて、表示部１８に試料１１の像
が表示される。
ただし、電子ビーム走査用の偏向部材４としての、Ｘ方
向偏向コイル４ＸとＹ方向偏向コイル４Ｙの働鰺により
、試料１１のうちの走査面１２内のみが電子ビーム５ａ
の走査を受けるため、表示部１８には走査面１２内の像
が表示される。
向偏向コイル４ＸとＹ方向偏向コイル４Ｙの働鰺により
、試料１１のうちの走査面１２内のみが電子ビーム５ａ
の走査を受けるため、表示部１８には走査面１２内の像
が表示される。
ここで、偏向コイル４Ｘ、４Ｙによる偏向は、Ｘ方向走
査用電源１６がら供給される鋸歯状の偏向信号ＳＸとＹ
方向走査電源１７から供給される鋸歯状の偏向信号ＳＹ
とにより行なわれ、試料１１のうもの第２図に示す矩形
の走査面１２内に電子ビーム５ａが走査さ゛れるのであ
る。
査用電源１６がら供給される鋸歯状の偏向信号ＳＸとＹ
方向走査電源１７から供給される鋸歯状の偏向信号ＳＹ
とにより行なわれ、試料１１のうもの第２図に示す矩形
の走査面１２内に電子ビーム５ａが走査さ゛れるのであ
る。
そこで、第２，３図に示すように、試料１１の試料移動
台１０の移動方向Ｘからの傾斜角度θホで走査面１２を
回転したい場合、走査用電源１６’、１７と偏向−６＝ 部材４との間に介装された回転角演算器１５に回転角設
定器２６から走査面回転指令θａを与えると、この指令
θａに応しＸ方向偏向信号ＳＸにＹ方向偏向信号ＳＹを
所定量だけ重畳するとともに、信号ＳＹに信号ＳＸを所
定量だけ重畳する。
台１０の移動方向Ｘからの傾斜角度θホで走査面１２を
回転したい場合、走査用電源１６’、１７と偏向−６＝ 部材４との間に介装された回転角演算器１５に回転角設
定器２６から走査面回転指令θａを与えると、この指令
θａに応しＸ方向偏向信号ＳＸにＹ方向偏向信号ＳＹを
所定量だけ重畳するとともに、信号ＳＹに信号ＳＸを所
定量だけ重畳する。
これにより電子ビーム走査面１２を、第４図に示すよう
に、角度θだけ回転させて偏向することがで終る。
に、角度θだけ回転させて偏向することがで終る。
また、移動台１０は真空な試料室６内に設置されている
が、移動台１０を、直交する２方向であるＸ方向および
Ｙ方向へ移動可能な試料移動台がそなえられている。
が、移動台１０を、直交する２方向であるＸ方向および
Ｙ方向へ移動可能な試料移動台がそなえられている。
この試料移動台は、第２図に示すように、Ｘ方向移動ア
クチュエータ７Ｘ、Ｘ方向送りネジ８Ｘ、Ｘ方向ガイド
パ＝９ＸおよびＹ方向移動アクチュエータ７Ｙ。
クチュエータ７Ｘ、Ｘ方向送りネジ８Ｘ、Ｘ方向ガイド
パ＝９ＸおよびＹ方向移動アクチュエータ７Ｙ。
Ｙ方向送りネジ８Ｙ、Ｙ方向ガイドバー９Ｙがら構成さ
れている。
れている。
そしてＸ方向移動アクチュエータ７Ｘへは、第１図に示
すように、Ｘ方向移動指令値設定器２４に設定された指
令値Ｘ。（負の値を含む。）に応じた信号がＸ方向７− 移動アクチュエータ制御回路１９より供給され、Ｙ方向
移動アクチュエータ７Ｙへは、Ｙ方向移動指令値設定器
２５に設定された指令値Ｙ。（負の値を含む。）に応じ
た信号がＹ方向移動アクチュエータ制御回路２０ Ｊ：
り供給される。
すように、Ｘ方向移動指令値設定器２４に設定された指
令値Ｘ。（負の値を含む。）に応じた信号がＸ方向７− 移動アクチュエータ制御回路１９より供給され、Ｙ方向
移動アクチュエータ７Ｙへは、Ｙ方向移動指令値設定器
２５に設定された指令値Ｙ。（負の値を含む。）に応じ
た信号がＹ方向移動アクチュエータ制御回路２０ Ｊ：
り供給される。
なお、第１図の符号Ｗ、Ｄは作動距離（Ｗｏｒｋｉｎｇ
Ｄ １ｓｔａｎｅｅ）を示す。
Ｄ １ｓｔａｎｅｅ）を示す。
従来の試料移動手段は、上述の構成により、試料１１を
直交するＸ方向およびＹ方向へ移動することにより、走
査面１２を移動することができるが、第４図に示すよう
に、走査面１２を回転させて、座標軸Ｘ、Ｙに従う走査
面から座標軸Ｘ’ 、Ｙ’に従う走査面に変化させて、
傾斜した試料１１を矩形の走査面１２の２辺ａ。
直交するＸ方向およびＹ方向へ移動することにより、走
査面１２を移動することができるが、第４図に示すよう
に、走査面１２を回転させて、座標軸Ｘ、Ｙに従う走査
面から座標軸Ｘ’ 、Ｙ’に従う走査面に変化させて、
傾斜した試料１１を矩形の走査面１２の２辺ａ。
ｌ〕と平行な状態にして観察している状態（第５図参照
）から、第５図に示すような視野のさらに左側を観察す
る場合、例えばＸ方向のみの試料移動指令を出すと、第
６図に示すように走査面１２は座標軸Ｘ’ 、Ｙ’に従
ったものから座標軸Ｘ″、Ｙ”に従った走査面となるた
め、第７図に示すように、走査面は第５図の走査８− 面の左」二に動いてしまい、すなわち、その視野におけ
る画像は右下に動き、観察が困難となる。
）から、第５図に示すような視野のさらに左側を観察す
る場合、例えばＸ方向のみの試料移動指令を出すと、第
６図に示すように走査面１２は座標軸Ｘ’ 、Ｙ’に従
ったものから座標軸Ｘ″、Ｙ”に従った走査面となるた
め、第７図に示すように、走査面は第５図の走査８− 面の左」二に動いてしまい、すなわち、その視野におけ
る画像は右下に動き、観察が困難となる。
つまり第５図の視野の左側を観察するためには、適切な
Ｘ方向とＹ方向の移動指令を両方とも出す必要があるが
、このようなことを行なうのは困難であり、回転角θが
０°以外の場合は操作性が悪く、作業者の負担が大きく
なるという問題点がある。
Ｘ方向とＹ方向の移動指令を両方とも出す必要があるが
、このようなことを行なうのは困難であり、回転角θが
０°以外の場合は操作性が悪く、作業者の負担が大きく
なるという問題点がある。
従来の他の装置と、して、第８〜１５図に示すように、
走査面１２を回転するための回転角演算器１５を設けず
、走査面１２を固定として、第８，９図に示すように移
動台１０の上に試料回転機構としての試料回転軸２２お
よび試料回転軸２２の軸受２３を設けた装置もある。
走査面１２を回転するための回転角演算器１５を設けず
、走査面１２を固定として、第８，９図に示すように移
動台１０の上に試料回転機構としての試料回転軸２２お
よび試料回転軸２２の軸受２３を設けた装置もある。
この場合、第ｉｏ、ｉ、ｘ図に示すような傾斜した状態
の試料１１を走査面１２の各辺ａ、ｂと平行な状態で観
察するためには、まず第１２図に示すように試料１１を
回転させ、試料１１が走査面１２の各辺の方向Ｘ。
の試料１１を走査面１２の各辺ａ、ｂと平行な状態で観
察するためには、まず第１２図に示すように試料１１を
回転させ、試料１１が走査面１２の各辺の方向Ｘ。
Ｙと平行になるようにする。゛さらに、第１４図に示す
ように、試料１１を試料移動機構によりＸ方向および９
− Ｙ方向に平行移動し、第１５図に示すような位置まで試
料を移動させて、観察を行なう。
ように、試料１１を試料移動機構によりＸ方向および９
− Ｙ方向に平行移動し、第１５図に示すような位置まで試
料を移動させて、観察を行なう。
しかし、この場合、第・１３図に示すように、試料１１
を回転させた時点で像が表示部１８から消えてしまうた
め、再度Ｘ、Ｙ方向の移動により像を走査面１２まで移
動するのは非常に大変な作業となり、操作性が悪く、作
業者の負担が大きくなるという問題点がある。
を回転させた時点で像が表示部１８から消えてしまうた
め、再度Ｘ、Ｙ方向の移動により像を走査面１２まで移
動するのは非常に大変な作業となり、操作性が悪く、作
業者の負担が大きくなるという問題点がある。
また、試料回転機構が必要なため、機構が複雑で経済性
も悪くなるという問題点や、可動部が増加するために振
動に弱くなるという問題点もある。
も悪くなるという問題点や、可動部が増加するために振
動に弱くなるという問題点もある。
部品点数が増加して、機構が複雑となるため、金属等の
表面が多くなり、放出ガスが増大し真空な試料室６の真
空排気システムの負担増となる。
表面が多くなり、放出ガスが増大し真空な試料室６の真
空排気システムの負担増となる。
さらに、従来の別の装置として、走査面１２と試料１１
の両方を回転させることができる装置もあるが、操作の
複雑さが増すだけで、上述の諸問題点は全く解決されな
い。
の両方を回転させることができる装置もあるが、操作の
複雑さが増すだけで、上述の諸問題点は全く解決されな
い。
本発明は、これらの問題点を解決しよう□とするもので
、簡易化された操作によって、迅速に最適な走査面１０
− を得ることができ、作業の能率化をはかった走査型電子
顕微鏡およびその類似装置における試料移動方法および
その装置を提供することを目的とする。
、簡易化された操作によって、迅速に最適な走査面１０
− を得ることができ、作業の能率化をはかった走査型電子
顕微鏡およびその類似装置における試料移動方法および
その装置を提供することを目的とする。
このため、本発明の走査型電子顕微鏡およびその類（１
’Ｊ、装置における試料移動方法は、試料の実際の位置
を第１の座標系に基づいて変化させることによって」二
記電子顕微鏡からの荷電粒子線の照射する」二記試料の
走査面を第２の座標系に基づき変化させるに際しまず」
１記走査面の」二配載２の座標系における移動方向およ
び移動量を設定し、この設定された」１記走査面の移動
方向および移動量を」−配路１の座標系における上記試
料の移動方向および移動量に変換し、この変換された移
動方向および移動量に基づいて上記試料の位置を変化さ
せることを特徴としている。
’Ｊ、装置における試料移動方法は、試料の実際の位置
を第１の座標系に基づいて変化させることによって」二
記電子顕微鏡からの荷電粒子線の照射する」二記試料の
走査面を第２の座標系に基づき変化させるに際しまず」
１記走査面の」二配載２の座標系における移動方向およ
び移動量を設定し、この設定された」１記走査面の移動
方向および移動量を」−配路１の座標系における上記試
料の移動方向および移動量に変換し、この変換された移
動方向および移動量に基づいて上記試料の位置を変化さ
せることを特徴としている。
また、本発明の走査型電子顕微鏡およびその類似装置に
おける試料移動装置は、試料を第１の座標系における第
１方向へ移動しうる第１方向試料移動台と、同第１方向
試料移動台を駆動する第１方向移動機構と、」二記試料
を上記第１の座標系における第２方向へ移動しうる第２
方向試料移動台と、同第２方向試料移動台を駆動する第
２方向移動機構とをそなえるとともに、」二記電子顕微
鏡およびその類似装置の走査面を」二記の第１方向ない
し第２方向から所定回転角θだけ回転させて走査すべく
、同回転角θに対応する角度信号θａを設定する回転角
設定器と、」１記回転角信号θａを受けて荷電粒子線を
偏向させる偏向部と、上記各試料移動台の第１の座標系
における移動方向および移動量を上記走査面の」二配載
２の座標系における移動方向およびその移動量に基づい
て制御すべく、上記走査面の移動方向およびその移動量
を設定する第１移動指令値設定器と、上記走査面の他の
移動方向およびその移動量を設定する第２移動指令値設
定器とをそなえ、上記の第１および第２移動指令値設定
器からの上記走査面の移動方向および移動量に対応する
信号と上記回転角信号θａとを受けて、」二配載１方向
試料移動台の移動量Ｐ×および上記第２方向試料移動台
の移動量ｐｙをおのおの上記の第１方向移動機構および
第２方向移動機構へ座標変換して出力する試料移動台移
動方向演算器とが設けられたことを特徴としている。
おける試料移動装置は、試料を第１の座標系における第
１方向へ移動しうる第１方向試料移動台と、同第１方向
試料移動台を駆動する第１方向移動機構と、」二記試料
を上記第１の座標系における第２方向へ移動しうる第２
方向試料移動台と、同第２方向試料移動台を駆動する第
２方向移動機構とをそなえるとともに、」二記電子顕微
鏡およびその類似装置の走査面を」二記の第１方向ない
し第２方向から所定回転角θだけ回転させて走査すべく
、同回転角θに対応する角度信号θａを設定する回転角
設定器と、」１記回転角信号θａを受けて荷電粒子線を
偏向させる偏向部と、上記各試料移動台の第１の座標系
における移動方向および移動量を上記走査面の」二配載
２の座標系における移動方向およびその移動量に基づい
て制御すべく、上記走査面の移動方向およびその移動量
を設定する第１移動指令値設定器と、上記走査面の他の
移動方向およびその移動量を設定する第２移動指令値設
定器とをそなえ、上記の第１および第２移動指令値設定
器からの上記走査面の移動方向および移動量に対応する
信号と上記回転角信号θａとを受けて、」二配載１方向
試料移動台の移動量Ｐ×および上記第２方向試料移動台
の移動量ｐｙをおのおの上記の第１方向移動機構および
第２方向移動機構へ座標変換して出力する試料移動台移
動方向演算器とが設けられたことを特徴としている。
以下、図面により本発明の一実施例としての走査型電子
顕微鏡およびその類似装置における試料移動方法ならび
にその装置について説明する。
顕微鏡およびその類似装置における試料移動方法ならび
にその装置について説明する。
第１６〜２０図は本発明による走査型電子顕微鏡および
その類似装置における試料移動装置を示すもので、第１
６図はその全体構成図、第１７．１．９図はいずれもそ
の試料の配設状態を示す平面図、第１８．２０図はいず
れもその表示部における視野を示す模式図である。なお
、第１６〜２０図中、第１〜１５図と同じ符号はほぼ同
様のものを示す。
その類似装置における試料移動装置を示すもので、第１
６図はその全体構成図、第１７．１．９図はいずれもそ
の試料の配設状態を示す平面図、第１８．２０図はいず
れもその表示部における視野を示す模式図である。なお
、第１６〜２０図中、第１〜１５図と同じ符号はほぼ同
様のものを示す。
第１６図に示すように、鏡筒１の上部に荷電粒子線（電
子ビーム）を放射する電子銃５がそなえられている。
子ビーム）を放射する電子銃５がそなえられている。
この電子銃５から放射された電子ビーム５ａは、コンデ
ンサレンズ２と対物レンズ３を通って、試料移動台１０
上の試料１１に照射される。そして、試料１１からの２
次電子ビーム等の信号は検出器１３により検出され、増
幅器１４により増幅されて、表示部１８に試料１１の像
が表示される。ただし、コンデンサレンズ−】３− ２と対物レンズ３の間に介装された、電子ビーム走査用
の偏向部材４としての、Ｘ方向偏向コイル４ＸとＹ方向
偏向コイル４Ｙの働きにより、試料１１のうちの走査面
１２内のみが電子ビーム５ａの走査を受けるため、表示
部１８には走査面１２内の像が表示される。
ンサレンズ２と対物レンズ３を通って、試料移動台１０
上の試料１１に照射される。そして、試料１１からの２
次電子ビーム等の信号は検出器１３により検出され、増
幅器１４により増幅されて、表示部１８に試料１１の像
が表示される。ただし、コンデンサレンズ−】３− ２と対物レンズ３の間に介装された、電子ビーム走査用
の偏向部材４としての、Ｘ方向偏向コイル４ＸとＹ方向
偏向コイル４Ｙの働きにより、試料１１のうちの走査面
１２内のみが電子ビーム５ａの走査を受けるため、表示
部１８には走査面１２内の像が表示される。
ここで、偏向コイル４Ｘ、４．Ｙによる偏向は、Ｘ方向
走査用電源１６から供給される鋸歯状の偏向信号ＳＸと
Ｙ方向走査電源１７から供給される鋸歯状の偏向信号Ｓ
Ｙとにより行なわれ、試料１１のうちの第１７図に示す
矩形の走査面１２内に電子ビーム５ａが走査されるので
ある。
走査用電源１６から供給される鋸歯状の偏向信号ＳＸと
Ｙ方向走査電源１７から供給される鋸歯状の偏向信号Ｓ
Ｙとにより行なわれ、試料１１のうちの第１７図に示す
矩形の走査面１２内に電子ビーム５ａが走査されるので
ある。
そこで、第１７．１８図に示すように、試料１１と試料
移動台１０の移動方向とのずれの角度θまで走査面１２
を回転したい場合、走査用電源１６．１７と偏向部材４
との開に介装された回転角演算器１５に回転角設定器２
６から走査面回転指令θａを与えると、この指令θａに
応じＸ方向偏向信号ＳＸにＹ方向偏向信号ＳＹを所定量
だけ重畳するとともに、信号ＳＹに信号Ｓ×を所定量だ
け重畳する。
移動台１０の移動方向とのずれの角度θまで走査面１２
を回転したい場合、走査用電源１６．１７と偏向部材４
との開に介装された回転角演算器１５に回転角設定器２
６から走査面回転指令θａを与えると、この指令θａに
応じＸ方向偏向信号ＳＸにＹ方向偏向信号ＳＹを所定量
だけ重畳するとともに、信号ＳＹに信号Ｓ×を所定量だ
け重畳する。
＝１４−
これにより電子ビーム走査前１２を、第１７図に示すよ
うに、角度θだけ回転させて偏向することができる。
うに、角度θだけ回転させて偏向することができる。
また、移動台１０は真空な試料室６内に設置されている
が、移動台１０を、直交する２方向であるＸ方向および
Ｙ方向へ移動可能な試料移動台がそなえられている。
が、移動台１０を、直交する２方向であるＸ方向および
Ｙ方向へ移動可能な試料移動台がそなえられている。
この試料移動台は、従来例と同様に（第２図参照）、Ｘ
方向移動アクチュエータ７Ｘ、Ｘ方向送りネジ８Ｘ。
方向移動アクチュエータ７Ｘ、Ｘ方向送りネジ８Ｘ。
Ｘ方向ガイドバー９×およびＹ方向移動アクチュエータ
７Ｙ、Ｙ方向送りネジ８Ｙ、Ｙ方向ガイドバー９Ｙから
構成されている。（第２図参照） さらに、Ｘ、Ｙ方向移動指令値設定器２４．２５が設け
られていて、これらの設定器２４．２５に設定された指
令値Ｘ。ｌ Ｙ Ｏが、試料全動方向演算器２１に供給
される。
７Ｙ、Ｙ方向送りネジ８Ｙ、Ｙ方向ガイドバー９Ｙから
構成されている。（第２図参照） さらに、Ｘ、Ｙ方向移動指令値設定器２４．２５が設け
られていて、これらの設定器２４．２５に設定された指
令値Ｘ。ｌ Ｙ Ｏが、試料全動方向演算器２１に供給
される。
指令値Ｘ。＋ Ｙ ｏは、正および負の値となって、実
際の走査面１２の横方向Ｘ′および縦方向Ｙ′の移動量
を指令するものである。
際の走査面１２の横方向Ｘ′および縦方向Ｙ′の移動量
を指令するものである。
この試料微動方向演算器２１では、走査面の回転角度θ
に応じて、実際に試料移動装置が移動すべ％Ｘ方向の移
動量Ｐｘを（Ｙｏｃｏｓ（９０°十θ）＋Ｘｏｃｏｓθ
）と演算するとともに、Ｙ方向の移動量ｐｙを（Ｙ、５
ｉｎ（９０°＋θ）＋Ｘ（、ｓｉｎθ）と演算する。
に応じて、実際に試料移動装置が移動すべ％Ｘ方向の移
動量Ｐｘを（Ｙｏｃｏｓ（９０°十θ）＋Ｘｏｃｏｓθ
）と演算するとともに、Ｙ方向の移動量ｐｙを（Ｙ、５
ｉｎ（９０°＋θ）＋Ｘ（、ｓｉｎθ）と演算する。
この移動量Ｐｘおよび移動量Ｐｙは、実際に試料１１を
Ｘ方向およびＹ方向へ移動すベト移動量であり、この移
動量Ｐｘ、Ｐｙは、負の値をとることができ、各方向移
動アクチュエータ７Ｘ、７’ｌ’へ供給されて、試料１
１を移動する。
Ｘ方向およびＹ方向へ移動すベト移動量であり、この移
動量Ｐｘ、Ｐｙは、負の値をとることができ、各方向移
動アクチュエータ７Ｘ、７’ｌ’へ供給されて、試料１
１を移動する。
たとえば、第１７図に示すように走査面１２をθ度回転
させて、座標軸Ｘ’ 、Ｙ’による走査面１２で試料１
１を観察しているとする。
させて、座標軸Ｘ’ 、Ｙ’による走査面１２で試料１
１を観察しているとする。
さらに、第１８図に示すような視野のさらに左側を観察
する場合、Ｘ、Ｙ方向移動指令値設定器２４．２５に指
令値Ｙ。をＯとし、指令値Ｘ。を適当に設定してやれば
、試料微動方向演算器２１の演算により、実際のＸ。
する場合、Ｘ、Ｙ方向移動指令値設定器２４．２５に指
令値Ｙ。をＯとし、指令値Ｘ。を適当に設定してやれば
、試料微動方向演算器２１の演算により、実際のＸ。
Ｙ方向への移動量Ｐ×が（Ｘｏｃｏｓθ）＋Ｐｙが（Ｘ
、）ｓｉｎθ）としてアクチュエータ制御回路１９．２
０へ供給されて、試料１１がＰｘ＋Ｐｙだけ移動し、第
１９図に示すような位置まで移動して、第２０図に示す
ように座標軸Ｘ”、Ｙ″による適切な視野を得ることが
で外る。
、）ｓｉｎθ）としてアクチュエータ制御回路１９．２
０へ供給されて、試料１１がＰｘ＋Ｐｙだけ移動し、第
１９図に示すような位置まで移動して、第２０図に示す
ように座標軸Ｘ”、Ｙ″による適切な視野を得ることが
で外る。
また、第１移動指令値設定器２６に移動距離ｒ、第２移
動指令値設定器２７に方向φを設定し、Ｘ方向移動量Ｐ
×を（ｒ ｃｏｓ（θ十φ））、Ｙ方向移動量ｐｙを（
ｒ ５ｉｎ（θ十φ））としてアクチュエータ制御回路
１９゜２０へ供給することもできる。
動指令値設定器２７に方向φを設定し、Ｘ方向移動量Ｐ
×を（ｒ ｃｏｓ（θ十φ））、Ｙ方向移動量ｐｙを（
ｒ ５ｉｎ（θ十φ））としてアクチュエータ制御回路
１９゜２０へ供給することもできる。
このように、試料回転機能が無くても回転角演算器１５
により走査面１２を回転することで表示部１８の視野を
回転で終るとともに、試料の移動は回転指令θに関係な
く表示部１８上で常に図１８に示すＸ′軸、Ｙ″紬に平
行に動くため、視野の移動（試料の移動）が適切になさ
れる。
により走査面１２を回転することで表示部１８の視野を
回転で終るとともに、試料の移動は回転指令θに関係な
く表示部１８上で常に図１８に示すＸ′軸、Ｙ″紬に平
行に動くため、視野の移動（試料の移動）が適切になさ
れる。
このため、操作性が改善され、作業者の負担が軽減され
る。
る。
さらに、機械的回転機構が不要となるため、試料移動機
構が簡単となり、コストダウンが実現でき、可動部が減
るので振動に強くなる。
構が簡単となり、コストダウンが実現でき、可動部が減
るので振動に強くなる。
＝１７−
また、金属等の表面積が減り放出ガスが減少し真空排気
システムの負担が減る。
システムの負担が減る。
以上詳述したように、本発明の走査型電子顕微鏡および
その類似装置における試料移動方法によれば、走査面の
移動方向および移動量を設定し、この設定された走査面
の移動方向および移動量を所定の座標系（直交座標系、
極座標系等）における試料の移動方向および移動量に変
換し、この変換された移動方向および移動量に基づいて
上記試料の位置を変化させることができるので、簡単な
操作によって試料の移動が行なえる利点がある。
その類似装置における試料移動方法によれば、走査面の
移動方向および移動量を設定し、この設定された走査面
の移動方向および移動量を所定の座標系（直交座標系、
極座標系等）における試料の移動方向および移動量に変
換し、この変換された移動方向および移動量に基づいて
上記試料の位置を変化させることができるので、簡単な
操作によって試料の移動が行なえる利点がある。
また、本発明の走査型電子顕微鏡およびその類似装置に
おける試料移動装置によれば、第１および第２移動指令
値設定器からの走査面の移動方向および移動量と回転角
θとを受けて、第１方向試料移動台の第１方向移動量Ｐ
×および第２方向試料移動台の第２方向移動量ｐｙをお
のおの第１方向移動機構および第２方向移動機構へ出力
する試料移動台移動方向演算器が設けられるといった簡
素な構成で、簡易化された操作で最１８− 適な走査面への試料の移動を行なえる利点がある。
おける試料移動装置によれば、第１および第２移動指令
値設定器からの走査面の移動方向および移動量と回転角
θとを受けて、第１方向試料移動台の第１方向移動量Ｐ
×および第２方向試料移動台の第２方向移動量ｐｙをお
のおの第１方向移動機構および第２方向移動機構へ出力
する試料移動台移動方向演算器が設けられるといった簡
素な構成で、簡易化された操作で最１８− 適な走査面への試料の移動を行なえる利点がある。
第１〜７図は従来の走査型電子顕微鏡における試料移動
手段を示すもので、第１図はその全体構成図、第２図は
その要部の平面図、第３〜７図はいずれもその作用を説
明するための模式図であり、第８〜１５図は従来の走査
型電子顕微鏡における他の試料移動手段を示すもので、
第８．９図はそれぞれその要部の平面図および立面図、
第１０〜１５図はいずれもその作用を説明するための模
式図であり、第１６〜２０図は本発明の一実施例として
の走査型電子顕微鏡およびその類偵、装置における試料
移動方法を実施するための装置を示すもので、第１６図
はその全体構成図、第３１．１．９図はいずれもその試
料の配設状態を示す平面図、第１８゜２０図はいずれも
その表示部における視野を示す模式１・◆鏡筒、２・−
コンデンサレンズ、３・壷対物レンズ、４・・偏向部材
、４Ｘ・・Ｘ方向走査用偏向コイル、４Ｙ・・Ｙ方向走
査用偏向フィル、５・・電子銃、５ａ・・電子ビーム、
６・・試料室、７Ｘ・・Ｘ方向移動アクチュエータ、７
Ｙ・・Ｙ方向移動アクチュエータ、８Ｘ・・Ｘ方向送り
ネジ、８Ｙ・・Ｙ方向送りネジ、９Ｘ・・Ｘ方向ガイド
バー、９Ｙ・・）′方向がイドバー、１０・・移動台、
１１・・試料、１２・・走査面、」３・・検出器、１４
・・増幅器、１５・・回転角演算器、１６・・Ｘ方向走
査用電源、１７・・Ｙ方向走査用電源、１８・・表示部
、１９・・Ｘ方向移動アクチュエータ制御回路、２０・
・Ｙ方向移動アクチュエータ制御回路、２１・・試料微
動方向演算器、２２・・試料回転軸、２３・・試料回転
軸軸受、２４・・第１方向移動指令値設定器としてのＸ
方向移動指令値設定器、２５・・第２方向移動指令値設
定器としてのＹ方向移動指令値設定器、２６・・回転角
設定器。 代理人 弁理士 飯 沼 義 彦 第３図 Ｙ 第４図 第 ５ 図 Ｙ“ 第 ６ 図 第９図 ２３ 第１０ 図 第１Ｉ図 第１２図 第１７図 箭１８図 第１９図 ３２３− 第２０図
手段を示すもので、第１図はその全体構成図、第２図は
その要部の平面図、第３〜７図はいずれもその作用を説
明するための模式図であり、第８〜１５図は従来の走査
型電子顕微鏡における他の試料移動手段を示すもので、
第８．９図はそれぞれその要部の平面図および立面図、
第１０〜１５図はいずれもその作用を説明するための模
式図であり、第１６〜２０図は本発明の一実施例として
の走査型電子顕微鏡およびその類偵、装置における試料
移動方法を実施するための装置を示すもので、第１６図
はその全体構成図、第３１．１．９図はいずれもその試
料の配設状態を示す平面図、第１８゜２０図はいずれも
その表示部における視野を示す模式１・◆鏡筒、２・−
コンデンサレンズ、３・壷対物レンズ、４・・偏向部材
、４Ｘ・・Ｘ方向走査用偏向コイル、４Ｙ・・Ｙ方向走
査用偏向フィル、５・・電子銃、５ａ・・電子ビーム、
６・・試料室、７Ｘ・・Ｘ方向移動アクチュエータ、７
Ｙ・・Ｙ方向移動アクチュエータ、８Ｘ・・Ｘ方向送り
ネジ、８Ｙ・・Ｙ方向送りネジ、９Ｘ・・Ｘ方向ガイド
バー、９Ｙ・・）′方向がイドバー、１０・・移動台、
１１・・試料、１２・・走査面、」３・・検出器、１４
・・増幅器、１５・・回転角演算器、１６・・Ｘ方向走
査用電源、１７・・Ｙ方向走査用電源、１８・・表示部
、１９・・Ｘ方向移動アクチュエータ制御回路、２０・
・Ｙ方向移動アクチュエータ制御回路、２１・・試料微
動方向演算器、２２・・試料回転軸、２３・・試料回転
軸軸受、２４・・第１方向移動指令値設定器としてのＸ
方向移動指令値設定器、２５・・第２方向移動指令値設
定器としてのＹ方向移動指令値設定器、２６・・回転角
設定器。 代理人 弁理士 飯 沼 義 彦 第３図 Ｙ 第４図 第 ５ 図 Ｙ“ 第 ６ 図 第９図 ２３ 第１０ 図 第１Ｉ図 第１２図 第１７図 箭１８図 第１９図 ３２３− 第２０図
Claims (7)
- （１） 走査型電子顕微鏡およびその類似装置におい
て、試料の実際の位置を第１の座標系に基づいて変化さ
せることによって上記電子顕微鏡からの荷電粒子線の照
射する上記試料の走査面を第２の座標系に基づぎ変化さ
せるに際し、まず上記走査面の」二記第２の座標系にお
ける移動方向および移動量を設定し、この設定された上
記走査面の移動方向および移動量を上記第１の座標系に
おける上記試料の移動方向および移動量に変換し、この
変換された移動方向および移動量に基づいて上記試料の
位置を変化させることを特徴とする、走査型電子顕微鏡
およびその類似装置における試料移動方法。 - （２） 上記の第１および第２の座標系がそれぞれ上
記荷電粒子線に垂直な面内における直交座標系であり、
１− 上記試料の移動方向が上記直交座標系における相互に直
交するＸ方向およびＹ方向であるとともに、上記試料の
移動量がこのＸ方向におけるＸ方向移動量およびこのＹ
方向におけるＹ方向移動量である特許請求の範囲第１項
に記載の走査型電子顕微鏡およびその類似装置における
試料移動方法。 - （３） 上記走査面の移動方向が、それぞれ上記走査
面の横方向Ｘ′およびこの横方向Ｘ′に直交する縦方向
Ｙ′であるとともに、上記の横方向Ｘ″のＸ方向からの
回転角θに対応する角度信号θａに対し、上記横方向Ｘ
′の移動量Ｘ。および上記縦方向Ｙ′の移動量Ｙ０をＸ
方向の移動量（Ｙ、ｃｏｓ（９０°十θ）＋Ｘ、ｃｏｓ
θ）およびＹ方向の移動量（Ｙｏｓｉｎ（９０°＋θ）
＋Ｘ、ｓｉｎθ）に変換して出力する特許請求の範囲第
２項に記載の走査型電子顕微鏡およびその類似装置にお
ける試料移動方法。 - （４） 走査型電子顕微鏡およびその類似装置におい
て、試料を第１の座標系における第１方向へ移動しうる
第１方向試料移動台と、同第１方向試料移動台を駆動す
る第１方向移動機構と、上記試料を上記第１の座２− 線系における第２方向へ移動しうる第２方向試料移動台
と、同第２方向試料移動台を駆動する第２方向移動ｆｉ
構とをそなえるとともに、」１配電子顕微鏡およびその
類似装置の走査面を−１−記の第１方向ないし第２方向
から所定回転角θだけ回転させて走査すべく、同回転角
θに対応する角度信号θａを設定する回転角設定器と、
」二配回転角信号θａを受けて荷電粒子線を偏向させる
偏向部材と、上記各試料移動台の第１の座標系における
移動方向および移動量を」二配走査面の上記第２の座標
系における移動方向およびその移動量に基づいて制御す
べく、」二配走査面の移動方向およびその移動量を設定
する第１移動指令値設定器と、上記走査面の他の移動方
向およびその移動量を設定する第２移動指令値設定器と
をそなえ、上記の第１および第２移動指令値設定器から
の上記走査面の移動方向および移動量に対応する信号と
」二配回転角信号θａとを受けて、」二記載１方向試料
移動台の移動量Ｐｘおよび」二記箔２方向試料移動台の
移動量Ｐｙをおのおの上記の第１方向移動機構および第
２方向移動機構へ座標変換して出力３− する試料移動台移動方向演算器とが設けられたことを特
徴とする、走査型電子顕微鏡およびその類似装置におけ
る試料移動装置。 - （５） 上記の第１および第２の座標系が直交座標系
であり、」二配の第１方向および第２方向がそれぞれＸ
方向およびＹ方向である特許請求の範囲第４項に記載の
走査型電子顕微鏡およびその類似装置における試料移動
装置。 - （６） 上記の第１および第２移動指令値設定器がそ
れぞれ」二配走査面の横方向Ｘ″の移動量Ｘ。およびこ
の横方向Ｘ′に直交する縦方向Ｙ′の移動量Ｙ。を設定
する設定器として構成されるとともに、」二配試料移動
台移動方向演算器が、上記第１方向試料移動台の移動量
Ｐｘを１Ｙｏｃｏｓ（９０’十〇）＋）’ｏｃｏｓθ）
と演算するとともに、」二記載２方向試料移動台の移動
量ｐｙを（Ｙ、５ｉｎ（９０’＋θ）十Ｘ、ｓｉｎθ）
と演算するよう構成された特許請求の範囲第４項または
第５項に記載の走査型電子顕微鏡およびその類１０．装
置における試料移動装置。 ４− - （７） ｌ記載１の座標系が極座標系であるとともに
、上記第２の座標系が直交座標系であり、上記の第１お
よび第２移動指令値設定器がそれぞれ」二配回転角θと
同方向にとった一］二記走査面の他の回転角φおよび同
口転角緩方向の移動量ｒｔ−設定する設定器として構成
されるとともに、上記試料移動台移動方向演算器が、」
二記載１方向試料移動台の移動量Ｐｘを（ｒ ｃｏｓ（
θ十φ））と演算するとともに、」二記載２方向試料移
動台の移動量ｐｙをｉｒ ｑｉｎ（θ十φ））と演算す
るよう構成された特許請求の範囲第４項に記載の走査型
電子顕微鏡およびその類似装置における試料移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16534082A JPS5954158A (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | 走査型電子顕微鏡およびその類似装置における試料移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16534082A JPS5954158A (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | 走査型電子顕微鏡およびその類似装置における試料移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5954158A true JPS5954158A (ja) | 1984-03-28 |
| JPH0441464B2 JPH0441464B2 (ja) | 1992-07-08 |
Family
ID=15810476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16534082A Granted JPS5954158A (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | 走査型電子顕微鏡およびその類似装置における試料移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5954158A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6251143A (ja) * | 1985-08-28 | 1987-03-05 | Jeol Ltd | 局所表面分析装置用試料装置 |
| JPS6276644A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-08 | Toshiba Corp | 露光装置の縦型移動テーブル装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0232741A (ja) * | 1988-03-16 | 1990-02-02 | Jong-Seob Lee | 磁気励磁式誘導電動機 |
-
1982
- 1982-09-22 JP JP16534082A patent/JPS5954158A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0232741A (ja) * | 1988-03-16 | 1990-02-02 | Jong-Seob Lee | 磁気励磁式誘導電動機 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6251143A (ja) * | 1985-08-28 | 1987-03-05 | Jeol Ltd | 局所表面分析装置用試料装置 |
| JPS6276644A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-08 | Toshiba Corp | 露光装置の縦型移動テーブル装置 |
| JPH051586B2 (ja) * | 1985-09-30 | 1993-01-08 | Tokyo Shibaura Electric Co |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0441464B2 (ja) | 1992-07-08 |
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