JPH0441464B2 - - Google Patents
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- JPH0441464B2 JPH0441464B2 JP57165340A JP16534082A JPH0441464B2 JP H0441464 B2 JPH0441464 B2 JP H0441464B2 JP 57165340 A JP57165340 A JP 57165340A JP 16534082 A JP16534082 A JP 16534082A JP H0441464 B2 JPH0441464 B2 JP H0441464B2
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- JP
- Japan
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- movement
- sample
- moving
- amount
- scanning
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Links
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 72
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 21
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 6
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 6
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000026058 directional locomotion Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、走査型電子顕微鏡およびその類似装
置に関し、特にそれらにおける試料移動のための
装置に関する。
置に関し、特にそれらにおける試料移動のための
装置に関する。
第１図に示すように、従来の走査型電子顕微鏡
装置における試料移動手段は、鏡筒１の上部に荷
電粒子線（電子ビーム）を放射する電子銃５がそ
なえられている。
装置における試料移動手段は、鏡筒１の上部に荷
電粒子線（電子ビーム）を放射する電子銃５がそ
なえられている。
この電子銃５から放射された電子ビーム５ａ
は、コンデンサレンズ２と対物レンズ３を通つ
て、移動台１０上の試料１１に照射される。そし
て、試料１１からの２次電子ビーム等の信号は検
出器１３により検出され、増幅器１４により増幅
されて、表示部１８に試料１１の像が表示され
る。
は、コンデンサレンズ２と対物レンズ３を通つ
て、移動台１０上の試料１１に照射される。そし
て、試料１１からの２次電子ビーム等の信号は検
出器１３により検出され、増幅器１４により増幅
されて、表示部１８に試料１１の像が表示され
る。
ただし、電子ビーム走査用の偏向部材４として
の、Ｘ方向偏向コイル４ＸとＹ方向偏向コイル４
Ｙの働きにより、試料１１のうちの走査面１２内
のみが電子ビーム５ａの走査を受けるため、表示
部１８には走査面１２内の像が表示される。
の、Ｘ方向偏向コイル４ＸとＹ方向偏向コイル４
Ｙの働きにより、試料１１のうちの走査面１２内
のみが電子ビーム５ａの走査を受けるため、表示
部１８には走査面１２内の像が表示される。
ここで、偏向コイル４Ｘ，４Ｙによる偏向は、
Ｘ方向走査用電源１６から供給される鋸歯状の偏
向信号SXとＹ方向走査電源１７から供給される
鋸歯状の偏向信号SYとにより行なわれ、試料１
１のうちの第２図に示す矩形の走査面１２内に電
子ビーム５ａが走査されるのである。
Ｘ方向走査用電源１６から供給される鋸歯状の偏
向信号SXとＹ方向走査電源１７から供給される
鋸歯状の偏向信号SYとにより行なわれ、試料１
１のうちの第２図に示す矩形の走査面１２内に電
子ビーム５ａが走査されるのである。
そこで、第２，３図に示すように、試料１１と
試料移動台１０の移動方向Ｘからの傾斜角度θま
で走査面１２を回転したい場合、走査用電源１
６，１７と偏向部材４との間に介装された回転角
演算器１５に回転角設定器２６から走査面回転指
令θaを与えると、この指令θaに応じＸ方向偏向
信号SXにＹ方向偏向信号SYを所定量だけ重畳す
るとともに、信号SYに信号SXを所定量だけ重畳
する。
試料移動台１０の移動方向Ｘからの傾斜角度θま
で走査面１２を回転したい場合、走査用電源１
６，１７と偏向部材４との間に介装された回転角
演算器１５に回転角設定器２６から走査面回転指
令θaを与えると、この指令θaに応じＸ方向偏向
信号SXにＹ方向偏向信号SYを所定量だけ重畳す
るとともに、信号SYに信号SXを所定量だけ重畳
する。
これにより電子ビーム走査面１２を、第４図に
示すように、角度θだけ回転させて偏向すること
ができる。
示すように、角度θだけ回転させて偏向すること
ができる。
また、移動台１０は真空な試料室６内に設置さ
れているが、移動台１０を、直交する２方向であ
るＸ方向およびＹ方向へ移動可能な試料移動台が
そなえられている。
れているが、移動台１０を、直交する２方向であ
るＸ方向およびＹ方向へ移動可能な試料移動台が
そなえられている。
この試料移動台およびその移動機構は、第２図
に示すように、Ｘ方向移動アクチユエータ７Ｘ、
Ｘ方向送りネジ８Ｘ、Ｘ方向ガイドバー９Ｘおよ
びＹ方向移動アクチユエータ７Ｙ、Ｙ方向送りネ
ジ８Ｙ、Ｙ方向ガイドバー９Ｙから構成されてい
る。
に示すように、Ｘ方向移動アクチユエータ７Ｘ、
Ｘ方向送りネジ８Ｘ、Ｘ方向ガイドバー９Ｘおよ
びＹ方向移動アクチユエータ７Ｙ、Ｙ方向送りネ
ジ８Ｙ、Ｙ方向ガイドバー９Ｙから構成されてい
る。
そしてＸ方向移動アクチユエータ７Ｘへは、第
１図に示すように、Ｘ方向移動指令値設定器２４
に設定された指令値X0（負の値を含む。）に応じ
た信号がＸ方向移動アクチユエータ制御回路１９
より供給され、Ｙ方向移動アクチユエータ７Ｙへ
は、Ｙ方向移動指令値設定器２５に設定された指
令値Y0（負の値を含む。）に応じた信号がＹ方向
移動アクチユエータ制御回路２０より供給され
る。
１図に示すように、Ｘ方向移動指令値設定器２４
に設定された指令値X0（負の値を含む。）に応じ
た信号がＸ方向移動アクチユエータ制御回路１９
より供給され、Ｙ方向移動アクチユエータ７Ｙへ
は、Ｙ方向移動指令値設定器２５に設定された指
令値Y0（負の値を含む。）に応じた信号がＹ方向
移動アクチユエータ制御回路２０より供給され
る。
なお、第１図の符号W.Dは作動距離
（Working Distance）を示す。
（Working Distance）を示す。
従来の試料移動手段は、上述の構成により、試
料１１を直交するＸ方向およびＹ方向へ移動する
ことにより、走査面１２を移動することができる
が、第４図に示すように、走査面１２を回転させ
て、座標軸Ｘ、Ｙに従う走査面から座標軸X′、
Y′に従う走査面に変化させて、傾斜した試料１
１を矩形の走査面１２の２辺ａ、ｂと平行な状態
にして観察している状態（第５図参照）から、第
５図に示すような視野のさらに左側を観察する場
合、例えばＸ方向のみの試料移動指令を出すと、
第６図に示すように走査面１２は座標軸X′、
Y′に従つたものから座標軸X″、Y″に従つた走査
面となるため、第７図に示すように、走査面は第
５図の走査面の左上に動いてしまい、すなわち、
その視野における画像は右下に動き、観察が困難
となる。
料１１を直交するＸ方向およびＹ方向へ移動する
ことにより、走査面１２を移動することができる
が、第４図に示すように、走査面１２を回転させ
て、座標軸Ｘ、Ｙに従う走査面から座標軸X′、
Y′に従う走査面に変化させて、傾斜した試料１
１を矩形の走査面１２の２辺ａ、ｂと平行な状態
にして観察している状態（第５図参照）から、第
５図に示すような視野のさらに左側を観察する場
合、例えばＸ方向のみの試料移動指令を出すと、
第６図に示すように走査面１２は座標軸X′、
Y′に従つたものから座標軸X″、Y″に従つた走査
面となるため、第７図に示すように、走査面は第
５図の走査面の左上に動いてしまい、すなわち、
その視野における画像は右下に動き、観察が困難
となる。
面の左上に動いてしまい、すなわち、その視野
における画像は右下に動き、観察が困難となる。
における画像は右下に動き、観察が困難となる。
つまり第５図の視野の左側を観察するために
は、適切なＸ方向とＹ方向の移動指令を両方とも
出す必要があるが、このようなことを行なうのは
困難であり、回転角θが0°以外の場合は操作性が
悪く、作業者の負担が大きくなるという問題点が
ある。
は、適切なＸ方向とＹ方向の移動指令を両方とも
出す必要があるが、このようなことを行なうのは
困難であり、回転角θが0°以外の場合は操作性が
悪く、作業者の負担が大きくなるという問題点が
ある。
従来の他の装置として、第８〜１５図に示すよ
うに、走査面１２を回転するための回転角演算器
１５を設けず、走査面１２を固定として、第８，
９図に示すように移動台１０の上に試料回転機構
としての試料回転軸２２および試料回転軸２２の
軸受２３を設けた装置もある。
うに、走査面１２を回転するための回転角演算器
１５を設けず、走査面１２を固定として、第８，
９図に示すように移動台１０の上に試料回転機構
としての試料回転軸２２および試料回転軸２２の
軸受２３を設けた装置もある。
この場合、第１０，１１図に示すような傾斜し
た状態の試料１１を走査面１２の各辺ａ、ｂと平
行な状態で観察するためには、まず第１２図に示
すように試料１１を回転させ、試料１１が走査面
１２の各辺の方向Ｘ、Ｙと平行になるようにす
る。さらに、第１４図に示すように、試料１１を
試料移動機構によりＸ方向およびＹ方向に平行移
動し、第１５図に示すような位置まで試料を移動
させて、観察を行なう。
た状態の試料１１を走査面１２の各辺ａ、ｂと平
行な状態で観察するためには、まず第１２図に示
すように試料１１を回転させ、試料１１が走査面
１２の各辺の方向Ｘ、Ｙと平行になるようにす
る。さらに、第１４図に示すように、試料１１を
試料移動機構によりＸ方向およびＹ方向に平行移
動し、第１５図に示すような位置まで試料を移動
させて、観察を行なう。
しかし、この場合、第１３図に示すように、試
料１１を回転させた時点で像が表示部１８から消
えてしまうため、再度Ｘ、Ｙ方向の移動により像
を走査面１２まで移動するのは非常に大変な作業
となり、操作性が悪く、作業者の負担が大きくな
るという問題点がある。
料１１を回転させた時点で像が表示部１８から消
えてしまうため、再度Ｘ、Ｙ方向の移動により像
を走査面１２まで移動するのは非常に大変な作業
となり、操作性が悪く、作業者の負担が大きくな
るという問題点がある。
また、試料回転機構が必要なため、機構が複雑
で経済性も悪くなるという問題点や、可動部が増
加するために振動に弱くなるという問題点もあ
る。
で経済性も悪くなるという問題点や、可動部が増
加するために振動に弱くなるという問題点もあ
る。
部品点数が増加して、機構が複雑となるため、
金属等の表面が多くなり、放出ガスが増大し真空
な試料室６の真空排気システムの負担増となる。
金属等の表面が多くなり、放出ガスが増大し真空
な試料室６の真空排気システムの負担増となる。
さらに、従来の別の装置として、走査面１２と
試料１１の両方を回転させることができる装置も
あるが、操作の複雑さが増すだけで、上述の諸問
題点は全く解決されない。
試料１１の両方を回転させることができる装置も
あるが、操作の複雑さが増すだけで、上述の諸問
題点は全く解決されない。
本発明は、これらの問題点を解決しようとする
もので、試料上の電子ビーム走査面を回転させ
て、水平面上で斜めに走査させることにより、試
料台の回転駆動機構がなくても、迅速に最適な走
査面を得ることができるようにして、作業の能率
化をはかつた、走査型電子顕微鏡およびその類似
装置における試料移動装置を提供することを目的
とする。
もので、試料上の電子ビーム走査面を回転させ
て、水平面上で斜めに走査させることにより、試
料台の回転駆動機構がなくても、迅速に最適な走
査面を得ることができるようにして、作業の能率
化をはかつた、走査型電子顕微鏡およびその類似
装置における試料移動装置を提供することを目的
とする。
このため、本発明の走査型電子顕微鏡およびそ
の類似装置における試料移動装置は、試料を第１
の座標系における第１方向へ移動しうる第１方向
試料移動台と、同第１方向試料移動台を駆動する
第１方向移動機構と、上記試料を上記第１の座標
系における第２方向へ移動しうる第２方向試料移
動台と、同第２方向試料移動台を駆動する第２方
向移動機構とをそなえるとともに、上記電子顕微
鏡およびその類似装置の走査面を上記の第１方向
ないし第２方向から所定回転角θだけ回転させて
走査すべく、同回転角θに対応する角度信号θa
を設定する回転角設定器と、上記回転角信号θa
を受けて荷電粒子線を偏向させる偏向部と、上記
各試料移動台の第１の座標系における移動方向お
よび移動量を上記走査面の上記第２の座標系にお
ける移動方向およびその移動量に基づいて制御す
べく、上記走査面の移動方向およびその移動量を
設定する第１移動指令値設定器と、上記走査面の
他の移動方向およびその移動量を設定する第２移
動指令値設定器とをそなえ、上記の第１および第
２移動指令値設定器からの上記走査面の移動方向
および移動量に対応する信号と上記回転角信号
θaとを受けて、上記第１方向試料移動台の移動
量Pxおよび上記第２方向試料移動台の移動量Py
をおのおの上記の第１方向移動機構および第２方
向移動機構へ座標変換して出力する試料移動台移
動方向演算器とが設けられたことを特徴としてい
る。
の類似装置における試料移動装置は、試料を第１
の座標系における第１方向へ移動しうる第１方向
試料移動台と、同第１方向試料移動台を駆動する
第１方向移動機構と、上記試料を上記第１の座標
系における第２方向へ移動しうる第２方向試料移
動台と、同第２方向試料移動台を駆動する第２方
向移動機構とをそなえるとともに、上記電子顕微
鏡およびその類似装置の走査面を上記の第１方向
ないし第２方向から所定回転角θだけ回転させて
走査すべく、同回転角θに対応する角度信号θa
を設定する回転角設定器と、上記回転角信号θa
を受けて荷電粒子線を偏向させる偏向部と、上記
各試料移動台の第１の座標系における移動方向お
よび移動量を上記走査面の上記第２の座標系にお
ける移動方向およびその移動量に基づいて制御す
べく、上記走査面の移動方向およびその移動量を
設定する第１移動指令値設定器と、上記走査面の
他の移動方向およびその移動量を設定する第２移
動指令値設定器とをそなえ、上記の第１および第
２移動指令値設定器からの上記走査面の移動方向
および移動量に対応する信号と上記回転角信号
θaとを受けて、上記第１方向試料移動台の移動
量Pxおよび上記第２方向試料移動台の移動量Py
をおのおの上記の第１方向移動機構および第２方
向移動機構へ座標変換して出力する試料移動台移
動方向演算器とが設けられたことを特徴としてい
る。
以下、図面により本発明の一実施例としての走
査型電子顕微鏡およびその類似装置における試料
移動装置について説明する。
査型電子顕微鏡およびその類似装置における試料
移動装置について説明する。
第１６〜２０図は本発明による走査型電子顕微
鏡およびその類似装置における試料移動装置を示
すもので、第１６図はその全体構成図、第１７，
１９図はいずれもその試料の配設状態を示す平面
図、第１８，２０図はいずれもその表示部におけ
る視野を示す模式図である。なお、第１６〜２０
図中、第１〜１５図と同じ符号はほぼ同様のもの
を示す。
鏡およびその類似装置における試料移動装置を示
すもので、第１６図はその全体構成図、第１７，
１９図はいずれもその試料の配設状態を示す平面
図、第１８，２０図はいずれもその表示部におけ
る視野を示す模式図である。なお、第１６〜２０
図中、第１〜１５図と同じ符号はほぼ同様のもの
を示す。
第１６図に示すように、鏡筒１の上部に荷電粒
子線（電子ビーム）を放射する電子銃５がそなえ
られている。
子線（電子ビーム）を放射する電子銃５がそなえ
られている。
この電子銃５から放射された電子ビーム５ａ
は、コンデンサレンズ２と対物レンズ３を通つ
て、試料移動台１０上の試料１１に照射される。
そして、試料１１からの２次電子ビーム等の信号
は検出器１３により検出され、増幅器１４により
増幅されて、表示部１８に試料１１の像が表示さ
れる。ただし、コンデンサレンズ２と対物レンズ
３の間に介装された、電子ビーム走査用の偏向部
材４としての、Ｘ方向偏向コイル４ＸとＹ方向偏
向コイル４Ｙの働きにより、試料１１のうちの走
査面１２内のみが電子ビーム５ａの走査を受ける
ため、表示部１８には走査面１２内の像が表示さ
れる。
は、コンデンサレンズ２と対物レンズ３を通つ
て、試料移動台１０上の試料１１に照射される。
そして、試料１１からの２次電子ビーム等の信号
は検出器１３により検出され、増幅器１４により
増幅されて、表示部１８に試料１１の像が表示さ
れる。ただし、コンデンサレンズ２と対物レンズ
３の間に介装された、電子ビーム走査用の偏向部
材４としての、Ｘ方向偏向コイル４ＸとＹ方向偏
向コイル４Ｙの働きにより、試料１１のうちの走
査面１２内のみが電子ビーム５ａの走査を受ける
ため、表示部１８には走査面１２内の像が表示さ
れる。
ここで、偏向コイル４Ｘ，４Ｙによる偏向は、
Ｘ方向走査用電源１６から供給される鋸歯状の偏
向信号SXとＹ方向走査電源１７から供給される
鋸歯状の偏向信号SYとにより行なわれ、試料１
１のうちの第１７図に示す矩形の走査面１２内に
電子ビーム５ａが走査されるのである。
Ｘ方向走査用電源１６から供給される鋸歯状の偏
向信号SXとＹ方向走査電源１７から供給される
鋸歯状の偏向信号SYとにより行なわれ、試料１
１のうちの第１７図に示す矩形の走査面１２内に
電子ビーム５ａが走査されるのである。
そこで、第１７，１８図に示すように、試料１
１と試料移動台１０の移動方向とのずれの角度θ
まで走査面１２を回転したい場合、走査用電源１
６，１７と偏向部材４との間に介装された回転角
演算器１５に回転角設定器２６から走査面回転指
令θaを与えると、この指令θaに応じＸ方向偏向
信号SXにＹ方向偏向信号SYを所定量だけ重畳す
るとともに、信号SYに信号SXを所定量だけ重畳
する。
１と試料移動台１０の移動方向とのずれの角度θ
まで走査面１２を回転したい場合、走査用電源１
６，１７と偏向部材４との間に介装された回転角
演算器１５に回転角設定器２６から走査面回転指
令θaを与えると、この指令θaに応じＸ方向偏向
信号SXにＹ方向偏向信号SYを所定量だけ重畳す
るとともに、信号SYに信号SXを所定量だけ重畳
する。
これにより電子ビーム走査面１２を、第１７図
に示すように、角度θだけ回転させて偏向するこ
とができる。
に示すように、角度θだけ回転させて偏向するこ
とができる。
また、移動台１０は真空な試料室６内に設置さ
れているが、移動台１０を、直交する２方向であ
るＸ方向およびＹ方向へ移動可能な試料台がそな
えらえている。
れているが、移動台１０を、直交する２方向であ
るＸ方向およびＹ方向へ移動可能な試料台がそな
えらえている。
このＸ、Ｙ方向試料移動台およびそのＸ、Ｙ方
向移動機構は、従来例と同様に（第２図参照）、
Ｘ方向移動アクチユエータ７Ｘ、Ｘ方向送りネジ
８Ｘ、Ｘ方向ガイドバー９ＸおよびＹ方向移動ア
クチユエータ７Ｙ、Ｙ方向送りネジ８Ｙ、Ｙ方向
ガイドバー９Ｙから構成されている。（第２図参
照） さらに、Ｘ、Ｙ方向移動指令値設定器２４，２
５が設けられていて、これらの設定器２４，２５
に設定された指令値X0、Y0が、試料微動方向演
算器２１に供給される。
向移動機構は、従来例と同様に（第２図参照）、
Ｘ方向移動アクチユエータ７Ｘ、Ｘ方向送りネジ
８Ｘ、Ｘ方向ガイドバー９ＸおよびＹ方向移動ア
クチユエータ７Ｙ、Ｙ方向送りネジ８Ｙ、Ｙ方向
ガイドバー９Ｙから構成されている。（第２図参
照） さらに、Ｘ、Ｙ方向移動指令値設定器２４，２
５が設けられていて、これらの設定器２４，２５
に設定された指令値X0、Y0が、試料微動方向演
算器２１に供給される。
指令値X0、Y0は、正および負の値となつて、
実際の走査面１２の横方向X′および縦方向Y′の
移動量を指令するものである。
実際の走査面１２の横方向X′および縦方向Y′の
移動量を指令するものである。
この試料微動方向演算器２１では、走査面の回
転角度θに応じて、実際に試料移動装置が移動す
べきＸ方向の移動量Pxを｛Y0cos（90°＋θ）＋
X0cosθ｝と演算するとともに、Ｙ方向の移動量
Pyを｛Y0sin（90°＋θ）＋X0sinθ｝と演算する。
転角度θに応じて、実際に試料移動装置が移動す
べきＸ方向の移動量Pxを｛Y0cos（90°＋θ）＋
X0cosθ｝と演算するとともに、Ｙ方向の移動量
Pyを｛Y0sin（90°＋θ）＋X0sinθ｝と演算する。
この移動量Pxおよび移動量Pyは、実際に試料
１１をＸ方向およびＹ方向へ移動すべき移動量で
あり、この移動量Px、Pyは負の値をとることが
でき、各方向移動アクチユエータ７Ｘ，７Ｙへ供
給されて、試料１１を移動する。
１１をＸ方向およびＹ方向へ移動すべき移動量で
あり、この移動量Px、Pyは負の値をとることが
でき、各方向移動アクチユエータ７Ｘ，７Ｙへ供
給されて、試料１１を移動する。
たとえば、第１７図に示すように走査面１２を
θ度回転させて、座標軸X′、Y′による走査面１
２で試料１１を観察しているとする。
θ度回転させて、座標軸X′、Y′による走査面１
２で試料１１を観察しているとする。
さらに、第１８図に示すような視野のさらに左
側を観察する場合、Ｘ、Ｙ方向移動指令値設定器
２４，２５に指令値Y0を０とし、指令値X0を適
当に設定してやれば、試料微動方向演算器２１の
演算により、実際のＸ、Ｙ方向への移動量Pxが
（X0cosθ）、Pyが（X0sinθ）としてアクチユエー
タ制御回路１９，２０へ供給されて、試料１１が
Px、Pyだけ移動し、第１９図に示すような位置
まで移動して、第２０図に示すように座標軸X″、
Y″による適切な視野を得ることができる。
側を観察する場合、Ｘ、Ｙ方向移動指令値設定器
２４，２５に指令値Y0を０とし、指令値X0を適
当に設定してやれば、試料微動方向演算器２１の
演算により、実際のＸ、Ｙ方向への移動量Pxが
（X0cosθ）、Pyが（X0sinθ）としてアクチユエー
タ制御回路１９，２０へ供給されて、試料１１が
Px、Pyだけ移動し、第１９図に示すような位置
まで移動して、第２０図に示すように座標軸X″、
Y″による適切な視野を得ることができる。
また、第１移動指令値設定器２６に移動距離
ｒ、第２移動指令値設定器２７に方向φを設定
し、Ｘ方向移動量Pxを｛ｒ cos（θ＋φ）｝、Ｙ
方向移動量Pyを｛ｒ sin（θ＋φ）｝としてアク
チユエータ制御回路１９，２０へ供給することも
できる。
ｒ、第２移動指令値設定器２７に方向φを設定
し、Ｘ方向移動量Pxを｛ｒ cos（θ＋φ）｝、Ｙ
方向移動量Pyを｛ｒ sin（θ＋φ）｝としてアク
チユエータ制御回路１９，２０へ供給することも
できる。
このように、試料回転機能が無くても回転角演
算器１５により走査面１２を回転することで表示
部１８の視野を回転できるとともに、試料の移動
は回転指令θに関係なく表示部１８上で常に図１
８に示すX′軸、Y′軸に平行に動くため、視野の
移動（試料の移動）が適切になされる。
算器１５により走査面１２を回転することで表示
部１８の視野を回転できるとともに、試料の移動
は回転指令θに関係なく表示部１８上で常に図１
８に示すX′軸、Y′軸に平行に動くため、視野の
移動（試料の移動）が適切になされる。
このため、操作性が改善され、作業者の負担が
軽減される。
軽減される。
さらに、機械的回転機構が不要となるため、試
料移動機構が簡単となり、コストダウンが実現で
き、可動部が減るので振動に強くなる。
料移動機構が簡単となり、コストダウンが実現で
き、可動部が減るので振動に強くなる。
また、金属等の表面積が減り放出ガスが減少し
真空排気システムの負担が減る。
真空排気システムの負担が減る。
以上詳述したように、本発明の走査型電子顕微
鏡およびその類似装置における試料移動装置によ
れば、試料上の電子ビーム走査面を回転させて、
水平面上で斜めに走査させることができるので、
試料台の回転駆動機構がなくても、迅速に最適な
走査面を得ることができるようになり、これによ
り作業の能率化をはかれる利点がある。
鏡およびその類似装置における試料移動装置によ
れば、試料上の電子ビーム走査面を回転させて、
水平面上で斜めに走査させることができるので、
試料台の回転駆動機構がなくても、迅速に最適な
走査面を得ることができるようになり、これによ
り作業の能率化をはかれる利点がある。
第１〜７図は従来の走査型電子顕微鏡における
試料移動手段を示すもので、第１図はその全体構
成図、第２図はその要部の平面図、第３〜７図は
いずれもその作用を説明するための模式図であ
り、第８〜１５図は従来の走査型電子顕微鏡にお
ける他の試料移動手段を示すもので、第８，９図
はそれぞれの要部の平面図および立面図、第１０
〜１５図はいずれもその作用を説明するための模
式図であり、第１６〜２０図は本発明の一実施例
としての走査型電子顕微鏡およびその類似装置に
おける試料移動装置を示すもので、第１６図はそ
の全体構成図、第１７，１９図はいずれもその試
料の配設状態を示す平面図、第１８，２０図はい
ずれもその表示部における視野を示す模式図であ
る。 １……鏡筒、２……コンデンサレンズ、３……
対物レンズ、４……偏向部材、４Ｘ……Ｘ方向走
査用偏向コイル、４Ｙ……Ｙ方向走査用偏向コイ
ル、５……電子銃、５ａ……電子ビーム、６……
試料室、７Ｘ……Ｘ方向移動アクチユエータ、７
Ｙ……Ｙ方向移動アクチユエータ、８Ｘ……Ｘ方
向送りネジ、８Ｙ……Ｙ方向送りネジ、９Ｘ……
Ｘ方向ガイドバー、９Ｙ……Ｙ方向ガイドバー、
１０……移動台、１１……試料、１２……走査
面、１３……検出器、１４……増幅器、１５……
回転角演算器、１６……Ｘ方向走査用電源、１７
……Ｙ方向走査用電源、１８……表示部、１９…
…Ｘ方向移動アクチユエータ制御回路、２０……
Ｙ方向移動アクチユエータ制御回路、２１……試
料微動方向演算器、２２……試料回転軸、２３…
…試料回転軸軸受、２４……第１方向移動指令値
設定器としてのＸ方向移動指令値設定器、２５…
…第２方向移動指令値設定器としてのＹ方向移動
指令値設定器、２６……回転角設定器。
試料移動手段を示すもので、第１図はその全体構
成図、第２図はその要部の平面図、第３〜７図は
いずれもその作用を説明するための模式図であ
り、第８〜１５図は従来の走査型電子顕微鏡にお
ける他の試料移動手段を示すもので、第８，９図
はそれぞれの要部の平面図および立面図、第１０
〜１５図はいずれもその作用を説明するための模
式図であり、第１６〜２０図は本発明の一実施例
としての走査型電子顕微鏡およびその類似装置に
おける試料移動装置を示すもので、第１６図はそ
の全体構成図、第１７，１９図はいずれもその試
料の配設状態を示す平面図、第１８，２０図はい
ずれもその表示部における視野を示す模式図であ
る。 １……鏡筒、２……コンデンサレンズ、３……
対物レンズ、４……偏向部材、４Ｘ……Ｘ方向走
査用偏向コイル、４Ｙ……Ｙ方向走査用偏向コイ
ル、５……電子銃、５ａ……電子ビーム、６……
試料室、７Ｘ……Ｘ方向移動アクチユエータ、７
Ｙ……Ｙ方向移動アクチユエータ、８Ｘ……Ｘ方
向送りネジ、８Ｙ……Ｙ方向送りネジ、９Ｘ……
Ｘ方向ガイドバー、９Ｙ……Ｙ方向ガイドバー、
１０……移動台、１１……試料、１２……走査
面、１３……検出器、１４……増幅器、１５……
回転角演算器、１６……Ｘ方向走査用電源、１７
……Ｙ方向走査用電源、１８……表示部、１９…
…Ｘ方向移動アクチユエータ制御回路、２０……
Ｙ方向移動アクチユエータ制御回路、２１……試
料微動方向演算器、２２……試料回転軸、２３…
…試料回転軸軸受、２４……第１方向移動指令値
設定器としてのＸ方向移動指令値設定器、２５…
…第２方向移動指令値設定器としてのＹ方向移動
指令値設定器、２６……回転角設定器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 走査型電子顕微鏡およびその類似装置におい
て、試料を第１の座標系における第１方向へ移動
しうる第１方向試料移動台と、同第１方向試料移
動台を駆動する第１方向移動機構と、上記試料を
上記第１の座標系における第２方向へ移動しうる
第２方向試料移動台と、同第２方向試料移動台を
駆動する第２方向移動機構とをそなえるととも
に、上記電子顕微鏡およびその類似装置の走査面
を上記の第１方向ないし第２方向から所定回転角
θだけ回転させて走査すべく、同回転角θに対応
する角度信号θaを設定する回転角設定器と、上
記回転角信号θaを受けて荷電粒子線を偏向させ
る偏向部材と、上記各試料移動台の第１の座標系
における移動方向および移動量を上記走査面の上
記第２の座標系における移動方向およびその移動
量に基づいて制御すべく、上記走査面の移動方向
およびその移動量を設定する第１移動指令値設定
器と、上記走査面の他の移動方向およびその移動
量を設定する第２移動指令値設定器とをそなえ、
上記の第１および第２移動指令値設定器からの上
記走査面の移動方向および移動量に対応する信号
と上記回転角信号θaとを受けて、上記第１方向
試料移動台の移動量Pxおよび上記第２方向試料
移動台の移動量Pyをおのおの上記の第１方向移
動機構および第２方向移動機構へ座標変換して出
力する試料移動台移動方向演算器とが設けられた
ことを特徴とする、走査型電子顕微鏡およびその
類似装置における試料移動装置。 ２ 上記の第１および第２の座標系が直交座標系
であり、上記の第１方向および第２方向がそれぞ
れＸ方向およびＹ方向である特許請求の範囲第１
項に記載の走査型電子顕微鏡およびその類似装置
における試料移動装置。 ３ 上記の第１および第２移動指令値設定器がそ
れぞれ上記走査面の横方向X′の移動量X0および
この横方向X′に直交する縦方向Y′の移動量Y0を
設定する設定器として構成されるとともに、上記
試料移動台移動方向演算器が、上記第１方向試料
移動台の移動量Pxを｛Y0cos（90°＋θ）＋X0cosθ｝
と演算するとともに、上記第２方向試料移動台の
移動量Pyを｛Y0sin（90°＋θ）＋X0sinθ｝と演算
するよう構成された特許請求の範囲第１項または
第２項に記載の走査型電子顕微鏡およびその類似
装置における試料移動装置。 ４ 上記第１の座標系が極座標系であるととも
に、上記第２の座標系が直交座標系であり、上記
の第１および第２移動指令値設定器がそれぞれ上
記回転角θと同方向にとつた上記走査面の他の回
転角φおよび同回転角φ方向の移動量ｒを設定す
る設定器として構成されるとともに、上記試料移
動台移動方向演算器が、上記第１方向試料移動台
の移動量Pxを｛ｒ cos（θ＋φ）｝と演算すると
ともに、上記第２方向試料移動台の移動量Pyを
｛ｒ sin（θ＋φ）｝と演算するよう構成された特
許請求の範囲第１項に記載の走査型電子顕微鏡お
よびその類似装置における試料移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16534082A JPS5954158A (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | 走査型電子顕微鏡およびその類似装置における試料移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16534082A JPS5954158A (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | 走査型電子顕微鏡およびその類似装置における試料移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5954158A JPS5954158A (ja) | 1984-03-28 |
| JPH0441464B2 true JPH0441464B2 (ja) | 1992-07-08 |
Family
ID=15810476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16534082A Granted JPS5954158A (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | 走査型電子顕微鏡およびその類似装置における試料移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5954158A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6251143A (ja) * | 1985-08-28 | 1987-03-05 | Jeol Ltd | 局所表面分析装置用試料装置 |
| JPS6276644A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-08 | Toshiba Corp | 露光装置の縦型移動テーブル装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0232741A (ja) * | 1988-03-16 | 1990-02-02 | Jong-Seob Lee | 磁気励磁式誘導電動機 |
-
1982
- 1982-09-22 JP JP16534082A patent/JPS5954158A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0232741A (ja) * | 1988-03-16 | 1990-02-02 | Jong-Seob Lee | 磁気励磁式誘導電動機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5954158A (ja) | 1984-03-28 |
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