JPS5946622A - 光学整列システム - Google Patents
光学整列システムInfo
- Publication number
- JPS5946622A JPS5946622A JP58136671A JP13667183A JPS5946622A JP S5946622 A JPS5946622 A JP S5946622A JP 58136671 A JP58136671 A JP 58136671A JP 13667183 A JP13667183 A JP 13667183A JP S5946622 A JPS5946622 A JP S5946622A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alignment
- optical
- aperture
- axis
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
- G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
- B23K26/042—Automatically aligning the laser beam
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
- B23K26/042—Automatically aligning the laser beam
- B23K26/043—Automatically aligning the laser beam along the beam path, i.e. alignment of laser beam axis relative to laser beam apparatus
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Lasers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ザ放射ビームが集束系統の光学的な中心を正確に通るよ
うに確保する光学システムに係る。
うに確保する光学システムに係る。
多くの目的で、装置の作動を乱すような要因が生じたと
しても装置が所与の方向に整列を維持するように確保す
ることが必要である。例えば、レーザ処理操作について
は、集束系統が切断又は溶接作業に対応する経路から外
れるように動いたとしても放射ビームが集束系統の光学
的な中心を通るように確保することが必要である。
しても装置が所与の方向に整列を維持するように確保す
ることが必要である。例えば、レーザ処理操作について
は、集束系統が切断又は溶接作業に対応する経路から外
れるように動いたとしても放射ビームが集束系統の光学
的な中心を通るように確保することが必要である。
これが確保されないと、ビームの断面エネルギ分布に有
害な影響が及ぶと共に、集束されたビームスポツトが歪
むことになる。
害な影響が及ぶと共に、集束されたビームスポツトが歪
むことになる。
本発明によれば、整列アパーチャを含む光学系01部分
を形成する経路に沿って整列放射ビームを投射する手段
と、上記整列アバ−チャの周囲を上記順列ビームで走査
させる手段と、上記整列アバ−チャの周囲から炭ってく
る元を受け、その輝度に関連した電気信号を発生する手
段と、上記整列アパーチャの周囲をめぐる整列ビームの
動きに対して上記電気信号の振1]及び位相を決定しそ
して整列信号を発生する手段と、上記整列(i号に応答
して整列ビームの動きの軸と整列アパーチャの中心とを
一致させるサーボ機構とを具備した光学整列システムが
提供される。
を形成する経路に沿って整列放射ビームを投射する手段
と、上記整列アバ−チャの周囲を上記順列ビームで走査
させる手段と、上記整列アバ−チャの周囲から炭ってく
る元を受け、その輝度に関連した電気信号を発生する手
段と、上記整列アパーチャの周囲をめぐる整列ビームの
動きに対して上記電気信号の振1]及び位相を決定しそ
して整列信号を発生する手段と、上記整列(i号に応答
して整列ビームの動きの軸と整列アパーチャの中心とを
一致させるサーボ機構とを具備した光学整列システムが
提供される。
上記順列アパーチャは、レーザ処理システムのような別
の光学系の1部分を形成する像形成レンズ又はミラーの
だめの取付体を含み、この場合上記′サーボ機構は光学
整列システム及びレーザ処理システムに対して共通のミ
2−の2つの垂直軸に対して動きを制御するように構成
できる。
の光学系の1部分を形成する像形成レンズ又はミラーの
だめの取付体を含み、この場合上記′サーボ機構は光学
整列システム及びレーザ処理システムに対して共通のミ
2−の2つの垂直軸に対して動きを制御するように構成
できる。
或いは又、整列アパーチャを装置nの1部分に設けるこ
とができ、その向きは所与の方向を維持することが所望
される向きであシ、上記サーボ機構ほこの所望の向きを
X[L持するように装置の1部分を動かすことができる
。
とができ、その向きは所与の方向を維持することが所望
される向きであシ、上記サーボ機構ほこの所望の向きを
X[L持するように装置の1部分を動かすことができる
。
以下、添付メ1面を参照して本発明を一例として説明す
る。
る。
添付図面にt」、本発明によるブC学止列システムを備
えた二t’i42化炭素レーザ処理システムが示されて
おり、光学順列システムは二酸化炭素レーザのビームが
集束レンズの中心を通るように確保する。
えた二t’i42化炭素レーザ処理システムが示されて
おり、光学順列システムは二酸化炭素レーザのビームが
集束レンズの中心を通るように確保する。
図示をれていない光源からのレーザビーム1は、中央オ
リフィス6を有するビーム混合ミノ−2からミラー4へ
と反射され、ミラー4は駆動ユニット5及び6によって
2つの相互に垂面な軸に対して動くように構成されてい
る。レーザビーム1は次いで県東ヘッド7へ送られ、こ
のヘッドは部列アパーグーヤ8及び集束レンズ9を組み
込んでおり、集束レンズ9Fiレーザピーム1を椋加工
片100面の焦点へ集束するよう配置されている。
リフィス6を有するビーム混合ミノ−2からミラー4へ
と反射され、ミラー4は駆動ユニット5及び6によって
2つの相互に垂面な軸に対して動くように構成されてい
る。レーザビーム1は次いで県東ヘッド7へ送られ、こ
のヘッドは部列アパーグーヤ8及び集束レンズ9を組み
込んでおり、集束レンズ9Fiレーザピーム1を椋加工
片100面の焦点へ集束するよう配置されている。
光学整列システムは、整列ビーム21′を発生するヘリ
ウムネオンレーザ光源21と、2つのビーム屈曲ミ2−
22と、図示されていない電気モ−タによって駆動され
る回転くさび組立体26と、観察素子24と、光電子増
倍管ユニット25をもった望遠鏡と、一点鎖線で一般的
に示されたザーポ機構制御ユニット26とを備えている
。この制御ユニット26はレーザ処理システム及び光学
整列システムの両方に対して共通のミラー4の駆動装置
5及び6を作動させる。回転くさび組立体26に含まれ
ているのは、回転グI/−ト27より成る位置エンコー
ド装置であり、回転プレート27は回転くさび組立体2
6の1つの部品を支持していると共に、4つの規則的に
離間された位置マークを有しておシ、これらのマークは
4つのサンプル・ホールドタイミング検出器28(A、
B。
ウムネオンレーザ光源21と、2つのビーム屈曲ミ2−
22と、図示されていない電気モ−タによって駆動され
る回転くさび組立体26と、観察素子24と、光電子増
倍管ユニット25をもった望遠鏡と、一点鎖線で一般的
に示されたザーポ機構制御ユニット26とを備えている
。この制御ユニット26はレーザ処理システム及び光学
整列システムの両方に対して共通のミラー4の駆動装置
5及び6を作動させる。回転くさび組立体26に含まれ
ているのは、回転グI/−ト27より成る位置エンコー
ド装置であり、回転プレート27は回転くさび組立体2
6の1つの部品を支持していると共に、4つの規則的に
離間された位置マークを有しておシ、これらのマークは
4つのサンプル・ホールドタイミング検出器28(A、
B。
C,Dと示されている)によって観察される。これらの
タイミング検出器28からの信号は、サーボ機構制御1
11ユニット26内に含まれた各々のサンプル・ホール
ド回路A’、B’、C’、D’に送られる。光電子増倍
管25からの信号も、サンプル・ホールド回路A′、B
’、C’、D′に送られる。光電子増倍管25からの信
号はサンプル・ホールド回路A’及ヒB′に直接送られ
ると共に、差ルυ増1〕器E及びFを経てサンプル・ホ
ールド回路C′及びD′に送られる。
タイミング検出器28からの信号は、サーボ機構制御1
11ユニット26内に含まれた各々のサンプル・ホール
ド回路A’、B’、C’、D’に送られる。光電子増倍
管25からの信号も、サンプル・ホールド回路A′、B
’、C’、D′に送られる。光電子増倍管25からの信
号はサンプル・ホールド回路A’及ヒB′に直接送られ
ると共に、差ルυ増1〕器E及びFを経てサンプル・ホ
ールド回路C′及びD′に送られる。
サンプル・ホールド回路A′からの出力は差動増巾k
Eに送られ、サンプル・ボールド回路B′からの出力は
差動増巾器Fに送られる。サンプル・ホールト回路D′
からの出力は増1】器Gによって増rlJされて、可動
ミラー4のX駆動ユニット5を作動するのに使用され、
そしてサンプル・ホールド回路C′からの出力は増巾器
1■によって増rl] ’Aれて、可動ミラー4のY駆
動ユニット6を作動するのに使用される。
Eに送られ、サンプル・ボールド回路B′からの出力は
差動増巾器Fに送られる。サンプル・ホールト回路D′
からの出力は増1】器Gによって増rlJされて、可動
ミラー4のX駆動ユニット5を作動するのに使用され、
そしてサンプル・ホールド回路C′からの出力は増巾器
1■によって増rl] ’Aれて、可動ミラー4のY駆
動ユニット6を作動するのに使用される。
光学整列システムの作動は次の通υである。整列ビーム
21′は、ミラー22を適当に駅!l整することにより
ビーム混合ミラー2の孔3の中心を通るようにされ、主
レーザビーム1と一般的に同軸的であるようにされて主
レーザビームと同じ経路に沿って進むようにされる。次
いで、回転くさび組立体26が挿入される。この回転く
さび組立体によって与えられるビームのそれは、主レー
ザビーム1が集束レンズ9の中心を通る時に整列ビーム
21′が整列アパーチャ8の縁に人!オ」するように構
成される。回転くさび組立体26は、次(八で、整列ア
パーチャ8の周囲を整列ビーム21′で走査させるよう
に、その動きが設定される。整列アノ(−チャ8の周囲
から戻ってくる光は、観察素子24から望遠硯及び光電
子増倍管25へ反射される。
21′は、ミラー22を適当に駅!l整することにより
ビーム混合ミラー2の孔3の中心を通るようにされ、主
レーザビーム1と一般的に同軸的であるようにされて主
レーザビームと同じ経路に沿って進むようにされる。次
いで、回転くさび組立体26が挿入される。この回転く
さび組立体によって与えられるビームのそれは、主レー
ザビーム1が集束レンズ9の中心を通る時に整列ビーム
21′が整列アパーチャ8の縁に人!オ」するように構
成される。回転くさび組立体26は、次(八で、整列ア
パーチャ8の周囲を整列ビーム21′で走査させるよう
に、その動きが設定される。整列アノ(−チャ8の周囲
から戻ってくる光は、観察素子24から望遠硯及び光電
子増倍管25へ反射される。
観察素子24は、主レーザビーム1内のCO2放射を透
過する拐料で作られ、又このオn;1は整列ビーム21
内のHe /N G放射を相当に透過するが、完全には
透;i11% シないものである。このため、光1b、
子増倍管が必要とされる。ミラー2を調整することによ
り主レーザビーム1及び整列レーザビーム21′を各々
正確に設定してしまうと、主レーザビーム1と整列アパ
ーチャ8と集束レンズ9とが不整列になることにより、
整列ビーム21′はその経路の1部分に対し整列アパー
チャ8の緑で少なくとも部分的に重畳され、従って光電
子増倍管25からの出力信号がふらつくことになる。こ
のふらつきの振I11は小片1:列の程度を表わしそし
てその位相は不整列が生じる方向を表わしている。光電
子増倍管25からの出力信号は整列ビーム21′の各走
査中に4回サンプリングされる。光電子増倍管25から
出力信号をサンプリングするためのjr〜当な時期は、
回転くさび組立体2601部分を形成する回転プレート
27上のマークからタイミング検出器28i/こよって
導出される。°リングリング芒れ/−5信号は、ミラー
4の各運動軸ごとに1対ずつの対にされる。6対におけ
るサンプリングされた信号の差は各軸に対するエラー信
号をなし、これは増巾器G及びHによって増[IJされ
て、可動ミラ=4の駆動ユニット5及び6に送られ、整
列ビーム21′ひいては主ビームのゴル動軸を集束レン
ズ9の中心にもっていくのに必要とされるやり方で可動
ミ2−を動かすようにする。
過する拐料で作られ、又このオn;1は整列ビーム21
内のHe /N G放射を相当に透過するが、完全には
透;i11% シないものである。このため、光1b、
子増倍管が必要とされる。ミラー2を調整することによ
り主レーザビーム1及び整列レーザビーム21′を各々
正確に設定してしまうと、主レーザビーム1と整列アパ
ーチャ8と集束レンズ9とが不整列になることにより、
整列ビーム21′はその経路の1部分に対し整列アパー
チャ8の緑で少なくとも部分的に重畳され、従って光電
子増倍管25からの出力信号がふらつくことになる。こ
のふらつきの振I11は小片1:列の程度を表わしそし
てその位相は不整列が生じる方向を表わしている。光電
子増倍管25からの出力信号は整列ビーム21′の各走
査中に4回サンプリングされる。光電子増倍管25から
出力信号をサンプリングするためのjr〜当な時期は、
回転くさび組立体2601部分を形成する回転プレート
27上のマークからタイミング検出器28i/こよって
導出される。°リングリング芒れ/−5信号は、ミラー
4の各運動軸ごとに1対ずつの対にされる。6対におけ
るサンプリングされた信号の差は各軸に対するエラー信
号をなし、これは増巾器G及びHによって増[IJされ
て、可動ミラ=4の駆動ユニット5及び6に送られ、整
列ビーム21′ひいては主ビームのゴル動軸を集束レン
ズ9の中心にもっていくのに必要とされるやり方で可動
ミ2−を動かすようにする。
添付図面は本発明を実施したレーザ処理システムの概略
図である。 1・・・レーザビーム 2・・・ビーム混合ミラー
6・・・中央オリフィス 4・・・ミノ−5,6・・
・駆動ユニット 7・・・集束ヘッド8・・・整列アパ
ーチャ 9・・何(、束Vンズ10 ・・イ波カロニ
に片 21 ゛′ヘリウムネオンレーザ)’c +九“21′
・・・整夕11 ビ − ノ、22・・・ビーム屈曲
ミ2− 26・・・回転くさび組立体 24・・・観察素子 25・・・光′1に子増倍管 26・・・リーーボ機構制f!ルユニント27・・・回
転プレート 2B・・・タイミング検出器 A′、B′、C′、D’−゛サンプル・ホールド回路(
図である。 1・・・レーザビーム 2・・・ビーム混合ミラー
6・・・中央オリフィス 4・・・ミノ−5,6・・
・駆動ユニット 7・・・集束ヘッド8・・・整列アパ
ーチャ 9・・何(、束Vンズ10 ・・イ波カロニ
に片 21 ゛′ヘリウムネオンレーザ)’c +九“21′
・・・整夕11 ビ − ノ、22・・・ビーム屈曲
ミ2− 26・・・回転くさび組立体 24・・・観察素子 25・・・光′1に子増倍管 26・・・リーーボ機構制f!ルユニント27・・・回
転プレート 2B・・・タイミング検出器 A′、B′、C′、D’−゛サンプル・ホールド回路(
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、 整列アパーチャを含む光学系の1部分を形成する
経路に沿って整列放射ビームを投射する手段と、上記整
列アパーチャの周囲を上記整列ビームで走査させる手段
と、上記整列アパーチャの周囲から戻ってくる光を受け
、その輝度に関連した電気信号を発生する手段と、上記
整列アバ−チー7の周囲をめぐる整列ビームの動きに対
して上記電気信号の振ri及び位相を決定しそして整列
信号を発生する手段と、」1記整列信号に応答し2て整
列ビームの動きの軸と整列アパーチャの中心とを一致さ
せるザーボ機ti弯とを具備したことをl時機とする光
学整列システム。 2、」二記整列アパーチャは、光学系の1部を形成する
光学素子の取付体を含む特許請求の範囲第1項に記載の
光学整列システム。 6 上記ザーボ機構は、光学整列システム及び上記光学
系に対して共通の可動ミラーの2つの垂直軸に対する動
きをil+lI Hするように構成される特許請求の範
囲第2項に記11.(の光学整列システム。 4、 上記光学系はレーザ処理系である特許請求の範囲
第2項又はオろ項に記載の光学整列システム。 5、上記整列アパーチャは装置の1部分に設けられ、そ
の向きは所与の方向全j・1):持することが所望され
る向きであり、そして上記ザーボ機描は上記所望の向き
を維持するように装置の上記1部分を動かす特許請求の
範囲第1項に記載の光学整列システム。 6、上記整列アパーチャの周囲を整列ビームで走査させ
る上記手段は、」二記光学長列システムの光学軸に直角
な向きに入射光ビーム’< 1lnl向させるように構
成され7c透明材料の光学くさび組立体と、上記光学整
列システムの軸と一致する軸に対して光学くさびλll
i立体を回転させる手段とを備えた!r″f許請求の範
囲の前記各駒いずれかに記載の光学整列システム。 Z 上記の回転する光学くさび組立体は、基準位置に対
して変位した整列ビームの方位を決定できるように位置
エンコーダを備えている重訂請求の範囲第5項に記載の
光学整列システム。 8、整列アパーチャの周囲から戻ってくる光の輝度に関
係した電気信号の振巾及び位相を整列ビームの動きに対
して決定する上記手段は、上記位置エンコーダから導出
される信号によって作動される複数個のサンプル・ホー
ルド回路を備えている特許請求の範囲オフ環に記載の光
学整列システム。 9 整列信号を発生する上記手段は、第1の群のサンプ
ル・ホールド回路の内容から、第1方向への整列ビーム
の変位を表わす整列信号の第1成分を導出する手段と、
第2の群のサンプル・ホールド回路の内容から、上記第
1成分の方向に対して直角の第2方向への整列ビームの
変位を表わす整列信号の第2成分′を導出する手段とを
備えている特許請求の範囲オ8頓に記載の光学整列シス
テム。 10、 上記第1及び第2の方向は上記可動ミラーの
動きの軸に和尚するIFケWr請求の範囲第3JJ及び
オフ環に記載の整列システム。 11、 実質的に添伺図面を参照して説明した九学弊
列システム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB21520 | 1982-07-26 | ||
GB8221520 | 1982-07-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5946622A true JPS5946622A (ja) | 1984-03-16 |
Family
ID=10531910
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58136671A Pending JPS5946622A (ja) | 1982-07-26 | 1983-07-26 | 光学整列システム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4576480A (ja) |
JP (1) | JPS5946622A (ja) |
DE (1) | DE3326636A1 (ja) |
FR (1) | FR2530803B1 (ja) |
GB (1) | GB2125162B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112823074A (zh) * | 2018-08-17 | 2021-05-18 | 普雷茨特两合公司 | 激光加工系统及用于激光加工系统的方法 |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3530189A1 (de) * | 1985-08-23 | 1987-03-05 | Zeiss Carl Fa | Einrichtung zur lagekorrektur eines ueber eine gelenkoptik gefuehrten laserstrahls |
FR2591767B1 (fr) * | 1985-12-13 | 1988-02-19 | Trt Telecom Radio Electr | Procede d'asservissement de l'axe d'un systeme de guidage a champ variable a l'axe d'une lunette de visee |
IT8747637A0 (it) * | 1986-02-19 | 1987-02-12 | Sagem | Disposivo ottico di misura a distanza delle variazioni di orientamento di un oggetto |
US5026964A (en) * | 1986-02-28 | 1991-06-25 | General Electric Company | Optical breakthrough sensor for laser drill |
US5557347A (en) * | 1986-11-04 | 1996-09-17 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Ballistic missile boresight and inertial tracking system and method |
US4818101A (en) * | 1986-12-02 | 1989-04-04 | The Boeing Company | Laser-doppler velocimetry |
EP0287032B1 (en) * | 1987-04-13 | 1996-02-28 | Nec Corporation | Optical alignment system |
US4917490A (en) * | 1988-02-04 | 1990-04-17 | The Boeing Company | Boresight alignment measuring apparatus and method for electro-optic systems |
US4907881A (en) * | 1988-03-10 | 1990-03-13 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Precision alignment device |
US4929045A (en) * | 1988-09-29 | 1990-05-29 | Fuller Research Corporation | Method and apparatus for aligning optical energy to a wave guide |
US5059764A (en) * | 1988-10-31 | 1991-10-22 | Spectra-Physics, Inc. | Diode-pumped, solid state laser-based workstation for precision materials processing and machining |
GB2236846B (en) * | 1988-11-22 | 1992-10-14 | Fiat Auto Spa | Laser welding monitoring systems. |
US4997283A (en) * | 1989-03-27 | 1991-03-05 | Danielson Glen C | Vehicle straightener measuring unit, measuring apparatus reliant on reflected beams, and source, targets and method |
US5011282A (en) * | 1989-11-16 | 1991-04-30 | Amada Company, Limited | Laser beam path alignment apparatus for laser processing machines |
US5142400A (en) * | 1989-12-26 | 1992-08-25 | Cubic Corporation | Method and apparatus for automatic acquisition and alignment of an optical beam communication link |
US5536916A (en) * | 1994-09-30 | 1996-07-16 | Sanyo Machine Works, Ltd. | Method for performing automatic alignment-adjustment of laser robot and the device |
US5705789A (en) * | 1995-09-29 | 1998-01-06 | Litel Instruments, Inc. | Stabilization of parallel transport mirror system |
GB2299873A (en) * | 1996-01-23 | 1996-10-16 | David Scanlan | Steerable image display device |
US6014206A (en) * | 1998-09-28 | 2000-01-11 | Lambda Physik Gmbh | Stabilization of angular and lateral laser beam position |
US6765664B2 (en) * | 2002-01-09 | 2004-07-20 | Delaware Capital Formation, Inc. | Laser scanner with parabolic collector |
US7320455B2 (en) | 2003-10-24 | 2008-01-22 | Newport Corporation | Instrumented platform for vibration-sensitive equipment |
US8231098B2 (en) | 2004-12-07 | 2012-07-31 | Newport Corporation | Methods and devices for active vibration damping of an optical structure |
WO2010085632A2 (en) * | 2009-01-23 | 2010-07-29 | University Of Washington | Virtual core flow cytometry |
US20220341725A1 (en) * | 2021-04-26 | 2022-10-27 | Quality Vision International Inc. | Non-invasive alignment method and system for imager-illuminator optical measurement machines |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3723013A (en) * | 1970-10-23 | 1973-03-27 | Atomic Energy Commission | Alignment system |
US3757125A (en) * | 1970-12-26 | 1973-09-04 | Mitsubishi Electric Corp | Optical tracking apparatus |
CH562078A5 (ja) * | 1972-05-30 | 1975-05-30 | Omega Brandt & Freres Sa Louis | |
US3902036A (en) * | 1974-05-02 | 1975-08-26 | Western Electric Co | Control system using multiplexed laser beams |
US3918814A (en) * | 1974-05-13 | 1975-11-11 | Weiser Robodyne Corp | Optical position sensor |
US3989385A (en) * | 1974-09-16 | 1976-11-02 | International Business Machines Corporation | Part locating, mask alignment and mask alignment verification system |
US3942894A (en) * | 1974-11-20 | 1976-03-09 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Self referencing retransmitting alignment sensor for a collimated light beam |
US4146329A (en) * | 1977-09-14 | 1979-03-27 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Autoalignment system for high power laser |
US4470698A (en) * | 1982-05-13 | 1984-09-11 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Programmable scanner/tracker |
-
1983
- 1983-07-14 GB GB08319090A patent/GB2125162B/en not_active Expired
- 1983-07-18 US US06/514,594 patent/US4576480A/en not_active Expired - Fee Related
- 1983-07-23 DE DE19833326636 patent/DE3326636A1/de not_active Withdrawn
- 1983-07-25 FR FR8312290A patent/FR2530803B1/fr not_active Expired
- 1983-07-26 JP JP58136671A patent/JPS5946622A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112823074A (zh) * | 2018-08-17 | 2021-05-18 | 普雷茨特两合公司 | 激光加工系统及用于激光加工系统的方法 |
JP2021534001A (ja) * | 2018-08-17 | 2021-12-09 | プレシテック ゲーエムベーハー ウント ツェーオー カーゲー | レーザ加工システム及びレーザ加工システムの方法 |
CN112823074B (zh) * | 2018-08-17 | 2023-09-26 | 普雷茨特两合公司 | 激光加工系统及用于激光加工系统的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2530803B1 (fr) | 1987-02-13 |
US4576480A (en) | 1986-03-18 |
GB2125162B (en) | 1985-09-18 |
DE3326636A1 (de) | 1984-01-26 |
GB2125162A (en) | 1984-02-29 |
FR2530803A1 (fr) | 1984-01-27 |
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