JPS5944152B2 - 気密チヤンバ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、真空中あるいは特殊雰囲気中で各種測定、
加工などの作業を行うための気密チャンバに関する。

例えば、水晶振動子の生産工程においては、リード線に
水晶振動子片を取り付けた後に、発振周波数の調整加工
が必要である。

即ち、発振周波数を測定しつつ、水晶振動子片をレーザ
で徐々に削り取り、所望の周波数に調整するのであるが
、この調整加工は真空中で行ラ必要があるために、レー
ザが良好に透過できるカラス板で一部を覆つた真空チャ
ンバが使用されている。ところが、従来の真空チャンバ
にあつては、ワークの搬入、搬出に対する工夫が何らな
されていないために、搬入、搬出の度に外気が侵入して
真空状態を破壊してしまい、加工を連続的に行うことが
できずに、所定の真空度に達するまでのかなりの待ち時
間を要する。

従つて、多数のワークを処理するには、極めて作業能率
が悪く、かつ高真空度を要求すると上記の待ち時間が一
層長びき、さらに作業能率が低下する不都合がある。こ
の発明は上記の点に鑑みてなされたもので、装置の大型
化ならびに機構の複雑化を伴うことなく、ワークを連続
的に処理できるようにした気密チャンバを提供するもの
である。

以下、この発明の実施例を図面とともに詳細に説明する
。

この実施例は、上述した水晶振動子の調整加工用真空チ
ャンバとして適用したもので、ここで加工される水晶振
動子は、発振回路と接続するためのコンタクト端子を備
えた略長方形パレットの一側に予め多数整列固定されて
おり、このパレットの状態で真空チャンバに搬送され、
かつ調整加工が行われるようになつている。

先ず、、ベースプレート１、サイドプレート２およびト
ッププレート３によつて矩形のチャンバ本体が構成され
る。

上記トッププレート３には、矩形の搬入口４、搬出口５
が対称的に配置形成され、さらに両者の中央には、レー
ザを良好に透過するガラス板を嵌め込んだ加工窓６が構
成されている。そして、この加工窓６の直下には、加工
ステージＴが配置さ民後述の如く、ここに搬送されたパ
レツト上の水晶振動子に対して、その発振周波数を測定
するとともに、所定の周波数に至るまで、水晶振動子片
をレーザで削り取る作業が自動的に行われるようになつ
ているが、この加工に係る詳しい説明は省略する。次に
８は、上記チヤンバ本体内に水平に固設されたサブフレ
ーム、９は殿入口４の直下において上記サブフレーム８
に昇降自在に支持された搬入用リフトテーブルで、この
搬入用リフトテーブル９の上面は、パレツトＰ案内用の
凹部が長手方向に形成されて、上記加エステージ７にバ
レツトＰを搬送する際のガイドレールを兼ねるとともに
、０リング１０を埋設したフランジ１１を有し、その昇
降によつてこのフランジ１１力澱入口４を内側から開閉
するようになつている。

さらに、この搬入用リフトテーブル９は、コイルばね１
２，１２によつて常時下方に付勢されているとともに、
エアモータ１３によつて回転される端面カム１４のカム
面に下端のカムフオロア１５が従動して昇降する。即ち
、エアモータ１３と搬入用リフトテーブル９の運動方向
が異なるため、搬入口４を閉蓋している際に加わる大き
な気圧に対しても、十分対抗でき、真空を完全に維持す
るのである。一方、搬出口５の直下においては、同様に
構成された搬出用リフトテーブル１６が配置されており
、これについては同一箇所に同一番号を付して説明は略
する。上記トツププレート３の上面には、下縁に０リン
グ１７を埋設したカバー１８，１９が、搬入口４、搬出
口５を外側から閉蓋すべく開閉可能に装着されている。

これほ、上記搬入用リフトテーブル９、搬出口リフトテ
ーブル１６の昇降と連動して開閉し、搬入口４、搬出口
５の各々に極めて容積の小さい予備室を構成するもので
、これによりチヤンバ体内の真空状態を維持したままパ
レツトＰの搬入、搬出を可能としている。即ち、搬入、
搬出時には・搬人用リフトテーブル９、搬出用リフトテ
ーブル１６が搬入口４、搬出口５を内側から閉蓋し、か
つ加工時にはこれが下降するとともに上記カバー１８，
１９が搬入口４、搬出口５を外側から閉蓋する。この際
に、上記搬入用リフトテーブル９、搬出用リフトテーブ
ル１６は、単にチヤンバ本体と予備室間を開閉する扉と
して機能するだけでなく、パレツトＰを予備室からチヤ
ンバ本体内へ搬入、搬出する昇降台としての機能を兼ね
ているために、予備室からチヤンバ本体への特別な搬送
手段を必要とせず、従つて、機構を簡略化するとともに
、予備室容積を極めて小さくでき、搬入、搬出時の真空
度の低下を最小限に押えている。尚、さらに高真空度を
要求する場合には、上記カバー１８，１９にも真空ポン
プを連結し、搬入用リフトテーブル９、搬出用リフトテ
ーブル１６の下降前に予備室内の排気を行うようにして
も良く、この際にも、予備室の体積が極めて小さいので
瞬時に排気できる。次に、上記の如く搬入用リフトテー
ブル９によつてチヤンバ本体内に搬入されたバレツトＰ
は上記加エステージ７に搬送され、かつ調整加工後に搬
出用リフトテーブル１６上に搬送されるが、その搬送機
構を説明する。

先ず、２０，２０は上記サブフレーム８と平行に、即ち
搬送方向に平行に固設された一対のカードロッド、２１
はこのガイドロツド２０，２０に左右摺動自在に取付け
られたスライドプロツク、２２は上記ガイドロツド２０
，２０と平行に張設されるとともに、上記スライドプロ
ツク２１に連結されたｖベルト、２３は上記ｖベルト２
２を駆動するモータで、この正転、逆転により上記スラ
イドプロツク２１が往復動する。

さらに、２４は上記スライドプロツク２１を上下に貫通
して、上下動自在に支持されるとともに、コイルばね２
５により下方に付勢されたローラロツドで、その下端ロ
ーラ２６はシリンダ２７によつて土下動するリフトレー
ル２８に当接しており、スライドプロツク２１のスライ
ド位置に拘らず、上下動可能になつている。このローラ
ロツド２４頭部には、搬送バ一２９が水平に固定される
とともに、その両端部に、パレツトＰに設けられた搬送
孔と係合する搬送ピン３０ａ，３０ｂが装着されている
。そして、この殿送ピン３０ａ，３０ｂの上下動および
左右動の複合動作によつて、左方０殿送ピン３０ａは搬
入用リフトテーブル９上のパレツトＰを加工ステージＴ
上に、また右方の搬送ピン３０ｂは加エステージ７上の
パレツトＰを搬送用リフトテーブル１６上に順次搬送す
るのである。即ちこＯ搬送機構においては、上記搬入用
リフトテーブル９、搬出用リフトテーブル１６は、その
搬送のためのガイドレールとしての機能を果しており、
従つて、極めて簡単な機構によつてパレツトＰを搬送で
きるのである。以上、この発明の実施例について詳細に
説明したが、この発明はこれに限定されるものではなく
、例えば不活性ガス等の特殊雰囲気中で各種加工を行う
加工機などとして適用できる。

以上の説明で明らかなように、この発明に係る気密チヤ
ンバにあつては、搬入口、搬出口を内側から開閉するテ
ーブルがそのままワークの昇降台となつており、搬入口
、搬出口の開閉動作とワークの昇降動作が単一動作で行
えるので、装置の簡素化を実現でき、かつ多数のワーク
を高速で処理することができる。

また、上記テーブルの昇降駆動が端面カムを介して行わ
れるので、極めて小出力の駆動源によつて大きな外圧に
抗することができ、装置の一層の小型化が図れる等の利
点を有する。図面の藺単な説明 第１図はこの発明に係る真空チヤンバの正面断面図、第
２図は同じく平面断面図、第３図は同じく側面断面図で
ある。

４・・・搬入口、５・・搬出口、７・・・加工ステージ
、９・・・搬入用リフトテーブル、１６・・・搬出用リ
フトテーブル一２９・・雀送バ一。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ワークの搬入口、搬出口が上に開口するとともに所
   定の作業手段を備えたチャンバ本体と、上記チャンバ本
   体内に昇降可能に配設され、上記搬入口、搬出口を内側
   から開閉するとともにワークの昇降台となる一対のテー
   ブルと、上記テーブルを下方から押圧して昇降せしめる
   端面カムと、この端面カムを回転する駆動機構と、上記
   テーブルの下降時に搬入口、搬出口を外側から閉蓋する
   カバーと、上記チャンバ本体内で、搬入側テーブルから
   搬出側テーブルへワークを搬送する搬送機構とを備えて
   なる気密チャンバ。