JPS5942546A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
- Publication number
- JPS5942546A JPS5942546A JP57151779A JP15177982A JPS5942546A JP S5942546 A JPS5942546 A JP S5942546A JP 57151779 A JP57151779 A JP 57151779A JP 15177982 A JP15177982 A JP 15177982A JP S5942546 A JPS5942546 A JP S5942546A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lamp
- light
- zones
- reflection
- emission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、均一照射領域の拡張をｋｌ的とした円筒型
露光装置に関する。
露光装置に関する。
円筒型露光装置は特開昭５ｏ−ｚｏ２４−、Ｈの第１３
９頁に記述されるとおり、均一な照度分布を得やすく、
光の利用率も高いことが知られている。
９頁に記述されるとおり、均一な照度分布を得やすく、
光の利用率も高いことが知られている。
ところで同公報の第１４０頁に１−ランプの軸方向の［
ｊＩＩ後の不均等配光分布を遮蔽して、均等部分のみが
露光に与える方法は通常の光学知識で容易に実施し得る
ものとする−１と記述されている。即ち、直管状ランプ
の両端部では均一な配光分布が得られないことから、当
該部分を遮蔽じ均一な配光の得られる部分のみを使用す
る技術は既に知られている。
ｊＩＩ後の不均等配光分布を遮蔽して、均等部分のみが
露光に与える方法は通常の光学知識で容易に実施し得る
ものとする−１と記述されている。即ち、直管状ランプ
の両端部では均一な配光分布が得られないことから、当
該部分を遮蔽じ均一な配光の得られる部分のみを使用す
る技術は既に知られている。
しかしこのような遮蔽を行々う結果、ランプ発光長に対
する実用照射域（均一な配光分布が得られる部分）の割
合は低下せざるを１１１ず、その結果常に実用照射域に
ヌ・ｊして比較的長１ヨの直管状ランプを使用する必要
があった。
する実用照射域（均一な配光分布が得られる部分）の割
合は低下せざるを１１１ず、その結果常に実用照射域に
ヌ・ｊして比較的長１ヨの直管状ランプを使用する必要
があった。
本発明は透明円筒体の両端部に、光拡散係数α；１０、
かつ光反射率β≧０７である反射帯を設けることにより
、透明円筒体上の均一照射域を拡張しランプ発光長に対
する実用照射域の比率を著１．＜増大させた露光装置に
関するものでその詳細を図面により説明する。
かつ光反射率β≧０７である反射帯を設けることにより
、透明円筒体上の均一照射域を拡張しランプ発光長に対
する実用照射域の比率を著１．＜増大させた露光装置に
関するものでその詳細を図面により説明する。
第１図は本発明の露光装置を示す斜視図であって、直管
状光源１の両端には側面反射板３があり、直管状光源ｌ
を軸とする透明円筒体２の両！７：ｉａ部に反射帯４が
設けられている・側面反射板３はランプの発光端に位置
し、ランプの支持体と兼用できる。また反射帯４は、第
２図及び第３図に示すように、透明円ｒ：？ｉ体２の外
面或いは内面に沿って設けられ、該円ｉ’、？ｊ体２
（７） １＋ｌｊ ’ｌ：Ｍ カラ発’ＪＣ’ＡＡｉ
（１） 真上６ Ｇ 、Ｊ：り内側に帯状に設けられ
ている。
状光源１の両端には側面反射板３があり、直管状光源ｌ
を軸とする透明円筒体２の両！７：ｉａ部に反射帯４が
設けられている・側面反射板３はランプの発光端に位置
し、ランプの支持体と兼用できる。また反射帯４は、第
２図及び第３図に示すように、透明円ｒ：？ｉ体２の外
面或いは内面に沿って設けられ、該円ｉ’、？ｊ体２
（７） １＋ｌｊ ’ｌ：Ｍ カラ発’ＪＣ’ＡＡｉ
（１） 真上６ Ｇ 、Ｊ：り内側に帯状に設けられ
ている。
本発明の露光装置に用いることのできる直管状ランプ１
は放電管、例えばネオンランプ、水銀ランプ、螢ソＣラ
ンプ、ケミカルランプ、キセノンフラッシュランプ等、
捷だ電気抵抗体の加熱発光を用いるフィラメント管、例
えばタングステンランプ、へロゲンランプ等である。
は放電管、例えばネオンランプ、水銀ランプ、螢ソＣラ
ンプ、ケミカルランプ、キセノンフラッシュランプ等、
捷だ電気抵抗体の加熱発光を用いるフィラメント管、例
えばタングステンランプ、へロゲンランプ等である。
本発明の反射帯４に用いられる材料は例えばアート紙、
ケント紙、合成紙のような白色紙類、白色アクリル板の
ような白色合成樹脂板、或いは白色塗料で塗装した金属
板１合成樹脂板、木板等であって光拡散係数α≦１０、
かつ光反射率β；：０７であれば特に相性に限定はない
。
ケント紙、合成紙のような白色紙類、白色アクリル板の
ような白色合成樹脂板、或いは白色塗料で塗装した金属
板１合成樹脂板、木板等であって光拡散係数α≦１０、
かつ光反射率β；：０７であれば特に相性に限定はない
。
反射帯幅Ｗ ｍａはランプ発光長１ ｍｍにｘｊシてＯ
＜Ｗ≦’／１０であることが好ましく、史には１０≦Ｗ
Ｓ７１ｏであることが望ましい。
＜Ｗ≦’／１０であることが好ましく、史には１０≦Ｗ
Ｓ７１ｏであることが望ましい。
側面反射板３は本発明をさらに効果的なものとするだめ
、光反射率βを少なくとも０７とすることが望ましい。
、光反射率βを少なくとも０７とすることが望ましい。
照度分布の確認はフォトセングー法を用いた。即ち、透
明円筒体２」二に直管状光源１と平行な線分を定め、該
線分を区分して測定アドレスとし、各アドレス上に７オ
トセンザーを置き、その位置に於ける・受光エイ、ルギ
−を１；売みとるものである。
明円筒体２」二に直管状光源１と平行な線分を定め、該
線分を区分して測定アドレスとし、各アドレス上に７オ
トセンザーを置き、その位置に於ける・受光エイ、ルギ
−を１；売みとるものである。
本発明の露光装置色を史に例をあげて詳述する・
光源Ｉが外径１２ｍｍ１発光長３２０關のキセノン−７
ラノシユランプであり、外径１１０ｍＩＩ＋のガラス製
透明円筒体２を有する露光装置に於て、光拡散係数α−
〇、：３〜０．４、光反射率βが約０９である市販のア
ート紙からなる反ｑ、を帯４を円筒体２の両端の外面に
設け、捷／・−光反射率βが約０．９であるアルミ板を
側面反射板：３とし、てランプの発光’Ｉ）Ａ：に設け
た。
ラノシユランプであり、外径１１０ｍＩＩ＋のガラス製
透明円筒体２を有する露光装置に於て、光拡散係数α−
〇、：３〜０．４、光反射率βが約０９である市販のア
ート紙からなる反ｑ、を帯４を円筒体２の両端の外面に
設け、捷／・−光反射率βが約０．９であるアルミ板を
側面反射板：３とし、てランプの発光’Ｉ）Ａ：に設け
た。
上述の露りｔ装置に於て、反１村帯の幅を発光９１ｉｊ
の直」二から１０ｍｍ、２０＝＋Ｍ、３０＋ＩＩＩＩ、
４０ｍｍとし／１−場合の日商体上の照度を尤セシーリ
ー法により測定し、均一照射（ｉ（ｌ域の痩化を求め乙
二結果を第１ｋに示す。
の直」二から１０ｍｍ、２０＝＋Ｍ、３０＋ＩＩＩＩ、
４０ｍｍとし／１−場合の日商体上の照度を尤セシーリ
ー法により測定し、均一照射（ｉ（ｌ域の痩化を求め乙
二結果を第１ｋに示す。
第 １ 表
反 射 帯 の 幅 均一照射領域の長さ 発光長に
対する比率１０１＆ ２５６ｍｍ
８０．０”、。
対する比率１０１＆ ２５６ｍｍ
８０．０”、。
２０ ２８０ ８７５
３０ ２７２ ８５．
０４０ ２６５ ８２
．８第４図に示すように、鎖線は上述の露光装置におけ
る反射帯４がなく、光反射率が約０４の側面反射板３を
設けた場合の均一照射領域であり、その領域のランプ発
光長に苅するｋＢ率は６８．８％にすきない・まだ点線
は反射’：ｆ′ｉ４がなく、光反射と＋≦βが約０９で
あるアルミ板からなる側面反射板３を設けた場合の均一
照射＜１ｃｌ域であって、比率ｕ ７６．９ ％となっ
た。
３０ ２７２ ８５．
０４０ ２６５ ８２
．８第４図に示すように、鎖線は上述の露光装置におけ
る反射帯４がなく、光反射率が約０４の側面反射板３を
設けた場合の均一照射領域であり、その領域のランプ発
光長に苅するｋＢ率は６８．８％にすきない・まだ点線
は反射’：ｆ′ｉ４がなく、光反射と＋≦βが約０９で
あるアルミ板からなる側面反射板３を設けた場合の均一
照射＜１ｃｌ域であって、比率ｕ ７６．９ ％となっ
た。
実線は本発明の露光装置に於ける均−照（１・を領域で
あり、比率が８７５％にも達し／ξ。
あり、比率が８７５％にも達し／ξ。
まだ、上述の露光装置に於けるア−１・紙からなる反射
帯４をアルミ板（光拡散係数１１ ）１、九反Ｑ＝ｆ率
βが約０．９）に変えた場合の均一−１（ｉ射領域テー
タと、上述の露光装置に於けるアルミ板からなる側面反
射板３をアクリル樹脂板（〕ｊ′、反射率βが約０４）
に弯えた場合の均一照射領域データを各々、Ｊｔ １１
ｉＱ例１．２として第２表に／Ｊてす。
帯４をアルミ板（光拡散係数１１ ）１、九反Ｑ＝ｆ率
βが約０．９）に変えた場合の均一−１（ｉ射領域テー
タと、上述の露光装置に於けるアルミ板からなる側面反
射板３をアクリル樹脂板（〕ｊ′、反射率βが約０４）
に弯えた場合の均一照射領域データを各々、Ｊｔ １１
ｉＱ例１．２として第２表に／Ｊてす。
第 ２ 表
均−照射ｆｉｒ！域長さ 発光長に対するＪｂ串比１
１【９例１ ２／１６Ｆ１１７６．９％Ｊシ１咬
例２ ２５０ ７８．１史に、１−述の
露光装置に於ける光源ｌを、外径２Ｑ ｍｍ、発光長５
００ ｍｖ＋の水εｊ１！ランプに変え、゛まだ外径＋
ｓ ｏ ｍｍのカラス製透明円筒体２を用い、反射、
Ｉｔｊ幅を２５朋とした場合の発ソ０長に′ス・１する
均−ｌ（ｊ ＋ＩＪ舶域の比率は９ （１’！、。
１【９例１ ２／１６Ｆ１１７６．９％Ｊシ１咬
例２ ２５０ ７８．１史に、１−述の
露光装置に於ける光源ｌを、外径２Ｑ ｍｍ、発光長５
００ ｍｖ＋の水εｊ１！ランプに変え、゛まだ外径＋
ｓ ｏ ｍｍのカラス製透明円筒体２を用い、反射、
Ｉｔｊ幅を２５朋とした場合の発ソ０長に′ス・１する
均−ｌ（ｊ ＋ＩＪ舶域の比率は９ （１’！、。
てあった。
キリ＋＄１．ｒ１．り〕１−ｉ由幻鶏Ｋｉｌ。
第７図
第２胆
Claims (1)
- 直管状光源と１１１１記光源を軸とする透明円筒体、及
び側面反射板とからなる露光装置に於て、Ｊ方間円筒体
の外１■まだは内面に沿って、光拡散係数α≦ＩＯ１か
つ光反射率βご０．７である反射・ｊ））を設けたこと
を特徴とする露光装置・
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57151779A JPS5942546A (ja) | 1982-09-02 | 1982-09-02 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57151779A JPS5942546A (ja) | 1982-09-02 | 1982-09-02 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5942546A true JPS5942546A (ja) | 1984-03-09 |
| JPH0357466B2 JPH0357466B2 (ja) | 1991-09-02 |
Family
ID=15526110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57151779A Granted JPS5942546A (ja) | 1982-09-02 | 1982-09-02 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5942546A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0744878U (ja) * | 1989-09-22 | 1995-11-28 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 自動車用の三相発電機 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS519832A (en) * | 1974-07-15 | 1976-01-26 | Ono Gijutsu Kenkyusho Jugen | Fukushakino rokosochi |
| JPS51110537U (ja) * | 1975-03-03 | 1976-09-07 | ||
| JPS55152533U (ja) * | 1979-04-20 | 1980-11-04 |
-
1982
- 1982-09-02 JP JP57151779A patent/JPS5942546A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS519832A (en) * | 1974-07-15 | 1976-01-26 | Ono Gijutsu Kenkyusho Jugen | Fukushakino rokosochi |
| JPS51110537U (ja) * | 1975-03-03 | 1976-09-07 | ||
| JPS55152533U (ja) * | 1979-04-20 | 1980-11-04 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0744878U (ja) * | 1989-09-22 | 1995-11-28 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 自動車用の三相発電機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0357466B2 (ja) | 1991-09-02 |
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