JPS594021A - 真空断熱スペ−サ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ＋１１発明の技術分野 本発明は真空断熱スペーサー、詳しくは二重構造体の内
方中空体を真空に保ち、それを囲む外方中空体に冷却流
体を通ず構造とした真空断熱スペーサーに関する。

（２）技術の背景 従来技術において、断熱スペーサーとしてはアスヘスト
等が用いられているだけであり、２個のヒータ相互間、
ヒータとそれの容器との間の断熱はヒータのまわりの空
間が利用されているに過ぎない。

（１） （３）従来技術と問題点 最近の半導体装置の製造において、ウェハ、マスクの如
き基板にベーキングまたは乾燥がなされ、加熱に複数個
のヒータが用いられる例が多い。

その場合、それぞれのヒータは独立の加熱をなしうる如
くに別個に制御されることが要求されるので、各ヒータ
は断熱スペーサーで隣のヒータから遮断されることが必
要となる。

上記した加熱システムの１例は本願出願人の開発した無
接触ベーキングシステムであり、それは第１図の概略断
面図に示される。同図において１は中空石英管、２と２
′はゲート、３はウェハ、４はエアヘアリング・ヒータ
・温度センサ・ユニット、５は空気噴出孔、６は空気加
熱用ヒータ、７は温度センサ、８は装置のための排気管
を示す。

ウェハは、空気噴出孔５から噴出する空気で図に矢印で
示す方向に進められている間に加熱された空気でベーキ
ングされる。ウェハに対しては種々の異なった条件での
加熱が要求され、ユニット４のヒータ６をそれぞれ独立
に加熱するために、各（２） ユニットが互いに熱的に遮断されていることが必要であ
る。

かかる断熱のためのスペーサーにアスへろトを用いたと
すると、アスベストから発生するゴミがウェハに付着し
て好ましくない。また、断熱スペーサーが加熱されてガ
スや湿気を発生し、ウェハを汚染することがあってもな
らない。本願の発明者の調査した限りにおいζ、十分な
断熱効果をもち、しかもゴミその他の汚染を発生するこ
とのない断熱スペーサーは未だ開発されていない。

（４）発明の目的 本発明は上記従来の欠点に鑑み、十分な遮断効果をもち
、ゴミ、汚染物等を発生することのない断熱スペーサー
を提供することを目的とする。

（５）発明の構成 そしてこの目的は本発明によれば、中空二重構造体を形
成し、この構造体の内方中空体は真空に保ち、この内方
中空体を囲む外方中空体には冷却用流体を通す構成とし
た真空断熱スペーサーを提供することによって達成され
る。

（３） （６）発明の実施例 以下本発明の実施例を図面によって詳述する。

第２図に本発明にかかる真空断熱スペーサー１１の斜視
図が示され、同図において、１２は中空の内方中空体、
１３は内方中空体１２を囲む中空の外方中空体を示す。

内方中空体１２の底壁１４には孔１５があけられ、孔１
５からは排気管１６が延び、排気管１６ば、バルブ１７
を介してロークリポンプ２４（第１図）に埋結され、パ
ルプ１７を開き排気して内方中空体１２を真空に保つ。

他方、中空の外方中空体１３が内方中空体１２を囲む（
内蔵する）如くに配置される。外方中空体１３もまた中
空構造で、その底壁１８には、排気管１６が通る孔１９
、冷却空気の取入れ用の空気供給管２゜のための孔２１
および排気管２３のための孔２３が形成され、内方中空
体１２と外方中空体１３とは、排気管１６の孔１５と１
９との間の部分１６′によって一体的な構造、すなわち
、外方中空体１３内に内方中空体１２が管の部分１６′
によって支持された構成となっている。

（４） 使用において、内方中空体１２は真空に保ち、冷却用空
気を空気供給管２０から外方中空体１３内に送り、排気
管２２から排気する。排気および空気供給の方向は第２
図に矢印で示す。内方中空体は真空に保たれているので
熱遮断の効果を発揮し、冷却空気は外方中空体および内
方中空体を雷に冷却した状態に保つから、真空断熱スペ
ーサー１１は十分な断熱効果を発揮する。

スペーサー１１の材質には、ガラス、セラミック等の熱
伝導率の小なる材料を用いる。スペーサー１１はその構
造から理解され得る如く、それ自体なんらのゴミ等を発
生ずるものでなく、また冷却用空気は外方中空体の閉さ
れた空間内を流れ外部に流出することは全くないから、
冷却空気による汚染の危険もない。

真空断熱スペーサ−１１は、例えば第１図に示す如くに
使用可能才あり、同図において、２４は真空排気用のロ
ークリポンプを示す。冷却空気の供給排気機構は浦富の
技術できわめて容易に組み込むことができる。なお同図
において、排気機構は（５） 図の下方のスペーサーについてのみ示されるが、図の上
方のスペー号−についても同様である。

なお上記において、外方中空体１３の冷却には空気を用
いる例をとったが、空気に代えその他の気体、水その他
の液体を用いうろことはいうまでもない。

また、内方および外方の中空体は直方体形状のものを図
示したが、本発明の真空１１ｉ熱スペーサーは図示の形
状のものに限定されるものでなく、使用上の条件に応じ
任意の形状をとりうるちのであり、要は上記に説明した
二重構造のものであることである。

（７）発明の効果 以上、詳細に説明したように、本発明の真空断熱スペー
サーにおいては、真空と冷却流体を効率良く利用するこ
とにより、ヘーキングの如き熱処理において加熱ユニッ
ト間の十分な断熱効果を発揮し、種々の異なった温度条
件での熱処理を可能にするだけでなく、それ自体、ゴミ
、汚染物質等を発生することが皆無であって、製品加工
にお（６） げる品質管理、歩留り向上に効果大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は無接触ヘーキングシステムの概略断面図、第２
図は本発明にかかる真空断熱スペーサーの斜視図である
。 １１−真空断熱スペーサ−１１２−内方中空体、１３−
外方中空体、１４−底壁、１５一孔、１６−排気管、１
６’−排気管の一部分、１７−・−バルブ、１Ｆ−底壁
、１９一孔、２〇−空気供給管、２１一孔、２２−排気
管、２３一孔、２４−　ロータリポンプ 特　許　出願人　　富士通株式会社 （７）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 内方中空体とそれを囲む外方中空体との二重構造体であ
   り、内方中空体は真空に保たれ、外方中空体には冷却用
   流体が供給され排出される構成とした真空断熱スペーサ
   ー。