JPS5939933U - プロ−ブカ−ド - Google Patents
プロ−ブカ−ドInfo
- Publication number
- JPS5939933U JPS5939933U JP13549882U JP13549882U JPS5939933U JP S5939933 U JPS5939933 U JP S5939933U JP 13549882 U JP13549882 U JP 13549882U JP 13549882 U JP13549882 U JP 13549882U JP S5939933 U JPS5939933 U JP S5939933U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- tip
- indicator needle
- stylus
- abstract
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はウェハの説明図、第２図は一つのチップの拡大
説明図、第３図は本考案のプローブカードの平面図、第
４、第５図はその使用法を示す説明図。 １・・・ウェハ、２・・・ウェハチップ、３・・・プロ
ーブカード、４・・・孔、５・・・触針、６，７・・・
指示針、８゜９・・・小孔。
説明図、第３図は本考案のプローブカードの平面図、第
４、第５図はその使用法を示す説明図。 １・・・ウェハ、２・・・ウェハチップ、３・・・プロ
ーブカード、４・・・孔、５・・・触針、６，７・・・
指示針、８゜９・・・小孔。
Claims (1)
- 半導体素子の電極に対応する触針を有するプローブカー
ドにおいて、一つの基準触針の先端位置ａ、に対してこ
れとＸ方向に一直線上に位置する指示針（先端位置ａ２
．ａ３）を左右に設けて、ａ１ａ２．＋８１３３間の距
離を各々Ｎ＝Ｐｎ（ＰはチップのＸ方向ピッチ、ｎは整
数）とし、この指示針先端部に各々小孔を設けたプロー
ブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13549882U JPS5939933U (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | プロ−ブカ−ド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13549882U JPS5939933U (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | プロ−ブカ−ド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5939933U true JPS5939933U (ja) | 1984-03-14 |
Family
ID=30304958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13549882U Pending JPS5939933U (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | プロ−ブカ−ド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5939933U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6024029A (ja) * | 1983-07-19 | 1985-02-06 | Telmec Co Ltd | 半導体ウエハプローブ方法 |
-
1982
- 1982-09-07 JP JP13549882U patent/JPS5939933U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6024029A (ja) * | 1983-07-19 | 1985-02-06 | Telmec Co Ltd | 半導体ウエハプローブ方法 |
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