JPS58168138U - プロ−ブカ−ド用タツチセンサ - Google Patents

プロ−ブカ−ド用タツチセンサ

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Publication number
JPS58168138U
JPS58168138U JP6609682U JP6609682U JPS58168138U JP S58168138 U JPS58168138 U JP S58168138U JP 6609682 U JP6609682 U JP 6609682U JP 6609682 U JP6609682 U JP 6609682U JP S58168138 U JPS58168138 U JP S58168138U
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JP
Japan
Prior art keywords
probe card
touch sensor
sensor
upper limit
sensing
Prior art date
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Pending
Application number
JP6609682U
Other languages
English (en)
Inventor
市原　孝弘
Original Assignee
九州日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 九州日本電気株式会社 filed Critical 九州日本電気株式会社
Priority to JP6609682U priority Critical patent/JPS58168138U/ja
Publication of JPS58168138U publication Critical patent/JPS58168138U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のＩＣチップ上に設定したプローブカード
針の様子を示す斜視図であり、第２図は第１図中のタッ
チセンサを示す断面図である。第３図は本考案の実施例
のタッチセンサを示す斜視図であり、第４図は本考案の
実施例のタッチセンサを示す断面図である。 尚、図におりて、１・・・ＩＣチップ、２・・・プロー
ブカード針、３・・・タッチセンサ、４・・・接触した
ことを感知するセンサ、５・・・センサー針、６・・・
上限　　゛を感知するセンサ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体ウェハーの特性試験に使用するプローブカードで
    のタッチセンサに上限を感知するセンサを付加し、プロ
    ーブカードの針圧を一定に保つことを特徴とするプロー
    ブカード用タッチセンサ。
JP6609682U 1982-05-06 1982-05-06 プロ−ブカ−ド用タツチセンサ Pending JPS58168138U (ja)

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JP6609682U JPS58168138U (ja) 1982-05-06 1982-05-06 プロ−ブカ−ド用タツチセンサ

Applications Claiming Priority (1)

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JP6609682U JPS58168138U (ja) 1982-05-06 1982-05-06 プロ−ブカ−ド用タツチセンサ

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Publication Number Publication Date
JPS58168138U true JPS58168138U (ja) 1983-11-09

Family

ID=30075995

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6609682U Pending JPS58168138U (ja) 1982-05-06 1982-05-06 プロ−ブカ−ド用タツチセンサ

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JP (1) JPS58168138U (ja)

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