JPS59121835U - Ｉｃウエハ−サイド検出装置 - Google Patents

Ｉｃウエハ−サイド検出装置

Info

Publication number
JPS59121835U
JPS59121835U JP1396583U JP1396583U JPS59121835U JP S59121835 U JPS59121835 U JP S59121835U JP 1396583 U JP1396583 U JP 1396583U JP 1396583 U JP1396583 U JP 1396583U JP S59121835 U JPS59121835 U JP S59121835U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
detection device
wafer
side detection
wafer side
recorded
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1396583U
Other languages
English (en)
Inventor
中嶋　勝義
Original Assignee
セイコーエプソン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by セイコーエプソン株式会社 filed Critical セイコーエプソン株式会社
Priority to JP1396583U priority Critical patent/JPS59121835U/ja
Publication of JPS59121835U publication Critical patent/JPS59121835U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のＩＣウェハ一台及びマイクロフォトセン
サーの正面図。第２図は本考案のＩＣウェハ一台の一実
施例の正面図。第３図は本考案の左右限マイクロフォト
センサーの一実施例の側面図である。 １・・・ＩＣウェハー、２．１１・・・ウェハ一台、３
゜４・・・検出端子、５．６・・・定ピッチ送りモータ
、７゜８、　９．　１０・・・フォトマイクロセンサー
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ＩＣウェハー検査機において、ＩＣウェハー下部に中ぐ
    りウェハ一台を設け、前記ＩＣウェハーのサイドに接触
    検出装置を有することを特徴とするＩＣウェハーサイド
    検出装置。
JP1396583U 1983-02-02 1983-02-02 Ｉｃウエハ−サイド検出装置 Pending JPS59121835U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1396583U JPS59121835U (ja) 1983-02-02 1983-02-02 Ｉｃウエハ−サイド検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1396583U JPS59121835U (ja) 1983-02-02 1983-02-02 Ｉｃウエハ−サイド検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59121835U true JPS59121835U (ja) 1984-08-16

Family

ID=30145338

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1396583U Pending JPS59121835U (ja) 1983-02-02 1983-02-02 Ｉｃウエハ−サイド検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59121835U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6059523U (ja) 電解コンデンサの装着具
JPS59121835U (ja) Ｉｃウエハ−サイド検出装置
JPS605125U (ja) 半導体装置組み立て用ヒ−タブロツク
JPS60170988U (ja) Ｉｃ用ソケツト装置
JPS59190079U (ja) フラツトケ−ブルの保持具
JPS5923769U (ja) テストポイント端子
JPS5877073U (ja) 印刷配線板
JPS5812938U (ja) 半導体ウエ−ハ
JPS5891170U (ja) プリント基板検査装置のコンタクトピン構造
JPS58120661U (ja) 半導体装置
JPS60177548U (ja) 固体撮像装置
JPS5960647U (ja) 原稿サイズ検出装置
JPS59161803U (ja) 心電計用電極導線の固定具
JPS6122339U (ja) 半導体ウエハ−
JPS6064489U (ja) Ｉｃ装置
JPS58142879U (ja) Ｄｉｐ型ｉｃソケツト
JPS5896276U (ja) 集積回路用測定治具
JPS59169047U (ja) 集積回路素子
JPS6117242U (ja) 線材のフオ−ミングマシン
JPS58140640U (ja) 集積回路素子
JPS6094835U (ja) 半導体装置
JPS58138345U (ja) 集積回路のパツケ−ジ
JPS5920525U (ja) Ｌ字型ブラケツト
JPS59194005U (ja) ワ−ク形状チエツク装置
JPS5933260U (ja) 半導体装置