JPS592336A - 電子ビ−ム装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）１発明の技術分野 本発明は試料の高さの変動によって生ずる分析曲線への
影響を除去するように改善した電子ビーム装置に関する
。

（２）、技術の背景 走査形電子顕微鏡を用いて集積回路の内部電圧を測定し
うろことが知られている。このような測定に供される集
積回路が同じであってもそのパッケージの構造によって
は電子ビームの焦点位置遥こ集積回路の被測定部位が米
ない。そり）ために、被測定部位の電圧を正確に測定し
得ないという不具合があり、それを解決しうる技術的手
段の開発が要望されている。

（３）、従来技術と問題点 上述のように、パッケージの構造によって集積回路の高
さが異なって来た場合に、対物レンズの励磁電流が調節
されて電子ビームの焦点が　゛合わせられると、そのと
きに得られるエネルギー分析曲線にシフトが生じてしま
い、その結果として、その分析曲線ヲ用いての電圧測定
が不正確になってしまうという測定−Ｅの不具合がある
。

（４）２発明の目的 本発明は上述したような従来装置の有する欠゛点に鑑み
て創案されたもので、その目的は試料の高さに変動があ
ってもエネルギー分析曲線にシフトを生じさせず、エネ
ルギー分析を正確に遂行しりる電子ビーム装置ｔを提供
することにある。

（５）１発明の構成 そして、この目的は試料へ照射される電子ビームの焦点
合わせをする対物Ｖンズと、上記電子ビームが照射され
て試料から放出される二次電子のエネルギーを１分析グ
リッドに分析電圧を供給しつ一１分析するエネルギー分
析器とを有する電子ビー人装置において、上記対物Ｖン
ズヘ供給される電気信号に応答してオフセット電圧を発
生ずるオフセット電圧発生回路手段と。

そのオフセット電圧を上記分析電圧に加算する加算回路
手段とを設けることによって達成される。

（６）１発明の実ｍ例 以下、添＋ｉ図面を診照しながら１本発明の詳細な説明
する。

第１図は本発明を実施する装置構成図を示し。

その１照番号１はその全体を図示しない走査形電子顕微
鏡の対物Ｖンズで、この対物Ｖンズと制御回路２との間
ｉこ制御回路２から対物Ｖンズ１へ向けて対物Ｖンズ用
ディジタルーアナログ変換器（対物レンズ用１）ＡＣ）
３．電流増幅器４がこれらの順に設けられている。

５は電子ビームＥＢを受ける試料で、６は試料から放出
婆れる二次電子で、７は二次電子６を検知する二次電子
検知器である。

８は分析グリッドで、制御回路２からこの分析グリッド
へ向けて分析電圧用１）ＡＣ９，加掬増幅器１０がこれ
らの順で設けられている。

一方の人力へ分析電圧用ＤＡＣ９の出力が接続されてい
る加算増幅器１０の他方の入力と、対物Ｖンズ用ＤＡＣ
３の出力との間にオフセット電圧発生回路１１が接続さ
れて本発明の特徴部分が構成されている。

次に、上記構成の本発明装置の動作を説明するＯ 走査形電子ｗ４微鏡の試料室内のテーブルに置かレタ試
料９例えばパッケージに実装された集積回路５が、し１
］えば本来なら実線の位置５Ａに位置すべきであったの
が、そのパッケージの構造により、点線の位置を取って
いるものとすると、このような集積回路の取るべき高さ
の差違に対し、焦点合わせ制（財）系（対物Ｖンズｌに
至る系）がそのような高式の差違から生ずる焦点ずれを
補正するようｌこ動作し、それによって焦点は合わせら
れるが、それが原因して二次電子検知器７で分析される
エネルギー分析曲線は第２図に示す如く、実線から点線
ヘシフトしようとする。なお、この実線は集積回路が第
１図の位置５Ａを取っている場合に得られるエネルギー
分析曲線である。

このようなシフトの発生は次のようにして防止される。

即ち、対物Ｖンズ用ＤＡＣ３の対物Ｖンズ制御電圧Ｖが
オフセット電圧制両回路１０へ供給されてそこから実験
データに基づいて予め決められた関数関係にあるオフセ
ラ）を圧■が発生される。このオフセット電圧Ｖが加算
増５− 幅器１０へ供給されて分析電圧用ＤＡＣ８の出力電圧と
加算されて分析グリッド８へ印加される。

これにより、第２図の点線の如くシフトしようとするエ
ネルギー分析曲線を第２図の実線で示すエネルギー分析
曲線として測定することが出来る。従って１本発明によ
らなければ、エネルギー分析曲線がシフトしてしまい、
正しいエネルギー分析１例えば集積回路の内部電圧測定
をなし得なくされるのが上述説明のところから明らかな
如く、試料に高さの差違が生じる場合であっても、エネ
ルギー分析曲線のシフトなく正しいエネルギー分析をな
し得ることになる。

上記実施例においては、オフセット電圧の発生をアナロ
グ信号処理回路系の中で生ぜしめているが、ディジタル
信号処理系の中で生せしめるように構成してもよい。

（７）３発明の効果 以上要するに、本発明によれば、試料の高さの変動に伴
って変わる対物Ｖンズ制ａｔ圧からオフセット電圧を発
生してこの電圧を分析電圧６− と加算し、その加纂値を分析グリッドに印加するように
しているから、試料の高さの変動に伴うエネルギー分析
曲線のシフトを防止し得ることになり、従って正確なエ
ネルギー分析を行いうろことになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は本発明装
置の動作を説明するための分析曲線図である。 図において、１は対物Ｖンズ、２は制御１１４１１ｇ回
路、３は対物Ｖンズ用１）ＡＣ，４は電流増幅器、５は
試料、７はエネルギー分析器、８は分析グリッド。 ９は分析電圧用１）ＡＣ’、　Ｉ　Ｏは加算増幅器、１
１はオフセット電圧発生回路である。 特詐出願人　富士通株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 試料へ照射される電子ビームの焦点合わせをする対物レ
   ンズと、上記電子ビームが照射されて上記試料から放出
   される二次電子のエネルギーを、分析グリッドに分析電
   圧を供給しつ＼１分析するエネルギー分析器を有する電
   子ビーム装置において、上記対物レンズへ供給される電
   気信号に応答してオフセット電圧を発生するオフセット
   電圧発生回路手段と、そのオフセット電圧を上記分析電
   圧に加算する加算回路手段とを設けたことを特徴とする
   電子ビーム装置。