JPS59225066A - 血液処理装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 １０発明の背唄 技術分野 本発明は、血液処理装置の製造方法に関するものである
。詳しく述べると中空１１ｆｔの内部液を特定の洗浄溶
剤で洗浄除去して（７られる中空ｌｌｉ雑を使用した人
工腎臓等の血液処理装置の’ＸＩ造方法に関するもので
ある。

先行技術 従来、血液等の透析処理に用いられる中空ｍ維としては
、再生セルロース、酢酸セルロース等のけルロース系物
質、ポリスルホン、ポリアクリロニトリル、ポリメチル
メタクリレート等がある。

これらのうち、現在実用化されているものは、主として
銅アンモニアヒルロースからの再生ヒルロースであり、
これらは湿潤状態で充分な強度を有していて優れている
。しかして、透析用中空織組は、血液透析等に使用する
際には、円形横断面がくずれると血液凝固等を起し、透
析効果が著しく低下するので、円形であることが望まし
い。

従来、中空ｌ１ｉＮはセルロース系紡糸原液を環状紡糸
孔から空気中または非凝固性液中に押出し、そのＷＡ粉
状紡糸原液の内部中央部に該紡糸原液に対する非凝固性
液（内部液）を導入充填して吐出させ、ついでこのよう
にして形成された線状紡糸原液を凝固性液中を通過させ
て凝固再生し、洗浄後、必要により透析能を低下さｉｉ
ないためにグリセリン処理を行ない、さらに乾燥覆るこ
とにより製造されている（特公昭５３−３０，８０８号
、特開１１ｎ（５７−１９９，８０８月等）。このよう
に中空繊維中に含まれＩいるミリスヂン酸イソグロビル
等の内部液は、人体に有害であると考えられでいるので
、血液透析装置等に使用覆る場合には、使用前に予め洗
浄除去でる必要がある。

このような中空＃ＸＨの内部液の除去洗浄方法としては
、（１）塩化弗化炭化水素、またはこれと共沸混合物を
形成し得る物質との混合物を該中空１１’ａ＠の内部に
流通させる方法（特公昭５６−２２，５４１号および特
開昭５４−１６０，０９９弓）、〈２）中空繊維束を低
沸点有量溶剤で洗浄後乾燥し、ついで、該中空ＩＪ］ｉ
ｆ１束の端をケースに固着することによる方法（特開昭
５４−５８，６８７号）、（３）中空繊維束をケース内
に装填し、イの両端部をボッティングしてケースに固定
し、該ボッ１、ｒング部分を切断して間口させる方法に
おいて、その長さ方向に遠心力を作用させる方法〈特公
昭５７−６．３６３号）、（４）中空繊維束の両端部を
ボツアイング材により固定し、該固定部分を切断して両
端を間口させ、該状態で低級アルコールを流通させて洗
浄する方法（特公昭５４−１２，０４３号）等が提案さ
れている。

しかしながら、（１）および（２）の方ン去は塩化弗化
炭化水素を使用するので、極めて高１ｉ１１ｉ　′ｃ′
ある。また、前記方法では洗浄溶剤が弗素系化合物であ
るため、生物学的分解性が悪く、環境保護の点−から望
ましくない。また、（４）の方法は洗浄溶剤どして低級
アルコールを使用Ｊるので、グリセリンに対する溶解度
が極めて高く、このため中空繊維中に可塑剤として含有
されているグリセリンを溶出させるので、中空繊維のグ
リセリン含量は低くなり、しかも残留洗浄溶剤のｍも多
いという欠点がある。なお、（１）および（２）の方法
においても洗浄時に物理的な作用によりグリセリンが約
２５％はど失なわれることがあった１、また洗浄が充分
性なわれない場合に、切断口から浸出する内部液による
汚染の為にボッチＣレグ不良を生じ、このため人工腎臓
に使用した場合にしばしば血液のリークが生じることが
ありだ。さらに、（３）の方法は遠心力のみによって内
部液を除去するので、イの効果は不充分である。

■３発明の目的 したがって、本発明の目的は、新規な血液処理装置の製
造方法を提供することにある。本発明の他の目的は、中
空繊維の内部液を特定の洗浄溶剤で洗浄除去して書られ
る中空繊維を使用した人工腎ｍ等の血液処理装置の製造
方法を提供覆ることにある。

これらの諸口的は、（ａ）セルロース系紡糸原液より紡
糸されｌ、＝非凝固性液を内蔵するヒルロース系中空ｔ
ｓｔｔの少なくとも内部に、ジクロルメタンおよび１，
１．１−）−リフロルエタンよりなるｌ！Ｙから選ばれ
た少なくとも１種の洗浄溶剤を流通さけることにより前
記内部非凝固性液を洗浄除去し、（１））洗浄後の前記
洗浄溶剤残存ｉ１を１１００１）ｌ）以下にするととも
にグリセリンを残存させた複数本の血液処理用中空繊維
を製造し、（Ｃ）該血液処理用中空繊維を１１立二［稈
により、その両端部を間［１した状態で血液処理装置４
のケース内の所定位置に固豹し、該血液処理用中空繊維
の非凝固性液残存ｍを３５０１１１１１１１以下とした
ことを特徴と覆る血液処理装置の製造方法により達成さ
れる。

また、本発明は、洗浄溶剤がジクロルメタンである血液
処理用中空繊維の製造方法である。さらに、本発明は、
洗浄溶剤が１，１．１−１−リフ１−］ルエタンである
血液処理装置である。まＩＣ１本発明は。

洗浄溶剤が中空ｍ紐１００重棗部当り１０００〜２００
　ＯＮ！Ｊｒ部使用されてなる血液処理′ＪＡ置である
。さらに、本発明は、さらに、本発明は、セルロース系
中空繊維が銅アンモニアセルロースからの再生セルロー
スである血液処理装置である。また、本発明は、洗ｆｆ
Ｉ後の洗浄溶剤の残存量が５−・−１００ｐｐｍである
血液処理装置の製造方法。

■１発明の詳細な説明 本発明において、ヒルロース系中空繊維の内部液の洗浄
に使用される洗浄溶剤は、ジクロルメタンおよび１，１
．１−トリクロルエタンよりなる群から選ばれた少なく
とも１種の洗浄溶剤である。ずなわち、数多く存在覆る
塩素化炭化水素類のうノ５、上記化合物のみが有効であ
って、他の塩素化炭化水素類、例えば、クロロホルム、
四塩化炭素、１゜２−ジクロルエタン、１，１．２−１
−ジクロルエタン、トリクロルエチレン、テトラクロル
エチレン等はあまり効果がないのである。前記洗浄溶剤
は、通常中空ｍＮ１００重吊部当ｍ１０００−２０００
１用部使用される。１０００重量部以−ヒのとき洗浄効
果の点において優れ、２０００重吊部以内のときその洗
浄後の残存量を極めて少なくりることができる。

洗浄溶剤の使用方法〈洗浄方法）は特に限定されるもの
ではないが、所定の寸法に切断して束ねられた中空繊維
に、予め空気、窒素炭酸ガス等の気体、特に空気を流通
させて強制的に内部液を除去づるか、あるいは該中空Ｉ
Ｉ維束を帆１；Ｌぼ垂直に立てて内部液を流下させるこ
とによりぞの大部分を除去しておくことが望ましい。ま
た、洗浄溶剤の適用方法と（）では、中、空繊維束を洗
浄溶剤中に浸漬することもできるが好ましくは該繊維束
を所定のケース内に入れ、下方の間口端から洗浄溶剤を
強制的に中空繊維内外に流通させ、上方の間［］端から
洗浄溶剤が溢流づるようにづる方法である。

まｌ、：、吸引装置に連結した吸引流通あるいはポンプ
等の圧送装置に連結して圧送流通により洗浄溶剤を流通
させてもよい。さらに、回転板上に該中空繊維束を取付
け、中央部より洗浄溶剤を供給して遠心力により流通さ
せてもよい。さらに、このようにして洗浄された中空繊
維は、空気、窒素、炭酸ガス等の気体、特に淘屓を流通
させて乾燥することが望ましい。

このようにして内部液を除去された中空繊維の前記洗浄
溶剤の残存量は１１００ｐｐ以下、好ましくは５〜１０
０１１１＋１１１となり、この範囲にｄ３いては残存し
ても何ら問題がない。５未満にするためには、温風乾燥
を長時間に亙り行う必要があるが、中空繊維を必要以上
に乾燥させる場合があるので５〜１ｏｏｐｐｍが好まし
い、ｉｏｏまり人きい場合は人体に対する影響を考慮す
るとき、充分な除去がされていないといえる。また、内
部液残存量は３５０　ｐｐｍ以下となり、好ましくｔ、
ｔ２００ｐｐｍ２００ｐｐ。

本発明において使用されるセルロース系紡糸原液として
は、銅アンモニアセルロース等の金属アンモニアセルロ
ース、ビスコース等があるが、好ましくは銅アンモニア
セルロースであり、−例を挙げると例えば、平均重合１
６５００〜２５００のセルロースから常法にＪ：り製）
告されたものであり、必要により、特開昭５７−１９Ｊ
８０Ｂ弓に記載されているような透過性脳制御剤（孔径
制御剤）を配合してもよい。

このような紡糸原液は、通常比重が１．０５へ・１．１
５であり、好ましくは１．０６・〜・１．１０である。

しかしながら、後述覆るように紡糸孔から押出される線
状紡糸原液の内部には非凝固性液が充填されでいるので
、通常は紡糸原液にり比重は小さく、１．０（１〜１、
−０８であり、好ましくは１．０１〜１．０４である。

下層として用いられるセルロース系紡糸原液に対する非
凝固性液は、前記線状紡糸原液「非凝固性液く内部液）
を内包する紡糸原液］の嵩比重および凝固性液よりもそ
の比重が大きく、水に対づる溶解性が低く、かつ表面張
力が小さいノーロゲン化炭化水素であり、イの比重は通
常１．３以上であり、好ましくは１．４〜１．７である
。−例を挙げると、例えば四塩化炭素（ｄ４−１．６３
２水溶解度０．０８（１７２０℃−１００ｍ／、表面張
力　（２５℃）　　２６　、　８ｄｙｎｅ／ｃｍ）　　
、１，１．１−ト１ノクロルエタン（ｄ　４−１．３４
．９＞　、１，１．２−１〜１ノクロルエタン（ｄ　ｓ
　〜１．４４２）　、ｈリクロルエヂレン（ｄ’５〜１
．４４０、水溶解度０，１１ｇ／２５℃−１００＊１、
表面張力（２５℃）３１　、６ｄｙｎｅ／ｃｍ）　、７
トラクロルエタン（６Ｊｒ　＝＝１．５４２）、テ［・
ラクロルエチレン（ｄ６〜１゜６５６、水不溶性）、ト
リクロルトリフルＡルＪ９ン（ｄ”　〜１．５６５、水
？ＴＨ／ｉ度０．００９（！／２１℃−１００雇Ｌ、表
面張力（２５℃）１９゜Ｑ　ｄｙｎｅ、／　Ｃ１１ｌ　
）等がある。これらのうちでも特に水に対する溶解度０
．０５＋１　／２１℃−１Ｏ０ｉ、１以下テかつ表面張
力（２５℃）が２０６ｙｎｅ／　ａｍ以下のものを使用
すると紡糸性が極めて良好となる。

このような非凝固性液どしては、例えばアトラクロルエ
チレン、トリクロルトリフルオルエタン等がある。しか
して、非凝固性液体高さは紡糸速度によっても異なるが
、通常５０〜２５０ｍｍで市り、好ましくは１００へ２
００ｍｍである。

まｌζ線状紡糸原液中に導入充填される非凝固性液（内
部液）の選択は、中空糸の中空部の維持あるいは中空糸
壁面の凹凸の有無に大きく影響する。

ずなわＪ５、中空糸の乾燥時に中空部に充填されている
非凝固性液が膜を通して急激に外部に出ると、中空部内
は減圧となり中空部れを発生させ、あるいは内壁に凹凸
を生じる。そして、用いられる非凝固性液は、乾燥時に
透過性の低くかつ比重が小さい液体から選ばれる。寸な
わら、けルロース系紡糸原液の比重は通常１．０５〜１
．１５、例えば銅アンモニアセルロース紡糸原液の場合
的１゜０８であるので、前記非凝固性液体を内包する線
状紡糸原液の嵩比重が１．００〜１．０８、好ましくは
１．０１〜１．０４．例えば約１．０２となるような範
囲から前記非凝固性液体の比重（よ）金沢されるべきで
あり通常０．６５〜ｉ、ｏｏ、θ子ましくは０．７０−
０．９０．例えば約０．８５である。好適な非凝固性液
としてＩよ、−例を挙ＬＪ’るど、例えばｎ−ヘキサン
、ｎ−へブタン、ｎ−Ａクタン、ｎ−デカン、ｎ−ドデ
カン、流動パラフィン、ミリスヂン酸イソプロピル、軽
油、灯油、ベンゼン、トルニ［ン、キシレン、スチレン
、エチルベンぜン等がある。

セルロース系紡糸原液に対する凝固性液は、前記のごと
き下層の非凝固性液よりもその比重ｊｆｉ　／ｊＸさく
、通常１．０３〜１．１０の比重を有づζ）アルノＪり
水溶液である。アルカリとしては、水酸イヒプトリウム
、水酸化カリウム、水酸化リチウｌ＼、水酸化アンモニ
ウム等があり、好ましく【、１ホ酸ｆジナトリウムであ
る。その濃度は水酸化ナトリウｌＸ換算で３０〜１５０
Ｑ−Ｎａ　ＯＨ／ｌ、、好ま１．／　＜　Ｉ＝よ３５−
Ｂｏａ−Ｎａ　０ｆ−Ｉ／１．最も好ましぐ（よ４０〜
６００−Ｎａ　ＯＨ／Ｊ２であり、特に約５００−Ｎ　
ａＯＨ，ｌ（約４．８重量％、ｄ　〜１．０５５）であ
る。しかして、前記非凝固性液との界面から変向棒端ま
での距離は、通常５〜３０Ｉｌ１ｍ１好ましくは１０〜
２０ｍｍである。

以上は浮上紡糸法による銅アンモニアヒルロース中空繊
維について脱晶したが、本発明は該方法にのみ限定され
るものではなく、銅アンモニアヒルロース溶液を環状紡
糸孔から空気中に押出し、その下方に自重落下させ、そ
の際、線状に紡出される紡糸原液の内部１１央部に該紡
糸原液に対−４る非凝固性液体を導入充填して吐出させ
、それから自重落下により充分伸張したのち、酸または
アルカリ溶液中に浸漬して凝固再生を行ない、ついで洗
浄を行ない、さらに必要によりグリセリン処理を行なっ
たのち、乾燥覆ることにＪ、る中空ＩＩＩの製造方法あ
るいはぞの他公知の方法も使用できる。

以上のごとき方法で製造された中空繊組は、図面に示す
ように、人工腎臓、すなわち、中空繊維型のダイアライ
ザーに使用される。このダイアライザー１は、両端部付
に透析液用の入口管２および出口管３をそれぞれ設けて
なる筒状本体４に、多数の中空繊維よりなる中空繊１を
東５を挿入したのち、その両端部をポリウレタン等のボ
ッティング剤６，７で前記筒状本体の両端部とともにそ
れぞれシールしてなる、例えば熱交換器におけるシェル
・アンド・デユープ式装置に類似した構成のものであり
、前記筒状本体４の両端には血液用の流入口８および排
出口９をそれぞれ備えたヘッダー１０．１１がてれぞれ
当接され、キトツブ１８゜１４によりヘッダー１ｏ、ｉ
ｉと筒状本体２４とがぞれぞれ固着されている。しかし
て、前記流入口８および排出口９には、人体に接続する
デユープ４，５が連結されている。

つぎに、実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明する
。

実施例　１ 内部液としてミリスヂン酸イソプロピルを内蔵する肉厚
１２μ都、夕）　ｔＪ！　２２４　ＩＩ　ｍの銅アンモ
ニアセルロースから再生された中空繊維にグリセリンを
含浸させ、長さ２５ｃｍに切断１ノ、１万木を束ね、ポ
リプロピレン製の洗浄用外筒に充填して中空繊維束を（
ｑた。この中空繊維束２を吸引装置を作動させて５分間
吸引して内部液を強制的（二除去した。ついで、その間
口端部をジクロルメタン中に浸漬したのち、吸引装置を
作動させて該ジク［］ルメタンを５００７ｎｊ２流通さ
せた。さらに、吸引装置を作動させて７０〜８０℃の温
風を５分間吸引流通さＩだ。このときの中空繊維中のグ
リレリン含ｍ、残留内部液および残留洗浄溶剤の測定結
果は第１表のとおりであった。尚、グリレリン含量は洗
浄前６．７２％であった。また、このようにして得られ
た中空繊維を用い′Ｃ図面に示プような人工腎臓を作製
し、その両端部はセグメントポリウレタンポツティング
剤を用いて固着した。

実施例　２ 実施例１と同様の方法において、ジク［］ルメタンの代
りに１．１．１−トリクロルエタンを使用した以外は同
様の方法で中空＃Ａ紐をＩＩ造し、同様の測定を行なっ
たところ、第１表の結果が得られた。、同様にして人工
腎臓を作製した。

比較例　１ 実施例１と同様の方法において、ジクロルメタンの代り
に１．１．２−１−ジクロルエタンを使用した以外は同
様の方法で中空繊維を製造し、同様の測定を行なったと
ころ、第１表の結果が得られた。

比較例　２ 実施例１と同様の方法において、ジクロルメタンの代り
にクロロホルムを使用した以外は同様の方法で中空１１
１［を製造し、同様の測定を行なったところ、第１表の
結果が得られた。

比較例３ 実施例１と同様の方法において、ジクロルメタンの代り
にフロンソルブ（ＣＣ１２Ｆ−ＣＣλら、旭硝子株式会
社製商品名）を使用した以外は同様の方法で中空繊維を
製造し、同様の測定を行なったところ、第１表の結果が
得られた。

比較例　４ 実施例１と同様の方法において、ジクロルメタンの代り
にツルミックスＡＰ−１＜１タノール８５．６％、メタ
ノール１．１％およびイソプロパツール１３．３％、日
本アルコール販売株式会社製商品名）を使用した以外は
同様の方法で中空繊祁を製造し、同様の測定を行な一ノ
だところ第１表の結果が得られた。

比較例　５ 実施例１で使用した中空繊維を洗浄せずに、同様の測定
を行なったところ、第１表の結果が１７られた。

なお、各項目の試験は、つぎのようにして行なつ　Ｉこ
　。

分析用試料調整方法 中空ｍＨをカッターで約０．５ｍ１ｌｌＰｉ！度に切断
し、約１ｇをメスフラスコに入れエタノール中で３０分
還流した後、１０ｍ１のメスフラスコにメスアップする
。これを残留内部液量残留グリセリン吊の試料とする。

残留溶剤測定用試料については、切断中空！！１Ｍ約１
ｇを精秤し、ヘッドスペースボトル中に入れ、８０℃の
水浴中で加温気化させ／Ｃ０ 分析方法 （１）グリセリン含量 比色分析−アレチルアセトン法（トリグリレライドアス
トワコー、和光純薬ＩＦＬ４）（２）残留内部液 ガスクロマトグラフ分析−ガスクロマ１〜グラフ条件 （＋）カラム　５Ｅ３０３％　２ｍＸ釦ｍ　ｒ、Ｄ。

（ｉｉ）温度　カラム１８０℃。

インジェクション２００℃ （ｔｉｉ）キャリヤーガス　Ｎ２　４０ｍ１．　／ｍ１
ｎ（３）残留洗浄溶剤 ガスクロマトグラフ分析しガスクロマ１〜グラフ条件 （ｉ）カラム　Ｐ　Ｅ　Ｇ　２０Ｍ　　２ｍｘ　３ｍｍ
　Ｉ　、　Ｄ　。

（：ｉ）温度　カラム１００℃。

インジェクション１２０℃ （ｉｉｉ　）キャリヤーガス　Ｎ　２４０７７Ｉｆｌ　
／　ｍ１１１０ヘッドスペースボ１−ルア／法 ■９発明の具体的効果 以上述べたように、本発明は、（ａ）ｔルロース系紡糸
原液より紡糸された非凝固性液を内蔵覆るセルロース系
中空ｍ雑の少なくとも内部に、ジクロルメタンおよび１
，１．１−トリクロルエタンよりなる群から選ばれた少
なくとも１種の洗浄溶剤を流通させることにより前記内
部非凝固性液を洗浄除去し、（ｂ）洗浄後の前記洗浄溶
剤残存ｍを１ｏ　ｏ　ｐｐｍ以下に覆るとともにグリセ
リンを残存させた複数本の血液処理用中空繊維を製造し
、（Ｃ）咳面液処理用中空ｍＨを組立工程により、その
両端部を聞［１した状態で血液処理装置のケース内の所
定位置に固着し、該血液処理用中空繊維の非凝固性液残
存量を３５０１）Ｉ）ｍ以下としたことを特徴とする血
液処理用中空繊維の！ｌ！Ｊ造方法であるから、高価な
弗素系洗浄溶剤を使用する必要がなく、このため安価で
あり、しかも水に対する親和性が高いので人工腎臓を作
製した場合、使用前の生卵食塩水による洗浄により極め
て容易に除去できるので安全性がより高くなる。また、
生物学的処理のより困難な弗素系洗浄溶剤を使用しない
ので、環境保全上右利である。また、洗浄溶剤の使用量
を中空繊維１００重重部当り１０００〜２０００重量部
とすれば、さらに非凝固性液や洗浄溶剤の残存量が極め
て少ない血液処理装置を１ｑるごとができる。

また、本発明によれば、特定の洗浄溶剤が使用される為
、人工腎臓として用いる場合に中空繊維中に可塑剤とし
て含有されているグリセリンが洗浄液中に溶出されるこ
とがなく、さらに洗浄時に物理的に失われるグリセリン
の準も極めて少ないという予期しなかった効果があるか
ら、所定のグリセリン量を保ち、透析能が優れた血液処
理装置を得ることができる。

さらに中空１１Ｎの残留非凝固液もその（Ｊぼ全（至）
を洗浄することができる為、人体に対する安全性が高い
血液処理装置を肖ることができるとともに、血液処理装
置ケース内に中空繊維束の両端部をボッティングし、固
着リ−る際に中空繊維の切断［１から浸出した非凝固液
をその端部に残づことがなく、ポッフインクが完全にな
される１、：め、該固着箇所から血液がリーク１ノたり
することが４にい（憂ねた血液処理装置を提供覆ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明により製造された中空織組を使用した人工
腎臓の一例を示す一部切欠図を右づる斜視図である。 １・・・人工腎臓、　４・・・筒状本体、　５・・・中
空織雛束、　６，７・・・ボッ７（ング剤、　１０．１
１・・・ヘッダー、　１２．１３・・・キトツブ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）’（ａ）セルロース系紡糸原液より紡糸された非
   凝固性液を内蔵するセルロース系中空繊維の少なくとも
   内部に、ジクロルメタンおよび１，１．１−トリクロル
   エタンよりなる群から選ばれた少なくとも一種の洗浄溶
   剤を流通させることにより前記内部非凝固性液を洗浄除
   去し、（ｂ）洗浄後の前記洗浄溶剤残存量を’＋ｏｏｐ
   ｐｍ以下にするとともにグリセリンを残存させた複数本
   の血液処理用中空ｍ雑を製造し、＜Ｃ＞該血液処卵用中
   空織雑を組立工程により、その両端部を間口した状態で
   血液処理装置のケース内の所定位費に固着し、該白液処
   理用中空繊維の非凝固性液残存層を３５０１１１１ｍ以
   下としたことを特徴とづる血液処理装置の製造方法。 （２）洗浄溶剤がジクロルメタンである特許請求の範囲
   第１項に記載の血液処理装置の製造方法。 （３）洗浄溶剤が？、１．１−トリクロルエタンである
   特許請求の範囲第１項に記載の血液処理装置の製造方法
   。 （４〉洗浄溶剤は中空繊Ｈ１００重量部当り１０００〜
   ２０００重弔部使用されてなる特許請求の範囲第１項な
   いし第３項のいずれか一つに記載の血液処理！！ｉ置の
   製造方法。 （５）セルロース系中空繊維が銅アンモニアレルロース
   からの再生セルロースである特許請求の範囲第１項ない
   し第４項のいずれか　−）に記載の血液処理装置の製造
   方法。 （６）洗浄後の洗浄溶剤の残存層が５〜１１００ｐｐで
   ある特許請求の範囲第１項ないし第５項のいずれか一つ
   に記載の血液処理装置の製造方法。