JPS59219925A - Ｐｒインライン装置 - Google Patents
Ｐｒインライン装置Info
- Publication number
- JPS59219925A JPS59219925A JP9541683A JP9541683A JPS59219925A JP S59219925 A JPS59219925 A JP S59219925A JP 9541683 A JP9541683 A JP 9541683A JP 9541683 A JP9541683 A JP 9541683A JP S59219925 A JPS59219925 A JP S59219925A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- station
- carrier
- indexer
- wafers
- transferred
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は無人化作業及び同一ロット・同一製品収納キャ
リアを可能にするだめの装置に関するものである。
リアを可能にするだめの装置に関するものである。
半導体製造ＰＲ工程では半導体ウェーハ上に感光剤を均
一に塗布・ベークする塗布装置、ガラスマスクのパター
ンを紫外線により転写を行なう目合せ露光装置（マスク
アライナ−）、及び紫外線照射部分と未照射部分とを選
択的に残す現像装置等を用いて半導体ウェーハ上に感光
剤による回路パターンを形成する。従来、前記各装置は
それぞれ単独に半導体製造ラインにレイアウトされてい
だが、最近では各装置を連結して１つの装置として活用
するケースが多くなってきた。その連結した一例を第１
図に示す。すなわち、このものはローダ−３に製品を収
納したキャリアをセットし、装置をスタートさせると、
キャリアより１枚ずつウェーハが取り出され、該ウェー
ハは塗布装置４、ベークオープン５、回合露光装置６、
現像装置７、ベークオーブン８を通して順次処理され、
その処理後、アンローダ−９に収納される。１つのキャ
リアに収納された全てのウェーハが処理されると、次の
キャリアをローダ−３にセットして処理を始めるが、キ
ャリアのセットは人手により行なわれているばかりでな
く、処理されだウェーハはローダ−３′にセットされた
キャリアと別のアンローダ−９にセットされたキャリア
に移されて収納されるため、製品のロット番号をキャリ
ア番号で管理しようとすると、不具合が生じてしまう。
一に塗布・ベークする塗布装置、ガラスマスクのパター
ンを紫外線により転写を行なう目合せ露光装置（マスク
アライナ−）、及び紫外線照射部分と未照射部分とを選
択的に残す現像装置等を用いて半導体ウェーハ上に感光
剤による回路パターンを形成する。従来、前記各装置は
それぞれ単独に半導体製造ラインにレイアウトされてい
だが、最近では各装置を連結して１つの装置として活用
するケースが多くなってきた。その連結した一例を第１
図に示す。すなわち、このものはローダ−３に製品を収
納したキャリアをセットし、装置をスタートさせると、
キャリアより１枚ずつウェーハが取り出され、該ウェー
ハは塗布装置４、ベークオープン５、回合露光装置６、
現像装置７、ベークオーブン８を通して順次処理され、
その処理後、アンローダ−９に収納される。１つのキャ
リアに収納された全てのウェーハが処理されると、次の
キャリアをローダ−３にセットして処理を始めるが、キ
ャリアのセットは人手により行なわれているばかりでな
く、処理されだウェーハはローダ−３′にセットされた
キャリアと別のアンローダ−９にセットされたキャリア
に移されて収納されるため、製品のロット番号をキャリ
ア番号で管理しようとすると、不具合が生じてしまう。
まだローグー側で製品を全て搬出した後の空キャリアの
処置にも問題があった。また、製品収納キャリア搬入装
置１、製品収納キャリア供給装置２、製品収納キャリア
取り出し装置１０、製品収納キャリア搬出装置１１を備
えキャリアの着脱を自動で行なったとしても、キャリア
の入れ替わりや空キャリアの処理に前述と同様の問題が
あった・ 本発明は前記問題点を解決するもので、製品収納キャリ
ア搬入・搬出装置とＰＲインラインの間に４つのキャリ
アステーションを装備し、各ステーションを順次位置送
シすることによりキャリアの入れ替わ９をなくすと共に
空キャリアの処理を、簡便化するようにしたことを特徴
とするものである。
処置にも問題があった。また、製品収納キャリア搬入装
置１、製品収納キャリア供給装置２、製品収納キャリア
取り出し装置１０、製品収納キャリア搬出装置１１を備
えキャリアの着脱を自動で行なったとしても、キャリア
の入れ替わりや空キャリアの処理に前述と同様の問題が
あった・ 本発明は前記問題点を解決するもので、製品収納キャリ
ア搬入・搬出装置とＰＲインラインの間に４つのキャリ
アステーションを装備し、各ステーションを順次位置送
シすることによりキャリアの入れ替わ９をなくすと共に
空キャリアの処理を、簡便化するようにしたことを特徴
とするものである。
次に本発明の実施例を図面によって説明する。
第２図において、１２は製品収納キャリア搬入装置、１
３は製品収納キャリア供給装置、１４はキャリアステー
ション移動部、１５は供給ウェーハ移し替え部、１６ハ
ローダー側専用インデクサ−１１７は感光剤塗布装置、
１８はベークオーブン、１９は回合露光装置、２０は現
像装置、２１はベークオーブン、２２は収納ウェーハ移
し替え部、２３はアンローダ−供与用インデクサ−１２
４は製品収納キャリア取り出し装置、２５は製品収納キ
ャリア搬出装置、２６はキャリアステーション移動部１
４の第１のステーション、２７は第２のステーション、
２８は第３のステーション、２９ ハ第４のステーショ
ンである。
３は製品収納キャリア供給装置、１４はキャリアステー
ション移動部、１５は供給ウェーハ移し替え部、１６ハ
ローダー側専用インデクサ−１１７は感光剤塗布装置、
１８はベークオーブン、１９は回合露光装置、２０は現
像装置、２１はベークオーブン、２２は収納ウェーハ移
し替え部、２３はアンローダ−供与用インデクサ−１２
４は製品収納キャリア取り出し装置、２５は製品収納キ
ャリア搬出装置、２６はキャリアステーション移動部１
４の第１のステーション、２７は第２のステーション、
２８は第３のステーション、２９ ハ第４のステーショ
ンである。
上記構成において製品を収納したキャリアが搬入装置１
２により各インライン装置に運ばれてくると、供給装置
１３により第１のステーション２６に載せられる。４つ
のステーション２６〜２９が左廻シにその位置移動を行
ない、第１のステージ３ン２６は第２図での第２のステ
ーション２７の位置に移動すると共に第２のステーショ
ン２７が第３のステーション２８の位置に、第３のステ
ーション２８が第４のステーション２９の位置に、第４
のステーション２９が第１のステーション２６の位置に
それぞれ移動する。そして供給装置１３によシ次の製品
収納キャリアを第４のステーション２９に載せる。一方
、第１のステーション２６にセットされたキャリアの全
ウェーハを供給ウェー・・移し替え部１５により１度に
ローダ−供与用インデクサ−１６に移し替える。移し替
えが完了した時点でローダ−供与用インデクサ−１６は
１ピツチずつ下降し、ウエーノ・が１枚ずつ順次送シ出
され、該ウェー／Ｓは従来と同様に塗布装置１７、ベー
タオープン１８、回合露光装置１９、現像装置２０、ベ
ークオーブン２１を通して処理される。処理済のウエー
ノ・はアンローダ−側専用インディサ−２３に１枚ずつ
収納される。また４つのステーションが再び左廻９に位
置移動し、空のキャリアを有する第１のステーション１
が第２図での第３のステーション２８の位置に、第４の
ステーション２９が第２のステーション２７の位置にそ
れぞれ移動する。ローダ−供与用インデクサ−が空にな
ると、再びウェーハ移し替え部１５によシ第４のステー
ション２９にセットした全ウェーハをローダ−供与用イ
ンデクサ−１６に一度に移し替える。一方アンローダー
側専用インデクサ−２３がローダ−インデクサ−１６か
ら送った枚数だけ収納すると、収納ウェーハ移し替え部
２２によりインデクサ−２３に収納された全ウェーハを
一度に第１のステーション２６の空キャリアに収納する
・次に各ステーションを再び移動させ、第１のステーシ
ョン２６のキャリアを第４のステーション２９の位置に
、空キャリアを有する第４のステーション２９を第３の
ステーション２８の位置にそれぞれ移動させる。処理ウ
ェーハを収納し第２図での第４のステーション２９の位
置に移動した第１のステーション２６のキャリア取り出
し装置２４で、キャリア搬出装置２５に載せられ次工程
に搬送される。キャリアをセットする各ステーションの
移動、ウェーハの移し替え、キャリアの供給・取シ出し
の動作は前記順序に従がって連続して行なわれる。
２により各インライン装置に運ばれてくると、供給装置
１３により第１のステーション２６に載せられる。４つ
のステーション２６〜２９が左廻シにその位置移動を行
ない、第１のステージ３ン２６は第２図での第２のステ
ーション２７の位置に移動すると共に第２のステーショ
ン２７が第３のステーション２８の位置に、第３のステ
ーション２８が第４のステーション２９の位置に、第４
のステーション２９が第１のステーション２６の位置に
それぞれ移動する。そして供給装置１３によシ次の製品
収納キャリアを第４のステーション２９に載せる。一方
、第１のステーション２６にセットされたキャリアの全
ウェーハを供給ウェー・・移し替え部１５により１度に
ローダ−供与用インデクサ−１６に移し替える。移し替
えが完了した時点でローダ−供与用インデクサ−１６は
１ピツチずつ下降し、ウエーノ・が１枚ずつ順次送シ出
され、該ウェー／Ｓは従来と同様に塗布装置１７、ベー
タオープン１８、回合露光装置１９、現像装置２０、ベ
ークオーブン２１を通して処理される。処理済のウエー
ノ・はアンローダ−側専用インディサ−２３に１枚ずつ
収納される。また４つのステーションが再び左廻９に位
置移動し、空のキャリアを有する第１のステーション１
が第２図での第３のステーション２８の位置に、第４の
ステーション２９が第２のステーション２７の位置にそ
れぞれ移動する。ローダ−供与用インデクサ−が空にな
ると、再びウェーハ移し替え部１５によシ第４のステー
ション２９にセットした全ウェーハをローダ−供与用イ
ンデクサ−１６に一度に移し替える。一方アンローダー
側専用インデクサ−２３がローダ−インデクサ−１６か
ら送った枚数だけ収納すると、収納ウェーハ移し替え部
２２によりインデクサ−２３に収納された全ウェーハを
一度に第１のステーション２６の空キャリアに収納する
・次に各ステーションを再び移動させ、第１のステーシ
ョン２６のキャリアを第４のステーション２９の位置に
、空キャリアを有する第４のステーション２９を第３の
ステーション２８の位置にそれぞれ移動させる。処理ウ
ェーハを収納し第２図での第４のステーション２９の位
置に移動した第１のステーション２６のキャリア取り出
し装置２４で、キャリア搬出装置２５に載せられ次工程
に搬送される。キャリアをセットする各ステーションの
移動、ウェーハの移し替え、キャリアの供給・取シ出し
の動作は前記順序に従がって連続して行なわれる。
以上のように本発明は製品収納キャリア搬入／搬出装置
とＰＲインラインの間に、キャリア供給／取り出し部、
キャリアステーション移動部、ウェーハ移し替え部、ロ
ーダ−／アンローダー専用インデクサーとをそれぞれ有
することにより、キャリアのハンドリング、ウェーハの
ＰＲ工程処理が全て自動で行なうことができるばかシで
なく、あるロットで使用したキャリアは供給と収納で同
一であるため、キャリア番号によるロット管理を行なう
ことができ、さらに空キャリアの処理する必要がなくな
るという効果を有するものである。
とＰＲインラインの間に、キャリア供給／取り出し部、
キャリアステーション移動部、ウェーハ移し替え部、ロ
ーダ−／アンローダー専用インデクサーとをそれぞれ有
することにより、キャリアのハンドリング、ウェーハの
ＰＲ工程処理が全て自動で行なうことができるばかシで
なく、あるロットで使用したキャリアは供給と収納で同
一であるため、キャリア番号によるロット管理を行なう
ことができ、さらに空キャリアの処理する必要がなくな
るという効果を有するものである。
第１図は従来のＰＲインライン装置の平面図の概略図、
第２図は本発明によるＰＲインライン装置の平面図の概
略図である。 １２・・・製品収納キャリア搬入装置、１３・・・製品
収納キ部、１５・・・供給ウェーハ移し替え部、１６・
・・ローダ−側専用インデクサ−１１７・・・塗布装置
、１８・・・ベークオープン、１９・・・目金露光装置
、２０・・・現像装置、２１・・・ベークオーブン、２
２・・・収納ウェーハ移し替え部、２３・・・アンロー
ダ−側専用インデクサ−１２４・・・製品収納キャリア
取り出し装置、２５・・・製品収納キャリア搬出装置、
２６・・・第１のキャリアステーション、２７・・・第
２のキャリアステーション、２８・・・第３のキャリア
ステーション）、２９・・・第４のキャリアステー特許
出願人 日本電気株式会社 代理人 弁理士 菅 野 、 に”ン心−
１１７，二′
第２図は本発明によるＰＲインライン装置の平面図の概
略図である。 １２・・・製品収納キャリア搬入装置、１３・・・製品
収納キ部、１５・・・供給ウェーハ移し替え部、１６・
・・ローダ−側専用インデクサ−１１７・・・塗布装置
、１８・・・ベークオープン、１９・・・目金露光装置
、２０・・・現像装置、２１・・・ベークオーブン、２
２・・・収納ウェーハ移し替え部、２３・・・アンロー
ダ−側専用インデクサ−１２４・・・製品収納キャリア
取り出し装置、２５・・・製品収納キャリア搬出装置、
２６・・・第１のキャリアステーション、２７・・・第
２のキャリアステーション、２８・・・第３のキャリア
ステーション）、２９・・・第４のキャリアステー特許
出願人 日本電気株式会社 代理人 弁理士 菅 野 、 に”ン心−
１１７，二′
Claims (1)
- （１）塗布装置、第１のベークオープン、目金露光装置
、現像装置、第２のベークオーブンを連結してＰＲイン
ラインを形成し、該ＰＲインラインの搬入側に未処理ウ
ェーハを収納するキャリアを該ＰＲインラインに搬入す
る搬入装置を設置するとともに、搬出側に処理済ウェー
ハを収納するキャリアを該ＰＲインラインから搬出する
搬出装置を設置したＰＲインライン装置において、ＰＲ
インラインの搬入側で空になったキャリアを搬出側に移
送するキャリアステージ移動部を設け、ＰＲインライン
の搬入側に、未処理ウェーハを前記塗布装置に給送する
ローダ−専用インデクサ−及びウェーハをキャリアから
該インデクサ−に移し替えるキャリア移し替え部を設け
ると共に、搬出側に、処理済ウェーハを収納するアンロ
ーダ−専用インデクサ−及び該インデクサ−から処理済
ウェーハを空のキャリアに取り出すウェーハ取９出し部
を設置したことを特徴とするＰＲインライン装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9541683A JPS59219925A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | Ｐｒインライン装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9541683A JPS59219925A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | Ｐｒインライン装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59219925A true JPS59219925A (ja) | 1984-12-11 |
Family
ID=14137076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9541683A Pending JPS59219925A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | Ｐｒインライン装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59219925A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08321537A (ja) * | 1996-05-20 | 1996-12-03 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び処理方法 |
| US5980591A (en) * | 1994-04-26 | 1999-11-09 | Tokyo Electron Limited | System for processing a plurality of objects contained in a plurality of cassettes |
-
1983
- 1983-05-30 JP JP9541683A patent/JPS59219925A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5980591A (en) * | 1994-04-26 | 1999-11-09 | Tokyo Electron Limited | System for processing a plurality of objects contained in a plurality of cassettes |
| JPH08321537A (ja) * | 1996-05-20 | 1996-12-03 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び処理方法 |
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