JPS59217004A - 流体サ−ボアクチエ−タ - Google Patents
流体サ−ボアクチエ−タInfo
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- JPS59217004A JPS59217004A JP58089456A JP8945683A JPS59217004A JP S59217004 A JPS59217004 A JP S59217004A JP 58089456 A JP58089456 A JP 58089456A JP 8945683 A JP8945683 A JP 8945683A JP S59217004 A JPS59217004 A JP S59217004A
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- JP
- Japan
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- actuator
- guide valve
- servo
- output shaft
- input
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B9/00—Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member
- F15B9/02—Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member with servomotors of the reciprocatable or oscillatable type
- F15B9/08—Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member with servomotors of the reciprocatable or oscillatable type controlled by valves affecting the fluid feed or the fluid outlet of the servomotor
- F15B9/09—Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member with servomotors of the reciprocatable or oscillatable type controlled by valves affecting the fluid feed or the fluid outlet of the servomotor with electrical control means
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- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Actuator (AREA)
- Servomotors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は各種工業用機器、工業用ロボット等に用いられ
る、油圧駆動によるロータリーアクチェータに関するも
のである。
る、油圧駆動によるロータリーアクチェータに関するも
のである。
従来例の構成とその問題点
近年の工業用ロボットの普及により、ロボットの利用範
囲は拡大し、従来熟練工の作業領域となれた高度、精緻
な組立作業にもロボットの適用が考えられる様になった
。
囲は拡大し、従来熟練工の作業領域となれた高度、精緻
な組立作業にもロボットの適用が考えられる様になった
。
しかし、そのためには、多自由度で高精度表位置決め把
持機能を持つマニュプレータの実現が必須条件であった
。
持機能を持つマニュプレータの実現が必須条件であった
。
電動式アクチェータ（ＤＣサーボ、ＡＣサーボ）を用い
た場合、減速機を含むモータのパワー重量比が小さいた
めに、例えばロボットの多関節アームの先端で多自由度
のリスト・フィンガーを構成するのは困難である。
た場合、減速機を含むモータのパワー重量比が小さいた
めに、例えばロボットの多関節アームの先端で多自由度
のリスト・フィンガーを構成するのは困難である。
サーボパルプを用いた油圧駆動方式も、従来から産業界
で広く用いられているが、各アクチェータにサーボパル
プを一対のセットで設ける必要がある。
で広く用いられているが、各アクチェータにサーボパル
プを一対のセットで設ける必要がある。
また、アクチェータ、サーボパルプに作動油を供給源か
ら独立して供給せねばならず、多自由度のリストを構成
した場冶、油圧配管の構成が繁雑となる。
ら独立して供給せねばならず、多自由度のリストを構成
した場冶、油圧配管の構成が繁雑となる。
また、軽量化を計るために、各サーボパルプを口ボット
の本体に設置した場合、リスト部に内蔵した油圧アクチ
ェータとサーボバルブ間の油圧配管が長くなる。その結
果、通常弾性パイプで構成される配管部の膨張により、
サーボ系が不安定となシ、サーボ系の性能を支配するル
ープゲインを大きくとれない等の問題点があった。
の本体に設置した場合、リスト部に内蔵した油圧アクチ
ェータとサーボバルブ間の油圧配管が長くなる。その結
果、通常弾性パイプで構成される配管部の膨張により、
サーボ系が不安定となシ、サーボ系の性能を支配するル
ープゲインを大きくとれない等の問題点があった。
アクチェータの出力軸の変位、速度、力を入力信号に追
従して制御するために、メカニカルサーボを用いたロー
タリーアクチェータが従来から用いられている。
従して制御するために、メカニカルサーボを用いたロー
タリーアクチェータが従来から用いられている。
はロータベーン、７はハウジング、８は作動油の給排油
口、９はシール用パツキンである。
口、９はシール用パツキンである。
図で示す様に、出力軸２の内部に入力軸１が摺動自在に
収納されておシ、入力軸１の外表面に形成された溝と出
力軸２に固着した案内弁スリーブ３の内面に形成された
溝の間で、案内弁を形成している。上記アクチェータの
入力軸１と出力軸２の間に角度偏差が生ずると、案内弁
４は偏差に比例して開き、偏差を補償する方向にモータ
部がトルクを発生する。
収納されておシ、入力軸１の外表面に形成された溝と出
力軸２に固着した案内弁スリーブ３の内面に形成された
溝の間で、案内弁を形成している。上記アクチェータの
入力軸１と出力軸２の間に角度偏差が生ずると、案内弁
４は偏差に比例して開き、偏差を補償する方向にモータ
部がトルクを発生する。
その結果、出力軸２は入力軸１に追従して回転する。上
記ロータリーアクチェータを、例えば多自由度のリスト
−フィンガーに適用すべく小型化を削った場合、以下述
べる様な問題点があった。
記ロータリーアクチェータを、例えば多自由度のリスト
−フィンガーに適用すべく小型化を削った場合、以下述
べる様な問題点があった。
アクチェータの小型化にともない、入力軸１と案内弁ス
リーブ３で構成される案内弁４の形状９寸法も縮小せね
ばならないが、その結果、サーボ系の特性に大きな影響
を与える案内弁４の溝加工が困難となる。
リーブ３で構成される案内弁４の形状９寸法も縮小せね
ばならないが、その結果、サーボ系の特性に大きな影響
を与える案内弁４の溝加工が困難となる。
また、出力軸２内部に入力軸１が収納され、それゆえ入
力軸１の一方の端部がアクチェータの外部に露出する従
来構成（第１図）では、オイル漏れ防止のだめのシール
用パツキン９の摺動トルクが大きく、入力軸１を駆動す
るモータ（図示せず）の小型化を計れないという問題点
があった。
力軸１の一方の端部がアクチェータの外部に露出する従
来構成（第１図）では、オイル漏れ防止のだめのシール
用パツキン９の摺動トルクが大きく、入力軸１を駆動す
るモータ（図示せず）の小型化を計れないという問題点
があった。
また、前述したサーボパルプによる油圧駆動方式同様、
各アクチェータに供給する作動油の配管の露出は、多自
由度リストの小型化・シンプル化を計る上で大きな問題
点となる。
各アクチェータに供給する作動油の配管の露出は、多自
由度リストの小型化・シンプル化を計る上で大きな問題
点となる。
発明の目的
本発明は従来油圧アクチェータの有していた欠点を解消
した小型、高精度なサーボアクチェータを提供するもの
である。
した小型、高精度なサーボアクチェータを提供するもの
である。
発明の構成
本発明は、入力部材と出力部材の相対移動面に形成され
た案内弁と、前記出力部材及び前記入力部材を収納する
外部ケースと、この外部ケースと前記出力部材で形成さ
れる作動室の空間と外部の圧力源を連絡する給排油孔よ
り構成され、前記入力部材を駆動する駆動手段が前記外
部ケース内に収納することによシアクチエータ本体の小
型化。
た案内弁と、前記出力部材及び前記入力部材を収納する
外部ケースと、この外部ケースと前記出力部材で形成さ
れる作動室の空間と外部の圧力源を連絡する給排油孔よ
り構成され、前記入力部材を駆動する駆動手段が前記外
部ケース内に収納することによシアクチエータ本体の小
型化。
油圧配管の簡素化を計ることが出来るものである。
以下、本発明の実施例について説明する。
実施例の説明
第２図は、本発明の一実施例を示す油圧アクチェータで
、２０は出力軸、２１はフロントプレート、２２はリア
ープレート、２３はシリンダ、２４はパルスモータのス
テ〜り、２６はロータ、２６は円筒形状のスリーブ、２
７は２６に形成された内側太陽歯車、２８は遊星歯車、
２９は前記シリンダ２９の内面に形成された固定側太陽
歯車、３゜は前記出力軸２Ｑは回転自在にかん合された
入力部材である入力側案内弁スリーブ、３１は前記遊星
歯車２８を案内弁スリーブ３ｏに回転自在に固定するた
めのボルト、３２は前記ロータ２５を前記スリーブ２６
に固着するためのナツト、３３はシリンダ２３と一体で
形成された固定羽根、３４は出力軸２０と一体で形成さ
れた回転羽根、３６゜３６はンａット及びリアプレート
２Ｍ、２２と出力軸２０間に設けられたＯリング、３６
．３７は出力軸２０の左右端部に形成されたネジ部、３
８は各プレート２１．２２とシリンダ２３を固定するホ
ルト、３９ａ、 ３９ｂは各プＶ −） ２１ 、２
２とシリンダ２３間に設けられたオイルシール、４゜は
出力軸２ｏと一体で形成された出方部材である出力側案
内弁グレート、４１．４２は出力軸２゜とフロントプレ
ート２１内部に貫通して形成された作動油の供給側主流
通路、４３は供給側軸流通路、４４は入力側案内弁スリ
ーブ３０の内部に形成された供給側案内弁流通路、４６
は出力側案内弁プレート４０の内部に形成された出力側
案内弁流通路、４６．４７は出力側案内弁プレート４０
の外周側と内周側に形成された隙間部、４８．４９は出
力軸２０内部とリアプレート２２内部に貫通して形成さ
れた作動油の排油側主流通路、６０は排油側軸流通路、
鎖、線で示す６１は入力側案内弁スリーブ３０の内部に
形成された排油側案内弁流通路、鎖線で示ず６２は隙間
部４６．４７と排油側軸流通路５０を連絡している低圧
流通路である。
、２０は出力軸、２１はフロントプレート、２２はリア
ープレート、２３はシリンダ、２４はパルスモータのス
テ〜り、２６はロータ、２６は円筒形状のスリーブ、２
７は２６に形成された内側太陽歯車、２８は遊星歯車、
２９は前記シリンダ２９の内面に形成された固定側太陽
歯車、３゜は前記出力軸２Ｑは回転自在にかん合された
入力部材である入力側案内弁スリーブ、３１は前記遊星
歯車２８を案内弁スリーブ３ｏに回転自在に固定するた
めのボルト、３２は前記ロータ２５を前記スリーブ２６
に固着するためのナツト、３３はシリンダ２３と一体で
形成された固定羽根、３４は出力軸２０と一体で形成さ
れた回転羽根、３６゜３６はンａット及びリアプレート
２Ｍ、２２と出力軸２０間に設けられたＯリング、３６
．３７は出力軸２０の左右端部に形成されたネジ部、３
８は各プレート２１．２２とシリンダ２３を固定するホ
ルト、３９ａ、 ３９ｂは各プＶ −） ２１ 、２
２とシリンダ２３間に設けられたオイルシール、４゜は
出力軸２ｏと一体で形成された出方部材である出力側案
内弁グレート、４１．４２は出力軸２゜とフロントプレ
ート２１内部に貫通して形成された作動油の供給側主流
通路、４３は供給側軸流通路、４４は入力側案内弁スリ
ーブ３０の内部に形成された供給側案内弁流通路、４６
は出力側案内弁プレート４０の内部に形成された出力側
案内弁流通路、４６．４７は出力側案内弁プレート４０
の外周側と内周側に形成された隙間部、４８．４９は出
力軸２０内部とリアプレート２２内部に貫通して形成さ
れた作動油の排油側主流通路、６０は排油側軸流通路、
鎖、線で示す６１は入力側案内弁スリーブ３０の内部に
形成された排油側案内弁流通路、鎖線で示ず６２は隙間
部４６．４７と排油側軸流通路５０を連絡している低圧
流通路である。
また、２１，２２．２３で外部ケースを構成している。
ロータ２６とスリーブ２６はナツト３２によって固着さ
れておシ、パルスモータの入力パルス数に比例してスリ
ーブ２６が回転する。
れておシ、パルスモータの入力パルス数に比例してスリ
ーブ２６が回転する。
スリーブ２６に形成された内側太陽歯車２７の回転によ
って、遊星歯車２８の軸芯は入力側案内弁スリーブ３ｏ
と共に回転する。
って、遊星歯車２８の軸芯は入力側案内弁スリーブ３ｏ
と共に回転する。
作動油は、４１−”４３−＝４４−”４５の通路を経て
作動室である羽根室へ供給され、６１−５０→４８の流
通路を経て排油側へ帰還でる。
作動室である羽根室へ供給され、６１−５０→４８の流
通路を経て排油側へ帰還でる。
部材３０．４０で面対向型の案内弁を構成しているが、
第３図、第４図にそのＡＡ矢示図、ＢＢ矢示図を示す。
第３図、第４図にそのＡＡ矢示図、ＢＢ矢示図を示す。
５３ａ、ｂ、ｃ、ｄは入力側案内弁スリーブ３ｏの円周
方向に形成された浅い溝部、５４ａ、ｂ、ｃ。
方向に形成された浅い溝部、５４ａ、ｂ、ｃ。
ｄは上記５３ａ、ｂ、ｃ、ｄの中心部に形成された流路
４４ａ、４４ｂとｓｌａ、６１ｂの開口部であり、上記
開口部、溝部は軸対称に４個所形成されている。
４４ａ、４４ｂとｓｌａ、６１ｂの開口部であり、上記
開口部、溝部は軸対称に４個所形成されている。
５５．５６は低圧側流通路６２の開口部である。
第４図において、５７は出力側案内弁プレート４０の外
周側窪部、５８は内周側窪部、６９は中央凸部、６０
ａ 、 ６０ ｂ 、 ６０ ｃ 、 ６０ ｄは中央
凸部５９の円周上４個所軸対称に形成された溝部、６１
ａ、６１ｂは前記溝部６０ａ、ｓｏｂ内に形成され、か
つ回転羽根３４（鎖線で示す。）の端部に形成された、
羽根室へ連絡する流通穴の開口部である。
周側窪部、５８は内周側窪部、６９は中央凸部、６０
ａ 、 ６０ ｂ 、 ６０ ｃ 、 ６０ ｄは中央
凸部５９の円周上４個所軸対称に形成された溝部、６１
ａ、６１ｂは前記溝部６０ａ、ｓｏｂ内に形成され、か
つ回転羽根３４（鎖線で示す。）の端部に形成された、
羽根室へ連絡する流通穴の開口部である。
第６図は、本装置における面対向案内弁の作動原理を示
すもので、イは入力（３０に相当）と出力（４０に相当
）間に角度偏差が生じた場合、口は角度偏差がゼロとな
った場合（位置決め終了時）を示す。
すもので、イは入力（３０に相当）と出力（４０に相当
）間に角度偏差が生じた場合、口は角度偏差がゼロとな
った場合（位置決め終了時）を示す。
６２ａは高圧側羽根室、６２ｂは低圧側羽根室（作動室
）である。イにおいて、入出力間に偏差が生じると、作
動油の供給側に連結した流通路から、４４ａ→６ｉ４ａ
→５３ａ→６０ ａ→６１ａ→４Ｅ５−６２ａの順路を
経て、高圧側羽根室６２ａへ作動油が供給される。
）である。イにおいて、入出力間に偏差が生じると、作
動油の供給側に連結した流通路から、４４ａ→６ｉ４ａ
→５３ａ→６０ ａ→６１ａ→４Ｅ５−６２ａの順路を
経て、高圧側羽根室６２ａへ作動油が供給される。
逆に低圧側では、６２ｂ→６１ｂ→６０ｂ→６３ｂ−＋
５４ｂ−＋６１ ａの経゛路を経て、排油側へ帰還する
。
５４ｂ−＋６１ ａの経゛路を経て、排油側へ帰還する
。
その結果、出力軸２０は角度偏差を解消する方向（第６
図イの矢印）に回転する。第６図Ｏで示す様に入力側と
出力側の溝部（例えば６ｓｂ、 ６ｏｂ）の重なり部が
なくなると、作動油の供給、排油の流通路が遮断され、
出力軸２０は停止する。
図イの矢印）に回転する。第６図Ｏで示す様に入力側と
出力側の溝部（例えば６ｓｂ、 ６ｏｂ）の重なり部が
なくなると、作動油の供給、排油の流通路が遮断され、
出力軸２０は停止する。
なお、本明細文における案内弁とは、２つの相対移動す
る部材によって、作動油の供給源から羽根室及び羽根室
から排油側へ連絡する流路の切りかえと遮断が可能なご
とく形成された弁全体を示す。第２図で示す実施例では
、久方側案内弁スリーブ３０と出力側案内弁プレート４
０の２つの組み合せを言う。
る部材によって、作動油の供給源から羽根室及び羽根室
から排油側へ連絡する流路の切りかえと遮断が可能なご
とく形成された弁全体を示す。第２図で示す実施例では
、久方側案内弁スリーブ３０と出力側案内弁プレート４
０の２つの組み合せを言う。
第６図は、本油圧アクチェータを多段に連結し、多関節
のロボット用リストを構成した場合を示す。
のロボット用リストを構成した場合を示す。
６３はハウジング、６４は供給側主流通路、６６は排油
側主流通路である。
側主流通路である。
ハウジング６３と出力軸２ｏは出力軸２ｏの端部に形成
されたネジ部３６，３７とナツト６６で固定される。
されたネジ部３６，３７とナツト６６で固定される。
ハウジング６３の内部に給油と排油のための流通路（６
３と６４に相当）が形成されており、出力軸２０内部に
形成された流通路（４１，４３，５０゜４８に相当）と
連絡している。
３と６４に相当）が形成されており、出力軸２０内部に
形成された流通路（４１，４３，５０゜４８に相当）と
連絡している。
本発明は、従来の油圧アクチェータと比べて、極゛めて
コンパクトな構成で、高い位置決め分解能を有する油圧
アクチェータを構成することができる。
コンパクトな構成で、高い位置決め分解能を有する油圧
アクチェータを構成することができる。
実施例では、入力（３０に相当）を駆動するモータと減
速機をアクチェータ内部に内蔵した。
速機をアクチェータ内部に内蔵した。
第１図で示す様に従来アクチェータでは入力軸１が油圧
アクチェ〜り外部に露出しており、それゆえ、入力軸１
と出力軸２間の作動油の漏れを防止するシール用ハソキ
ン９の摺動トルクのために、小型モータでは駆動トルク
が不足するという問題点があった。本装置では、入力側
の部材２６，３０゜２８等がアクチェータの内部に収納
されているため、前述した摺動トルクの増大をともなう
パツキン等が不要である。それゆえ低トルク入力であり
、モータの超小型化を計ることが出来る。
アクチェ〜り外部に露出しており、それゆえ、入力軸１
と出力軸２間の作動油の漏れを防止するシール用ハソキ
ン９の摺動トルクのために、小型モータでは駆動トルク
が不足するという問題点があった。本装置では、入力側
の部材２６，３０゜２８等がアクチェータの内部に収納
されているため、前述した摺動トルクの増大をともなう
パツキン等が不要である。それゆえ低トルク入力であり
、モータの超小型化を計ることが出来る。
また、本装置では面対向の案内弁を構成することにより
、アクチェータ本体を一層小型化し、サーボ特性を向上
を計ることができた。
、アクチェータ本体を一層小型化し、サーボ特性を向上
を計ることができた。
但し、本発明の実現を計る初期の段階において、第７図
で示す様な問題点があった。
で示す様な問題点があった。
スラスト面を用いて案内弁を構成したとき、案内弁スリ
ーブ３０には、第７図で示す様な圧カニＰ１．Ｐ２がス
ラスト荷重として加わる。
ーブ３０には、第７図で示す様な圧カニＰ１．Ｐ２がス
ラスト荷重として加わる。
例えば、供給圧： Ｐ ８： ７０Ｋｆ／讐、案内弁ス
リーブ３０の外径を２０ｍｍψとすれば、最大： −
２００に７程度がスラスト荷重として、案内弁スリーブ
３０に加わることになる。
リーブ３０の外径を２０ｍｍψとすれば、最大： −
２００に７程度がスラスト荷重として、案内弁スリーブ
３０に加わることになる。
また、Ｐ とＰ に圧力差があれば、捩りモータ１
２ ント：Ｍが第７図のごとく案内弁スリーブ３０に加わる
ことになり、超小型低トルクモータを用いて、案内弁ス
リーブ３０を駆動する際の大きな支障となる。
２ ント：Ｍが第７図のごとく案内弁スリーブ３０に加わる
ことになり、超小型低トルクモータを用いて、案内弁ス
リーブ３０を駆動する際の大きな支障となる。
第４図で示す様に、案内弁の対向面には６７．６８の外
周側窪部、内周側窪部を形成し、かつ、これらの窪部と
低圧側流通路６２を連絡することによυスラスト荷重：
ｆの軽減を計った。
周側窪部、内周側窪部を形成し、かつ、これらの窪部と
低圧側流通路６２を連絡することによυスラスト荷重：
ｆの軽減を計った。
さらに、溝部５３ａ、ｓｓｂ、５３ｃ、５３ｄを軸方向
対称に形成し、高圧側を５３ａ、５３ｃで一対、低圧側
を６３ｂ、 ６３ｄで一対とすることにより、モーメ
ント荷重二Ｍの軽減を計った。
対称に形成し、高圧側を５３ａ、５３ｃで一対、低圧側
を６３ｂ、 ６３ｄで一対とすることにより、モーメ
ント荷重二Ｍの軽減を計った。
第６図及び第４図で示す様に６０ｄ、６０ｃの溝部は作
動油の供給と流出には寄与しておらず、上記モーメント
荷重の解消を計るために形成している。
動油の供給と流出には寄与しておらず、上記モーメント
荷重の解消を計るために形成している。
また、第２図で示す様に、モータ室６７には流通路６８
を介して低圧である排油側主流通路４８と連絡しており
案内弁スリーブ３０の右側面（第２図）からのスラスト
荷重は小さい。
を介して低圧である排油側主流通路４８と連絡しており
案内弁スリーブ３０の右側面（第２図）からのスラスト
荷重は小さい。
第１図で示す様に、入力軸１の外周部と出力軸２の内周
部を利用して形成していた従来油圧アクチェータに対し
て、本装置ではスラスト面に案内弁を形成している。
部を利用して形成していた従来油圧アクチェータに対し
て、本装置ではスラスト面に案内弁を形成している。
案内弁は、アクチェータのサーボ特性を支配するもっと
も重要な個所で、それゆえ従来構成では、入力軸１．出
力軸２の径小化には、加工精度の点で限界があった。本
アクチェータでは、案内弁スリーブ３０及び出力側案内
弁プレ一ト４０のスラスト面に案内弁を第３図、第４図
のごとく形成しておシ、相対運動する対向面の面積が大
きく、加工が容易である。
も重要な個所で、それゆえ従来構成では、入力軸１．出
力軸２の径小化には、加工精度の点で限界があった。本
アクチェータでは、案内弁スリーブ３０及び出力側案内
弁プレ一ト４０のスラスト面に案内弁を第３図、第４図
のごとく形成しておシ、相対運動する対向面の面積が大
きく、加工が容易である。
本装置では、第６図の一例で示す様に、例えばロボット
のアーム（第６図の６３に相当）内に作動油の流通路を
形成することが出来、従来弾性チューブ等を用いていた
作動油の配管を皆無にすることができる。
のアーム（第６図の６３に相当）内に作動油の流通路を
形成することが出来、従来弾性チューブ等を用いていた
作動油の配管を皆無にすることができる。
また、アクチェータの多段構成が容易であり、多自由度
のハンド、フィンガーを繁雑な配管なく、シンプル、コ
ンパクトに構成することができる。
のハンド、フィンガーを繁雑な配管なく、シンプル、コ
ンパクトに構成することができる。
その理由として、
（１）出力軸２０内部に作動油の流通路を形成し、かつ
左右端部にそれぞれ、供給側と排油側の主流通路４１．
４８を形成した。
左右端部にそれぞれ、供給側と排油側の主流通路４１．
４８を形成した。
（２）出力軸２０をアーム（ハウジング２０）に相対運
動をともなうことなく、完全固定することにより、オイ
ルシールを介さないで、各流通路を連絡することができ
る。
動をともなうことなく、完全固定することにより、オイ
ルシールを介さないで、各流通路を連絡することができ
る。
例えば、６４−４１及び６６と４８と連結が容易である
。
。
上記（１）、 （２）が可能になったのは、案内弁を駆
動するモータを油圧アクチェータの内部に収納し、かつ
、出力軸２ｏに対して摺動可能な様に、面対向型の案内
弁を構成することにょシ、出力軸２ｏの両端部を有効に
利用出来るからである。
動するモータを油圧アクチェータの内部に収納し、かつ
、出力軸２ｏに対して摺動可能な様に、面対向型の案内
弁を構成することにょシ、出力軸２ｏの両端部を有効に
利用出来るからである。
発明の効果
本発明によシ、コンパクトで、高い位置決め分解能を有
するメカニカルサーボアクチェータが実現できた。
するメカニカルサーボアクチェータが実現できた。
本アクチェータは、各種工業用ロボット、生産機器等に
幅広く適用することが出来、その効果は顕著なものがあ
る。
幅広く適用することが出来、その効果は顕著なものがあ
る。
実施例であるロータリ油圧サーボアクチェータの案内弁
の動作原理を示す図、第６図は本アクチェータを用いて
多自由度ハンドを構成した場合の全体構成図、第７図は
案内弁に加わる力の状態を示す図である。
の動作原理を示す図、第６図は本アクチェータを用いて
多自由度ハンドを構成した場合の全体構成図、第７図は
案内弁に加わる力の状態を示す図である。
３０・・・・・・入力部材、４０，３４・・・・・・出
力部材、２１．２２，２３・・・・・・外部ケース、４
１，４３゜４８．５０・・・・・・給排油孔、２４，２
５．２８・・・・・・駆動手段。
力部材、２１．２２，２３・・・・・・外部ケース、４
１，４３゜４８．５０・・・・・・給排油孔、２４，２
５．２８・・・・・・駆動手段。
代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 建 ｂ べ 第２図 第３図 第 ４ 図 第５図 （４） 、′１３ Ｇｆの
図 建 ｂ べ 第２図 第３図 第 ４ 図 第５図 （４） 、′１３ Ｇｆの
Claims (1)
- 入力部材と出力部材の相対摺動移動面に形成されたメカ
ニカルサーボを構成する案内弁と、前記出力部材及び前
記入力部材を回転自在に収納する外部ケースと、この外
部ケースと前記出力部材で形成される作動室の空間と外
部の圧力源を前記案内弁を介して連絡する給排油孔より
構成され、前記入力部材を駆動する駆動手段が前記外部
ケース内に収納されていることを特徴とする流体サーボ
アクチェータ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58089456A JPS59217004A (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 流体サ−ボアクチエ−タ |
| DE8484902056T DE3473495D1 (en) | 1983-05-20 | 1984-05-18 | Fluid servo actuator |
| US06/697,592 US4646621A (en) | 1983-05-20 | 1984-05-18 | Hydraulic servo actuator |
| PCT/JP1984/000249 WO1984004784A1 (en) | 1983-05-20 | 1984-05-18 | Fluid servo actuator |
| EP84902056A EP0144439B1 (en) | 1983-05-20 | 1984-05-18 | Fluid servo actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58089456A JPS59217004A (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 流体サ−ボアクチエ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59217004A true JPS59217004A (ja) | 1984-12-07 |
Family
ID=13971196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58089456A Pending JPS59217004A (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 流体サ−ボアクチエ−タ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4646621A (ja) |
| EP (1) | EP0144439B1 (ja) |
| JP (1) | JPS59217004A (ja) |
| DE (1) | DE3473495D1 (ja) |
| WO (1) | WO1984004784A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2644879B2 (ja) * | 1989-03-13 | 1997-08-25 | 株式会社日立製作所 | 直動形ロータリサーボ弁並びにこれを用いた圧延機 |
| DE4015101A1 (de) * | 1990-05-11 | 1991-11-14 | Eckehart Schulze | Hydraulische antriebsvorrichtung |
| US5201637A (en) * | 1991-10-28 | 1993-04-13 | Vickers, Incorporated | Hydraulic piston pump with servo displacement control |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS4945310A (ja) * | 1972-09-08 | 1974-04-30 | ||
| JPS5226310A (en) * | 1975-08-26 | 1977-02-26 | Kawasaki Steel Corp | Process for production of low-oxygen alloy steel by melting |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB500840A (ja) * | ||||
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| GB1093233A (en) * | 1964-04-06 | 1967-11-29 | Kawasaki Jyukogyo Kabushiki Ka | Hydraulic rotary servo mechanism |
| GB1393930A (en) * | 1971-12-29 | 1975-05-14 | Mitsubishi Metal Corp | Rotary type hydraulic servo-mechanism |
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| US4177713A (en) * | 1975-05-12 | 1979-12-11 | The Garrett Corporation | Electrohydraulic proportional actuator apparatus |
| JPS5491695A (en) * | 1977-12-16 | 1979-07-20 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Digital servo motor |
| US4458580A (en) * | 1981-03-25 | 1984-07-10 | Jidosha Kiki Co., Ltd. | Power steering apparatus |
-
1983
- 1983-05-20 JP JP58089456A patent/JPS59217004A/ja active Pending
-
1984
- 1984-05-18 US US06/697,592 patent/US4646621A/en not_active Expired - Lifetime
- 1984-05-18 DE DE8484902056T patent/DE3473495D1/de not_active Expired
- 1984-05-18 EP EP84902056A patent/EP0144439B1/en not_active Expired
- 1984-05-18 WO PCT/JP1984/000249 patent/WO1984004784A1/ja active IP Right Grant
Patent Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| JPS4945310A (ja) * | 1972-09-08 | 1974-04-30 | ||
| JPS5226310A (en) * | 1975-08-26 | 1977-02-26 | Kawasaki Steel Corp | Process for production of low-oxygen alloy steel by melting |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0144439B1 (en) | 1988-08-17 |
| US4646621A (en) | 1987-03-03 |
| EP0144439A1 (en) | 1985-06-19 |
| WO1984004784A1 (en) | 1984-12-06 |
| DE3473495D1 (en) | 1988-09-22 |
| EP0144439A4 (en) | 1985-09-26 |
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