JPS59214005A - 高性能光学系用の環状レンズマウント - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、例えばリプログラフィ用の高性能対物レンズ
に用いられ、調整旋削によって造られる高性能光学系用
のマウントに関するものである。

非常に高い性能の光学系はセンタリング誤差が最小でな
ければならない。したがってこのような光学系において
はそれぞれの光学素子のマウントが調整旋削によって造
られる。光学素子というのは単レンズならびに、粘着ま
たは接着により接合されたレンズグループのことである
。調整旋削の−２− ためにレンズがその表面を基準にアラインメン１〜され
、そして構成部品がこの状態で調整旋削によって機械加
工される。これは乾燥状態で行なわれなければならない
。そのためには黄銅が材料として適している。セラ１〜
された構成部品の嵌合、取付けのさいに対物１ノンズシ
リンダ内で動かなくなるのを避けるために、そのシリン
ダには黄銅または鋼鉄が用いられる。そのために製品は
非常に重くなってしまい取り扱いにくくなり、また経済
的に不利になる。東ドイツ特許ｗｐ　１ａｏ　０８８に
（ま、とくに熱的影響による性能損失をできるだけ少な
く抑えるマウントタイプが説明されている。それにＪ、
るどマウントには、膨張係数がガラスの膨張係数に近い
材料が使用できる。チタン、ねずみ鋳鉄、パール鋳鉄あ
るいは鋼鉄を使用づることが提案されている。調節旋削
によって所要の性能に調節するために、マウン１一部分
に良く加工できる月利のリングが当てられる。このタイ
プの場合も完成品は重くｎつ高価になる。

本発明の目的は、高性能対物レンズの製造にお−３＝ いて、最終製品の重指、作朶費用および原価を引き下げ
ることである。

本発明の課題は、光学的性能の損失なしに対物レンズチ
コーブに軽金属を使用できるｊ；うに投影対物レンズの
個々の光学素子のマウン１へを設旧し、チューブ内に配
置することである。この課題は本発明により、高性能光
学系用の環状レンズマウン１へにおいて光学マウントに
軽金属を用い、その環状マウントを調整旋削リングの中
にねじ込み、そして例えば接着することによって解決さ
れる。指定されたリングの内側全体にわたって調整旋削
によってねじ山を設けて、それにＪ：リレンズ付き軽金
属マウン１−も、構成部品全体も調整旋削のための特殊
装置の中に受は入れることができるならば、特に有利な
配置が１ｑられたことになる。内径の大きさに差のある
リングを用いることによって、レンズコンビネーション
による径の変化に対処することができる。対物レンズチ
ューブにも軽金属が選択されるので、直接の接合ＩＪ＆
避はイＴ【）れば１．Ｔらない。チューブとマウン］〜
の間に１２０°ごどの角　　４ 度で軸方向に平行に三本の黄銅製または鋼鉄製精密丸形
ワイヤを実装する。軽台属対物レンズチューブの製造公
差を補償するために丸形ワイＶは段差直径を有すると有
利である。丸形ワイ（）はその位置で適当な手段によっ
て固定されなければならない。精密丸形ワイヤの代わり
にフォイルまたはばね薄板を用いることもできる。

次に図面にしたがって本発明を説明する。

第１図では、レンズ１が軽金属マウント２の内側により
保持され、該マウントの外側にはマウントねじ山２′が
施されている。そのねじ山は内側ねじ山３′を有する調
１１旋削リング３と結合するのに使われる。リングは全
体にわたってねじ山が施されており、良好な加工性を必
要とするので例えば黄銅で作っである。構成部分２と３
の良好な結合は接着によって達成されるのが望ましい。

リング３のみが、調節旋削のために必要なゆとりを有し
ていな（プればならない。内側ねじ山の自由部分３″は
、レンズを回わして入れたりあるいは特殊装置で調節旋
削する際の受（プいれのために使わ−５− れる。調節旋削リング３の外径３″′は、対物レンズチ
コープの中に直接にははめ込まれない。内径４′の使用
部分には１２０°ごとの角度で三本の黄銅製または鋼鉄
製の精密荒型ワイヤ５が軸方向に平行に配置されており
、それらのワイヤにより形成される直径が、セットされ
た構成部品のはめ込みのために使用される。ワイヤの代
わりに安定した弾性的またはばね薄板を用いることもで
きる。

別の実施例は第２図に示されている。レンズ１は軽金属
マウントによって保持され、該マウントは、調整旋削に
よって造られる外径２′を有する。

軽金属対物レンズチューブ４は、内側ねじ山３′を有す
る調整旋削リング３がはめ込まれ、該リングにはマウン
ト２が、レンズ１間の所要空間距離を守りながらねじ込
まれ、適切に固定される。このリングは黄銅でできてい
てもよい。

第３図にはさらに別の実施例が示されている。

対物レンズチューブは内径が完全には円形でなく、その
内周の一部がマウント２に適合した円弧形であり、内周
の残りの部分がマウントから離隔した−　　６　− 形になっている。前もって精密に作られたマウン１〜２
を半円形の対物レンズチューブ本体４の方向へボルト６
によって押し付け、適切に固定するというやり方で、光
学的構成部品の配置方向付けが行なわれる。ボルト６と
マウント部分２の間にパッドとして共通フィッティング
忍トリップ７を使用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、光学的構成部品の本発明によるマウントの実
施例の概略断面図。 第２図は、本発明によるマウントの別の実施例の概略断
面図。 第３図は、別の実施例の概略平面図。 １・・・・・・レンズ　　　　２・・・用マウント２′
・・・マウントねじ山 ３・・・・・・調節旋削リンク ３′・・・内側ねじ山 ３″・・・内側ねじ山の自由部分 ３″′・・・調節旋削リングの外形 −７＝ ４・・・・・・対物レンズチューブ ４′・・・内径　　　　　５・・・・・・精密丸形ワイ
ヤ特許出願人 ベブ・カール・ツアイス・イ′エーナ 代理人弁理士　　松　　１）　省　　躬−８−

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）フレームが軽金属製である高性能対物レンズの環
   状マウントにおいて、光学素子が外側にねじ山の付いて
   いる軽金属製マウントに°τ像保持れており、そのマウ
   ントが調整旋削によって造られる内側ねじ山付きリング
   の中に配置されており、その合体されたアセンブリが対
   物レンズチューブの内径の中にはめ込むことができるよ
   うに設計されており、対物レンズチューブの内（￥が、
   この内径とマウントとの間に１２０°づつずらして配置
   された三本の精密丸型ワイヤ、フォイルまたは板バネに
   て形成されることを特徴とする環状マウント。
2. （２）対物レンズチューブが通しねじリングを内側に有
   し、そのリングの中に光学素子のマウントがねじ込める
   ようになっており、且つ光学的目的に応じて固定できる
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項の環状マウント
   。 −１＝
3. （３）セットされた光学アセンブリがじかに対物レンズ
   チューブの中゛にはめ込まれており、その対物レンズチ
   ューブの内周の一部が光学素子のマウントに適合した形
   であり、内周の残りの部分が光学素子のマウントと異る
   大きさであり、対物レンズチューブの内周の離隔した位
   置に光学アセンブリを位置固定するためのボルトが配置
   され、アセンブリ全体のためのパッドとして共通のフィ
   ッティングストリップが設けられていることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項の環状マウント。