JPS59213015A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ１　産業上の利用分野 本発明はビデオ信号等の高周波信号を稠密記畔、再生す
る装置、たとえばＶＴＲ装置に利用される磁気ヘプトの
製造方法（＝関するものである。

昨１従来技術 ＶＴＲ装置の稠密記録化のため、例えば現行のβ、ＶＨ
８方式に較べて２倍以上の高密度化を図るためいわゆる
８ミリビデオの開発が進められている。このような記録
密度の稠密化には記録媒体の保持力（Ｈａ）を従来の２
倍以上の１３００〜１５００エルステツドとする必要が
あり、その記録時の磁気ヘッドの飽和磁束密度（Ｂｓ）
は保持力の５〜６倍のオーダーであることが必要とされ
るため、６５００〜９０００ガウスとすることが要請さ
れている。従来の一般的なビデオ用磁気ヘヅドはＭ　ｎ
　−Ｚ　ｎフェライトの磁気コアで構成されているがそ
の飽和磁束密度は５５００ガウス程度であり、上記記録
媒体いわゆるメタルテープに対する磁気ヘッドとして適
当でない。

そこで、飽和磁束密度の大きい（７０００〜９０００ガ
ウス］金属磁性材料たとえばＦｅ−Ａｌ５　ｌ　系合金
ｌセンダストノ、アモルファス磁性合金等を磁気コアと
して利用する磁気ヘッド（以下、メタルヘッドという）
の開発が進められていて、種々のものが提案されている
。第１図は従来の代表的なメタルへづドの構成斜視図を
示すものである。又、第２図はこのメタルヘッドを要素
毎ζ丁１分解して示す斜視図である。記録トラック幅を
決定するコア（１）の厚み［ｔｌは１０〜４０／Ｉと薄
く、そ几だけでは対テープ走行時の機械強度を保障する
ことができないのでそｎを保障する意味でこのコアの両
側から非磁性相（例えばガラス）の補強体（２）でチン
ドイツチする構成としている。ここで、コア（１）はコ
ア半体（１１）（１２を衝き合わせて構成されており、
両コア半休（１１）（１２１の接合は対向面間に配備し
た結合材（銀ロウ）　（１３１（１４）（ｌ（へ）によ
って行なっている。

尚、符号ｔｔｅａ７）はそれぞれフロントギャップ、パ
ブクギャブブを示している。

金属磁性材料と鈑ロウのぬｒＬ性の悪さｇ二よって、コ
ア（１）のフロン！・ギャップ（１υに瞬接する結合材
（１３）によるコア半休的１（ｌａの結合を、フロント
ギャップ部におりる磁気特性を劣化させずに実行するこ
とは難しい。２つのコア半休１１！Ｑ２１のコイル窓（
１（至）に第６図（−示す如く配した銀ロウ（１！Ｊ）
を、この銀ロウの液相点よりかなり四い温度で加熱する
と、第４図に示す如く両コア半休ｆｕｌ１２の接合を一
１能にすることができるが各コア半休の組織（ハ）に銀
ロウの拡散層（２）をも同時に形成してしまい該当部に
おける磁気４台性を劣化させるし、一方上記液相点近傍
の作業温度に設定すると第５図に示す如く両コア半体住
］）（ｔｚを接合することができないおそｎがあるから
である。

ところで上記拡散層ｃｏの発生傾向を詳細（二調べると
、コイル窓ａ８１を作るためカッター刃（二よって加工
を施した表面（１８ａ）ｌ二隣接する組織内にはかかる
加工を施こしていない表面（１８ｂ）に隣接する組織内
Ｃ二比べて極めて大きい４ｉ＊　ｉＪＪ　ｌ二ゎたつて
拡散層が発生していることが判明した。第６図はコイル
窓のフロントギャップエンド付近の部分な定食型電子顕
微鏡で観察される状態を写真撮影したものの模式図であ
り、日い斑点で示される拡散域が上述の如く形成されて
いる様子が良くわかる。

この現象はカッター刃による加工時（二加工変質屑が被
加工面近傍の組織内に付与され、それが上記銀ロウ≦二
よる結合時Ｃ二鎖ロウ成分を組織内部に積極的Ｃ二導入
するよう≦二作用するため（二生すると解釈される。尚
、かかる拡散層の存在はその部分における磁気抵抗の増
加をもたらし、再生出力特性の劣化を招来し好ましいも
のではない。

し１　発明の目的 本発明は金属磁性材料の結合材による結合時に生ずる傾
向にある拡散層を抑制し再生出力特性の秀れた磁気〜ラ
ドの製造方法を提供しようとするものである。

に）発明の構成 本発明は金属磁性材料の加工変質層が結合材の組織内部
への浸透（拡散層の形成月二深く関与する点≦二留意し
て、カッター刃Ｃ二よる溝加工氏の祠１に熱処理を嵐こ
し加工変質層の低減た。いし除去を行なう工程を含むこ
とをね徴とするイ）のである。

（ホ）実施例 第７因〜第１５図は本発明の各」二ね−の説ヴー６−供
するもので、以下これらの図面を６弯に１−て木実施例
を説明する。

第７図は螢１馬処性杓利たる１”　ｅ　　Ａ　］、　　
Ｓ　ｌ系合金（２１，下センダストという）製のコアウ
ェハを示し、このコアウェハ（：Ｂの一面（３０ａＪ上
に、磁気ヘッドの完成時にコイル窓（第１６図（９２１
診照〕となる第１条溝Ｇ１１ｌと、）ζ１１合材ンプに
でん−４６ための第２条溝６２とを開設している。各条
７ｉ？ｊ　Ｊ〕Ｉｊｌｎ設は粒径数１０．＋１のボラゾ
ン或いはダイーＸｌセンド砥石を用いて行なわＴＬ１通
′１１イ被加工而には本来の組織構成と異なるいわゆる
加工反實層叩が形成される。

このコアウェハい（ｊはこの加上変アｌ）小仰ン低減な
いし除去するために熱処）ＩＩ！さ几／）。熱処理」１
条件は真空あるいは水素雰しＩ」気中で、８００　’Ｃ
・−・１３００℃、６０分間〜２時間の範囲で、低温長
時間或いは高温短時間の組み合せで良い結果が得られて
いる。第８図は、この熱処理工程後のコアウエノ１を示
しており、第７図中で示されている加工変質層（ト）が
除去されている。このコアウエノ１圓の１面ｔ５０ａ）
はその後鏡面（：研磨加工され、上記各条溝の開設時（
二相ずる可能性があるはり（ロ縁≦二出来る隆起］など
を除去すると共Ｃ二結合すべき相手方のコアウエノ１と
の位置関係の精度を良くするよう（ニしている。従いこ
の他方のコアウエノ１□□□（第９図月１付いてもその
対向面Ｌ５０ａ）を同様（二鏡面（二研磨加工するよう
≦二している。

次（二、ギャツプ長を規定するためにコアウニ／Ｘ（７
）のフロントギャップ構成面上に８１０２等のスペーサ
膜…を蒸着法によって付設する。この場合、余分のスペ
ーサ膜Ｌ６０ａ）が第１条溝６Ｍの溝表面（二組１０図
Ｃ二示す如く付着さ几る。このスペーサ膜は次の結合工
程における結合材とのぬれ性が悪くフロントギャップの
デプスエンド（第１条溝との境界部分］近傍の溝面Ｃお
ける結合材の付設を妨げるようｔ二作用するので、図中
の破線剖−沿ってこの余分のスペーサ膜を除去すると共
（ニデブスエンドを規定する。

両コアウェハ（至）６ｊは結合材である銀ロウＣ二よっ
て結合さｎる訳であるが、その銀ロウは接合（＝先立ち
第１条溝Ｃ句の溝表面上（１弟１１図に示す如く層ヴα
状に形成されかつ第２条溝（２）内（二図示（７Ｉ］の
如くいっばい（＝充てんされる。その後、両コアウェハ
を所定圧力で衝き合わせ銀ロウＣ二より第１２図≦二示
す如く結合する。銀ロウの金属磁性材料（二対するぬれ
性の悪さを補完するため（二鎖ロウを付設すべき個所Ｃ
二鎖等の貴金属の薄膜（図示省略］を蒸着するようにし
ても良い。コアウエノ１００団ン一体化してなるブロッ
ク（第１２図）はテープ当接面（二ついて整形し、トラ
ック幅Ｃ二相当する厚さ（−スライシング及び厚み研磨
を施こし第１３図（二示すコアを製造し、さらに従来例
と同じくそのコアの両側から１組の補強体をサンドイッ
チして第１図（＝示すものと類似の磁気ヘッドを製造す
る。

ここで、コア（８０）　ｌ二はそのフロントギャップ１
８１）直下のコイル窓（８４内（二鎖ロウ材瞥が付設さ
れ、この銀ロウ材■がコア半体（８０ａ）（８０ｂ）の
結合≦二関与するので、フロントギャップが開いたり或
いはずれたりするのを防止することができる。

（へ）発明の効果 本発明はコアウェハにコイル窓となる条溝な開設する際
に付与される加工変質層を熱処理で低減あるいは除去す
るようＣ二しているので、１組のコアウェハの結合に供
するロウ材がコアウエノ）の組織内に浸透する拡散層の
ひろがりを防止することができる。第１４図は第１６図
中のフロントギヤツプのデプスエンド付近を走査型電子
顕微鏡で観察したものの模型図である。

本発明方法を適用してなる磁気ヘッドでは熱処理を施こ
さない従来例（第６図の模型図参照月二比べて拡散層が
殆んど認められない程度６二抑制されている。第１５図
は各種ヘッドの再生出力特性を比較して示すものであり
、特性Ａは本発明（二なるもの、特性Ｂは熱処理工程を
もたないことを除き本発明のものと同じ構成のもの、特
性Ｃはフロントギャップ直下（−結合材をもたない構成
のものである。特性Ａは特性Ｂ≦二比べて全周波数域で
改善されており、又特性Ｃ≦二比べて低域（二おいてわ
ずか（二出力低下が認められるだけである。尚、本発明
になる磁気ヘッドは特性Ｃを示す従来の磁気ヘッドに比
べてフロントギャップ部の機械強度を極めて大きくでき
製造歩留まりを向上できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は一般のメタルヘッドの構成斜視図、第２図は同
メタルヘッドの要素を分解して示す斜視図、第３図、第
４図、＠５図は銀ロウ溶着θヨの説明図、第６図は第１
図のメタルヘッドのフロントギャプ直下部分のＳＥＭ（
走査型電子ｗ４微鏡〕による像の模型図である。第７図
〜第１５図は未発明方法の説明Ｃ１供するもので、第７
図はコアウェハの構成斜視図、第８図は熱処理工程後の
このコアウェハの構成斜視図、第９図は他方のコアウェ
ハの構成斜視図、第１０図はスペーサ膜を付設した一方
のコアウェハの側面図、第１１図は一方のコアウェハ（
１結合材を付設した様子を示す側面図、第１２図は両ウ
ニ）ｚを合体した様子を示す斜視図、第１３図は１つの
コアの構成斜視図、第１４図は第１６図のコアのフロン
トギャップ直下のＳＥＭによる像の模型図、第１５図は
各種磁気ヘッドの再生出力特性図である。 主７よ図番の説明 側…・・・コアウェハ、　Ｓυ（２）・・・条溝、　ヴ
α（７ト結合（ロウノ祠 第１４図 １８ 第０図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）金属磁性材料よりなる１組のコアウニへの少なく
   とも一方のコアウニ八にコイル窓となる条溝な開設する
   工程と、この条溝な持つコアウニ八（二付いて熱処理を
   施こす工程と、その後、両コアウニへをロウ材で接合す
   る工程を含む磁気ヘッドの製造方法。
2. （２）熱処理工程は真空中あるいは水素雰囲気中で、８
   ００−０〜１５００’Ｃ，０，５〜２時間実行してなる
   特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッドの製造方法。
3. （３）前記熱処理工程と前記接せ工程の間（二、両コア
   ウェハの突き合せ面を鏡面に加工する工程と、フロント
   ギャップ構成面にスペーサ膜を付設する工程を含む特許
   請求の範囲第（２）項記載の磁気ヘッドの製造方法。
4. （４）前記付設工程の後Ｃ二、前記各溝の内壁に付着さ
   ｎた余分のスペーサ膜を除去する工程を含む特許請求の
   範囲第（３）項記載の磁気〜ラドの製造方法。