JPS59206693A - 無潤滑型ベ−ン式バキユ−ムポンプ - Google Patents
無潤滑型ベ−ン式バキユ−ムポンプInfo
- Publication number
- JPS59206693A JPS59206693A JP58079887A JP7988783A JPS59206693A JP S59206693 A JPS59206693 A JP S59206693A JP 58079887 A JP58079887 A JP 58079887A JP 7988783 A JP7988783 A JP 7988783A JP S59206693 A JPS59206693 A JP S59206693A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- pump
- casing
- ring
- ceramic
- Prior art date
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- Granted
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
- F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
- F04C18/344—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
- F04C18/3441—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member the inner and outer member being in contact along one line or continuous surface substantially parallel to the axis of rotation
- F04C18/3442—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member the inner and outer member being in contact along one line or continuous surface substantially parallel to the axis of rotation the surfaces of the inner and outer member, forming the inlet and outlet opening
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
- F01C21/00—Component parts, details or accessories not provided for in groups F01C1/00 - F01C20/00
- F01C21/10—Outer members for co-operation with rotary pistons; Casings
- F01C21/104—Stators; Members defining the outer boundaries of the working chamber
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05C—INDEXING SCHEME RELATING TO MATERIALS, MATERIAL PROPERTIES OR MATERIAL CHARACTERISTICS FOR MACHINES, ENGINES OR PUMPS OTHER THAN NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES
- F05C2203/00—Non-metallic inorganic materials
- F05C2203/08—Ceramics; Oxides
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Rotary Pumps (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
る倍力装置において、真空を発生するために用いられる
無潤滑型ベーン式バキー−ムボンプに関するものである
。
無潤滑型ベーン式バキー−ムボンプに関するものである
。
従来周知のベーン式パキーームポンプでは、ポンプの自
己発熱を車両側よシ給油されるエンジンオイルによって
冷却していた。この給油方式を廃止し、ポンプの無給油
化を図ることにより、給油配管及び吐出配管が不要とな
り、車両でのオイル洩れがなくなるため、安全性が向上
すると共に、省スペース化、及び省エネルギー化を図る
ことができる。したがって、無潤滑型のバキー−ムポン
プの出現が従来において要望されていた。
己発熱を車両側よシ給油されるエンジンオイルによって
冷却していた。この給油方式を廃止し、ポンプの無給油
化を図ることにより、給油配管及び吐出配管が不要とな
り、車両でのオイル洩れがなくなるため、安全性が向上
すると共に、省スペース化、及び省エネルギー化を図る
ことができる。したがって、無潤滑型のバキー−ムポン
プの出現が従来において要望されていた。
本発明の目的は、上記した従来の要望に応えるべく、耐
熱性があり、しかも無給油の、高温度にて焼き付きのな
いセラミック化した無潤滑型ベーン式バキーームボンプ
を提供することにある。
熱性があり、しかも無給油の、高温度にて焼き付きのな
いセラミック化した無潤滑型ベーン式バキーームボンプ
を提供することにある。
しかして、本発明者は上記目的達成のため第１図および
第２図に示す構造のバキーームポンプを案出し、セラミ
ック製のセラミックプレート９゜１１及びセラミックリ
ングＩＯをポンプ内面に装着して検討を進めてきたが、
ポンプケーシング１３の内周面１８に、セラミックリン
グ１０を締代を大きくしてホットインサートすると、セ
ラミックリング１０にクラックが入り、割れに発展する
という問題が生じた。一方、締代を小さくすると、セラ
ミックリングｌＯがポンプ運転時に回動し、リングＩＯ
に明けられた吸入口穴及び吐出口穴の位置がケーシング
１３の空気吸入口１６及び吐出口１７か６らずれ、性能
不良となるという不具合が発生した。この原因は、第一
にはセラミックの熱膨張率が、ポンプケーシング１３の
材料である鉄鋳物に対して約三分の−であり、ポンプ運
転によって各部品が高温になると、ケーシング１３とセ
ラミックリングＩＯとの径方向の隙間が増加することに
ある。壕だ、第二には、ポンプ内部の負圧で、高温によ
り流動性を持ったポールベアリング５のグリースがポン
プ内部に引き込まれるので、そのグリースが摩擦熱で次
化し、ブレード１４の摺動抵抗が増加してセラミックリ
ングｌＯが回動することにあると判明した。セラミック
リングｌＯの割れについては、ポンプが停止すると放熱
性の良いケーシング１３がセラミックリング１０より早
く縮まシ、膨張した状態にあるリング１０が急激に外圧
を受ける為に、亀裂が入るという現象が明らかとなった
。セラミック製のリングｌＯを嵌め合い方式によって固
定することは非常に困難である。
第２図に示す構造のバキーームポンプを案出し、セラミ
ック製のセラミックプレート９゜１１及びセラミックリ
ングＩＯをポンプ内面に装着して検討を進めてきたが、
ポンプケーシング１３の内周面１８に、セラミックリン
グ１０を締代を大きくしてホットインサートすると、セ
ラミックリング１０にクラックが入り、割れに発展する
という問題が生じた。一方、締代を小さくすると、セラ
ミックリングｌＯがポンプ運転時に回動し、リングＩＯ
に明けられた吸入口穴及び吐出口穴の位置がケーシング
１３の空気吸入口１６及び吐出口１７か６らずれ、性能
不良となるという不具合が発生した。この原因は、第一
にはセラミックの熱膨張率が、ポンプケーシング１３の
材料である鉄鋳物に対して約三分の−であり、ポンプ運
転によって各部品が高温になると、ケーシング１３とセ
ラミックリングＩＯとの径方向の隙間が増加することに
ある。壕だ、第二には、ポンプ内部の負圧で、高温によ
り流動性を持ったポールベアリング５のグリースがポン
プ内部に引き込まれるので、そのグリースが摩擦熱で次
化し、ブレード１４の摺動抵抗が増加してセラミックリ
ングｌＯが回動することにあると判明した。セラミック
リングｌＯの割れについては、ポンプが停止すると放熱
性の良いケーシング１３がセラミックリング１０より早
く縮まシ、膨張した状態にあるリング１０が急激に外圧
を受ける為に、亀裂が入るという現象が明らかとなった
。セラミック製のリングｌＯを嵌め合い方式によって固
定することは非常に困難である。
そこで、本発明は、以下に説明する構成によシ、ケーシ
ング１３に対するセラミックリッツ１０Ｑ回動（ずれ）
を防止し、かつ七ラミックリング１０ニひびが発生する
のを防止し、上記の目的を達成したものである。
ング１３に対するセラミックリッツ１０Ｑ回動（ずれ）
を防止し、かつ七ラミックリング１０ニひびが発生する
のを防止し、上記の目的を達成したものである。
以下、図面に示す一実施例について本発明の構成を作動
と共に説明する。
と共に説明する。
第１図及び第２図において、ｌはベルトによってプーリ
４を介して駆動されるシャフト、２はナツト、３はスプ
リングワッシャである。１２は、シャフト１とインポリ
ーートスグラインによって嵌合されるロータであシ１．
そのロータ１２にブレード挿入溝２１が複数個（第２図
図示では４個）設けられ、このｇ２１には、７ ルミ−
Ｊ−（Ａｊｌ！ ２０ｇ ） ｊ［ノセラミックグレー
ド１４が挿入されている。このブレード１４は、板状を
なしておシ、角部を欠は防止の：Ｉっｄ白Ｍ夕、り ため全て面取シし、その先端讐牛尋部に固体潤滑剤を含
浸させである。ロータ１２の両端面側には円板状をなし
、かつ窒化硅素（Ｓ：Ｌｓｌｌ ）よシなるセラミック
プレート９．１１が当接され、また、ポンプケーシング
１３の内周面１８には、環状をなしたところの、窒化硅
素製のセラミックリングｌＯが欧め込まれている。ドラ
イブ側フレーム８には、ポールベアリング５、及び無潤
滑軸受（オイルレヌベアリング）６が嵌め込まれ、ベル
ト荷重を受けている。ポールベアリング５と無潤滑軸受
６との間を外部につなぐ空気導入ロアが、フレーム８に
設けられている。なお、加は位置決めピンである９半径
方向に飛ばされ、セラミックリング１０の内壁に沿って
回転し、空気吸入口１６よシ図示していない車両側のタ
ンク内の空気を吸入し、吐出口１７よシ空気を吐出する
ことによシタンク内を真空にする。ポンプの発熱によっ
て粘度の低下したボールベアリング５内のグリースは、
ベアリング５両端にで大気とポンプ内部の負圧との圧力
差によシ、ポンプ内部へ流出しようとするが、ボールベ
アリング５と無ホ゛」滑軸受６との間に空気導入ロアを
設けることにより、ベアリング５の左右は同等の圧力と
なシ、ポンプ内部にグリースが浸入するのを防ぐ働きを
する。この際、空気導入口１６よりポンプ内部に入る空
気は導入口性径の設定値が１龍〜３岨と小さいこと（ポ
ンプの体格によって導芯口径は異なる）、及び無潤滑軸
受６とシャツ）１との隙間が２０〜４０ｐｍと微小間隙
に設定しであることによりラビリンス効果（迷路効果）
が現われ、その量はポンプの空気吐出量に比べて極めて
少なく、ポンプ性能には何ら影響を与えることはないま
た、セラミックリングＩＯにひびが発生するのを防止す
るために、セラミックリングｌＯ外径１９とケーシング
１３の内径１８とを常温で差し込み可能な嵌め合い寸法
公差とし、回動防止のためにポンプケーシング１３の端
面よシセラミックリングＩＯの端面よシセラミックプレ
ート９の端面を飛び出させることにより、ケーシング１
３とフレーム８とを固定するための締付手段であるとこ
ろのスルーボルト１５の締め付けでセラミックリングＩ
Ｏをはさみ込み固定する方式を採用した。この方式の採
用により、リング１０にかかる外圧、換言すれば中心方
向への力は最悪の場合でも問題がない歌合寸法となって
おシ、かつ温度の上昇によってポンプケーシング１３、
及びドライブ側フレーム８の寸法が軸方向に伸びても、
これらケーシング１３とフレーム８との間に適正な隙間
を設けていることにより、セラミックリング１０はセラ
ミックプレート９，１１との面圧によシ回動することは
なり０そのうえ、セラミックリングＩＯ１及びセラミッ
クプレート９゜１１にかかるガは圧縮応力であるため、
ひび、破壊は考えられない。さらに、セラミックブレー
ド１４を使用することによシ、従来のカーボン、樹脂、
又は金属ブレード等に見られたところの、摩耗粉がポン
プ内部に蓄積されることによシ回転トルクを高めること
はなくなシ、非常にスムーズな回転が得られるものであ
る。
４を介して駆動されるシャフト、２はナツト、３はスプ
リングワッシャである。１２は、シャフト１とインポリ
ーートスグラインによって嵌合されるロータであシ１．
そのロータ１２にブレード挿入溝２１が複数個（第２図
図示では４個）設けられ、このｇ２１には、７ ルミ−
Ｊ−（Ａｊｌ！ ２０ｇ ） ｊ［ノセラミックグレー
ド１４が挿入されている。このブレード１４は、板状を
なしておシ、角部を欠は防止の：Ｉっｄ白Ｍ夕、り ため全て面取シし、その先端讐牛尋部に固体潤滑剤を含
浸させである。ロータ１２の両端面側には円板状をなし
、かつ窒化硅素（Ｓ：Ｌｓｌｌ ）よシなるセラミック
プレート９．１１が当接され、また、ポンプケーシング
１３の内周面１８には、環状をなしたところの、窒化硅
素製のセラミックリングｌＯが欧め込まれている。ドラ
イブ側フレーム８には、ポールベアリング５、及び無潤
滑軸受（オイルレヌベアリング）６が嵌め込まれ、ベル
ト荷重を受けている。ポールベアリング５と無潤滑軸受
６との間を外部につなぐ空気導入ロアが、フレーム８に
設けられている。なお、加は位置決めピンである９半径
方向に飛ばされ、セラミックリング１０の内壁に沿って
回転し、空気吸入口１６よシ図示していない車両側のタ
ンク内の空気を吸入し、吐出口１７よシ空気を吐出する
ことによシタンク内を真空にする。ポンプの発熱によっ
て粘度の低下したボールベアリング５内のグリースは、
ベアリング５両端にで大気とポンプ内部の負圧との圧力
差によシ、ポンプ内部へ流出しようとするが、ボールベ
アリング５と無ホ゛」滑軸受６との間に空気導入ロアを
設けることにより、ベアリング５の左右は同等の圧力と
なシ、ポンプ内部にグリースが浸入するのを防ぐ働きを
する。この際、空気導入口１６よりポンプ内部に入る空
気は導入口性径の設定値が１龍〜３岨と小さいこと（ポ
ンプの体格によって導芯口径は異なる）、及び無潤滑軸
受６とシャツ）１との隙間が２０〜４０ｐｍと微小間隙
に設定しであることによりラビリンス効果（迷路効果）
が現われ、その量はポンプの空気吐出量に比べて極めて
少なく、ポンプ性能には何ら影響を与えることはないま
た、セラミックリングＩＯにひびが発生するのを防止す
るために、セラミックリングｌＯ外径１９とケーシング
１３の内径１８とを常温で差し込み可能な嵌め合い寸法
公差とし、回動防止のためにポンプケーシング１３の端
面よシセラミックリングＩＯの端面よシセラミックプレ
ート９の端面を飛び出させることにより、ケーシング１
３とフレーム８とを固定するための締付手段であるとこ
ろのスルーボルト１５の締め付けでセラミックリングＩ
Ｏをはさみ込み固定する方式を採用した。この方式の採
用により、リング１０にかかる外圧、換言すれば中心方
向への力は最悪の場合でも問題がない歌合寸法となって
おシ、かつ温度の上昇によってポンプケーシング１３、
及びドライブ側フレーム８の寸法が軸方向に伸びても、
これらケーシング１３とフレーム８との間に適正な隙間
を設けていることにより、セラミックリング１０はセラ
ミックプレート９，１１との面圧によシ回動することは
なり０そのうえ、セラミックリングＩＯ１及びセラミッ
クプレート９゜１１にかかるガは圧縮応力であるため、
ひび、破壊は考えられない。さらに、セラミックブレー
ド１４を使用することによシ、従来のカーボン、樹脂、
又は金属ブレード等に見られたところの、摩耗粉がポン
プ内部に蓄積されることによシ回転トルクを高めること
はなくなシ、非常にスムーズな回転が得られるものであ
る。
なお、以上述べた実施例では、ポンプのシャフト１を回
転させるために、エンジンの回転力を１−リ４によるベ
ルト駆動によってシャフトｌに伝達しているが、シャフ
ト１の結合方法を変更追加することによシ、ポンプをエ
ンジンに直結し、シャフト１をクランクシャフトにて直
接に駆動することができる。更に、本発明ポンプは低ト
ルり型のバキーームボンプであるため、ポンプ前面にモ
ータを取９付け、とのモータの回転によって駆動するこ
とも可能である。
転させるために、エンジンの回転力を１−リ４によるベ
ルト駆動によってシャフトｌに伝達しているが、シャフ
ト１の結合方法を変更追加することによシ、ポンプをエ
ンジンに直結し、シャフト１をクランクシャフトにて直
接に駆動することができる。更に、本発明ポンプは低ト
ルり型のバキーームボンプであるため、ポンプ前面にモ
ータを取９付け、とのモータの回転によって駆動するこ
とも可能である。
以上述べたように、本発明では、ドライブ側フレームに
おけるボールベアリングとポンプ内部との間に無潤滑軸
受を設け、かつこれらベアリングと無潤滑軸受の間に外
部とつながる適当な径の空気導入口を設けているから、
ポンプ内部にグリースの内周面及び底側面にそれぞれ環
状のセラミックリング及び円板状のセラミックプレート
を装着し、またドライブ側フレームのポンプ内部軸側面
に円板状のセラミックプレートを装着し、ケーシングと
フレームの間に間隙が開くようにセラミックのリング及
び両プレートの軸方向寸法を設定して、セラミックリン
グを両プレートの間に挾み込む方式にし、かつリングと
ポンプケーシングとを常温にて差し込み可能な嵌め合す
方式にしているから、セラミックリングの回動を防止す
ることが焼き付きがなく、配管が簡単で低速から高速ま
で良好な性能を与えうる低トルク型の無潤滑型べ７ン式
バキーームポンプを提供することができるなどの数々の
優れた効果がある。
おけるボールベアリングとポンプ内部との間に無潤滑軸
受を設け、かつこれらベアリングと無潤滑軸受の間に外
部とつながる適当な径の空気導入口を設けているから、
ポンプ内部にグリースの内周面及び底側面にそれぞれ環
状のセラミックリング及び円板状のセラミックプレート
を装着し、またドライブ側フレームのポンプ内部軸側面
に円板状のセラミックプレートを装着し、ケーシングと
フレームの間に間隙が開くようにセラミックのリング及
び両プレートの軸方向寸法を設定して、セラミックリン
グを両プレートの間に挾み込む方式にし、かつリングと
ポンプケーシングとを常温にて差し込み可能な嵌め合す
方式にしているから、セラミックリングの回動を防止す
ることが焼き付きがなく、配管が簡単で低速から高速ま
で良好な性能を与えうる低トルク型の無潤滑型べ７ン式
バキーームポンプを提供することができるなどの数々の
優れた効果がある。
′ 第１図は本発明ポンプの一実施例を表わす断面図
、第２図はそのＡ−Ａ断面図である。
、第２図はそのＡ−Ａ断面図である。
Claims (3)
- （１）断面コ字形をなすボンデケーシングと、とのケー
シングの開口端に当接される盤状のドライブ側フレーム
と、このフレームに設けられたポールベアリングと、こ
のベアリングによシ前記フレームに軸支されるシャフト
と、このシャフトに結合され前記ケーシング内に偏心配
置されるロータと、このロータのブレード挿入溝に挿入
されたグレードとを備えると共に、前記ドライブ側フレ
ームにおける前記ボールベアリングとポンプ内部との間
に無潤滑軸受を設け、かうこの無潤滑軸受と前記ベアリ
ングの間に外部とつながる適当な径の空気導入口を設け
、前記シャフトと前記軸受間の微小間隙と、前記空気導
入口がラビリンス構造をなすことを特徴とする無潤滑型
べ〜、ン式バキー−ムポンデ。 - （２）前記ボンデケーシングの内周面に環状のセラミッ
クリングが装着され、前記ポンプケーシング及び前記ド
ライブ側フレームのポンプ内部側側面に円板状のセラミ
ックプレートが装着されていると共に、前記ケーシング
と前記フレームの間に間隙が開くようにこれらリングと
両プレートの軸方向寸法が設定され、前記ケーシング及
び前記フレームを締め付ける締付手段によってこれらリ
ンブト両プレートを固定させており、かつこのリングと
前記ポンプケーシングとを常温にて差込み可能な嵌め合
い方式にしたことを特徴とする第１項記載の無潤滑型ベ
ーン式バキーームボンブ′。 - （３） 前ｆブレードにセラミック製のブレードが用を
含浸させたことを特徴とする第１項記載の無潤滑型ベー
ン式パキλ−ムポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58079887A JPS59206693A (ja) | 1983-05-07 | 1983-05-07 | 無潤滑型ベ−ン式バキユ−ムポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58079887A JPS59206693A (ja) | 1983-05-07 | 1983-05-07 | 無潤滑型ベ−ン式バキユ−ムポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59206693A true JPS59206693A (ja) | 1984-11-22 |
| JPH0328596B2 JPH0328596B2 (ja) | 1991-04-19 |
Family
ID=13702768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58079887A Granted JPS59206693A (ja) | 1983-05-07 | 1983-05-07 | 無潤滑型ベ−ン式バキユ−ムポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59206693A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63277885A (ja) * | 1987-05-06 | 1988-11-15 | Kobe Steel Ltd | オイルフリ−スクリュ式真空ポンプ |
| JPH07217567A (ja) * | 1994-01-31 | 1995-08-15 | Nippondenso Co Ltd | 無潤滑真空ポンプ |
| CN1078935C (zh) * | 1997-04-23 | 2002-02-06 | 李明树 | 无油润滑节能泵 |
| JP2020105931A (ja) * | 2018-12-26 | 2020-07-09 | 株式会社デンソーウェーブ | 小型真空ポンプ、及びポンプ内蔵型ロボットハンド |
-
1983
- 1983-05-07 JP JP58079887A patent/JPS59206693A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63277885A (ja) * | 1987-05-06 | 1988-11-15 | Kobe Steel Ltd | オイルフリ−スクリュ式真空ポンプ |
| JPH0444119B2 (ja) * | 1987-05-06 | 1992-07-20 | Kobe Steel Ltd | |
| JPH07217567A (ja) * | 1994-01-31 | 1995-08-15 | Nippondenso Co Ltd | 無潤滑真空ポンプ |
| CN1078935C (zh) * | 1997-04-23 | 2002-02-06 | 李明树 | 无油润滑节能泵 |
| JP2020105931A (ja) * | 2018-12-26 | 2020-07-09 | 株式会社デンソーウェーブ | 小型真空ポンプ、及びポンプ内蔵型ロボットハンド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0328596B2 (ja) | 1991-04-19 |
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