JPH0444119B2 - - Google Patents
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- JPH0444119B2 JPH0444119B2 JP62110169A JP11016987A JPH0444119B2 JP H0444119 B2 JPH0444119 B2 JP H0444119B2 JP 62110169 A JP62110169 A JP 62110169A JP 11016987 A JP11016987 A JP 11016987A JP H0444119 B2 JPH0444119 B2 JP H0444119B2
- Authority
- JP
- Japan
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- suction port
- rotor
- oil
- discharge port
- suction
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- Expired - Lifetime
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- 239000004519 grease Substances 0.000 claims description 9
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 claims description 4
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 9
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 6
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000009461 vacuum packaging Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、例えば真空装置、真空包装、半導体
製造プロセス等に用いるスクリユ式の、特にガス
吸引部分に潤滑油を注入しないオイルフリースク
リユ式真空ポンプに関するものである。
製造プロセス等に用いるスクリユ式の、特にガス
吸引部分に潤滑油を注入しないオイルフリースク
リユ式真空ポンプに関するものである。
(従来の技術)
従来、第9図に示すオイルフリースクリユ式真
空ポンプが公知であり、両側を軸受1,2により
回転可能に支持した、互いに噛み合う雌雄一対の
スクリユロータ(以下、ロータという。)3をケ
ーシング4内の、一方が吸込口5に、他方が吐出
口6に開口したロータ室内に収納してある。ま
た、両ロータ3の吸込口5側の各軸端部には同期
歯車7が取付てあり、両歯車を互いに噛み合わさ
せるとともに、この歯車のうち一方を駆動軸8に
取付けた増速歯車9に噛み合わさせてある。
空ポンプが公知であり、両側を軸受1,2により
回転可能に支持した、互いに噛み合う雌雄一対の
スクリユロータ(以下、ロータという。)3をケ
ーシング4内の、一方が吸込口5に、他方が吐出
口6に開口したロータ室内に収納してある。ま
た、両ロータ3の吸込口5側の各軸端部には同期
歯車7が取付てあり、両歯車を互いに噛み合わさ
せるとともに、この歯車のうち一方を駆動軸8に
取付けた増速歯車9に噛み合わさせてある。
そして、駆動軸8の回転を増速して同期歯車7
に伝え、同期歯車7により両ロータ3を互いに接
触させることなく、僅かな〓間を保ちつつ、反対
方向に同期回転させて、吸込口5から吸込んだガ
スを昇圧させた後、吐出口6へ吐出するようにな
つている。
に伝え、同期歯車7により両ロータ3を互いに接
触させることなく、僅かな〓間を保ちつつ、反対
方向に同期回転させて、吸込口5から吸込んだガ
スを昇圧させた後、吐出口6へ吐出するようにな
つている。
(発明が解決しようとする問題点)
一般的に、真空ポンプの性能を示す数値の中で
最も重要なものは到着真空度である。この到着真
空度は上記第6図の例で言えば、吸込口5側の開
口部を完全に塞いで、上記真空ポンプを作動させ
た場合に、最終的に到達し得る真空度をいう。
最も重要なものは到着真空度である。この到着真
空度は上記第6図の例で言えば、吸込口5側の開
口部を完全に塞いで、上記真空ポンプを作動させ
た場合に、最終的に到達し得る真空度をいう。
ところが、上記構成からなる真空ポンプでは、
各歯車、軸受は潤滑油により潤滑され、潤滑油は
空気を伴う一方、吸込口5の部分が真空状態であ
るのに対して、吐出口6および歯車室12内は大
気圧状態にある。
各歯車、軸受は潤滑油により潤滑され、潤滑油は
空気を伴う一方、吸込口5の部分が真空状態であ
るのに対して、吐出口6および歯車室12内は大
気圧状態にある。
このため、ポンプを作動させて吸込口5側の圧
力が低下してくるとともに、破線による矢印aで
示すように吸込口5側の軸封部13から空気の漏
れと、同じく矢印bで示すようにロータ歯計間の
吐出口6側から吸込口5側への空気の漏れ返りが
増大する傾向にあり、この結果、到達真空度は悪
くなる。特に、吸込口5の部分が10-2〜
10-3Torrの真空状態になると、大気圧
(760Torr)の空気が漏れ込むと、吸込状態で約
105〜106倍の体積にまで膨張する。このため、ロ
ータ側で吸引しても吸引しきれなくなり、到達真
空度を低下させるという問題がある。
力が低下してくるとともに、破線による矢印aで
示すように吸込口5側の軸封部13から空気の漏
れと、同じく矢印bで示すようにロータ歯計間の
吐出口6側から吸込口5側への空気の漏れ返りが
増大する傾向にあり、この結果、到達真空度は悪
くなる。特に、吸込口5の部分が10-2〜
10-3Torrの真空状態になると、大気圧
(760Torr)の空気が漏れ込むと、吸込状態で約
105〜106倍の体積にまで膨張する。このため、ロ
ータ側で吸引しても吸引しきれなくなり、到達真
空度を低下させるという問題がある。
本発明は、上記2種類の空気洩れのうちの軸封
部13からの空気漏れを無くすことを目的とする
ものである。
部13からの空気漏れを無くすことを目的とする
ものである。
(問題点を解決するための手段)
上記従来の問題点を解決するために、本発明
は、適宜軸受を介して回転可能に支持した互いに
噛み合う雌雄一対のスクリユロータを、一方が吸
込口に、他方が吐出口に開口したロータ室内に収
納したオイルフリースクリユ式真空ポンプにおい
て、上記両ロータを吐出口側のロータ軸にて駆動
可能に支持するとともに、吸込口側の軸受を吸込
流路中に設け、かつ吸込口側の両ロータ軸の軸受
の潤滑剤を所望の到達真空度より低い蒸気圧のグ
リースとして形成した。
は、適宜軸受を介して回転可能に支持した互いに
噛み合う雌雄一対のスクリユロータを、一方が吸
込口に、他方が吐出口に開口したロータ室内に収
納したオイルフリースクリユ式真空ポンプにおい
て、上記両ロータを吐出口側のロータ軸にて駆動
可能に支持するとともに、吸込口側の軸受を吸込
流路中に設け、かつ吸込口側の両ロータ軸の軸受
の潤滑剤を所望の到達真空度より低い蒸気圧のグ
リースとして形成した。
(実施例)
次に、本発明の一実施例を図面にしたがつて説
明する。
明する。
第1図、第2図は、本発明の第1実施例に係る
オイルフリースクリユ式真空ポンプを示す。
オイルフリースクリユ式真空ポンプを示す。
この真空ポンプは、上記同様両側を軸受1,2
により回転可能に支持した互いに噛み合う雌雄一
対のロータ3を、ケーシング4内の、一方が吸込
口5に、他方が吐出口6に開口したロータ室内に
収納してある。
により回転可能に支持した互いに噛み合う雌雄一
対のロータ3を、ケーシング4内の、一方が吸込
口5に、他方が吐出口6に開口したロータ室内に
収納してある。
しかし、本実施例では両ロータ3の吐出口6側
の各軸端部に同期歯車7を取付け、両歯車を噛み
合わさせるとともに、そのうちの一方を駆動軸8
に取付けた増速歯車9に噛み合わされて、両ロー
タ3を吐出側駆動として形成してある。このよう
に、空気洩れを招く外部からロータ3の軸への駆
動力導入部分を吐出口6側に設けることにより、
吸込口5側の軸受1の部分には大気に通じる〓間
を完全に無くす構造となつている。
の各軸端部に同期歯車7を取付け、両歯車を噛み
合わさせるとともに、そのうちの一方を駆動軸8
に取付けた増速歯車9に噛み合わされて、両ロー
タ3を吐出側駆動として形成してある。このよう
に、空気洩れを招く外部からロータ3の軸への駆
動力導入部分を吐出口6側に設けることにより、
吸込口5側の軸受1の部分には大気に通じる〓間
を完全に無くす構造となつている。
また、本実施例では、吸込口5側の両ロータ軸
の軸受1には、潤滑用として所望の到達真空度よ
り低い蒸気圧、例えば到達真空度を10-3Torrに
したい場合には、これより低い蒸気圧のグリース
10を封入するとともに、軸受1を吸込流路11
中に設けて、この周囲の空気流により、軸受1部
分、すなわちグリース10を冷却してグリース1
0の劣化防止を図つている。
の軸受1には、潤滑用として所望の到達真空度よ
り低い蒸気圧、例えば到達真空度を10-3Torrに
したい場合には、これより低い蒸気圧のグリース
10を封入するとともに、軸受1を吸込流路11
中に設けて、この周囲の空気流により、軸受1部
分、すなわちグリース10を冷却してグリース1
0の劣化防止を図つている。
そして、このように吸込口5側の軸受1の潤滑
剤として、定位置で長時間一定形状を保持できる
グリース10を用いることにより空気漏れが生じ
ないようにしてある。すなわち、液体であるゆえ
に絶えず流動させた状態で使用し、外部から供給
する必要があり、このため空気を伴い易い潤滑油
の使用を一切無くしてある。
剤として、定位置で長時間一定形状を保持できる
グリース10を用いることにより空気漏れが生じ
ないようにしてある。すなわち、液体であるゆえ
に絶えず流動させた状態で使用し、外部から供給
する必要があり、このため空気を伴い易い潤滑油
の使用を一切無くしてある。
なお、吐出口6側の軸受2、同期歯車7、増速
歯車9は、例えば歯車室12の下部に溜めた潤滑
油を適宜方法により上方に導き、吹き掛けること
により潤滑され、通常、この潤滑油には空気が混
入している。しかし、吐出口6、歯車室12のい
ずれも大気圧状態にあるので、潤滑油に混入した
空気が軸受2を通つて反対速へ漏れ出してゆくこ
とは問題にはならない。
歯車9は、例えば歯車室12の下部に溜めた潤滑
油を適宜方法により上方に導き、吹き掛けること
により潤滑され、通常、この潤滑油には空気が混
入している。しかし、吐出口6、歯車室12のい
ずれも大気圧状態にあるので、潤滑油に混入した
空気が軸受2を通つて反対速へ漏れ出してゆくこ
とは問題にはならない。
第3図は、本発明の第2実施例を示し、吐出側
駆動にした点および吸込口側軸受部を上記所定の
グリース封入とした点については第1実施例と共
通で、互いに対応する部分には同一番号を付して
説明を省略する(以下の各実施例においても同様
に重複説明は省略する。)。
駆動にした点および吸込口側軸受部を上記所定の
グリース封入とした点については第1実施例と共
通で、互いに対応する部分には同一番号を付して
説明を省略する(以下の各実施例においても同様
に重複説明は省略する。)。
しかし、第1実施例と異なり本実施例ではロー
タ3を立方向に配置し、歯車を介さずに直接ロー
タ軸16を下方に配置した高周波フランジモータ
(高周波電圧を印加して回転させるモータをい
う。)17の出力軸18に直結した立形構造にす
るとともに、モータケーシング19を油タンクと
しても兼用し、その下部に潤滑油を溜めるように
形成してある。すなわち、破線による矢印cで示
すように、ロータ軸16の軸受2の部分に供給し
た潤滑油をモータ17のロータとステータの間か
らおよびステータに貫通した孔から下方の油溜め
部分へ導き、モータ17を冷却の行うようにして
ある。
タ3を立方向に配置し、歯車を介さずに直接ロー
タ軸16を下方に配置した高周波フランジモータ
(高周波電圧を印加して回転させるモータをい
う。)17の出力軸18に直結した立形構造にす
るとともに、モータケーシング19を油タンクと
しても兼用し、その下部に潤滑油を溜めるように
形成してある。すなわち、破線による矢印cで示
すように、ロータ軸16の軸受2の部分に供給し
た潤滑油をモータ17のロータとステータの間か
らおよびステータに貫通した孔から下方の油溜め
部分へ導き、モータ17を冷却の行うようにして
ある。
また、ロータ軸16とモータ17の出力軸18
との間に一切歯車を介在させていないこと、およ
び立形としてモータケーシング19を油タンクと
して兼用したことにより装置全体を小形化してあ
る。
との間に一切歯車を介在させていないこと、およ
び立形としてモータケーシング19を油タンクと
して兼用したことにより装置全体を小形化してあ
る。
なお、第3図中20,21はポンプ本体用、モ
ータ用水冷ジヤケツトを示す。
ータ用水冷ジヤケツトを示す。
第4図は、本発明の第3実施例を示し、第2実
施例とは、ロータ軸16とモータ17の出力軸1
8との結合部および出力軸18の支持部が異なる
点を除き、他は実質的に同一である。
施例とは、ロータ軸16とモータ17の出力軸1
8との結合部および出力軸18の支持部が異なる
点を除き、他は実質的に同一である。
すなわち、この第3実施例では、一方のロータ
軸16に軸側スプライン24と出力軸18にボス
側スプライン25を形成して両者を嵌合させ、互
いに軸方向の動きを拘束することなく、一体回転
可能に形成してある。また、出力軸18はロータ
軸16と軸方向すなわち立方向に自由に分離でき
る状態にしてあるので、モータ17側にて独自に
軸受26,27を設けて出力軸18を定位置にて
回転可能に支持してある。
軸16に軸側スプライン24と出力軸18にボス
側スプライン25を形成して両者を嵌合させ、互
いに軸方向の動きを拘束することなく、一体回転
可能に形成してある。また、出力軸18はロータ
軸16と軸方向すなわち立方向に自由に分離でき
る状態にしてあるので、モータ17側にて独自に
軸受26,27を設けて出力軸18を定位置にて
回転可能に支持してある。
このように、ロータ軸16と出力軸18とをス
プライン嵌合させて、自由に分離可能にできるよ
うにして、製造時、メインテナンス時等の取扱い
を容易にしてある。
プライン嵌合させて、自由に分離可能にできるよ
うにして、製造時、メインテナンス時等の取扱い
を容易にしてある。
第5図は、本発明の第4実施例を示し、第3実
施例とはロータ3およびモータ17の方向および
油タンク部分の位置を除いて他は実質的に同一で
ある。
施例とはロータ3およびモータ17の方向および
油タンク部分の位置を除いて他は実質的に同一で
ある。
すなわち、この第4実施例では、ロータ3およ
びモータ17を横方向に配置した横形構造にする
とともに、両者の中間部に油タンク30を設けた
ものであり、油タンク30のケーシングの両側に
ロータ3のケーシング部分およびモータ17を取
付けて形成してある。
びモータ17を横方向に配置した横形構造にする
とともに、両者の中間部に油タンク30を設けた
ものであり、油タンク30のケーシングの両側に
ロータ3のケーシング部分およびモータ17を取
付けて形成してある。
(発明を効果)
以上の説明より明らかなように、本発明によれ
ば、両ロータを吐出口側のロータ軸にて駆動可能
に支持するとともに、吸込口側の軸受を吸込流路
中に設け、かつ吸込口側の両ロータ軸の軸受の潤
滑剤を所望の到達真空度より低い蒸気圧のグリー
スとして形成してある。
ば、両ロータを吐出口側のロータ軸にて駆動可能
に支持するとともに、吸込口側の軸受を吸込流路
中に設け、かつ吸込口側の両ロータ軸の軸受の潤
滑剤を所望の到達真空度より低い蒸気圧のグリー
スとして形成してある。
このため、実機テストによつて確認済みである
ように、吸込口部分は外部から遮断され、特に吸
込口側の軸受軸封部からの空気の漏れ込みはなく
なり、到達真空度の向上が可能になるという効果
を奏する。
ように、吸込口部分は外部から遮断され、特に吸
込口側の軸受軸封部からの空気の漏れ込みはなく
なり、到達真空度の向上が可能になるという効果
を奏する。
第1図は本発明の第1実施例に係るオイルフリ
ースクリユ式真空ポンプの断面図、第2図は第1
図の吸込口側軸受部分の部分拡大断面図、第3図
〜第5図は本発明の第2〜第4実施例に係るオイ
ルフリースクリユ式真空ポンプの断面図、第6図
は従来のオイルフリースクリユ式真空ポンプの断
面図である。 1,2……軸受、3……ロータ(スクリユロー
タ)、5……吸込口、6……吐出口、10……グ
リース。
ースクリユ式真空ポンプの断面図、第2図は第1
図の吸込口側軸受部分の部分拡大断面図、第3図
〜第5図は本発明の第2〜第4実施例に係るオイ
ルフリースクリユ式真空ポンプの断面図、第6図
は従来のオイルフリースクリユ式真空ポンプの断
面図である。 1,2……軸受、3……ロータ(スクリユロー
タ)、5……吸込口、6……吐出口、10……グ
リース。
Claims (1)
- 1 適宜軸受を介して回転可能に支持した互いに
噛み合う雌雄一対のスクリユロータを、一方が吸
込口に、他方が吐出口に開口したロータ室内に収
納したオイルフリースクリユ式真空ポンプにおい
て、上記両ロータを吐出口側のロータ軸にて駆動
可能に支持するとともに、吸込口側の軸受を吸込
流路中に設け、かつ吸込口側の両ロータ軸の軸受
の潤滑剤を所望の到達真空度より低い蒸気圧のグ
リースとしたことを特徴とするオイルフリースク
リユ式真空ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11016987A JPS63277885A (ja) | 1987-05-06 | 1987-05-06 | オイルフリ−スクリュ式真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11016987A JPS63277885A (ja) | 1987-05-06 | 1987-05-06 | オイルフリ−スクリュ式真空ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63277885A JPS63277885A (ja) | 1988-11-15 |
JPH0444119B2 true JPH0444119B2 (ja) | 1992-07-20 |
Family
ID=14528798
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11016987A Granted JPS63277885A (ja) | 1987-05-06 | 1987-05-06 | オイルフリ−スクリュ式真空ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63277885A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2812040B1 (fr) * | 2000-07-18 | 2003-02-07 | Cit Alcatel | Carter monobloc pour pompe a vide |
CN104373348A (zh) * | 2014-06-13 | 2015-02-25 | 扬州日上真空设备有限公司 | 一种新型双螺杆真空泵 |
WO2023128798A1 (ru) * | 2021-12-29 | 2023-07-06 | Алексей Михайлович ОРЁЛ | Роторный насос (варианты) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59206693A (ja) * | 1983-05-07 | 1984-11-22 | Nippon Denso Co Ltd | 無潤滑型ベ−ン式バキユ−ムポンプ |
JPS60259791A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-21 | Hitachi Ltd | オイルフリ−スクリユ−真空ポンプ |
-
1987
- 1987-05-06 JP JP11016987A patent/JPS63277885A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59206693A (ja) * | 1983-05-07 | 1984-11-22 | Nippon Denso Co Ltd | 無潤滑型ベ−ン式バキユ−ムポンプ |
JPS60259791A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-21 | Hitachi Ltd | オイルフリ−スクリユ−真空ポンプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS63277885A (ja) | 1988-11-15 |
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