JPS59204443A - モータ装置 - Google Patents
モータ装置Info
- Publication number
- JPS59204443A JPS59204443A JP7758883A JP7758883A JPS59204443A JP S59204443 A JPS59204443 A JP S59204443A JP 7758883 A JP7758883 A JP 7758883A JP 7758883 A JP7758883 A JP 7758883A JP S59204443 A JPS59204443 A JP S59204443A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- permanent magnet
- electromagnet
- magnet
- shaft
- sleeve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
- H02K7/08—Structural association with bearings
- H02K7/09—Structural association with bearings with magnetic bearings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、レーザビームプリンク用のスキャナ、複写
機、ビデオ、ディスクなどに用いるに適した情報記録装
置に関するものである。
機、ビデオ、ディスクなどに用いるに適した情報記録装
置に関するものである。
近時レーザビームプリンタなど情報記録装置の駆動部に
用いる高速モータにおいて、さらに高い安定性、長寿命
、高い横倒れ精度、低回転ムラないしはメンテナンスの
容易性などをもとめて、動圧軸受を使用するものが利用
されるようになってきている。
用いる高速モータにおいて、さらに高い安定性、長寿命
、高い横倒れ精度、低回転ムラないしはメンテナンスの
容易性などをもとめて、動圧軸受を使用するものが利用
されるようになってきている。
第１図はこのようなモータをレーザビームプリンクの光
束走査機構に用いた場合における要部の概略を示すもの
であって、１／−ザユニツｌ−Ｔ−ＩＪ カら投影され
る信号変調されたレーサヒームは、モータＭの回転軸に
取着されたポリゴンミラーＰＭの鏡面によって振られ、
この光束はレンズ系りを経て、光導電層をもうけた回転
感光ドラムＤの表面を走査して潜像を形成し、この潜像
は、たとえば周知の電子写真複写手段と同様の画像形成
手段でシート状材に転写固定されてコピーが得られるも
の吉する。
束走査機構に用いた場合における要部の概略を示すもの
であって、１／−ザユニツｌ−Ｔ−ＩＪ カら投影され
る信号変調されたレーサヒームは、モータＭの回転軸に
取着されたポリゴンミラーＰＭの鏡面によって振られ、
この光束はレンズ系りを経て、光導電層をもうけた回転
感光ドラムＤの表面を走査して潜像を形成し、この潜像
は、たとえば周知の電子写真複写手段と同様の画像形成
手段でシート状材に転写固定されてコピーが得られるも
の吉する。
このような装置においては、ポリゴンミラーを高速、高
精度で回転させるとともに、長寿命、メンテナンスも容
易なモータが要請され、これに応するために動圧軸受を
使用したものが利用されるようになりつつある。
精度で回転させるとともに、長寿命、メンテナンスも容
易なモータが要請され、これに応するために動圧軸受を
使用したものが利用されるようになりつつある。
第２図は上記のようなスキャナに用いる回転１駆動装置
の一例であって、モータの回転軸端にポリゴンミラーを
取着して構成してあり、以下その構成について略述する
。
の一例であって、モータの回転軸端にポリゴンミラーを
取着して構成してあり、以下その構成について略述する
。
有底のケーシング３の底部には、外面にスーパイラル状
、・＼リンホーン状などの条溝を多数刻設した輔１か田
植してあり、前記ケーノング内部にはステークたる電機
子コイル６が取着してあり、前記軸１ｊには、これと通
常数ミクロン８度の間隙を存してスリーブ２か遊嵌しで
ある。スリーブ２の外周にはロータたる永久磁石７が前
記コイル６と対向間されており、さらに該スリーブ２の
一端は図示上方に突出してこの部分にポリゴンミラー５
が固定され、さらにスリーブ上端内側にはスラスト受は
部材８が取り付けてあって、このスラスト受は部材か前
記軸１の端面に当接して、スリーブ２ならびに、前記ポ
リゴンミラー５．磁石７等を一体として回動自在に支持
している。
、・＼リンホーン状などの条溝を多数刻設した輔１か田
植してあり、前記ケーノング内部にはステークたる電機
子コイル６が取着してあり、前記軸１ｊには、これと通
常数ミクロン８度の間隙を存してスリーブ２か遊嵌しで
ある。スリーブ２の外周にはロータたる永久磁石７が前
記コイル６と対向間されており、さらに該スリーブ２の
一端は図示上方に突出してこの部分にポリゴンミラー５
が固定され、さらにスリーブ上端内側にはスラスト受は
部材８が取り付けてあって、このスラスト受は部材か前
記軸１の端面に当接して、スリーブ２ならびに、前記ポ
リゴンミラー５．磁石７等を一体として回動自在に支持
している。
電機子コイル６を付勢して、永久磁石７を含む前述の回
転部分を回転させると、条溝１ａの存在によって、前記
スリーブ２と軸１との間の間隙に、第２図矢印Ａ方向に
スリーブの一端からエアを導入すると１これによってス
リーブ２は軸とラジアル方向に非接触状態で回転し、同
時に導入されたエアはスラスト受は部材近傍の空所に至
り、絞り８ａの存在によって該空所で圧力を呈してスラ
スト方向に前記回転部分を浮上させ、結局ポリコンミラ
ー５をふくめで回転部分は空間に浮上回転するこさにな
る。
転部分を回転させると、条溝１ａの存在によって、前記
スリーブ２と軸１との間の間隙に、第２図矢印Ａ方向に
スリーブの一端からエアを導入すると１これによってス
リーブ２は軸とラジアル方向に非接触状態で回転し、同
時に導入されたエアはスラスト受は部材近傍の空所に至
り、絞り８ａの存在によって該空所で圧力を呈してスラ
スト方向に前記回転部分を浮上させ、結局ポリコンミラ
ー５をふくめで回転部分は空間に浮上回転するこさにな
る。
この様な動圧軸受は構成が簡単で製作も比較的容易であ
り、耐摩耗性にすぐれ騒音の発生も少ないなど多くの利
点をそなえているので、高速回転機器に次第に用いられ
るようになっている。
り、耐摩耗性にすぐれ騒音の発生も少ないなど多くの利
点をそなえているので、高速回転機器に次第に用いられ
るようになっている。
しかしながら、この種の軸受にあっては、軸とその支持
部材の間に形成されている前述の微小間隙に対して、軸
ないしは支持部材の端部に近い個所から流体を吸引する
ように構成しである。すなわち該部分が開放となってい
て、少なくとも一方の端部は軸と支持部材を相互に支持
する手段を具有していないのか普通である。このために
、所定回転数で高速回転し、流体が一定圧を維持してい
るときは問題はないが、回転の立上り時、停止時、ある
いは運搬のさいなどには両者か接触して損傷するおそれ
をまぬかれなかったのである。
部材の間に形成されている前述の微小間隙に対して、軸
ないしは支持部材の端部に近い個所から流体を吸引する
ように構成しである。すなわち該部分が開放となってい
て、少なくとも一方の端部は軸と支持部材を相互に支持
する手段を具有していないのか普通である。このために
、所定回転数で高速回転し、流体が一定圧を維持してい
るときは問題はないが、回転の立上り時、停止時、ある
いは運搬のさいなどには両者か接触して損傷するおそれ
をまぬかれなかったのである。
このような、たとえば運搬時における振動、衝撃などに
よる損傷を防止するために、ねじなどを用いて固定する
手段もすでに提案されてはいるが、この動圧軸受を使用
している機構部かひとつの装置内に組み込まれているよ
うな場合には、その都度ねじを締緩するような作業は厄
介でこのましくないことはもちろんであり、このような
作業を装置の使用者にまで強制することは事実上不可能
であるから、使用者か装置の配置位置を移動させるよう
な場合にはまったく効果がないことになる。
よる損傷を防止するために、ねじなどを用いて固定する
手段もすでに提案されてはいるが、この動圧軸受を使用
している機構部かひとつの装置内に組み込まれているよ
うな場合には、その都度ねじを締緩するような作業は厄
介でこのましくないことはもちろんであり、このような
作業を装置の使用者にまで強制することは事実上不可能
であるから、使用者か装置の配置位置を移動させるよう
な場合にはまったく効果がないことになる。
本発明は、以上略述したような流体動圧軸受における現
状にかんがみてなされたものであって、動圧軸受の軸の
軸線方向端面におけるスラスト受は部に永久磁石と電磁
石を配置し、停止時には永久磁石の作用によって回転部
材を定位に保持することによって、振動、衝撃など？こ
よって該部材が固定部材側と当接しないように、また運
転時には電磁石をさらに作用させることによって永久磁
石による保持作用を除去して動圧軸受として作動し得る
ごとくシ、前述のような欠点を解消することを目的とす
るものである。
状にかんがみてなされたものであって、動圧軸受の軸の
軸線方向端面におけるスラスト受は部に永久磁石と電磁
石を配置し、停止時には永久磁石の作用によって回転部
材を定位に保持することによって、振動、衝撃など？こ
よって該部材が固定部材側と当接しないように、また運
転時には電磁石をさらに作用させることによって永久磁
石による保持作用を除去して動圧軸受として作動し得る
ごとくシ、前述のような欠点を解消することを目的とす
るものである。
本発明が各種の高速回転機器に適用できるものであるこ
とはもちろんであるが、以下本発明を、コンピュータの
端末プリンタや静電複写機などに用いられるレーザビー
ムプリンタにおけるビーム偏向手段として利用されるポ
リゴンミラーをそなえた回転駆動装置に適用した実施例
について説明する。
とはもちろんであるが、以下本発明を、コンピュータの
端末プリンタや静電複写機などに用いられるレーザビー
ムプリンタにおけるビーム偏向手段として利用されるポ
リゴンミラーをそなえた回転駆動装置に適用した実施例
について説明する。
第３図は、第１図々示のスキャナに用いるポリゴンミラ
ーとこれを回転駆動するモータとからなる回転１駆動装
置を示す実施例であって、その基本的構成において、前
述の第２図々示のものと対応する部分には同一の符号を
付して示してあり、その構成および作用は直ちに理解で
きるものと考える。
ーとこれを回転駆動するモータとからなる回転１駆動装
置を示す実施例であって、その基本的構成において、前
述の第２図々示のものと対応する部分には同一の符号を
付して示してあり、その構成および作用は直ちに理解で
きるものと考える。
このような回転駆動装置において、本発明にあっては、
軸１、スリーブ２等の中心軸線延長上のカバー４に開口
をもうけ、この内部に永久磁石、外部から付勢、減勢を
制御できる電磁石をもうけ、さらに前記スリーブ端面に
前記永久磁石の対向位置に磁性材を配してなる保護機構
Ｐをもうけたことを特長とするものである。
軸１、スリーブ２等の中心軸線延長上のカバー４に開口
をもうけ、この内部に永久磁石、外部から付勢、減勢を
制御できる電磁石をもうけ、さらに前記スリーブ端面に
前記永久磁石の対向位置に磁性材を配してなる保護機構
Ｐをもうけたことを特長とするものである。
第４図は、第３図の鎖線り内の部分を拡大して示したも
のであって前記保護機構Ｐの構成を示す。
のであって前記保護機構Ｐの構成を示す。
これについて説明すると、スリーブ２．軸１の軸線方向
延長上において、カバー４に開口４ａを形成し、この開
口内に永久磁石９を取着し、その外方に、この装置外か
ら随意に付減勢し得るコイル］Ｏａをそなえた電磁石１
０を配設する。
延長上において、カバー４に開口４ａを形成し、この開
口内に永久磁石９を取着し、その外方に、この装置外か
ら随意に付減勢し得るコイル］Ｏａをそなえた電磁石１
０を配設する。
スリーブ２の端面外側には磁性板状体１１を固着し、第
４図に示すように、モータが停止して、スリーブ２、ポ
リゴンミラー５等を包合する回転部分がスラスト受は部
材８によって軸］端面に支持されている場合に、前記永
久磁石９下面と磁性板体１１上面に少許の間隙ｄが存在
するように構成しである。
４図に示すように、モータが停止して、スリーブ２、ポ
リゴンミラー５等を包合する回転部分がスラスト受は部
材８によって軸］端面に支持されている場合に、前記永
久磁石９下面と磁性板体１１上面に少許の間隙ｄが存在
するように構成しである。
そして電磁石１０が作動しない場合には永久磁石９の吸
引作用により、磁性体１１を介して前記回転部分は永久
磁石９に吸着されて半固定状態となるように定めである
ものとする。
引作用により、磁性体１１を介して前記回転部分は永久
磁石９に吸着されて半固定状態となるように定めである
ものとする。
この回転駆動装置を駆動する場合には、コイル６を励起
してスリーブ２を含む回転部分を回転させるとともに、
コイルＩＯａを付勢して、永久磁石９の吸引作用を弱化
するように電磁石１０を作用させる。具体的には、たと
えば、永久磁石９の極性が第４図々示のようなＮ−８極
性を示すものとすると、電磁石の鉄芯に同図のような極
性を示すようにコイル］Ｏａに電流を流せはよい。
してスリーブ２を含む回転部分を回転させるとともに、
コイルＩＯａを付勢して、永久磁石９の吸引作用を弱化
するように電磁石１０を作用させる。具体的には、たと
えば、永久磁石９の極性が第４図々示のようなＮ−８極
性を示すものとすると、電磁石の鉄芯に同図のような極
性を示すようにコイル］Ｏａに電流を流せはよい。
もちろん、回転作動中、回転部分は軸１の端面からはな
れて浮上するから、その浮上量よりも前記間隙ｄを大き
くとる必要があるが、その範囲内で可及的にｄが小さい
ことが有利であることは自明であろう。
れて浮上するから、その浮上量よりも前記間隙ｄを大き
くとる必要があるが、その範囲内で可及的にｄが小さい
ことが有利であることは自明であろう。
図示の実施例にあっては、磁性体］］、永久磁石９、電
磁石１０を、軸１の軸線方向に直列状に配しであるか、
これら各部材の配列がこれに限定されるものではなく、
図示はしてないが、電磁石を永久磁石の周辺または反対
に内側に配置させることもでき、さらに電磁石の代りに
永久磁石を用い、必要に応じてこの永久磁石を回動させ
てその極性をかえたり、あるいはこの永久磁石を、モー
タ側回転部分に対向する永久磁石から変位させて、実質
的に両磁石の綜合磁力または単独による磁力を回転部に
作用させてこれを接離するように構成することもできる
。
磁石１０を、軸１の軸線方向に直列状に配しであるか、
これら各部材の配列がこれに限定されるものではなく、
図示はしてないが、電磁石を永久磁石の周辺または反対
に内側に配置させることもでき、さらに電磁石の代りに
永久磁石を用い、必要に応じてこの永久磁石を回動させ
てその極性をかえたり、あるいはこの永久磁石を、モー
タ側回転部分に対向する永久磁石から変位させて、実質
的に両磁石の綜合磁力または単独による磁力を回転部に
作用させてこれを接離するように構成することもできる
。
さらにまた、図示のような構成において、モータ停止時
には電磁石１０のコイルに、永久磁石９と同方向極性と
なるように、モータ作動時には反対方向極性となるよう
に電流を流すことによって、回転部への吸引作用をより
強力にし、同時に反対極性に電磁石を励磁することによ
る永久磁石９の消磁傾向を抑制することができる。
には電磁石１０のコイルに、永久磁石９と同方向極性と
なるように、モータ作動時には反対方向極性となるよう
に電流を流すことによって、回転部への吸引作用をより
強力にし、同時に反対極性に電磁石を励磁することによ
る永久磁石９の消磁傾向を抑制することができる。
またさらに、回転部分が減速しているときに、減速中適
宜の時点でコイル１．Ｏａを減勢するか、電流の方向を
反転させることによって、スラスト受は部材８が軸１に
当接する以前に永久磁石に吸着固定させることが可能で
あって、スラスト受は部材の摩耗を防止することが可能
である。
宜の時点でコイル１．Ｏａを減勢するか、電流の方向を
反転させることによって、スラスト受は部材８が軸１に
当接する以前に永久磁石に吸着固定させることが可能で
あって、スラスト受は部材の摩耗を防止することが可能
である。
なお、第３図、第４図々示の実施例では永久磁石をカバ
ー側に配したが、永久磁石９と磁性板状体１１の関係配
置は、これと反対にすることもできることは勿論である
。
ー側に配したが、永久磁石９と磁性板状体１１の関係配
置は、これと反対にすることもできることは勿論である
。
以上説明したように、本発明においては、動圧軸受の、
不作動時には固定部分に対して通常機械的に接触してお
り、作動時には離隔状態を維持する回転部を、不作動時
にも磁力を用いて固定部分から離隔した状態となり、か
つ該状態を比較的強力（（維持できるように構成したか
ら、きわめて簡単な構成で軸受停止時、減速、低速時に
おける回転部分と固定部分との接触による損傷、摩耗を
阻止し、信頼性の高い動圧軸受を得られるものである。
不作動時には固定部分に対して通常機械的に接触してお
り、作動時には離隔状態を維持する回転部を、不作動時
にも磁力を用いて固定部分から離隔した状態となり、か
つ該状態を比較的強力（（維持できるように構成したか
ら、きわめて簡単な構成で軸受停止時、減速、低速時に
おける回転部分と固定部分との接触による損傷、摩耗を
阻止し、信頼性の高い動圧軸受を得られるものである。
さらにこのような回転駆動手段を前述のようなレーザビ
ームプリンタのスキャナ機構などに使用することによっ
て、装置内部に組み込まれた回転駆動部に与える、輸送
中あるいは設置場所の移動時などにおける振動、衝撃な
どによる損壊を阻止しメンテナンスフリーの状態を維持
できるのできわめて使用し易く、低ランニングコストの
装置を提供することが可能となる。
ームプリンタのスキャナ機構などに使用することによっ
て、装置内部に組み込まれた回転駆動部に与える、輸送
中あるいは設置場所の移動時などにおける振動、衝撃な
どによる損壊を阻止しメンテナンスフリーの状態を維持
できるのできわめて使用し易く、低ランニングコストの
装置を提供することが可能となる。
第１図は本発明をレーザビームプリンタなどのスキャナ
に用いたところを略示する斜視図、第２図は前記スキャ
ナに用いられる公知のビーム偏向用回転駆動装置の断面
図、 第３図は本発明の実施例を示す断面図、第４図は、第３
図り線内部を示す拡大断面図である。 １ ・軸、２・・・スリーブ、３・・ケーシング、４・
・カバー、５・・・ポリゴンミラー、６・・・電機子コ
イル、７・・・永久磁石、８・・・スラスト受は部材、
９・・・永久磁石、１０・・・電磁石、１１・・・磁性
板状体、１２゜１３・・ホール素子。 特許出願人 キャノン株式会社 、−゛・。 代理人 弁理士 入 江 （晃 ′、。 （１１）
に用いたところを略示する斜視図、第２図は前記スキャ
ナに用いられる公知のビーム偏向用回転駆動装置の断面
図、 第３図は本発明の実施例を示す断面図、第４図は、第３
図り線内部を示す拡大断面図である。 １ ・軸、２・・・スリーブ、３・・ケーシング、４・
・カバー、５・・・ポリゴンミラー、６・・・電機子コ
イル、７・・・永久磁石、８・・・スラスト受は部材、
９・・・永久磁石、１０・・・電磁石、１１・・・磁性
板状体、１２゜１３・・ホール素子。 特許出願人 キャノン株式会社 、−゛・。 代理人 弁理士 入 江 （晃 ′、。 （１１）
Claims (1)
- 固定軸と、その軸の軸線方向に変位自在の回転部材とを
そなえており、前記回転部材が停止しているときには該
部材を前記固定軸から離隔拘束し、回転時には前記回転
部材を前記拘束から解放するように構成した情報記録装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7758883A JPS59204443A (ja) | 1983-05-04 | 1983-05-04 | モータ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7758883A JPS59204443A (ja) | 1983-05-04 | 1983-05-04 | モータ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59204443A true JPS59204443A (ja) | 1984-11-19 |
| JPH0353853B2 JPH0353853B2 (ja) | 1991-08-16 |
Family
ID=13638125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7758883A Granted JPS59204443A (ja) | 1983-05-04 | 1983-05-04 | モータ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59204443A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6248147U (ja) * | 1985-09-10 | 1987-03-25 | ||
| JPS6270811A (ja) * | 1985-09-24 | 1987-04-01 | Ricoh Co Ltd | 空気・磁気軸受型光偏向器 |
| JPS62154413U (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | ||
| JPS63141917U (ja) * | 1987-03-09 | 1988-09-19 | ||
| US5710470A (en) * | 1991-04-04 | 1998-01-20 | Ebara Corporation | Hydrodynamic bearing assembly |
-
1983
- 1983-05-04 JP JP7758883A patent/JPS59204443A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6248147U (ja) * | 1985-09-10 | 1987-03-25 | ||
| JPS6270811A (ja) * | 1985-09-24 | 1987-04-01 | Ricoh Co Ltd | 空気・磁気軸受型光偏向器 |
| JPH071347B2 (ja) * | 1985-09-24 | 1995-01-11 | 株式会社リコー | 空気・磁気軸受型光偏向器 |
| JPS62154413U (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | ||
| JPS63141917U (ja) * | 1987-03-09 | 1988-09-19 | ||
| US5710470A (en) * | 1991-04-04 | 1998-01-20 | Ebara Corporation | Hydrodynamic bearing assembly |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0353853B2 (ja) | 1991-08-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5574322A (en) | Motor, a printer having such a motor and a disk drive system having such a motor | |
| US4820949A (en) | Electrically powered apparatus | |
| US6175174B1 (en) | Axial load carrying magnetic bearing for a rotatable body | |
| JP2002122137A (ja) | 軸受装置 | |
| JPS59204443A (ja) | モータ装置 | |
| US5059845A (en) | Active magnetic bearing device for controlling rotor vibrations | |
| JPS59204441A (ja) | 軸受 | |
| JPH0691717B2 (ja) | 電動機械 | |
| JPS5932336A (ja) | 回転原動機 | |
| JPS619138A (ja) | 高速回転駆動装置 | |
| JPH034022A (ja) | モータの動圧軸受構造 | |
| JP3116932B2 (ja) | 光偏向器及び光走査装置 | |
| JPH02157716A (ja) | 回転多面鏡装置 | |
| JPS59205020A (ja) | 軸受 | |
| JPS6130978A (ja) | 制動手段を備える電動回転装置 | |
| KR100233010B1 (ko) | 자성물질을 이용한 베어링 장치 | |
| JPH0637981A (ja) | スキャナモータ | |
| JP3571518B2 (ja) | 動圧空気軸受型ポリゴンスキャナ | |
| JPH0387811A (ja) | スキャナーモーター | |
| JPH0565852B2 (ja) | ||
| JPH05248435A (ja) | 軸受け構造およびスキャナモータ | |
| JPS61269119A (ja) | 回転体支持装置 | |
| JP3491354B2 (ja) | 流体軸受装置 | |
| KR19980065822A (ko) | 자성물질을 이용한 저어널 유체 베어링 장치 | |
| JPS6271916A (ja) | 空気・磁気軸受型光偏向器 |