JPS59200518A - 厚みすべり振動部品 - Google Patents
厚みすべり振動部品Info
- Publication number
- JPS59200518A JPS59200518A JP7560583A JP7560583A JPS59200518A JP S59200518 A JPS59200518 A JP S59200518A JP 7560583 A JP7560583 A JP 7560583A JP 7560583 A JP7560583 A JP 7560583A JP S59200518 A JPS59200518 A JP S59200518A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- friction
- piezoelectric
- elastic body
- thickness
- coefficient
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02086—Means for compensation or elimination of undesirable effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、圧電共振子、圧電フィルタなどの圧電振動
部品に関する。
部品に関する。
従来、第１図〜第４図に示すようなエネルギーとじこめ
形厚みすべり振動部品がある。第１図、第２図はそれぞ
れ圧電共振子の表面側、裏面側を示し、第３図、第４図
はそれぞれ圧電フィルタの２の表面に短辺の一方側から
長手方向の一定位置まで全幅にわたって電極膜３を設け
るとともに、裏面に短辺の使方側から長手方向の一定位
置まで全幅にわたって電極膜４を設けて、それぞれの電
極膜３．４の一部が圧電基板２を介して対向するように
したものである。なお分極方向Ｐは、圧電基板２の主平
面に平行で長手方向と一致する。対向した部分が振動電
極として働き、残りの部分がターミナル電極として働く
。
形厚みすべり振動部品がある。第１図、第２図はそれぞ
れ圧電共振子の表面側、裏面側を示し、第３図、第４図
はそれぞれ圧電フィルタの２の表面に短辺の一方側から
長手方向の一定位置まで全幅にわたって電極膜３を設け
るとともに、裏面に短辺の使方側から長手方向の一定位
置まで全幅にわたって電極膜４を設けて、それぞれの電
極膜３．４の一部が圧電基板２を介して対向するように
したものである。なお分極方向Ｐは、圧電基板２の主平
面に平行で長手方向と一致する。対向した部分が振動電
極として働き、残りの部分がターミナル電極として働く
。
次に第３図、第４図に示すものについて説明する。圧電
フィルタ２１は、たとえば圧電セラミック矩形板にスリ
ット２２を入れてほぼＵ字状とした圧電基板２３を備え
る。この圧電基板２３の表面には、スリット２２をはさ
んで、一対の電極２４ａ、２４ｂおよび一対の電極２５
ａ、２５ｂが形成されている。そしてこれらの電極２４
ａ、２５ａは接続電極２６により互いに接続される。ま
た、電極２４ｂ 、 ２５ｂは、それぞれ接続電極２７
．２８を介して図上先端部に形成された外部引出電極２
９．３０に接続される。圧電基板２３の裏面には、一対
のＮ極２４ａ、２４ｂおよび一対の電極２５ａ、２５ｂ
にそれぞれ圧電基板２３をはさんで対向する共通電極３
１および３２が形成されている。圧電基板２３の裏面に
はさらにアース用外部引出電極３３、外部引出電極３３
と共通電極３１とを接続する接続電極３４、外部引出電
極３３と共通電極３２とを接続する接続電極３５とが形
成されている。なお分極方向Ｐは、圧電基板２３の主平
面に平行でスリット２２と一致する。したがって第３図
、第４図に示すフィルタは二段のフィルタが縦続接続さ
れたものである。
フィルタ２１は、たとえば圧電セラミック矩形板にスリ
ット２２を入れてほぼＵ字状とした圧電基板２３を備え
る。この圧電基板２３の表面には、スリット２２をはさ
んで、一対の電極２４ａ、２４ｂおよび一対の電極２５
ａ、２５ｂが形成されている。そしてこれらの電極２４
ａ、２５ａは接続電極２６により互いに接続される。ま
た、電極２４ｂ 、 ２５ｂは、それぞれ接続電極２７
．２８を介して図上先端部に形成された外部引出電極２
９．３０に接続される。圧電基板２３の裏面には、一対
のＮ極２４ａ、２４ｂおよび一対の電極２５ａ、２５ｂ
にそれぞれ圧電基板２３をはさんで対向する共通電極３
１および３２が形成されている。圧電基板２３の裏面に
はさらにアース用外部引出電極３３、外部引出電極３３
と共通電極３１とを接続する接続電極３４、外部引出電
極３３と共通電極３２とを接続する接続電極３５とが形
成されている。なお分極方向Ｐは、圧電基板２３の主平
面に平行でスリット２２と一致する。したがって第３図
、第４図に示すフィルタは二段のフィルタが縦続接続さ
れたものである。
厚みすべり振動モードを用いた圧電共振子やフィルタの
別の構造のものはたとえば実開昭５’３−３７３２２号
公報や特開昭５３−５０９５８号公報に開示されている
。
別の構造のものはたとえば実開昭５’３−３７３２２号
公報や特開昭５３−５０９５８号公報に開示されている
。
これらの厚みすべり振動モードを用いた圧電共振子や圧
電フィルタでは、スプリアスレスポンスを抑圧し、滑ら
かなアドミッタンスカーブや振幅特性を得るために、少
なくとも振動部分、通常は外部引出電極を除く全体をシ
リコンゴムなどの弾性体でコーテングしていた。この構
造は、スプリアスの抑圧には非常に有効であるが、等測
的に機械的品質係数（以下ＱＩＩｌと略す）が小さくな
り、圧電フィルタでは挿入損失の増大へとつながり、圧
電共振子を発振子として使ったときは発振停止りやスプ
リアス発振が生じたりすることもあった。
電フィルタでは、スプリアスレスポンスを抑圧し、滑ら
かなアドミッタンスカーブや振幅特性を得るために、少
なくとも振動部分、通常は外部引出電極を除く全体をシ
リコンゴムなどの弾性体でコーテングしていた。この構
造は、スプリアスの抑圧には非常に有効であるが、等測
的に機械的品質係数（以下ＱＩＩｌと略す）が小さくな
り、圧電フィルタでは挿入損失の増大へとつながり、圧
電共振子を発振子として使ったときは発振停止りやスプ
リアス発振が生じたりすることもあった。
第５図はこの従来構造の一例断面図で、４０は圧電セラ
ミック基板、４１．４２は振動電極、４３．４４は弾性
体である。そして第７図の凹凸のはげしい曲線は弾性体
４３．４４を設けない場合のアドミッタンスカーブで、
滑らかではあるが山谷比（アドミッタンスの最大値／最
小値）が小さくなった曲線は弾性体４３．４４を設けた
場合である。また、第８図の凹凸のはげしい曲線は弾性
体４３．４４を設けない場合の振幅特性で、滑らかでは
あるがレベルが小さくなった曲線は弾性体４３．４４を
設けた場合である。
ミック基板、４１．４２は振動電極、４３．４４は弾性
体である。そして第７図の凹凸のはげしい曲線は弾性体
４３．４４を設けない場合のアドミッタンスカーブで、
滑らかではあるが山谷比（アドミッタンスの最大値／最
小値）が小さくなった曲線は弾性体４３．４４を設けた
場合である。また、第８図の凹凸のはげしい曲線は弾性
体４３．４４を設けない場合の振幅特性で、滑らかでは
あるがレベルが小さくなった曲線は弾性体４３．４４を
設けた場合である。
この発明の目的は、スプリアスを抑圧しつつもＱｍのダ
ンピングがおきない圧電振動部品を提供することである
。
ンピングがおきない圧電振動部品を提供することである
。
この発明の要旨は、厚みすべり振動モードを用い、少な
くとも振動部分上を弾性体で覆った圧電振動部品におい
て、少なくとも振動面と弾性体表面との間にＦｉ！ｍ係
数を低減させる物質を存在させたことを特徴とする、厚
みすべり振動部品である。
くとも振動部分上を弾性体で覆った圧電振動部品におい
て、少なくとも振動面と弾性体表面との間にＦｉ！ｍ係
数を低減させる物質を存在させたことを特徴とする、厚
みすべり振動部品である。
３−
以下にこの発明の実施例について述べる。第６図は一実
施例の断面図であって、第５図のものと同一部分には同
一番号を付して説明を省略する。
施例の断面図であって、第５図のものと同一部分には同
一番号を付して説明を省略する。
４５．４６はフッ素系樹脂（商品名テフロン）の塗布膜
である。厚みすべり振動は、第１１図に示すように圧電
基板４０の厚み方向中心の変位が０でその点から両表面
に近づく程たがいに反対方向に変位が大きくなる振動モ
ードを有するから、圧電基板４０の表面に摩擦係数を低
減させる膜があると厚みすべり振動は抑圧されにくいが
他のたとえば厚み方向の変位をもつ不要振動は弾性体４
３．４４の存在で大いに抑圧され有意義なものである。
である。厚みすべり振動は、第１１図に示すように圧電
基板４０の厚み方向中心の変位が０でその点から両表面
に近づく程たがいに反対方向に変位が大きくなる振動モ
ードを有するから、圧電基板４０の表面に摩擦係数を低
減させる膜があると厚みすべり振動は抑圧されにくいが
他のたとえば厚み方向の変位をもつ不要振動は弾性体４
３．４４の存在で大いに抑圧され有意義なものである。
このような膜を振動部分の表面と、弾性、体との間に存
在させると両者間の摩擦係数が小さくなり、摩擦による
振動エネルギーの損失が低減され、低挿入損失化が実現
される。実験例によればフィルタの対称モード、斜対称
モードそれぞれの山谷比が大きくなり、挿入損失が約１
．２ （ｄ Ｂ ）よくなった。なお、対称モードにつ
いては、第９図のような結線、斜対称モードについては
、第１０図のよ４− うな結線にて、二端子間インピーダンスを測定した。そ
して、挿入損失が小さくなるも他の電気特性にはなんら
悪影響をおよぼさないことが認められた。
在させると両者間の摩擦係数が小さくなり、摩擦による
振動エネルギーの損失が低減され、低挿入損失化が実現
される。実験例によればフィルタの対称モード、斜対称
モードそれぞれの山谷比が大きくなり、挿入損失が約１
．２ （ｄ Ｂ ）よくなった。なお、対称モードにつ
いては、第９図のような結線、斜対称モードについては
、第１０図のよ４− うな結線にて、二端子間インピーダンスを測定した。そ
して、挿入損失が小さくなるも他の電気特性にはなんら
悪影響をおよぼさないことが認められた。
以上の実施例からもあきらかなように、この発明による
と、圧電基板材料や電極設計等のおおがかすな変更を必
要としないで、表面潤滑剤など、摩擦係数を小さくする
物質を振動部分表面と弾性体表面との間に存在させるだ
けで挿入損失の改善、いいかえるとＱｍを大きくできる
。
と、圧電基板材料や電極設計等のおおがかすな変更を必
要としないで、表面潤滑剤など、摩擦係数を小さくする
物質を振動部分表面と弾性体表面との間に存在させるだ
けで挿入損失の改善、いいかえるとＱｍを大きくできる
。
なお、表面潤滑剤は、上述のテフロン（商品名）に限ら
ないことはいうまでもない。
ないことはいうまでもない。
第１図は、圧電共振子の平面図、第２図は、同じく裏面
図、第３図は、圧電フィルタの平面図、第４図は、同じ
く裏面図、第５図は従来例の断面部分図、第６図はこの
発明の一実施例の断面部分図、第１図はアドミッタンス
特性図、第８図は振幅特性図、第９図と第１０図は結線
図、第１１図は圧電基板の断面図。 ４０は圧電セラミック基板、４１．４２は振動電極、４
３．４４は弾性体、４５，７１６はフッ素系樹脂膜。 特 許 出 願 人 株式会ネ１村田製作所 ７− −−ラＰ １１
図、第３図は、圧電フィルタの平面図、第４図は、同じ
く裏面図、第５図は従来例の断面部分図、第６図はこの
発明の一実施例の断面部分図、第１図はアドミッタンス
特性図、第８図は振幅特性図、第９図と第１０図は結線
図、第１１図は圧電基板の断面図。 ４０は圧電セラミック基板、４１．４２は振動電極、４
３．４４は弾性体、４５，７１６はフッ素系樹脂膜。 特 許 出 願 人 株式会ネ１村田製作所 ７− −−ラＰ １１
Claims (1)
- 厚みすべり振動モードを用い、少なくとも振動部分上を
弾性体で覆った圧電振動部品において、少なくとも振動
面と弾性体表面との間に摩擦係数を低減させる物質を存
在させたことを特徴とする、厚みすべり振動部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7560583A JPS59200518A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 厚みすべり振動部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7560583A JPS59200518A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 厚みすべり振動部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59200518A true JPS59200518A (ja) | 1984-11-13 |
Family
ID=13581004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7560583A Pending JPS59200518A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 厚みすべり振動部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59200518A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1517444A3 (en) * | 2003-09-17 | 2005-08-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric resonator, filter, and duplexer |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55146998A (en) * | 1979-05-02 | 1980-11-15 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Method of assembling piezooelectric filter or like |
| JPS57107623A (en) * | 1980-12-25 | 1982-07-05 | Seikosha Co Ltd | Piezoelectric oscillator |
-
1983
- 1983-04-27 JP JP7560583A patent/JPS59200518A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55146998A (en) * | 1979-05-02 | 1980-11-15 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Method of assembling piezooelectric filter or like |
| JPS57107623A (en) * | 1980-12-25 | 1982-07-05 | Seikosha Co Ltd | Piezoelectric oscillator |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1517444A3 (en) * | 2003-09-17 | 2005-08-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric resonator, filter, and duplexer |
| US7259498B2 (en) * | 2003-09-17 | 2007-08-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric resonator, filter, and duplexer |
| USRE42009E1 (en) | 2003-09-17 | 2010-12-28 | Panasonic Corporation | Piezoelectric resonator having a spurious component control layer, filter using the piezoelectric resonator, and duplexer using the piezoelectric resonator |
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