JPS59189932A - 反応性液体容器 - Google Patents
反応性液体容器Info
- Publication number
- JPS59189932A JPS59189932A JP6220183A JP6220183A JPS59189932A JP S59189932 A JPS59189932 A JP S59189932A JP 6220183 A JP6220183 A JP 6220183A JP 6220183 A JP6220183 A JP 6220183A JP S59189932 A JPS59189932 A JP S59189932A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- zone
- container
- carrier gas
- vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J4/00—Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
- B01J4/001—Feed or outlet devices as such, e.g. feeding tubes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/80—Feeding the burner or the burner-heated deposition site
- C03B2207/85—Feeding the burner or the burner-heated deposition site with vapour generated from liquid glass precursors, e.g. directly by heating the liquid
- C03B2207/86—Feeding the burner or the burner-heated deposition site with vapour generated from liquid glass precursors, e.g. directly by heating the liquid by bubbling a gas through the liquid
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/80—Feeding the burner or the burner-heated deposition site
- C03B2207/85—Feeding the burner or the burner-heated deposition site with vapour generated from liquid glass precursors, e.g. directly by heating the liquid
- C03B2207/89—Controlling the liquid level in or supply to the tank
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/80—Feeding the burner or the burner-heated deposition site
- C03B2207/90—Feeding the burner or the burner-heated deposition site with vapour generated from solid glass precursors, i.e. by sublimation
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は半導体結晶のエピタキシャル成長、半導体への
不純物拡散、アモルファス薄膜、絶縁膜の成長、石英系
光ファイバーの製造等における原料である反応性液体を
収容するための反応性液体容器に関する。
不純物拡散、アモルファス薄膜、絶縁膜の成長、石英系
光ファイバーの製造等における原料である反応性液体を
収容するための反応性液体容器に関する。
従来、上記のような反応性液体を反応容器内に輸送して
所望の反応をさせるには、反応性液体を収容する。容器
内にキャリアガスを導入し、該液体の蒸気とともに反応
容器へ輸送する方法が行なわれていた。このような場合
、キャリアカスを反応性液体容器へ導入する方法として
、キャリアガスの導入口を反応性液体容器内の反応性液
体の液面上に設ける方法と、液面下に設ける方法がある
。
所望の反応をさせるには、反応性液体を収容する。容器
内にキャリアガスを導入し、該液体の蒸気とともに反応
容器へ輸送する方法が行なわれていた。このような場合
、キャリアカスを反応性液体容器へ導入する方法として
、キャリアガスの導入口を反応性液体容器内の反応性液
体の液面上に設ける方法と、液面下に設ける方法がある
。
前者すなわちガス導入口を液面上に設ける場合はガス導
入口およびキャリアガスに担持された反応性液体の蒸気
の排出口と液面との距離が残留液量によ〕変シ、また容
器断面が高さによシ異る場合、気液界面の面積が残留液
量によシ変ることとなる。このため温度、キャリアガス
流量を同じにしても残留液量に！ニジ蒸発速度が異るた
め液体蒸気の濃度が異ったシ、また蒸気の取り込みかた
が変るため同様に濃度が異ることとなシ、得られる単結
晶の組成、不純物濃度あるいは拡散層の不純物濃度等の
再現性がよくないという問題があった。
入口およびキャリアガスに担持された反応性液体の蒸気
の排出口と液面との距離が残留液量によ〕変シ、また容
器断面が高さによシ異る場合、気液界面の面積が残留液
量によシ変ることとなる。このため温度、キャリアガス
流量を同じにしても残留液量に！ニジ蒸発速度が異るた
め液体蒸気の濃度が異ったシ、また蒸気の取り込みかた
が変るため同様に濃度が異ることとなシ、得られる単結
晶の組成、不純物濃度あるいは拡散層の不純物濃度等の
再現性がよくないという問題があった。
後者すなわちガス導入口を液面下に設け、キャリアガス
を液体内に泡出させる場合は、上記とほぼ同様に残留液
量によ）液面が変ることによる再現性の不良の問題の他
に、次のような問題が生ずる。すなわち導入口から出た
キャリアガスの泡が液面上等で潰れる際の飛沫が微小な
液滴として一部は反応容器まで、また一部はガス配管部
まで輸送されて管壁に付着したシする。
を液体内に泡出させる場合は、上記とほぼ同様に残留液
量によ）液面が変ることによる再現性の不良の問題の他
に、次のような問題が生ずる。すなわち導入口から出た
キャリアガスの泡が液面上等で潰れる際の飛沫が微小な
液滴として一部は反応容器まで、また一部はガス配管部
まで輸送されて管壁に付着したシする。
管壁等の温度は通常制御されないので、これらの蒸発量
が雰囲気温度によ）変シ、上記と同様に再現性の不良の
問題を生ずる。また管壁に付着した液体が分解して粉末
状の物が析出したり、酸化物が析出したシして悪影響を
及ぼす。
が雰囲気温度によ）変シ、上記と同様に再現性の不良の
問題を生ずる。また管壁に付着した液体が分解して粉末
状の物が析出したり、酸化物が析出したシして悪影響を
及ぼす。
本発明はこれらの欠点を解決するためになされたもので
、その目的は排出口からのキャリアガス中に含まれる液
体蒸気の濃度の制御性、再現性を改善し得る反応性液体
容器を提供することにある。また他の目的は容器内の液
体残量を容易に認知できる反応性液体容器を提供するこ
とにある。
、その目的は排出口からのキャリアガス中に含まれる液
体蒸気の濃度の制御性、再現性を改善し得る反応性液体
容器を提供することにある。また他の目的は容器内の液
体残量を容易に認知できる反応性液体容器を提供するこ
とにある。
前記目的を達成する本発明について概説すると、本発明
はキャリアガスの導入口とキャリアガスに担持された反
応性液体の蒸気の排出口とを設けた反応性液体容器にお
いて、容器内が隔壁で第１帯域と第２帯域に分割され、
第１帯域と第２帯域とは隔壁の下部において連通すると
共に第１帯域に前記導入口と排出口を設けたことを特徴
とする反応性液体容器（第１発明）およびキャリアガス
の導入口とキャリアガスに担持された反応性液体の蒸気
の排出口とを設けた反応性液体容器において、容器内が
隔壁で第１帯域と第２帯域に分割され、第１帯域と第２
帯域とは隔壁の下部において連通すると共に第１帯域に
前記導入口と排出口を設け、第２帯域に該帯域の気圧を
表示する圧力計を設けたことを特徴とする反応性液体容
器（第２発明）に関する。そして本発明は前記構成によ
シ、容器内の反応性液体が蒸発する気液界面を第１帯域
に設定し、その気液界面の位置を一定に保つことを可能
にしたものである。
はキャリアガスの導入口とキャリアガスに担持された反
応性液体の蒸気の排出口とを設けた反応性液体容器にお
いて、容器内が隔壁で第１帯域と第２帯域に分割され、
第１帯域と第２帯域とは隔壁の下部において連通すると
共に第１帯域に前記導入口と排出口を設けたことを特徴
とする反応性液体容器（第１発明）およびキャリアガス
の導入口とキャリアガスに担持された反応性液体の蒸気
の排出口とを設けた反応性液体容器において、容器内が
隔壁で第１帯域と第２帯域に分割され、第１帯域と第２
帯域とは隔壁の下部において連通すると共に第１帯域に
前記導入口と排出口を設け、第２帯域に該帯域の気圧を
表示する圧力計を設けたことを特徴とする反応性液体容
器（第２発明）に関する。そして本発明は前記構成によ
シ、容器内の反応性液体が蒸発する気液界面を第１帯域
に設定し、その気液界面の位置を一定に保つことを可能
にしたものである。
次に本発明の反応性液体容器の構成を図面を参照して説
明する。第１図は本発明の反応性液体容器の一実施例の
断面図を示す。容器１内に反応性液体（以下単に液体と
いう。）２が収容されている。３は容器内にキャリアガ
スを導入するための管、４は液体の蒸気とともにキャリ
アガスを排出するための管である。容器内は隔壁５ Ｋ
！ 、りガス導入管３および排出管４を具備した第１
帯域６と外界と遮断された第２帯域７に分割されており
、各帯域６と７は図に示すように隔壁５の下部において
連通されている。この連通のためには図に示すように隔
壁５を容器の長さより短かくしてもよく、また隔壁の一
部に貫通孔を設けてもよい。
明する。第１図は本発明の反応性液体容器の一実施例の
断面図を示す。容器１内に反応性液体（以下単に液体と
いう。）２が収容されている。３は容器内にキャリアガ
スを導入するための管、４は液体の蒸気とともにキャリ
アガスを排出するための管である。容器内は隔壁５ Ｋ
！ 、りガス導入管３および排出管４を具備した第１
帯域６と外界と遮断された第２帯域７に分割されており
、各帯域６と７は図に示すように隔壁５の下部において
連通されている。この連通のためには図に示すように隔
壁５を容器の長さより短かくしてもよく、また隔壁の一
部に貫通孔を設けてもよい。
キャリアガスに担持されて液体の蒸気が排出され、液体
が蒸発すると第１帯域における液面 。
が蒸発すると第１帯域における液面 。
８が下がシ、第１帯域と第２帯域の連通部よシ下がると
ガスが第２帯域７に入り、第１帯域の液面が上がる。す
なわち液面８の位置は連通部の最上端部（隔壁５の下端
）附近にほぼ固定される。したがって、液体残量の変化
に伴う液面位置の変化、液面の表面積の変化に伴う問題
を避けることができ、液体の温度とキャリアガスの流量
？制御するだけで所望の液体の蒸気を再現性よく排出す
ることができる。
ガスが第２帯域７に入り、第１帯域の液面が上がる。す
なわち液面８の位置は連通部の最上端部（隔壁５の下端
）附近にほぼ固定される。したがって、液体残量の変化
に伴う液面位置の変化、液面の表面積の変化に伴う問題
を避けることができ、液体の温度とキャリアガスの流量
？制御するだけで所望の液体の蒸気を再現性よく排出す
ることができる。
９は容器の洗浄、液体の補充等のために設けた穴でネジ
部１０によシ密閉された場合を示すものであるが、これ
らの構成は本発明の作用に影響するものではなく、単に
容器の底部の構造の１具体例を述べたにとどまるもので
ある。
部１０によシ密閉された場合を示すものであるが、これ
らの構成は本発明の作用に影響するものではなく、単に
容器の底部の構造の１具体例を述べたにとどまるもので
ある。
この容器に液体を充填するには容器内を適度に真空排気
しておき、しかる後液体を吸入させることによシ行なう
ことができる。所望の量の液体を入れた後、キャリアガ
スと同種のガスまたは不活性ガス等を導入すれば図に示
すような液面位置の差をつくることができる。
しておき、しかる後液体を吸入させることによシ行なう
ことができる。所望の量の液体を入れた後、キャリアガ
スと同種のガスまたは不活性ガス等を導入すれば図に示
すような液面位置の差をつくることができる。
第２図は本発明の他の実施例であって、上記説明した容
器の第２帯域７の上部ガス充填部分の内圧を測定表示す
るための圧力計１１を設けた容器の一断面図を示す。第
２帯域７の内圧は第１帯域６よ）も液面の高さの差分だ
け圧力が下がるのでその圧力を知ることによシ液体残量
を知ることができる。これをよ）正確に行うには第１帯
域と第２帯域の差圧を表示するようにすればよい。この
差圧はρ２ｈで与えられる１つここでＰは液体の密度、
７は重力加速度、ｈは液面の高さの差である。
器の第２帯域７の上部ガス充填部分の内圧を測定表示す
るための圧力計１１を設けた容器の一断面図を示す。第
２帯域７の内圧は第１帯域６よ）も液面の高さの差分だ
け圧力が下がるのでその圧力を知ることによシ液体残量
を知ることができる。これをよ）正確に行うには第１帯
域と第２帯域の差圧を表示するようにすればよい。この
差圧はρ２ｈで与えられる１つここでＰは液体の密度、
７は重力加速度、ｈは液面の高さの差である。
図中、キャリアガス導入管３の先端が第２帯域７内の液
面よシ下になるように示しであるが、これよシも短かく
、極端には排気管と同様容器内に突出しなくてもよい。
面よシ下になるように示しであるが、これよシも短かく
、極端には排気管と同様容器内に突出しなくてもよい。
また一方排気管が容器内に延長して設けられてもよい。
容器に収容する反応性液体はその利用分野によシ異なる
が、例えばシリコンの酸化に使用する水でもよく、通常
の状態で極めて反応性が強い必要はない。
が、例えばシリコンの酸化に使用する水でもよく、通常
の状態で極めて反応性が強い必要はない。
以上説明したように、本発明においては容器内に隔壁を
設けて２帯域に分割し、キャリアガスの導入口、液体蒸
気の排出口をその一方に集めることにより以下のような
効果を達成できる。
設けて２帯域に分割し、キャリアガスの導入口、液体蒸
気の排出口をその一方に集めることにより以下のような
効果を達成できる。
第１の効果は液体残量の多少にかかわらず液面の高さを
一定に維持でき、キャリアガス導入口、および排出口と
液面の位置関係を一定にできる。この結果この容器から
排出するキャリアガス中の液体蒸気濃度は液体の温度と
キャリアガス流量のみで定ま）、再現性よく制御するこ
とができる。
一定に維持でき、キャリアガス導入口、および排出口と
液面の位置関係を一定にできる。この結果この容器から
排出するキャリアガス中の液体蒸気濃度は液体の温度と
キャリアガス流量のみで定ま）、再現性よく制御するこ
とができる。
第２の効果はこのような容器に圧力計を附加することに
よシ、液体残量を容易に知ることができる、金属製等の
内部を直視できない容器において効果が著るしい。
よシ、液体残量を容易に知ることができる、金属製等の
内部を直視できない容器において効果が著るしい。
第１図および第２図は本発明の一実施例の断面図を示す
。 １・・・容器、２・・・反応性液体、３・・・キャリア
ガス導入管、４・・・排出管、５・・・隔壁、６・・・
第１帯域、７・・・第２帯域、８・・・液面、１１・・
・圧力計 特許出願人 日本電信電話公社 代理人 中 本 宏 同 井 上 昭 −１ε 第１図 第 ２ 図 １９０
。 １・・・容器、２・・・反応性液体、３・・・キャリア
ガス導入管、４・・・排出管、５・・・隔壁、６・・・
第１帯域、７・・・第２帯域、８・・・液面、１１・・
・圧力計 特許出願人 日本電信電話公社 代理人 中 本 宏 同 井 上 昭 −１ε 第１図 第 ２ 図 １９０
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｔ キャリアガスの導入口とキャリアガスに担持された
反応性液体の蒸気の排出口とを設けた反応性液体容器に
おいて、容器内が隔壁で第１帯域と第２帯域に分割され
、第１帯域と第２帯域と、は隔壁の下部において連通す
ると共に第、１帯域に前記導入口と排出口を設けたこと
を特徴とする反応性液体容器。 ２ キャリアガスの導入口とキャリアガスに担持された
反応性液体の蒸気の排出口とを設けた反応性液体容器に
おいて、容器内が隔壁で第１帯域と第２帯域に分割され
、第１帯域と第２帯域とは隔壁の下部において連通する
と共に第１帯域に前記導入口と排出口を設け、第２帯域
に該帯域の気圧を表示する圧力計を設けたことを特徴と
する反応性液体容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6220183A JPS59189932A (ja) | 1983-04-11 | 1983-04-11 | 反応性液体容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6220183A JPS59189932A (ja) | 1983-04-11 | 1983-04-11 | 反応性液体容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59189932A true JPS59189932A (ja) | 1984-10-27 |
| JPH0252537B2 JPH0252537B2 (ja) | 1990-11-13 |
Family
ID=13193291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6220183A Granted JPS59189932A (ja) | 1983-04-11 | 1983-04-11 | 反応性液体容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59189932A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004505758A (ja) * | 2000-08-04 | 2004-02-26 | アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド | 超純粋なまたは汚染に敏感な化学薬品のための自動補充システム |
| JP2005246064A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Ethicon Inc | 液体滅菌剤を滅菌器に送達する方法 |
| US8440139B2 (en) | 2004-03-04 | 2013-05-14 | Ethican, Inc. | Method of delivering liquid sterilant to a sterilizer |
-
1983
- 1983-04-11 JP JP6220183A patent/JPS59189932A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004505758A (ja) * | 2000-08-04 | 2004-02-26 | アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド | 超純粋なまたは汚染に敏感な化学薬品のための自動補充システム |
| JP2005246064A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Ethicon Inc | 液体滅菌剤を滅菌器に送達する方法 |
| JP4558538B2 (ja) * | 2004-03-04 | 2010-10-06 | エシコン・インコーポレイテッド | 液体滅菌剤を滅菌器に送達する方法 |
| US8440139B2 (en) | 2004-03-04 | 2013-05-14 | Ethican, Inc. | Method of delivering liquid sterilant to a sterilizer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0252537B2 (ja) | 1990-11-13 |
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