SU994959A1

SU994959A1 - Устройство дл изготовлени образцов с косым шлифом

Info

Publication number: SU994959A1
Application number: SU813267207A
Authority: SU
Inventors: Николай Васильевич Большаков; Петр Алойзович Пундур
Original assignee: Латвийский Ордена Трудового Красного Знамени Государственный Университет Им.П.Стучки
Priority date: 1981-03-30
Filing date: 1981-03-30
Publication date: 1983-02-07

Description

Изобретение относится к технике подготовки образцов к исследованию и может быть использовано в промышленных условиях в техническом, процессе j изготовления полупроводниковых изделий, на входном и выходном контроле качества материалов микроэлектроники и полупроводниковой техники, а также для проведения широкого круга научных исследований.

Известно устройство для восстановления зубьев шестерен травлением, состоящее из ванны с травителем, в которую погружаются шестерни, причем погружение может осуществляться механическим перемещением шестерни или изменением уровня травителя(1].

Качество стравливаемой поверхности невысоко при механическом перемещении из-за сильного влияния разного рода вибраций, а в случае изменения уровня травителя - из-за отсутствия стабилизации скорости натекания трави- * теля в ванну.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту является устройство для изготовления образцов с косым шлифом методом травления, включающее верхнюю и нижнюю емкости, установленные на разных уровнях и соединенные трубкой, держатель с образцами, расположенными в нижней емкости. Образец погружается в травитель в результате подъема уровня травителя в нижней емкости [2 ].

Недостатком устройства является то, что при заполнении травителем нижней емкости постоянно меняется расстояние между уровнями травителя в емкостях,т.е. меняется давление столба травителя, что обязательно влечет за собой изменение скорости' натекания и, следовательно, неравномерность заполнения нижней емкости травителем, что ведет к снижению качества поверхности шлифа.

.Целью изобретения является повышение качества поверхности шлифа путем стабилизации скорости подачи травителя.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для изготовления образцов с косым шлифом, включающем верхнюю и нижнюю емкости, заполненные· травителем, установленные на разных уровнях и соединенные трубкой, держатель с образцами, верхняя емкость, снабжена крышкой и установленной в ней трубкой, нижний конец которой погружен в травитель, а нижняя емкость снабжена перегородкой с каналом, при этом нижний конец трубки, соединяющей емкости, расположен над уровнем травителя в нижней емкости. Устройство включает верхнюю емкость 1 с крышкой 2 и установленную в ней трубку 3, нижний конец которой погружен в травитель. Через крышку 2 проходит трубка 4, соединяющая верхнюю емкость 1 с нижней емкостью 5.

Нижняя емкость 5 разделена перегородкой 6 с каналом 7 на два отсека 8 и 9 , в одном из которых установлены держатель 10 с образцами 11.

Устройство работает следующим образом.

Заполняют верхнюю емкость 1 травителем, закрывают ее крышкой 2, через отверстия в которой вводят трубки 3 и 4. Образцы 11 устанавливают в отсеке 9 емкости 5. Нижний конец трубки 4’вводят в верхнюю часть отсека 8 емкости 5.

Для подачи травителя из верхней емкости 1 в нижнюю 5 через трубку 3 подают воздух в емкость 1, повышая давление газа над травителем. Под действием давления травитель через трубку 4 поступает в отсек 8 емкости 5 и далее через канал 7 в отсек 9 для травления.

Со снижением уровня травителя в емкости 1 над травителем создается разряжение, при этом атмосферный воздух, поступая через трубку 3, поддерживает давление на уровне нижнего конца трубки 3, равное атмосферному .

Давление в травителе определяется столбом жидкости между нижними концами трубок 3 и 4, оно постоянно, и следовательно, постоянная скорость натекания травителя. При наполнении отсека 8 травителем различные участки образцов по вертикали травятся разное время, в результате чего нижние участки образцов стравливаются больше верхних. Ввиду постоянства скорости натекания травителя уровень его повышается равномерно, косой шлиф имеет ровную линейную поверхность .

Скорость наполнения нижней емкости 5 может изменяться в зависимости от расположения верхней емкости 1 по высоте,площади основания нижней емкости 5, а также площади сечения трубки 4.

Конструкция устройства обеспечивает стабилизацию скорости наполнения травителем емкости с образцами из-за постоянства столба жидкости h во время всего процесса травления, а равномерность подъема уровня травителя в емкости с образцами влечет за собой линейность поверхность шлифа. С помощью устройства получены косые шлифы длиной 20 мм с отклонением от линейности поверхности не более 1% (при высоте столба жидкости К, = 100 мм).’.

Claims

погружен в травитель, а нижн емкость снабжена перегородкой с канало при этом нижний конец трубки, соедин ющей емкости, расположен над уров .нем травител в нижней емкости. Устройство включает верхнюю емкость 1 с крышкой 2 и установленную в ней трубку 3, нижний конец которо погружен в травитель. Через крышку проходит трубка 4. соедин юща верх нюю емкость 1 с нижней емкостью 5. Нижн емкость 5 разделена перегородкой 6 с каналом 7 на два отсека 8 и 9 j в одном из которых установлены держатель 10 с образцами 11 Устройство работает следующим об разом. Заполн ют верхнюю емкость 1 травителем , закрывают ее крышкой 2, че рез отверсти в которой ввод т труб ки 3 и 4. Образцы 11 устанавливают в отсеке 9 емкости 5. Нижний конец трубки 4ввод т в верхнюю часть отсека 8 емкости 5. Дл подачи травител из верхней емкости 1 в нижнюю 5 через трубку 3 подают воздух в емкость 1, повыша давление газа над травителем. Под действием давлени травитель через трубку 4 поступает в отсек 8 емкости 5 и далее через канал 7 в отсек дл травлени . Со снижением уровн травител в емкости 1 над травителем создаетс разр жение, при этом атмосферный воздух, поступа через трубку 3, поддерживает давление на уровне нижнего конца трубки 3, равное атмосфер ному . Давление в хранителе определ етс столбом жидкости между нижними концами трубок 3 и 4, оно посто нно, и следовательно, посто нна скорость натекани травител . При наполнении отсека 8 травителем различные участки образцов по вертикали трав тс разное врем , в результате чего нижние участки образцов стравливаютс больше верхних. Ввиду посто нства скорости натекани травител уровень его повышаетс равномерно, косой шлиф имеет ровную линейную поверхность . Скорость наполнени нижней емкости 5 может измен тьс в зависимости от расположени верхней емкости 1 по высоте,площади основани нижней емкости 5, а также площади сечени трубки 4. Конструкци устройства обеспечивает стабилизацию скорости наполнени травителем емкости с .образцами из-за посто нства столба жидкости h во врем всего процесса травлени , а равномерность подъема уровн травител в емкости с образцами влечет за собой линейность поверхность шлифа. С помощью устройства получены косые шлифы длиной 20 мм с отклонением от линейности поверхности не более 1% (при высоте столба жидкости h, 100 мм1.. Формула изобретени Устройство дл изготовлени образцов с косым шлифом, включающее верхнюю и нижнюю емкости, заполненные травителем, установленные на разных уровн х и соединенные трубкой, держатель с образцами, расположенными в нижней емкости, отл ичающее с тем, что, с целью повышени качества шлифа путем стабилизации скорости подачи травител , верхн емкость снабжена крышкой и установленной в ней трубкой, нижний конец которой погружен в травитель, а нижн емкость снабжена перегородкой с каналом, при этом нижний конец трубки, соедин кщей емкости, расположен над уровнем травител в нижней емкости. Источники информации, прин тые во внимание при.экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 51862, кл. С 23F 1/02, 1947.
2.Авторское свидетельство СССР 715962, кл. G 01 N 1/32, 1977 (прототип)..

Kl /7 /// 7 /7 / Л

/ / / / XV