SU722594A1 - Устройство дл лить пленки - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к конструкции устройств дл  изготовлени  примен емьп в электронных приборах эмиссионных, металлизационнык, изол ционных и п. пленочных покрытий и может использоватьс  в радаоэлектронной промышленности .

Известно устройство дл  лить  пленки , содержащее литьевую воронку, установленную над технологической подложкой l.

Однако это устройство не позвол етполучать стабильную толщину пленки вследствие того, что давление вытеснени  образовано только гидроста-гаческим давлением шликера в воронке, которое значительно измен етс  по мере его расходовани .

Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  устройство дл  лить  пленки, содержащее литьевую воронку, сообщаю- с резервуаром дл  жидкости 2,

ОднЕ1ко в воронке имеет место изменение давлени  вытеснени , что приво-

i дит к соответствующим изменени м толщины изготавливаемой пленки.

Цель изобретени  - стабилизаци  топ- пщны пленки.

Цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  лить  пленки, содержащем литьевую воронку, сообщающуюс  с резервуаром дл  жидкости, воронка подвешена на упругом элемента, соедин ющем её с резервуаром и выполненным в виде на, трубки Бурдона или мембраны.

На фиг. 1 схематически изображено устройство дл  лить  пленки с упругим элементом в виде сильфонл; на фиг. 2 то же, упругий элемент в виде мембраны; на фиг. 3 - то же, упругий элемент в виде трубки Бурдона.

Устройство дл  лить  пленки содержит стол 1, технологическую подложку 2. Над столом жестко закреплен резервуар 3. К резервуару 3 подвешена с помощью упругч)го элемента воронка 4, полость которой сообщаетс  с полостью резервуара через упрзтий элемент, выполненный

в виде сильфона 5. ЕЗороика 4 снабжепа демпфирующим пружинным параллелограммом 7.

Унрутий элемент может быть вынолнен в виде мембраны 6 или в виде изогнутой трубки - трубки Бурдона 8 (фиг. 3

Устройство работает следующим образом ,

В резервуар 3 заливают литейную жикость (шликер) до заданного уровн . Одновременно заполн етс  и воронка 4, котора  под действием гидростатического давлени  опускаетс , преодолева  сопротивление упругого элемента 5, 6 или 8, до рассчитанного на необходимый расход зазора между воронкой и подложкой. При этом упругий элемент 5, 6 или 8 накапливает потенциальную энергию за счет упругой деформации под действием нагрузки {гидростатического давлени ). По мере расхода жидкости из воронки на двин утуюс  подложку 2 давление в системе резервуар-воронка падает, в результате чего постепенно снижаетс  степень воздействи  нагрузки на упругий элемен который, использу  накопленную энергию постепенно восстанавливает свою форму, приподнима  при этом воронку ;над подложкой и увеличива  тем самым зазор. Увеличение зазора компенсируетпадение давлени , в результате чего расход жидкости остаетс  посто нным. Это в свою очередь обеспечивает стабильность толщины пленки.

Демпфирующий пружинный параллелограмм 7 устран ет качани  литьевой во ч КхЧр jf -,- I nryii II T,fl ТЧТ Щ J

ронки (может бы7Ъ заменен на направл ющие ).

Использование предлагаемого устройсва позвол ет получать высококачественную метад;1{оорганическую пленку, примен емую в гибридных интегральных схемах , электронных вакуумных приборах и т, д.

Claims (4)

1. Устройство дл  лить  пленки, содержащее литьевую воронку, сообщающуюс  с резервуаром дл  жидкости, о т л ч ающеес  тем, что, с целью стабилизации толщины пленки, воронка подвешена на упругом элементе, соедин ющем ее с резервуаром.

2. Устройство по п. 1, отличающеес  тем, что упругий элемент выполнен в виде сильфона.

3.Устройство по п. 1, отличающеес  тем, что упругий элемент выполнен в виде трубки Бурдона.

4.Устройство по п. 1, отличающеес  тем, что упругий элемент выполнен в виде мембраны.

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 432935, кл. В О5 С 5/О2, 1971.

2.Патент США № 2974364,

кл. 264-213, опублик. 1961 (прототип L . ч. I- -. I .1..,,, I La gXgSt dl j O$f k X.Vii XySAA pvv x//V// , Фи. 2

V/Л

Фо-аЗ