JPS5918444A - 浸透検査装置 - Google Patents

浸透検査装置

Info

Publication number
JPS5918444A
JPS5918444A JP12668282A JP12668282A JPS5918444A JP S5918444 A JPS5918444 A JP S5918444A JP 12668282 A JP12668282 A JP 12668282A JP 12668282 A JP12668282 A JP 12668282A JP S5918444 A JPS5918444 A JP S5918444A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
red
signal
voltage level
checked
video signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12668282A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Inoue
広 井上
Nobushi Suzuki
鈴木 悦四
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP12668282A priority Critical patent/JPS5918444A/ja
Publication of JPS5918444A publication Critical patent/JPS5918444A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、液体浸透探傷検査を自動的に行うだめの浸透
検査装置に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
液体浸透探傷検査(以下、浸透検査と略称する。)は、
被検物体の表面に赤色の浸透液を塗布して、一定時間保
持した後、浸透液を払拭し、この浸透液が払拭された表
面に白色の現像剤を塗布することにより行っている。も
し、被検物体の表面に開口する欠陥部が存在すると、欠
陥部に残留している浸透液が表面に浸出して、白地の現
像剤が赤色に着色される。そこで従来においては、上記
赤色着色部分を目視によ如検出し、欠陥部を発見してい
た。ところが、目視による赤色着色部分の発見には、見
落しが不可避であるため高度の熟練を要するのみならず
、しばしば検査員の眼球疲労−?腰痛を惹起する問題が
あった。さらに、欠陥部の記録がきわめて煩雑である等
、極めて非能率なものとなっていた。
〔発明の目的〕
本発明は、上記事情を参酌してなされたもので、浸透検
査を迅速かつ正確に行うことができるとともに、検査員
の負担を軽減させることができる浸透検査装置に関する
〔発明の概要〕
被検物体の検査表面を撮像したカラー撮像装置からのv
i数の映イ1信号を2値化するとともに、2値化された
信号に基づいて検査表面の赤色部分のみを示す赤色検出
信号を得、この赤色検出信号によシ欠陥検出を行うよう
にしたものである。
〔発明の実施例〕
以下、本発明を図面を紗照して、実施例に基づいて詳述
する。
11図1」1、本夾施例の浸透検査装置を示すもの°で
、カラー撮像装置であるカラーITvカメラ(1)は、
被検物体(2)の検査表面(3)を撮像できる位置に設
置されている。上記被検物体(2)は、図示せぬ保持装
置によp所定位置に保持されるとともに、その検査表面
(3)を近接して配設された光源(4)によυ落射照明
されるようになっている。しかして、カラーITVカメ
ラ(1)は、その入力側が水平及び画直同期信号を混合
してなる複合同期信号を発生する同期信号発生回路(5
)に接続されている。また、カラー(8)により第2の
比較器(9)に接続されている。上記第1の比較器(7
)は、入力信号の電圧が設定値より大きいときに、信号
が出力されるようになっている。他方、上記第2の比較
器(8)は、入力信号の電圧が設定値よυ小さいときに
、信号が出力されるようになっている。さらに、第1及
び第2の比較器(力、(9)は、ANI)ゲート00)
の入力側に接続されている。上記第1及び第2の比較器
(7) 、 (9)並びにANDゲート0呻は、赤色検
出回路01)を構成している。
上記、ANDゲートCIIの出力側及び同期信号発生回
路(5)の出力側は、映像信号再生回路0渇の入力側に
接続されている。そして、映像信号再生回路(lりの出
力側は、記憶機能及び演′X機能を有する例えばマイク
ロ・コンピュータなどの演算制御装置(13及びモニタ
TVa荀に接続されている。上記演算制御装置aSは、
例えばプリンタなどの出力部α最に接続されている。
上記構成の浸透検査装置において、まず、保持装置に保
持された被検物体(2)の検査表面(3)を光源(4)
からの光によ如照明する。しかして、検査表面(3)撮
像位置に設定されたカラーITVカメラ(1)からは、
同期信号発生回路(5)から出力された被合同期信号S
Aに基づいて、赤色映像信号Rが第1の比較器(力に、
緑色映像信号Gが第2の比較器(9)に出力される。こ
れら赤色及び緑色映像信号J Gは、あらかじめ基準白
色パターンで自バランス調整されるとともに、黒レベル
でクランプされ、それら、の電圧レベルは、第2図(a
)に示す検査表面(3)の色性状に対応して、第2図(
b)及び(C)のようになっている。すなわち、検査表
面(3)のうち、無欠陥領域(liは、白色を呈し、赤
色及び緑色映像信号几、Gの電圧レベルは、それぞれL
l及び瑞となっている。
また、欠陥領域Q7)は、赤色を呈し、赤色及び緑色映
像信号ル、Gの電圧レベルは、それぞれり、及びL4と
なりている。′#を圧レベルL、は、電圧レヘA/L。
よりかなり落ちこみが大きくなっている。さらに、欠陥
ではないが、検査表面(3)の地肌が露呈することによ
如、黒ずんでみえる暗部領域α枠における赤色及び緑色
映像信号几、Gの電圧レベルLll、L、は、両者とも
極めて低くなっている。しかして、上記第1の比較器(
7)にては、赤色映像信号Rは、第2図(b)に示す閾
値T1(電圧レベルL8と電圧レベルL。
との間になるように設定されている。)で2値化され、
この閾値TIを越える電圧レベル部分が無欠陥領域(I
I及び欠陥領域αDを示す論理「1」、他の電圧レベル
部分が暗部領域端を示す論理「0」である信号S几が、
ANDゲートaO)に出力される(第2図(d)参照)
。他方、第2の比較器(9)にては、緑色映像信号Gは
、第2図(C)に示す閾値’rt(1!圧レベルL4と
電圧レベルL6との間に設定されている。)で2値化さ
れ、この閾値T、以下の電圧レベル部分が、無欠陥領域
aeを示す論理「0」、他の電圧レベル部分が、欠陥領
域(17)及び暗部領域a樟を示す論理「1」である信
号SGが、ANDゲートαQに出力される(第2図(e
)参照)。このANDゲー)Hからは。
信号SRと信号SGの論理が、ともに「1」となったと
き、すなわち、欠陥領域(I7)に対応する電圧レベル
部分のみが論理「1」となり、暗部領域(1樽が捨象さ
れて論理「0」となった信号8Bが、映像信号再生回路
(2)に出力される。この映像信号再生回路(1′4に
ては、同期信号発生回路(5)からの同期信号、SAと
信号8Bとが混合され、可成映像信号SCとして、モニ
タTV(141及び演算制御部(131に出力される。
しかして、一方、モニタ’1”V(IJにては、欠陥領
域←ηを示す赤色検出画像のみが映像表示され、他方、
演算制御部(13にては、赤色検出画像の記録、特定の
画像領域における面積it算等の画像処理が行われると
ともに、欠陥領域αりの大きさ及び数量を検査基準と照
合して、被検物体(2)の合否の判定が行われる。しか
して、演算制御部u場における演算結果は1プリンタ(
151に印字される。このように、本実施例の浸透検査
装置は、赤色及び黒色に対して緑色映像信号Gの電圧レ
ベルが、白色に比べて落ち込みが大きいのに対し、赤色
映像信号Rは、その電圧レベルが、黒色に対してのみ白
色に比べて落ち込みが大きく、赤色に対しては落ち込み
が小さい映像信号特性を利用するもので、欠陥領域であ
る赤色部分のみを他色部分から明確に峻別できるので、
S/N比が高くなる結果、検査精度が著しく向上する。
なお、上記実施例に限ることなく、緑色映像信号Gの代
りに、青色映像信号Bを用いても同様の効果を得ること
ができる。また、上記実施例における赤色検出回路では
、第2の比較器(9)に入力し  ・た緑色映像信号G
は、閾値T2以下の電圧レベル部分を論理「1」として
いるが、第3図に示すように、閾値T2を越える電圧レ
ベル部分を論理「1」とする信号SGを排他的ORゲー
ト員に入力しても、暗部領域0呻が捨象された欠陥領域
C17>を検出することができる。
〔発明の効果〕
本発明は、浸透検査される被検物体の白色現像剤が塗布
された検査表面をカラー撮像装置によp撮像するととも
に、このカラー撮像装置から出力された緑色映像信号又
は青色映像信号のいずれか一方と赤色映像信号とを2値
化し、これら2個の2値化色号に基づいてMll理路路
て赤色を呈する欠陥部のみを抽出するよりにしたもので
、 8/N比が向上し、高精度で欠陥検出1を行うこと
ができるので、検査員の負担が軽減するとともに、検査
能率が着しく改善される。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の浸透検査装置の要部を示す
概略図、第2図は第1図に示す浸透検査装置の動作を示
すタイミング中チャート、第3図は本発明の他の実施例
の浸透検査装置の赤色検出回路を示す図である。 (1):カラーI’I”Vカメラ。 (2):被検物体。 (3):検査表面。 al):赤色検出回路。 霞1演算制御部。 代理人 弁理士  則 近 憲 佑 (ほか1名)第1
図 SA ・ F?、6     ・ 1 し−−−コ /10 :      /2 ′: 3 。 ’   5B 「\ 、−−J 1−−一−−−−−−−−1/3 ノ ア ’          //        /4ノ 
        2         繁r z 区l
−十ヨ巳−一一」1=呵Y戸F7.!?/f、ユ、17
3 1    、  l   Z   。 」寸特則と 。b) え               Tt(6)
lゴ4ワeTz )     1 1    − <d)SR」−7=U L2) 5c、 7−ユ」し「 γ3図 手 続 補 正 誓(自発) 1、事件の表示 昭和57年特許願第126682号 2、発明の名称 浸透検査装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 (307)東京芝浦電気株式会社 4代理人 〒100 東京都千代田区内幸町1−1−6 5、補正の対象 (1)明細書の発明の詳細な説明の欄 6、補正の内容 明細書第6j1′第13行目から同頁路16行目にかけ
ての[第2図(C)に示す閾値°P2(電圧レベルL4
と電圧レベルL6との間に設定されている。)で2値化
され、この閾値′1゛2以下の電圧レベル部分がJの記
載を、[#g2図(C)1こ示す閾値T2(電圧レベル
11□と電圧レベルL4との間に設定されている。)で
2値化され、この閾値12以上の電圧レベル部分が、」
 と訂正する。 以上

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 白色の浸透検査用現像剤が塗布された被検物体の検査表
    面を撮像して赤色映像信号及び緑色映像信号及び青色映
    像信号を出力するカラー撮像装置と、上記緑色映像信号
    又は上記青色映像信号のうちいずれか一方の映像信号と
    上記赤色映像信号とをそれぞれ上記検査表面の白色部分
    に対応する電圧レベルと上記検査表面の欠陥部分を示す
    赤色部分に対応する電圧レベルとの間に設定された閾値
    によp2値化するとともに2値化された信号に対して論
    理演算処理を行い上記赤色部分のみを示す信号を出力す
    る赤色検出回路と、上記赤色検出回路から出力された信
    号に基づいて上記被検物体の欠陥認識処理を行う演算制
    御部とを具備することを特徴とする浸透検査装置。
JP12668282A 1982-07-22 1982-07-22 浸透検査装置 Pending JPS5918444A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12668282A JPS5918444A (ja) 1982-07-22 1982-07-22 浸透検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12668282A JPS5918444A (ja) 1982-07-22 1982-07-22 浸透検査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5918444A true JPS5918444A (ja) 1984-01-30

Family

ID=14941242

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12668282A Pending JPS5918444A (ja) 1982-07-22 1982-07-22 浸透検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5918444A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3916439A (en) Inspection system employing differential imaging
US7085408B1 (en) Method and system for testing image sensor system-on-chip
CA1126857A (en) Defect inspection apparatus
CA1139425A (en) Object inspection system
JPS5918444A (ja) 浸透検査装置
JP2000097882A (ja) X線検査方法及びx線検査装置
JPH0224543A (ja) 瓶の外観検査方法
JPS59663A (ja) 波形テスト方法
JPS61169749A (ja) 物品の外面検査方法
JPS58132648A (ja) 印刷配線板の自動検査方法およびその装置
JPH0293871A (ja) 均一性検査方法
JP2756738B2 (ja) 半導体装置の外観検査装置
JPH04364446A (ja) 欠陥検査装置
JPH01112468A (ja) プリント基板検査装置
JPS59102106A (ja) 検査方式
JP3063994B2 (ja) 画像処理装置および外観検査装置
JPH04147002A (ja) 青果物の表面検定装置
KR20000008597A (ko) 텔레비젼 선명도 검사장치
JPS61176837A (ja) 物品の外観検査方法
JPH08101138A (ja) 外観検査装置およびその検査方法
KR100278670B1 (ko) 텔레비전화면검사방법및그검사장치
JPS616775A (ja) パタ−ン形状検査方法
JPS5994006A (ja) 外観検査装置
JPH04147044A (ja) 表面状態検査装置
JPS62157499A (ja) イメ−ジセンサのきず検査方法