JPS5917552B2 - パルスレ−ザ装置 - Google Patents
パルスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS5917552B2 JPS5917552B2 JP10072875A JP10072875A JPS5917552B2 JP S5917552 B2 JPS5917552 B2 JP S5917552B2 JP 10072875 A JP10072875 A JP 10072875A JP 10072875 A JP10072875 A JP 10072875A JP S5917552 B2 JPS5917552 B2 JP S5917552B2
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- Japan
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- flash
- flash lamps
- display
- output
- pulse
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/0915—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light
- H01S3/092—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光励起形パルスレーザ発振器を複数個のフラッ
シュランプで励起するようにしたパルスレーザ装置に関
するものである。
シュランプで励起するようにしたパルスレーザ装置に関
するものである。
従来のこの種のパルスレーザ装置として複数本のフラッ
シュランプを直列点灯させるようにしたものがある。
シュランプを直列点灯させるようにしたものがある。
上記のものは直列接続された複数本のフラッシュランプ
に高電圧を印加し充放電コンデンサからの電荷を各フラ
ッシュランプに直列的に放電せしめるものである。した
がつてコンデンサ充電回路の高耐圧化をはからねばなら
ず、製作５ 上問題がある。これに代るものとして複数
個のフラッシュランプを単一の充放電コンデンサに対し
て並列に接続し、これらのフラッシュランプにトリガパ
ルスを印加して並列点灯させるようにしたものが考えら
１０れる。
に高電圧を印加し充放電コンデンサからの電荷を各フラ
ッシュランプに直列的に放電せしめるものである。した
がつてコンデンサ充電回路の高耐圧化をはからねばなら
ず、製作５ 上問題がある。これに代るものとして複数
個のフラッシュランプを単一の充放電コンデンサに対し
て並列に接続し、これらのフラッシュランプにトリガパ
ルスを印加して並列点灯させるようにしたものが考えら
１０れる。
しかるにこの並列点灯方式のものは、次のような欠点を
もつている。すなわち、複数個のフラッシュランプを一
斉に点灯すべく全フラッシュランプに共通にトリガパル
スを印加したにも拘らず点灯しないフラッシュランプが
存在すると、レ１５−ザ物質の励起状態が定常状態とは
異なつたものとなり、レーザ出力波形に変化を生じさせ
る。したがつてかかる状態のまま、たとえば穴あけ等の
レーザ加工を行なつた場合、穴の形状あるいは穴径等に
不揃いを生じさせるおそれがある。また各２０フラッシ
ュランプは並列接続されているため、点灯している他の
フラッシュランプに過大電流が流入し、そのフラッシュ
ランプに損傷を与えるおそれがあり、最悪の場合、パル
スレーザ装置全体が損傷する可能性がある。２５本発明
はこのような事情を考慮してなされたもので、その目的
は複数個のフラッシュランプを並列点灯させることによ
り、充電回路の高耐圧化をはかる必要がないうえパルス
幅が狭くピーク出力の大きなレーザ発振出力を得ること
ができ、しか３０も点灯しないフラッシュランプがあつ
た場合、直ちにその不点灯を確認することができレーザ
加工装置等に適用した場合において信頼性の高ぃ動作が
期待できるパルスレーザ装置を提供することである。
もつている。すなわち、複数個のフラッシュランプを一
斉に点灯すべく全フラッシュランプに共通にトリガパル
スを印加したにも拘らず点灯しないフラッシュランプが
存在すると、レ１５−ザ物質の励起状態が定常状態とは
異なつたものとなり、レーザ出力波形に変化を生じさせ
る。したがつてかかる状態のまま、たとえば穴あけ等の
レーザ加工を行なつた場合、穴の形状あるいは穴径等に
不揃いを生じさせるおそれがある。また各２０フラッシ
ュランプは並列接続されているため、点灯している他の
フラッシュランプに過大電流が流入し、そのフラッシュ
ランプに損傷を与えるおそれがあり、最悪の場合、パル
スレーザ装置全体が損傷する可能性がある。２５本発明
はこのような事情を考慮してなされたもので、その目的
は複数個のフラッシュランプを並列点灯させることによ
り、充電回路の高耐圧化をはかる必要がないうえパルス
幅が狭くピーク出力の大きなレーザ発振出力を得ること
ができ、しか３０も点灯しないフラッシュランプがあつ
た場合、直ちにその不点灯を確認することができレーザ
加工装置等に適用した場合において信頼性の高ぃ動作が
期待できるパルスレーザ装置を提供することである。
３５以下本発明の詳細を図面に示す実施例によつて明ら
かにする。
かにする。
図はこの発明の一実施例を示す回路図であつて、直流電
源１の出力が充電制御回路２を介して充放電コンデンサ
３に適時供給される。しかして上記コンデンサ３は図示
の如く「十」［−」に充電される。上記コンデンサ３の
両端には放電電流波形成形用のコイル４を介して次の二
つの回路が並列に接続してある。一つの回路は波形成形
コイル５と、フラツシユランプ６と抵抗７との直列回路
であり、他の回路は波形成形コイル８と、フラツシユラ
ンプ９と、抵抗１０との直列回路である。フラツシユラ
ンプ６，９は、たとえばキセノンランプ等の閃光放電灯
であり、そのトリガ電極６ａ，９ａにトリガパルス発生
器１１からのトリガパルスを印加されて同時に始動点灯
するものである。レーザ発振器１２はレーザ物質１３（
たとえば固体レーザロツド）と共振器ミラー１４，１５
とを主たる要素として構成されたもので、レーザ物質１
３に前記フラツシユランプ６，９からの閃光を照射され
ることによつて励起され、発振出力すなわちレーザ光線
１６を送出する。前記抵抗７および１０の両端にはそれ
ぞれの電圧降下を検出するたとえばトランジスタ等の素
子を含む放電検出器１７，１８が接続されている。上記
一方の放電検出器１７の出力はランプ等からなる表示器
１９に与えられて表示され、他方の放電検出器１８の出
力は別の表示器２０に与えられて表示されるものとなつ
ている。
源１の出力が充電制御回路２を介して充放電コンデンサ
３に適時供給される。しかして上記コンデンサ３は図示
の如く「十」［−」に充電される。上記コンデンサ３の
両端には放電電流波形成形用のコイル４を介して次の二
つの回路が並列に接続してある。一つの回路は波形成形
コイル５と、フラツシユランプ６と抵抗７との直列回路
であり、他の回路は波形成形コイル８と、フラツシユラ
ンプ９と、抵抗１０との直列回路である。フラツシユラ
ンプ６，９は、たとえばキセノンランプ等の閃光放電灯
であり、そのトリガ電極６ａ，９ａにトリガパルス発生
器１１からのトリガパルスを印加されて同時に始動点灯
するものである。レーザ発振器１２はレーザ物質１３（
たとえば固体レーザロツド）と共振器ミラー１４，１５
とを主たる要素として構成されたもので、レーザ物質１
３に前記フラツシユランプ６，９からの閃光を照射され
ることによつて励起され、発振出力すなわちレーザ光線
１６を送出する。前記抵抗７および１０の両端にはそれ
ぞれの電圧降下を検出するたとえばトランジスタ等の素
子を含む放電検出器１７，１８が接続されている。上記
一方の放電検出器１７の出力はランプ等からなる表示器
１９に与えられて表示され、他方の放電検出器１８の出
力は別の表示器２０に与えられて表示されるものとなつ
ている。
また上記放電検出器１７，１８の出力はアンドゲート２
１の入力端に加えられその一致出力が表示器２２に与え
られるものとなつている。表示器２２はたとえばランプ
等からなる。次に上記の如く構成された装置の動作を説
明する。
１の入力端に加えられその一致出力が表示器２２に与え
られるものとなつている。表示器２２はたとえばランプ
等からなる。次に上記の如く構成された装置の動作を説
明する。
コンデンサ３に充電がなされている状態において、トリ
ガパルス発生器１１からフラツシユランプ６，９の各ト
リガ電極６ａ，９ａにトリガパルスを印加すると、フラ
ツシユランプ６，９は始動点灯する。すなわちコンデン
サ３に充電されてぃた電荷がコイル４〜コイル５〜フラ
ツシユランプ６〜抵抗７の経路およびコイル４〜コイル
８〜フラツシユランプ９〜抵抗１０の経路で放電し、フ
ラツシユランプ６，９は閃光を発する。この閃光がレー
ザ物質１３に照射されると、レーザ物質１３が励起され
、レーザ発振器１２はパルス状のレーザ出力１６を送出
する。このとき抵抗７，１０の両端には上記放電々流に
よる電圧降下が生じ、これが放電検出器１７，１８によ
つて検出される。上記のようにフラツシユランプ６，９
が同時に始動点灯して閃光を発生するものとすれば、抵
坑７，１０の両端に現われる電圧降下の変化すなわち、
放電電流波形は同様のものとなる。したがつて、表示器
１９，２０は同様の表示なす。またアンドゲート出力端
に一致出力が得られるので、表示器２２に異常のない旨
の表示がなされる。ところで今、トリガパルスを印加さ
れたにも拘らずフラツシユランプ６，９のうちいずれか
一方たとえばフラツシユランプ６が点灯しなかつたとす
る。
ガパルス発生器１１からフラツシユランプ６，９の各ト
リガ電極６ａ，９ａにトリガパルスを印加すると、フラ
ツシユランプ６，９は始動点灯する。すなわちコンデン
サ３に充電されてぃた電荷がコイル４〜コイル５〜フラ
ツシユランプ６〜抵抗７の経路およびコイル４〜コイル
８〜フラツシユランプ９〜抵抗１０の経路で放電し、フ
ラツシユランプ６，９は閃光を発する。この閃光がレー
ザ物質１３に照射されると、レーザ物質１３が励起され
、レーザ発振器１２はパルス状のレーザ出力１６を送出
する。このとき抵抗７，１０の両端には上記放電々流に
よる電圧降下が生じ、これが放電検出器１７，１８によ
つて検出される。上記のようにフラツシユランプ６，９
が同時に始動点灯して閃光を発生するものとすれば、抵
坑７，１０の両端に現われる電圧降下の変化すなわち、
放電電流波形は同様のものとなる。したがつて、表示器
１９，２０は同様の表示なす。またアンドゲート出力端
に一致出力が得られるので、表示器２２に異常のない旨
の表示がなされる。ところで今、トリガパルスを印加さ
れたにも拘らずフラツシユランプ６，９のうちいずれか
一方たとえばフラツシユランプ６が点灯しなかつたとす
る。
そうすると、抵抗１０には所定の電圧降下が現われるが
、抵抗７には電圧降下が生じない。このため放電検出器
１７からは出力が得られず、放電検出器１８からのみ出
力が得られる。したがつて表示器２０は表示するが、表
示器１９は表示を行なわなぃ。またアンドゲート２１の
一致出力が得られないので、表示器２２も表示を行なわ
ないかくして、各表示器１９，２０，２２の表示状態を
みることによつて、フラツシユランプ６，９がすべて正
常に点灯されたか否かを直ちに判析することができると
共に、どのランプが不点灯であつたか否かを確認するこ
とができる。
、抵抗７には電圧降下が生じない。このため放電検出器
１７からは出力が得られず、放電検出器１８からのみ出
力が得られる。したがつて表示器２０は表示するが、表
示器１９は表示を行なわなぃ。またアンドゲート２１の
一致出力が得られないので、表示器２２も表示を行なわ
ないかくして、各表示器１９，２０，２２の表示状態を
みることによつて、フラツシユランプ６，９がすべて正
常に点灯されたか否かを直ちに判析することができると
共に、どのランプが不点灯であつたか否かを確認するこ
とができる。
したがつて本装置をたとえばレーザ加工装置に適用した
場合において、一部のフラツシユランプが不点灯のまま
穴あけ加工等を継続するおそれはなく、加工不良品の多
発を未然に防止することができる。また、不点灯のフラ
ツシユランプを値ちに発見し、パルスレーザ装置の稼動
を停止することによつて、他の正常なフラツシユランプ
の損傷を未然に防止することもできる。また本装置の如
く、フラツシユランプの並列点灯を行なえばフラツシユ
ランプが並列接続のため放電合成抵抗の減少ができ放電
回路の時定数が小さくなるためパルス幅を小さくできる
。また各フラツシユランプに各々のコンデンサ電圧が印
加されるので充電回路を格別に高耐圧化する必要もない
。かくしてコンデンサ３の充放電電圧が小さくてもパル
ス幅が小さくピーク出力の大きなレーザ発振出力を容易
に得ることができる。なお、本発明は上記実施例に限定
されるものではない。
場合において、一部のフラツシユランプが不点灯のまま
穴あけ加工等を継続するおそれはなく、加工不良品の多
発を未然に防止することができる。また、不点灯のフラ
ツシユランプを値ちに発見し、パルスレーザ装置の稼動
を停止することによつて、他の正常なフラツシユランプ
の損傷を未然に防止することもできる。また本装置の如
く、フラツシユランプの並列点灯を行なえばフラツシユ
ランプが並列接続のため放電合成抵抗の減少ができ放電
回路の時定数が小さくなるためパルス幅を小さくできる
。また各フラツシユランプに各々のコンデンサ電圧が印
加されるので充電回路を格別に高耐圧化する必要もない
。かくしてコンデンサ３の充放電電圧が小さくてもパル
ス幅が小さくピーク出力の大きなレーザ発振出力を容易
に得ることができる。なお、本発明は上記実施例に限定
されるものではない。
実施例では不点灯ランプの表示手段としてランプ等から
なる表示器を用いたが、これにブザーあるいはその他の
報知器等を併用してもよい。さらに上記表示器あるいは
報知器とフラツシユランプをトリガするためのトリガパ
ルス発生器とを結合し、フラツシユランプに不点灯が生
じた場合にトリガパルス発生器の動作を停止するように
してもよい。また前記実施例ではアンドゲートの一致出
力で表示器２２を作動させ全てのランプが点灯したこと
を確認できるようにしたが、逆に不一致出力で表示器２
２を作動させ各ランプが同一のタイミングで点灯しない
場合に警報表示をなすようにしてもよぃ。以上説明した
ように本発明は充放電コンデンサの両端に複数個のフラ
ツシユランプを並列的に接続し、これらのフラツシユラ
ンプを一斉に並列点灯させてパルスレーザ発振器を励起
するようにし、上記各フラツシユランプの点灯の有無を
抵抗の端子電圧を検出する検出器でもつて検出すると共
に、その検出器の検出出力に応動する表示手段によつて
フラツシユランプの点灯の有無の確認を行うようにした
ものである。
なる表示器を用いたが、これにブザーあるいはその他の
報知器等を併用してもよい。さらに上記表示器あるいは
報知器とフラツシユランプをトリガするためのトリガパ
ルス発生器とを結合し、フラツシユランプに不点灯が生
じた場合にトリガパルス発生器の動作を停止するように
してもよい。また前記実施例ではアンドゲートの一致出
力で表示器２２を作動させ全てのランプが点灯したこと
を確認できるようにしたが、逆に不一致出力で表示器２
２を作動させ各ランプが同一のタイミングで点灯しない
場合に警報表示をなすようにしてもよぃ。以上説明した
ように本発明は充放電コンデンサの両端に複数個のフラ
ツシユランプを並列的に接続し、これらのフラツシユラ
ンプを一斉に並列点灯させてパルスレーザ発振器を励起
するようにし、上記各フラツシユランプの点灯の有無を
抵抗の端子電圧を検出する検出器でもつて検出すると共
に、その検出器の検出出力に応動する表示手段によつて
フラツシユランプの点灯の有無の確認を行うようにした
ものである。
したがつて本発明によれば、複数個のフラツシユランプ
を並列点灯させるようにしたので充放電電圧の比較的小
さいコンデンサを用いてパルス幅が狭くピーク出力の大
きなレーザ発振出力を得ることができるうえ、一つでも
点灯しないフラツシユランプがあつた場合、直ちにその
不点灯を確認することができるのでレーザ加工装置等に
適用した場合において信頼性の高い動作が期待できるパ
ルスレーザ装置を提供できる。
を並列点灯させるようにしたので充放電電圧の比較的小
さいコンデンサを用いてパルス幅が狭くピーク出力の大
きなレーザ発振出力を得ることができるうえ、一つでも
点灯しないフラツシユランプがあつた場合、直ちにその
不点灯を確認することができるのでレーザ加工装置等に
適用した場合において信頼性の高い動作が期待できるパ
ルスレーザ装置を提供できる。
図はこの発明の一実施例を示す回路構成図である。
１・・・・・・直流電源、３・・・・・・充放電コンデ
ンサ、４，５，８・・・・・・放電電流波形成形コイル
、６，９・・・・・・フラツシユランプ、１２・・・・
・・レーザ発振器、７，１０・・・・・・抵抗、１７，
１８・・・・・・放電検出器、１９，２０，２２・・・
・・・表示器。
ンサ、４，５，８・・・・・・放電電流波形成形コイル
、６，９・・・・・・フラツシユランプ、１２・・・・
・・レーザ発振器、７，１０・・・・・・抵抗、１７，
１８・・・・・・放電検出器、１９，２０，２２・・・
・・・表示器。
Claims (1)
- １ 直流電源と、この直流電源にて充電されるコンデン
サと、このコンデンサ両端にそれぞれ抵抗を介して並列
的に接続され、トリガパルスを印加されることにより一
斉に始動点灯する如く設けられた複数個のフラッシュラ
ンプと、これらのフラッシュランプからの閃光を与えら
れることにより励起され、単一のパルスレーザ光線を出
力する光励起形パルスレーザ発振器と、前記各抵抗の両
端に接続され、この抵抗の両端電圧を検出することによ
つて前記各フラッシュランプのパルス点灯の有無を検出
する複数の検出器と、これらの検出器の検出出力に応動
し前記フラッシュランプのパルス点灯の有無を表示する
表示手段とを具備したことを特徴とするパルスレーザ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10072875A JPS5917552B2 (ja) | 1975-08-20 | 1975-08-20 | パルスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10072875A JPS5917552B2 (ja) | 1975-08-20 | 1975-08-20 | パルスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5224491A JPS5224491A (en) | 1977-02-23 |
| JPS5917552B2 true JPS5917552B2 (ja) | 1984-04-21 |
Family
ID=14281662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10072875A Expired JPS5917552B2 (ja) | 1975-08-20 | 1975-08-20 | パルスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5917552B2 (ja) |
-
1975
- 1975-08-20 JP JP10072875A patent/JPS5917552B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5224491A (en) | 1977-02-23 |
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