JPH1127960A - パルス電源並びに異常検出方法 - Google Patents
パルス電源並びに異常検出方法Info
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- JPH1127960A JPH1127960A JP18193797A JP18193797A JPH1127960A JP H1127960 A JPH1127960 A JP H1127960A JP 18193797 A JP18193797 A JP 18193797A JP 18193797 A JP18193797 A JP 18193797A JP H1127960 A JPH1127960 A JP H1127960A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 パルス発生回路１は初期充電されるコンデン
サＣ0から半導体スイッチＳＷのオン制御でパルス電流
を発生し、このパルス電流を磁気パルス圧縮回路３で圧
縮して負荷装置４に供給し、パルス発生回路は負荷側か
らのキックバック電流をコンデンサの充電電流としてエ
ネルギーを回生するにおいて、負荷の短絡等を検出する
のに高電圧検出器や狭い幅のパルス電流検出器を設ける
のでは装置の大形化やコスト高を招く。 【解決手段】 カウンタ６はエネルギー回生後のコンデ
ンサの充電開始から充電終了までを計時し、比較回路８
は正常時のコンデンサの充電開始から充電終了までの充
電時間が設定され、この充電時間に対してカウンタの計
時時間が短いときに負荷短絡等の異常検出出力を得ると
共に制御回路５による回路保護制御を行う。コンデンサ
の充電電圧レベル監視による異常検出も含む。
サＣ0から半導体スイッチＳＷのオン制御でパルス電流
を発生し、このパルス電流を磁気パルス圧縮回路３で圧
縮して負荷装置４に供給し、パルス発生回路は負荷側か
らのキックバック電流をコンデンサの充電電流としてエ
ネルギーを回生するにおいて、負荷の短絡等を検出する
のに高電圧検出器や狭い幅のパルス電流検出器を設ける
のでは装置の大形化やコスト高を招く。 【解決手段】 カウンタ６はエネルギー回生後のコンデ
ンサの充電開始から充電終了までを計時し、比較回路８
は正常時のコンデンサの充電開始から充電終了までの充
電時間が設定され、この充電時間に対してカウンタの計
時時間が短いときに負荷短絡等の異常検出出力を得ると
共に制御回路５による回路保護制御を行う。コンデンサ
の充電電圧レベル監視による異常検出も含む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電力用半導体スイ
ッチを用いたパルス発生回路と磁気圧縮回路を組み合わ
せて狭幅の大電流パルスを発生するパルス電源に係り、
特にキックバックエネルギー回生方式における負荷短絡
等の異常を検出する装置並びに方法に関する。
ッチを用いたパルス発生回路と磁気圧縮回路を組み合わ
せて狭幅の大電流パルスを発生するパルス電源に係り、
特にキックバックエネルギー回生方式における負荷短絡
等の異常を検出する装置並びに方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３にパルス電源の構成例を示す。パル
ス発生回路１は、電力用の初段コンデンサＣ0を設け、
このコンデンサＣ0を充電器２により初期充電してお
き、半導体スイッチＳＷのオン制御でコンデンサＣ0か
ら磁気パルス圧縮回路３の入力段パルストランスＰＴに
パルス電流を供給する。
ス発生回路１は、電力用の初段コンデンサＣ0を設け、
このコンデンサＣ0を充電器２により初期充電してお
き、半導体スイッチＳＷのオン制御でコンデンサＣ0か
ら磁気パルス圧縮回路３の入力段パルストランスＰＴに
パルス電流を供給する。
【０００３】磁気パルス圧縮回路３は、パルストランス
ＰＴで昇圧したパルス電流Ｉ0でコンデンサＣ1を高圧充
電し、このコンデンサＣ1の充電電圧で可飽和リアクト
ルＳＩ1が磁気スイッチ動作することによりコンデンサ
Ｃ1からコンデンサＣ2への狭幅のパルス電流Ｉ1を発生
させてコンデンサＣ2を高圧充電し、さらにコンデンサ
Ｃ2の充電電圧で可飽和リアクトルＳＩ2が磁気スイッチ
動作することによりコンデンサＣ2からエキシマレーザ
やグロー放電を利用した薄膜形成装置などの負荷装置４
に数十ｎｓ〜数μｓの狭幅・高電圧のパルス電流Ｉ2を
供給する。この電流Ｉ2は、１秒間に数十〜数千ショッ
トの繰り返しになる。
ＰＴで昇圧したパルス電流Ｉ0でコンデンサＣ1を高圧充
電し、このコンデンサＣ1の充電電圧で可飽和リアクト
ルＳＩ1が磁気スイッチ動作することによりコンデンサ
Ｃ1からコンデンサＣ2への狭幅のパルス電流Ｉ1を発生
させてコンデンサＣ2を高圧充電し、さらにコンデンサ
Ｃ2の充電電圧で可飽和リアクトルＳＩ2が磁気スイッチ
動作することによりコンデンサＣ2からエキシマレーザ
やグロー放電を利用した薄膜形成装置などの負荷装置４
に数十ｎｓ〜数μｓの狭幅・高電圧のパルス電流Ｉ2を
供給する。この電流Ｉ2は、１秒間に数十〜数千ショッ
トの繰り返しになる。
【０００４】このような構成のパルス電源において、負
荷装置４になる放電負荷は、与えられたパルス電力を全
て消費することなく、一部のエネルギーがパルス電源に
戻ってくる。この戻ってくるエネルギーのことをキック
バックエネルギーと称しているが、これを抵抗で消費さ
せると、高出力（単位時問当たりのショット数が高い）
装置では抵抗の損失が無視できないレベルになるほか、
抵抗の冷却系も含めて電源装置が大型化する。
荷装置４になる放電負荷は、与えられたパルス電力を全
て消費することなく、一部のエネルギーがパルス電源に
戻ってくる。この戻ってくるエネルギーのことをキック
バックエネルギーと称しているが、これを抵抗で消費さ
せると、高出力（単位時問当たりのショット数が高い）
装置では抵抗の損失が無視できないレベルになるほか、
抵抗の冷却系も含めて電源装置が大型化する。
【０００５】このため，パルス発生回路１は、キックバ
ックエネルギーを初段のコンデンサＣ0に回生してお
き，次の充電サイクルに充電エネルギーの一部として利
用する回生形に構成される。なお、キックバック電流の
方向は、初段コンデンサから最初のパルスを発生するに
必要な充電方向とは逆向きになる。したがって、回生す
るためにはキックバック電圧を反転させる必要がある。
ックエネルギーを初段のコンデンサＣ0に回生してお
き，次の充電サイクルに充電エネルギーの一部として利
用する回生形に構成される。なお、キックバック電流の
方向は、初段コンデンサから最初のパルスを発生するに
必要な充電方向とは逆向きになる。したがって、回生す
るためにはキックバック電圧を反転させる必要がある。
【０００６】このため、パルス発生回路１は、半導体ス
イッチＳＷ0のオンにより磁気アシスト用可飽和リアク
トルＳＩ0を通してコンデンサＣ0を初期充電し、この後
に半導体スイッチＳＷのオンによりコンデンサＣ0から
ダイオードＤ2を通してコンデンサＣ0の放電をすること
でパルストランスＰＴにパルスを供給する。
イッチＳＷ0のオンにより磁気アシスト用可飽和リアク
トルＳＩ0を通してコンデンサＣ0を初期充電し、この後
に半導体スイッチＳＷのオンによりコンデンサＣ0から
ダイオードＤ2を通してコンデンサＣ0の放電をすること
でパルストランスＰＴにパルスを供給する。
【０００７】この後、パルストランスＰＴからのキック
バック電流が半導体スイッチＳＷを経てコンデンサＣ0
を逆極性に充電する。この充電には、可飽和リアクトル
ＳＩ0を通した振動電流でなされ、コンデンサＣ0が初期
充電時とは逆極性に充電される。
バック電流が半導体スイッチＳＷを経てコンデンサＣ0
を逆極性に充電する。この充電には、可飽和リアクトル
ＳＩ0を通した振動電流でなされ、コンデンサＣ0が初期
充電時とは逆極性に充電される。
【０００８】この逆極性に充電されたコンデンサＣ0か
ら、ダイオードＤ0及び半導体スイッチＳＷ0を通してコ
ンデンサＣ0を初期充電時の極性に反転充電することで
キックバックエネルギーの回生を得る。
ら、ダイオードＤ0及び半導体スイッチＳＷ0を通してコ
ンデンサＣ0を初期充電時の極性に反転充電することで
キックバックエネルギーの回生を得る。
【０００９】なお、キックバックエネルギーの回生方法
は、図３の構成に限らず、種々の回路構成のものがあ
る。また、磁気パルス圧縮回路３の回路構成も種々のも
のがある。
は、図３の構成に限らず、種々の回路構成のものがあ
る。また、磁気パルス圧縮回路３の回路構成も種々のも
のがある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】従来のパルス電源にお
いて、エキシマレーザ装置等になる負荷装置４は、ピー
キングコンデンサＣPを有しているため、このコンデン
サＣPが故障した場合には充電器２やパルス発生回路１
から見て負荷の短絡になる。また、コンデンサＣ0，
Ｃ1，Ｃ2の故障では充電器２から見て負荷の短絡にな
る。
いて、エキシマレーザ装置等になる負荷装置４は、ピー
キングコンデンサＣPを有しているため、このコンデン
サＣPが故障した場合には充電器２やパルス発生回路１
から見て負荷の短絡になる。また、コンデンサＣ0，
Ｃ1，Ｃ2の故障では充電器２から見て負荷の短絡にな
る。
【００１１】こうした故障発生には、その検出により装
置の運転を停止するのが回路保護等から要望される。し
かしながら、負荷短絡の検出のために、例えば、各コン
デンサに電圧や電流の検出器を設けることは、パルス電
源の出力電圧が１０数ｋＶ〜５００ｋＶと非常に高く、
パルス幅も数μｓ以下の非常に狭幅になるため、検出器
が大型化したり、コスト高になってしまう。
置の運転を停止するのが回路保護等から要望される。し
かしながら、負荷短絡の検出のために、例えば、各コン
デンサに電圧や電流の検出器を設けることは、パルス電
源の出力電圧が１０数ｋＶ〜５００ｋＶと非常に高く、
パルス幅も数μｓ以下の非常に狭幅になるため、検出器
が大型化したり、コスト高になってしまう。
【００１２】そこで、従来では負荷装置４がエキシマレ
ーザ装置など光を発生することを利用し、この光の発生
の途切れで異常発生を検出している。
ーザ装置など光を発生することを利用し、この光の発生
の途切れで異常発生を検出している。
【００１３】しかしながら、負荷装置４の光出力は、レ
ーザガス等の条件で変動することが多くなるため、光検
出による異常検出では光の発生無しが一定時間継続する
までの検出時間を長く設定しておくことが多く、その間
も負荷短絡状態で運転を継続することは装置の責務が厳
しく、回路設計上余裕を持たせることになり、電源装置
自体が大型化、コスト高になってしまう。
ーザガス等の条件で変動することが多くなるため、光検
出による異常検出では光の発生無しが一定時間継続する
までの検出時間を長く設定しておくことが多く、その間
も負荷短絡状態で運転を継続することは装置の責務が厳
しく、回路設計上余裕を持たせることになり、電源装置
自体が大型化、コスト高になってしまう。
【００１４】本発明の目的は、負荷短絡検出のための高
電圧・狭幅パルス電流の検出器を不要にしながら、負荷
短絡も含めた異常検出を迅速・確実にしたパルス電源並
びに異常検出方法を提供することにある。
電圧・狭幅パルス電流の検出器を不要にしながら、負荷
短絡も含めた異常検出を迅速・確実にしたパルス電源並
びに異常検出方法を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は、負荷短絡等の
異常発生時にはキックバックエネルギーが大きくなり、
これに伴いコンデンサＣ0へのエネルギー回生による充
電電圧が高く、充電開始から充電終了までの充電時間が
短くなることに着目し、この充電時間監視又は充電電圧
監視により異常発生を検出するようにしたもので、以下
の構成並びに方法を特徴とする。
異常発生時にはキックバックエネルギーが大きくなり、
これに伴いコンデンサＣ0へのエネルギー回生による充
電電圧が高く、充電開始から充電終了までの充電時間が
短くなることに着目し、この充電時間監視又は充電電圧
監視により異常発生を検出するようにしたもので、以下
の構成並びに方法を特徴とする。
【００１６】（第１の発明）初期充電されるコンデンサ
から半導体スイッチのオン制御でパルス電流を発生する
パルス発生回路と、前記パルス電流を磁気圧縮して負荷
に供給する磁気パルス圧縮回路とを備え、前記パルス発
生回路は負荷側からのキックバック電流を前記コンデン
サの充電電流としてエネルギーを回生するパルス電源に
おいて、前記エネルギー回生後の前記コンデンサの充電
開始から充電終了までの計時をする計時手段と、正常時
の前記コンデンサの充電開始から充電終了までの充電時
間が設定され、この充電時間に対して前記計時手段の計
時時間が短いときに前記負荷及び磁気パルス圧縮回路の
異常検出出力を得る比較回路とを備えたことを特徴とす
る。
から半導体スイッチのオン制御でパルス電流を発生する
パルス発生回路と、前記パルス電流を磁気圧縮して負荷
に供給する磁気パルス圧縮回路とを備え、前記パルス発
生回路は負荷側からのキックバック電流を前記コンデン
サの充電電流としてエネルギーを回生するパルス電源に
おいて、前記エネルギー回生後の前記コンデンサの充電
開始から充電終了までの計時をする計時手段と、正常時
の前記コンデンサの充電開始から充電終了までの充電時
間が設定され、この充電時間に対して前記計時手段の計
時時間が短いときに前記負荷及び磁気パルス圧縮回路の
異常検出出力を得る比較回路とを備えたことを特徴とす
る。
【００１７】（第２の発明）初期充電されるコンデンサ
から半導体スイッチのオン制御でパルス電流を発生する
パルス発生回路と、前記パルス電流を磁気圧縮して負荷
に供給する磁気パルス圧縮回路とを備え、前記パルス発
生回路は負荷側からのキックバック電流を前記コンデン
サの充電電流としてエネルギーを回生するパルス電源に
おいて、前記エネルギー回生後の前記コンデンサの充電
開始から充電終了までの充電時間が正常時の充電時間以
下のときに前記負荷及び磁気パルス圧縮回路の異常と判
定することを特徴とする。
から半導体スイッチのオン制御でパルス電流を発生する
パルス発生回路と、前記パルス電流を磁気圧縮して負荷
に供給する磁気パルス圧縮回路とを備え、前記パルス発
生回路は負荷側からのキックバック電流を前記コンデン
サの充電電流としてエネルギーを回生するパルス電源に
おいて、前記エネルギー回生後の前記コンデンサの充電
開始から充電終了までの充電時間が正常時の充電時間以
下のときに前記負荷及び磁気パルス圧縮回路の異常と判
定することを特徴とする。
【００１８】（第３の発明）初期充電されるコンデンサ
から半導体スイッチのオン制御でパルス電流を発生する
パルス発生回路と、前記パルス電流を磁気圧縮して負荷
に供給する磁気パルス圧縮回路とを備え、前記パルス発
生回路は負荷側からのキックバック電流を前記コンデン
サの充電電流としてエネルギーを回生するパルス電源に
おいて、前記エネルギー回生後の前記コンデンサの充電
電圧レベルが正常時の充電電圧を越えるときに前記負荷
及び磁気パルス圧縮回路の異常と判定することを特徴と
する。
から半導体スイッチのオン制御でパルス電流を発生する
パルス発生回路と、前記パルス電流を磁気圧縮して負荷
に供給する磁気パルス圧縮回路とを備え、前記パルス発
生回路は負荷側からのキックバック電流を前記コンデン
サの充電電流としてエネルギーを回生するパルス電源に
おいて、前記エネルギー回生後の前記コンデンサの充電
電圧レベルが正常時の充電電圧を越えるときに前記負荷
及び磁気パルス圧縮回路の異常と判定することを特徴と
する。
【００１９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施形態を示す
異常検出装置であり、図３と同等の主回路部分は同じ符
号で示す。
異常検出装置であり、図３と同等の主回路部分は同じ符
号で示す。
【００２０】制御回路５は、負荷装置４が要求するパル
ス電流の発生周期及び電流レベルに従ってパルス発生回
路１の半導体スイッチＳＷ，ＳＷ0をオン・オフ制御す
ると共に、充電器２の運転・停止制御を行う。なお、パ
ルス発生回路１の制御にはキックバックエネルギーの回
生制御も含まれる。
ス電流の発生周期及び電流レベルに従ってパルス発生回
路１の半導体スイッチＳＷ，ＳＷ0をオン・オフ制御す
ると共に、充電器２の運転・停止制御を行う。なお、パ
ルス発生回路１の制御にはキックバックエネルギーの回
生制御も含まれる。
【００２１】計時手段になるカウンタ６は、制御回路５
がキックバックエネルギーの回生制御を実行した後のコ
ンデンサＣ0の充電開始制御をするタイミングでクロッ
クの計数を開始し、コンデンサＣ0が所定電圧まで充電
されたときの充電終了で計数を停止し、この計数により
コンデンサＣ0の充電開始から終了までの充電時間に対
応する計数値を得る。
がキックバックエネルギーの回生制御を実行した後のコ
ンデンサＣ0の充電開始制御をするタイミングでクロッ
クの計数を開始し、コンデンサＣ0が所定電圧まで充電
されたときの充電終了で計数を停止し、この計数により
コンデンサＣ0の充電開始から終了までの充電時間に対
応する計数値を得る。
【００２２】充電検出回路７は、抵抗分圧回路等の電圧
検出器により検出されるコンデンサＣ0の充電電圧と設
定電圧の比較により、コンデンサＣ0が所定レベルまで
充電されたことを検出し、コンデンサＣ0の充電終了の
検出信号を得る。
検出器により検出されるコンデンサＣ0の充電電圧と設
定電圧の比較により、コンデンサＣ0が所定レベルまで
充電されたことを検出し、コンデンサＣ0の充電終了の
検出信号を得る。
【００２３】比較回路８は、コンデンサＣ0の充電終了
時にカウンタ６の値と設定値を比較し、カウンタ６の値
が設定値以下になるとき、すなわちコンデンサＣ0の充
電が一定時間以下で終了するときに負荷側の短絡等の異
常検出出力を得る。この異常検出出力では警報器（図示
省略）での警報発生と共に、制御回路５に保護指令とし
て与えることで制御回路５が回路保護（例えばスイッチ
ＳＷ，ＳＷ0のオフ）制御を行う。
時にカウンタ６の値と設定値を比較し、カウンタ６の値
が設定値以下になるとき、すなわちコンデンサＣ0の充
電が一定時間以下で終了するときに負荷側の短絡等の異
常検出出力を得る。この異常検出出力では警報器（図示
省略）での警報発生と共に、制御回路５に保護指令とし
て与えることで制御回路５が回路保護（例えばスイッチ
ＳＷ，ＳＷ0のオフ）制御を行う。
【００２４】本実施形態による異常検出動作を図２を参
照して説明する。同図の（ａ）は正常動作時のコンデン
サＣ0の電圧波形を示し、（ｂ）は負荷短絡等の異常発
生時のコンデンサＣ0の電圧波形を示す。
照して説明する。同図の（ａ）は正常動作時のコンデン
サＣ0の電圧波形を示し、（ｂ）は負荷短絡等の異常発
生時のコンデンサＣ0の電圧波形を示す。
【００２５】正常時は、時刻ｔ1でコンデンサＣ0の放電
を行い、負荷にパルス電流を供給して時刻ｔ2で負荷側
からのキックバック電流でコンデンサＣ0が逆極性に充
電される。そして、時刻ｔ3でコンデンサＣ0を初期充電
方向に反転充電し、時刻ｔ4でコンデンサＣ0の充電を開
始し、この充電電圧が所定値に達した時刻ｔ5で充電終
了とする。
を行い、負荷にパルス電流を供給して時刻ｔ2で負荷側
からのキックバック電流でコンデンサＣ0が逆極性に充
電される。そして、時刻ｔ3でコンデンサＣ0を初期充電
方向に反転充電し、時刻ｔ4でコンデンサＣ0の充電を開
始し、この充電電圧が所定値に達した時刻ｔ5で充電終
了とする。
【００２６】これに対して、異常時は、時刻ｔ2には負
荷側からのキックバック電流が大きくなる。これは、コ
ンデンサＣ0から負荷側に与えたエネルギーが正常時に
は負荷で消費されるのに対して、短絡発生時は負荷で消
費されることなく大きなキックバック電流が発生するこ
とによる。
荷側からのキックバック電流が大きくなる。これは、コ
ンデンサＣ0から負荷側に与えたエネルギーが正常時に
は負荷で消費されるのに対して、短絡発生時は負荷で消
費されることなく大きなキックバック電流が発生するこ
とによる。
【００２７】このため、大きなキックバック電流でコン
デンサＣ0の充電電圧が大きくなり、時刻ｔ3での反転充
電電圧も大きくなる。このため、異常時は、時刻ｔ4か
らの充電開始時の電圧が高くなり、この電圧からの充電
開始では充電終了時刻ｔ5までの充電時間Ｔが正常時に
比べて短くなる。
デンサＣ0の充電電圧が大きくなり、時刻ｔ3での反転充
電電圧も大きくなる。このため、異常時は、時刻ｔ4か
らの充電開始時の電圧が高くなり、この電圧からの充電
開始では充電終了時刻ｔ5までの充電時間Ｔが正常時に
比べて短くなる。
【００２８】これら現象から、図１のカウンタ６が充電
開始から終了までの計時を行い、この時間が比較回路８
に設定する正常な充電時間以下の時は異常として検出で
きる。また、異常発生時には時刻ｔ2〜ｔ3又は時刻ｔ3
〜ｔ4でのコンデンサＣ0の充電電圧レベルが正常時に比
べて高くなることから、この充電電圧レベル検出と正常
値との比較で異常検出することができる。
開始から終了までの計時を行い、この時間が比較回路８
に設定する正常な充電時間以下の時は異常として検出で
きる。また、異常発生時には時刻ｔ2〜ｔ3又は時刻ｔ3
〜ｔ4でのコンデンサＣ0の充電電圧レベルが正常時に比
べて高くなることから、この充電電圧レベル検出と正常
値との比較で異常検出することができる。
【００２９】なお、異常検出は、負荷装置４の短絡に限
らず、磁気パルス圧縮回路３のコンデンサＣ1，Ｃ2の短
絡故障など、パルス発生回路１の後段での短絡故障を検
出できる。
らず、磁気パルス圧縮回路３のコンデンサＣ1，Ｃ2の短
絡故障など、パルス発生回路１の後段での短絡故障を検
出できる。
【００３０】また、パルス発生回路１のコンデンサＣ0
の短絡故障などの異常は、充電開始から充電終了までの
充電時間Ｔが比較回路８の設定時間よりも長くなること
の検出で可能となるし、充電器２の出力電流が過大にな
ることから検出することもできる。
の短絡故障などの異常は、充電開始から充電終了までの
充電時間Ｔが比較回路８の設定時間よりも長くなること
の検出で可能となるし、充電器２の出力電流が過大にな
ることから検出することもできる。
【００３１】
【発明の効果】以上のとおり、本発明によれば、コンデ
ンサＣ0へのエネルギー回生による充電時間監視又は充
電電圧レベル監視により負荷短絡等の異常発生を検出す
るようにしたため、以下の効果がある。
ンサＣ0へのエネルギー回生による充電時間監視又は充
電電圧レベル監視により負荷短絡等の異常発生を検出す
るようにしたため、以下の効果がある。
【００３２】（１）異常検出装置としては、特別な高電
圧やパルス幅の狭い大電流を計測するための大型で高価
な検出器を不要にし、少しの電子回路の付加で済む。
圧やパルス幅の狭い大電流を計測するための大型で高価
な検出器を不要にし、少しの電子回路の付加で済む。
【００３３】（２）異常検出は、コンデンサの充電時に
得ることができ、従来の光による検出に比べて遅れを少
なくした検出ができる。これに伴い、主回路の短絡耐量
を軽減し、その大型化やコスト高を招くこともなくな
る。
得ることができ、従来の光による検出に比べて遅れを少
なくした検出ができる。これに伴い、主回路の短絡耐量
を軽減し、その大型化やコスト高を招くこともなくな
る。
【図１】本発明の実施形態を示すパルス電源の異常検出
装置。
装置。
【図２】実施形態における正常時と異常時のコンデンサ
Ｃ0の電圧波形。
Ｃ0の電圧波形。
【図３】パルス電源回路例。
１…パルス発生回路 ２…充電器 ３…磁気パルス圧縮回路 ４…負荷装置 ＳＷ、ＳＷ0…半導体スイッチ ＳＩ0〜ＳＩ3…可飽和リアクトル Ｃ0、Ｃ1、Ｃ2、ＣP…コンデンサ ５…制御回路 ６…カウンタ ７…充電検出回路 ８…比較回路
Claims (3)
- 【請求項１】 初期充電されるコンデンサから半導体ス
イッチのオン制御でパルス電流を発生するパルス発生回
路と、前記パルス電流を磁気圧縮して負荷に供給する磁
気パルス圧縮回路とを備え、前記パルス発生回路は負荷
側からのキックバック電流を前記コンデンサの充電電流
としてエネルギーを回生するパルス電源において、 前記エネルギー回生後の前記コンデンサの充電開始から
充電終了までの計時をする計時手段と、 正常時の前記コンデンサの充電開始から充電終了までの
充電時間が設定され、この充電時間に対して前記計時手
段の計時時間が短いときに前記負荷及び磁気パルス圧縮
回路の異常検出出力を得る比較回路とを備えたことを特
徴とするパルス電源。 - 【請求項２】 初期充電されるコンデンサから半導体ス
イッチのオン制御でパルス電流を発生するパルス発生回
路と、前記パルス電流を磁気圧縮して負荷に供給する磁
気パルス圧縮回路とを備え、前記パルス発生回路は負荷
側からのキックバック電流を前記コンデンサの充電電流
としてエネルギーを回生するパルス電源において、 前記エネルギー回生後の前記コンデンサの充電開始から
充電終了までの充電時間が正常時の充電時間以下のとき
に前記負荷及び磁気パルス圧縮回路の異常と判定するこ
とを特徴とする異常検出方法。 - 【請求項３】 初期充電されるコンデンサから半導体ス
イッチのオン制御でパルス電流を発生するパルス発生回
路と、前記パルス電流を磁気圧縮して負荷に供給する磁
気パルス圧縮回路とを備え、前記パルス発生回路は負荷
側からのキックバック電流を前記コンデンサの充電電流
としてエネルギーを回生するパルス電源において、 前記エネルギー回生後の前記コンデンサの充電電圧レベ
ルが正常時の充電電圧を越えるときに前記負荷及び磁気
パルス圧縮回路の異常と判定することを特徴とする異常
検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18193797A JP3794112B2 (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | パルス電源並びに異常検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18193797A JP3794112B2 (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | パルス電源並びに異常検出方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102832844A (zh) * | 2012-09-21 | 2012-12-19 | 西南交通大学 | 一种利用双电容器转换放电的脉冲功率电源 |
| WO2020135541A1 (zh) * | 2018-12-28 | 2020-07-02 | 苏州创鑫激光科技有限公司 | 一种激光器保护方法以及装置 |
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1997
- 1997-07-08 JP JP18193797A patent/JP3794112B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| CN102832844A (zh) * | 2012-09-21 | 2012-12-19 | 西南交通大学 | 一种利用双电容器转换放电的脉冲功率电源 |
| WO2020135541A1 (zh) * | 2018-12-28 | 2020-07-02 | 苏州创鑫激光科技有限公司 | 一种激光器保护方法以及装置 |
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