JP2000022249A

JP2000022249A - パルス電源装置

Info

Publication number: JP2000022249A
Application number: JP10181722A
Authority: JP
Inventors: Takehisa Koganezawa; 竹久小金澤; Yasuo Kataoka; 康夫片岡
Original assignee: Meidensha Corp; Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Meidensha Corp; Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1998-06-29
Filing date: 1998-06-29
Publication date: 2000-01-21

Abstract

(57)【要約】【課題】パルス発生回路１からパルス電流を発生し、
昇圧・磁気パルス圧縮回路３でパルス圧縮して負荷装置
４に狭幅のパルス電流を供給するのに、半導体スイッチ
ＳＷのオンタイミングでパルス電流発生の予測タイミン
グを得るのでは、電圧の変化や温度変化で予測タイミン
グが変動する。【解決手段】電流検出器１１が最終段のコンデンサＣ
₂の充放電電流を検出し、電流検出回路１２で放電電流
タイミングを得、スイッチＳＷのオン後の一定時間を求
める単安定マルチバイブレータ１３の出力を条件にアン
ド回路１４に予測タイミング信号を得る。タイマ１５
は、予測タイミング信号に対して実際に負荷に供給され
る時間だけ遅れたタイミング信号を得る。電流検出器１
１が可飽和リアクトルの飽和動作で誘導される電流又は
電圧を検出すること、及び信号処理回路が電圧指令等で
補正することも含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電力用半導体スイ
ッチを用いたパルス発生回路と磁気圧縮回路を組み合わ
せて狭幅の大電流パルスを高い繰り返しで発生するパル
ス電源装置に係り、特にパルス電流を負荷に供給するタ
イミングの検出方式に関する。

【０００２】

【従来の技術】図７にパルス電源装置の構成例を示す。
パルス発生回路１は、電力用の初段コンデンサＣ₀を設
け、このコンデンサＣ₀を充電器２により初期充電して
おき、半導体スイッチＳＷのオン制御でコンデンサＣ₀
から昇圧・磁気パルス圧縮回路３の入力段パルストラン
スＰＴにパルス電流を供給する。可飽和リアクトルＬ₁
は、半導体スイッチＳＷのスイッチング動作に磁気アシ
ストを行う。

【０００３】昇圧・磁気パルス圧縮回路３は、磁気パル
ス圧縮回路を複数段構成とし、パルストランスＰＴで昇
圧したパルス電流Ｉ₀でコンデンサＣ₁を高圧充電し、こ
のコンデンサＣ₁の充電電圧で可飽和リアクトルＬ₂が磁
気スイッチ動作することによりコンデンサＣ₁からコン
デンサＣ₂への狭幅のパルス電流Ｉ₁を発生させてコンデ
ンサＣ₂を高圧充電し、さらにコンデンサＣ₂の充電電圧
で可飽和リアクトルＬ₃が磁気スイッチ動作することに
よりコンデンサＣ₂からエキシマレーザなどの負荷装置
４に狭幅・高電圧のパルス電流を供給する。

【０００４】このような構成のパルス電源装置におい
て、負荷装置４になる放電負荷は、与えられたパルス電
力を全て消費することなく、一部のエネルギーがパルス
電源装置に戻ってくる。この戻ってくるエネルギーのこ
とをキックバックエネルギーと称しているが、このキッ
クバックエネルギーを初段のコンデンサＣ₀に回生して
おき，次の充電サイクルに充電エネルギーの一部として
利用する回生形が実用化されている。

【０００５】なお、昇圧・磁気パルス圧縮回路３は、入
力段パルストランスに代えて可飽和トランスとするな
ど、磁気圧縮のための種々の回路が提案されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来のパルス電源装置
において、負荷装置４ではそれに供給されるパルス電流
の大きさや幅に高い精度が要求される他に、パルス電流
が供給されるタイミングにも高い精度が要求される。

【０００７】パルス励起型レーザの場合、レーザ発光は
離散的に行われることから、発光タイミングを事前に掴
むことがその応用上で重要となる。その理由は、照射光
を被加工物の正確な位置に当てるには、被加工物を搭載
するステージに対して正確な位置制御を行わなければな
らない。そして、照射前に位置決めをするためには、タ
イミング信号を得てから正確に何μｓ後に光が出ること
を掴んでおかなければならない。

【０００８】このタイミング制御は、半導体スイッチＳ
Ｗのオン制御タイミングで行われている。すなわち、パ
ルス発生回路１のコンデンサＣ₀が初期充電された後、
半導体スイッチＳＷに与えるターンオン指令信号に対し
て実際に負荷装置４にパルスが供給されるまでの時間遅
れを考慮してターンオン指令信号を発生するようにして
いる。

【０００９】この時間遅れは、可飽和リアクトルＬ₁，
Ｌ₂，Ｌ₃が飽和するまでの時間を決定する電圧時間積や
コンデンサＣ₀の充電電圧等からほぼ予測できる。

【００１０】しかしながら、コンデンサＣ₀の充電電圧
の変動が可飽和リアクトルの飽和タイミングを変動さ
せ、パルス供給タイミングにずれを起こす。また、可飽
和リアクトルの温度変化や、コンデンサの温度変化によ
るコンデンサ容量の変化による共振周期の変動でその飽
和タイミングが変動してしまう。

【００１１】このうち、コンデンサＣ₀の充電電圧は、
充電器２側では充電電圧精度を高める構成にされる。

【００１２】本発明の目的は、負荷装置に供給するパル
ス出力の予測タイミング信号を精度良く求めることがで
きるパルス電源装置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記の課題を
解決するため、磁気パルス圧縮回路のコンデンサの充放
電電流など負荷装置に供給するパルス電流にタイミング
的に関連する電流又は電圧を検出し、この検出信号から
予測タイミング信号を得るようにし、さらに予測タイミ
ング信号を出力電圧やコンデンサの充放電時間等に応じ
て補正するようにしたもので、以下の構成を特徴とす
る。

【００１４】（第１の発明）初期充電されるコンデンサ
から半導体スイッチのオン制御でパルス電流を発生する
パルス発生回路と、前記パルス電流で充放電されるコン
デンサと可飽和リアクトルの飽和動作で磁気パルス圧縮
して負荷装置に供給する磁気パルス圧縮回路とを備えた
パルス電源装置において、前記コンデンサの充放電電流
又は電圧から充放電タイミングを検出する検出手段と、
前記充放電タイミング信号から前記負荷装置に供給する
パルス電流の予測タイミング信号を得る信号処理回路と
を備えたことを特徴とする。

【００１５】（第２の発明）前記検出手段は、前記コン
デンサの電圧を極性を有して検出する電圧検出器とした
ことを特徴とする。

【００１６】（第３の発明）前記検出手段は、前記コン
デンサに並列に小容量の分流コンデンサを設け、この分
流コンデンサの電流を検出する電流検出器としたことを
特徴とする。

【００１７】（第４の発明）前記検出手段は、前記コン
デンサが複数のコンデンサの並列接続で構成される場合
にその１つのコンデンサの電流を検出する電流検出器と
したことを特徴とする。

【００１８】（第５の発明）初期充電されるコンデンサ
から半導体スイッチのオン制御でパルス電流を発生する
パルス発生回路と、前記パルス電流で充放電されるコン
デンサと可飽和リアクトルの飽和動作で磁気パルス圧縮
して負荷装置に供給する磁気パルス圧縮回路とを備えた
パルス電源装置において、前記可飽和リアクトルの巻線
に誘導される電流又は電圧から飽和動作タイミングを検
出する検出手段と、前記飽和動作タイミング信号から前
記負荷装置に供給するパルス電流の予測タイミング信号
を得る信号処理回路とを備えたことを特徴とする。（第６の発明）前記検出手段は、前記磁気パルス圧縮回
路がコンデンサと可飽和リアクトルの組みを複数段構成
とする場合にはその最終段の前記コンデンサ又は可飽和
リアクトルから充放電タイミング又は飽和動作タイミン
グを検出することを特徴とする。

【００１９】（第７の発明）前記信号処理回路は、負荷
装置に供給する出力電圧指令又は装置温度に応じて、も
しくは出力電圧指令及び装置温度に応じて前記予測タイ
ミング信号を遅延補正する遅延手段を備えたことを特徴
とする。

【００２０】（第８の発明）前記信号処理回路は、前記
磁気パルス圧縮回路のコンデンサの充放電時間に応じて
前記予測タイミング信号を遅延補正する遅延手段を備え
たことを特徴とする。

【００２１】

【発明の実施の形態】（第１の実施形態）図１は、本発
明の実施形態を示す回路図である。同図が図７と異なる
部分は、電流検出器１１と、信号処理回路になる電流検
出回路１２と単安定マルチバイブレータ（ＭＭ）１３と
論理ゲート（アンド回路）１４とタイマ１５を設けた点
にある。

【００２２】電流検出器１１は、磁気パルス圧縮回路３
の最終段のコンデンサＣ₂のパルス性の充放電電流を検
出するもので、例えば、カレント・トランスフォーマ、
サーチコイル、ホールＣＴ、ロゴスキーコイル、シャン
ト抵抗等で構成される。

【００２３】信号処理回路のうち、電流検出回路１２
は、電流検出器１１が検出した充放電電流のうちの放電
電流を検出し、論理レベルの検出出力を得る。すなわ
ち、コンデンサＣ₂には電流Ｉ₁による充電電流と、電流
Ｉ₂による放電電流が発生し、このうちの電流Ｉ₂の極性
判別機能を有して電流を検出する。

【００２４】ＭＭ１３は、パルス発生回路１の半導体ス
イッチＳＷのオン指令で起動され、一定時間幅のパルス
信号を得る。この時間幅は、スイッチＳＷがターンオン
された時点から負荷装置４に実際にパルスが供給される
までの遅れ時間、又はそれよりも少し長い時間に設定さ
れる。

【００２５】アンド回路１４は、電流検出回路１２の検
出出力をＭＭ回路１３の出力を条件として取り出す。す
なわち、スイッチＳＷがターンオンされた時点から一定
時間内での電流検出回路１２の検出出力を正当な検出出
力として取り出し、キックバックエネルギー等による誤
った電流検出を防止する。アンド回路１４の出力は、負
荷装置４に実際にパルス電流が供給される時点から一定
時間前になる予測タイミング信号として取り出される。

【００２６】タイマ１５は、アンド回路１４の出力で起
動され、その時限だけ遅れたパルス供給タイミング信号
を得る。このための時限は、予測タイミング信号に対し
て負荷装置４に実際にパルス電流が供給されるまでの遅
れ時間にされる。

【００２７】この遅れ時間の発生について説明する。負
荷装置４がエキシマレーザの場合、レーザヘッドは、図
１に示すように、ピーキングコイルＣ_Pと予備電離電極
ＡＣ_Cと主電極ＭＣで構成され、コンデンサＣ₂からの放
電でピーキングコイルＣ_Pが充電され、この電圧で予備
電離電極ＡＣ_Cがチャンバ内ガスを電離させ、主電極Ｍ
Ｃに主放電を得る。これら一連の動作に伴う遅れ時間が
上記のタイマ１５の時限として設定される。

【００２８】したがって、本実施形態によれば、負荷装
置４に供給するパルス電流にタイミング的に関連する信
号として、磁気パルス圧縮回路の最終段のコンデンサＣ
₂の充放電電流から予測タイミング信号や主電極ＭＣ等
での予測放電タイミング信号を得ることができる。これ
らタイミング信号は、コンデンサＣ₀の初期充電電圧の
変動や可飽和リアクトルＬ₁〜Ｌ₃の温度変動に影響され
ることが無く、精度良いタイミング信号になる。

【００２９】なお、図１の回路要素１２〜１５とその組
み合わせ回路は、適宜設計変更して同等の作用効果を得
ることができる。

【００３０】また、電流検出器１１に代えて、図２に示
すような構成とすることもできる。図２の（ａ）は、コ
ンデンサＣ₂の電圧を極性を有して検出する電圧検出器
１６を設けた場合である。この電圧検出器１６は、例え
ば、多数の抵抗器を直列接続して一部の抵抗の電圧を検
出する構成にされる。

【００３１】図２の（ｂ）は、コンデンサＣ₂に並列に
小容量の分流コンデンサＣ₂’を設け、このコンデンサ
Ｃ₂’の電流を検出する場合である。この場合、電流検
出器１１には小電流を検出できるもので済む。さらに、
電流検出器１１がもつループインダクタンスがコンデン
サＣ₂に介在することが無くなり、パルス圧縮動作に悪
影響を及ぼすことがなくなる。

【００３２】図２の（ｃ）は、コンデンサＣ₂が複数の
コンデンサＣ₂₁，Ｃ₂₂，Ｃ₂₃の並列接続で構成される場
合に適用されるもので、その１つのコンデンサＣ₂₃の電
流を検出する。この場合、検出電流も小さく、しかも分
流コンデンサＣ₂’が不要になる。

【００３３】なお、コンデンサの充放電電流検出は、最
終段が最も好ましいが、それよりも前段のコンデンサ、
例えばコンデンサＣ₀の充放電電流から検出することも
できる。

【００３４】（第２の実施形態）図３は、本発明の他の
実施形態を示す。同図が図１と異なる部分は、コンデン
サＣ₂の電流検出器１１に代えて、可飽和リアクトルＬ₁
〜Ｌ₃の磁気リセット回路１７の電流検出により予測タ
イミング信号を得ることにある。

【００３５】可飽和リアクトルＬ₁〜Ｌ₃は、飽和動作後
にそのリセットを行うことで次回の飽和動作に備える。
このための磁気リセット回路１７は、可飽和リアクトル
Ｌ_１〜Ｌ_３のリセット巻線に直流電源からリアクトルＬ
を通すことで定電流を供給している。

【００３６】したがって、可飽和リアクトルＬ₁〜Ｌ₃の
リセット巻線にはそれらの飽和動作により主巻線から誘
導されたパルス性の交流分が発生する。この交流分Δｉ
は、コンデンサＣ₀の充電電圧によらず、下記のように
可飽和リアクトルＬ₁〜Ｌ₃のコアの電圧時間積（Ｖｔ₁
〜Ｖｔ₃）と、主巻線とリセット巻線の巻数比ｎ₁〜ｎ₃
で決まる。すなわち、誘導される交流分Δｉは、コアの
磁束密度と等価になる。

【００３７】

【数１】Δｉ＝｛（Ｖｔ₁／ｎ₁）＋（Ｖｔ₂／ｎ₂）＋
（Ｖｔ₃／ｎ₃）｝／Ｌそこで、本実施形態では、磁気リセット回路１７から各
可飽和リアクトルＬ₁〜Ｌ₃のリセット巻線に至る通電路
に電流検出器１８を設け、この通電路に誘導される交流
分Δｉの検出により可飽和リアクトルの飽和動作タイミ
ングを検出し、図１と同様の信号処理回路１９から予測
タイミング信号を得る。

【００３８】本実施形態においても、コンデンサＣ₀の
初期充電電圧の変動や可飽和リアクトルＬ₁〜Ｌ₃の温度
変動に影響されることが無い。

【００３９】なお、可飽和リアクトルのリセット巻線で
の誘導電流を検出するのに代えて、可飽和リアクトルの
コアに誘導巻線を別途に追加し、この誘導巻線からコア
の磁束変化を等価的に検出し、可飽和リアクトルの飽和
動作タイミング、すなわち予測タイミング信号を得るこ
とができる。

【００４０】この場合、最終段の可飽和リアクトルＬ₃
に誘導巻線を設けることにより、他の可飽和リアクトル
Ｌ₁，Ｌ₂等による遅れ時間に影響される事なく予測タイ
ミング信号を得ることができる。

【００４１】また、可飽和リアクトルの飽和動作検出
は、最終段が最も好ましいが、それよりも前段の検出と
することもできる。

【００４２】（第３の実施形態）図４は、本発明の他の
実施形態を示す信号処理回路である。電流検出回路２０
は、回路１２と同様に、電流（又は電圧）検出信号から
極性判別機能を有して論理レベルで検出出力を得る。

【００４３】遅延回路２１は、検出回路２０で検出した
信号を遅延させて予測タイミング信号を得るが、この遅
延時間を制御可能とする。遅延時間演算部２２は、遅延
回路２１の遅延時間を調節するもので、この遅延時間決
定のためのパラメータとして出力電圧指令値と温度検出
値を取り込む。

【００４４】出力電圧指令値は、負荷装置４に供給する
パルス電流レベルの指令値になり、充電器２の出力電
圧、すなわちコンデンサＣ₀の初期充電電圧を制御す
る。この電圧の違いは、磁気パルス圧縮回路３及び負荷
装置４の遅れ時間の変化として現れる。

【００４５】この遅れ時間のうち、電流検出器１１や１
８の検出位置よりも前段の回路での遅れ時間の変化は、
予測タイミングに影響を及ぼさないが、検出位置よりも
後段の回路での遅れ時間の変化が予測タイミングの誤差
となって現れる。

【００４６】そこで、遅延時間演算部２２は、出力電圧
指令値の変化に応じて検出器の検出位置よりも後段の遅
れ時間変化を求め、この変化分で遅延回路２１の遅延時
間を補正する。これにより、出力電圧の変化による遅れ
時間の変化分を補償した予測タイミング信号を得ること
ができる。

【００４７】同様に、可飽和リアクトルの温度変化によ
る遅れ時間の変動を補償する場合には、遅延時間演算部
２２で温度による変動分を求め、これを出力電圧による
変動分に加えて変動時間を求め、遅延時間を補正する。

【００４８】遅延時間演算部２２による演算はアナログ
演算方式又はディジタル演算方式で行われ、演算式を使
った演算又は遅れ時間変化の実測による特性から演算す
ることができる。

【００４９】本実施形態によれば、図１の信号処理回路
では電圧指令値等の変化にも電流検出位置の後段の遅れ
時間は一定として予測タイミング信号として得るのに対
して、電圧指令値の変化等による電流検出位置の後段の
遅れ時間の変化を補正した予測タイミング信号を得るこ
とができ、予測タイミングの精度を一層高めることがで
きる。

【００５０】また、電流検出位置を最終段のコンデンサ
Ｃ₂位置とするに限らず、コンデンサＣ₁を電流検出位置
とするなど、電流検出が比較的簡単な前段の回路位置と
することができる。

【００５１】（第４の実施形態）図５は、本発明の他の
実施形態を示す信号処理回路図である。基準信号発生部
２３は、電流検出器１１や１８が検出する電流検出信号
からコンデンサＣ₂の放電タイミングに一致する基準信
号を発生する。この基準信号発生は、例えば、電流検出
信号を波形整形することでなされる。

【００５２】充放電時間検出部２４は、電流検出信号か
らコンデンサＣ₂の充電から放電までの時間を検出す
る。この検出は、例えば、カウンタと基準クロックを設
け、充電開始時点から放電開始時点まで、カウンタが基
準クロック信号を計数することでなされる。

【００５３】遅延時間演算部２５は、検出部２４が検出
する充放電時間に比例した遅延時間を求める。遅延回路
２６は、図４の遅延回路２１と同様に、遅延時間演算部
２５で求めた遅延時間だけ基準信号を遅らせて予測タイ
ミング信号を発生する。

【００５４】本実施形態による各部の波形は、図６に示
すようになる。コンデンサＣ₂の電流検出波形は、その
充電電流期間とその後の放電電流期間が発生する。この
うち、基準信号発生部２３で放電電流の立ち上がり時点
で基準信号を発生する。充放電時間検出部２４では、充
放電時間に一致するパルス幅の信号を充放電時間として
得る。遅延時間演算部２５は、充放電時間に比例した時
間Ｔ_Dを求める。遅延回路２６は、この時間Ｔ_Dだけ基準
信号を遅延させ、予測タイミング信号とする。これによ
り、予測タイミング信号と実際のパルス出力発生との間
の期間Ｔに一定のものを得る。

【００５５】本実施形態では、コンデンサＣ₂の充放電
時間の変化によって放電タイミング（基準信号）から遅
延時間Ｔ_Dだけ遅らせて予測タイミング信号を得る。こ
こで、コンデンサＣ₂の充放電時間の変化は、可飽和リ
アクトルの飽和タイミングの変化に対応、すなわち出力
電圧指令の変化や温度変化に対応する。このことから、
充放電時間に応じて基準信号を遅延させることにより、
出力電圧の変化等に影響されることなく予測タイミング
信号を得ることができる。

【００５６】なお、電流検出信号は、最終段のコンデン
サＣ₂の電流検出に限らず、前段のコンデンサＣ₁等の電
流検出とすることができる。また、磁気リセット回路側
に誘導される電流検出信号とすることができる。さら
に、基準信号は、コンデンサの充電開始時点とすること
もできる。また、図４の信号処理回路との組み合わせ構
成とすることもできる。

【００５７】

【発明の効果】以上のとおり、本発明によれば、磁気パ
ルス圧縮回路のコンデンサの充放電電流など負荷装置に
供給するパルス電流にタイミング的に関連する電流又は
電圧を検出し、この検出信号から予測タイミング信号を
得るようにし、さらに予測タイミング信号を出力電圧や
コンデンサの充放電時間等に応じて補正するようにした
ため、電圧変化や温度変化に影響されることなく予測タ
イミング信号を精度良く求めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態を示す回路図（その１）。

【図２】実施形態におけるコンデンサの充放電タイミン
グ検出の変形例。

【図３】本発明の他の実施形態を示す回路図（その
２）。

【図４】本発明の実施形態を示す信号処理回路図（その
１）。

【図５】本発明の他の実施形態を信号処理回路図（その
２）。

【図６】図５の信号処理回路の各部波形図。

【図７】パルス電源装置の回路例。

【符号の説明】

１…パルス発生回路２…充電器３…昇圧・磁気パルス圧縮回路４…負荷装置ＳＷ…半導体スイッチＬ₀、Ｌ₁、Ｌ₂…可飽和リアクトルＣ₀、Ｃ₁、Ｃ₂…コンデンサ１１、１８…電流検出器１２、２０…電流検出回路１７…磁気リセット回路１９…信号処理回路２１…遅延回路２２、２５…遅延時間演算部２３…基準信号発生部２４…充放電時間検出部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】初期充電されるコンデンサから半導体ス
イッチのオン制御でパルス電流を発生するパルス発生回
路と、前記パルス電流で充放電されるコンデンサと可飽
和リアクトルの飽和動作で磁気パルス圧縮して負荷装置
に供給する磁気パルス圧縮回路とを備えたパルス電源装
置において、前記コンデンサの充放電電流又は電圧から充放電タイミ
ングを検出する検出手段と、前記充放電タイミング信号
から前記負荷装置に供給するパルス電流の予測タイミン
グ信号を得る信号処理回路とを備えたことを特徴とする
パルス電源装置。
【請求項２】前記検出手段は、前記コンデンサの電圧
を極性を有して検出する電圧検出器としたことを特徴と
する請求項１に記載のパルス電源装置。
【請求項３】前記検出手段は、前記コンデンサに並列
に小容量の分流コンデンサを設け、この分流コンデンサ
の電流を検出する電流検出器としたことを特徴とする請
求項１に記載のパルス電源装置。
【請求項４】前記検出手段は、前記コンデンサが複数
のコンデンサの並列接続で構成される場合にその１つの
コンデンサの電流を検出する電流検出器としたことを特
徴とする請求項１に記載のパルス電源装置。
【請求項５】初期充電されるコンデンサから半導体ス
イッチのオン制御でパルス電流を発生するパルス発生回
路と、前記パルス電流で充放電されるコンデンサと可飽
和リアクトルの飽和動作で磁気パルス圧縮して負荷装置
に供給する磁気パルス圧縮回路とを備えたパルス電源装
置において、前記可飽和リアクトルの巻線に誘導される電流又は電圧
から飽和動作タイミングを検出する検出手段と、前記飽
和動作タイミング信号から前記負荷装置に供給するパル
ス電流の予測タイミング信号を得る信号処理回路とを備
えたことを特徴とするパルス電源装置。
【請求項６】前記検出手段は、前記磁気パルス圧縮回
路がコンデンサと可飽和リアクトルの組みを複数段構成
とする場合にはその最終段の前記コンデンサ又は可飽和
リアクトルから充放電タイミング又は飽和動作タイミン
グを検出することを特徴とする請求項１乃至５のいずれ
か１に記載のパルス電源装置。
【請求項７】前記信号処理回路は、負荷装置に供給す
る出力電圧指令又は装置温度に応じて、もしくは出力電
圧指令及び装置温度に応じて前記予測タイミング信号を
遅延補正する遅延手段を備えたことを特徴とする請求項
１乃至６のいずれか１に記載のパルス電源装置。
【請求項８】前記信号処理回路は、前記磁気パルス圧
縮回路のコンデンサの充放電時間に応じて前記予測タイ
ミング信号を遅延補正する遅延手段を備えたことを特徴
とする請求項１乃至７のいずれか１に記載のパルス電源
装置。