JPS59171027A - 磁気記録媒体及びその製法 - Google Patents
磁気記録媒体及びその製法Info
- Publication number
- JPS59171027A JPS59171027A JP58044134A JP4413483A JPS59171027A JP S59171027 A JPS59171027 A JP S59171027A JP 58044134 A JP58044134 A JP 58044134A JP 4413483 A JP4413483 A JP 4413483A JP S59171027 A JPS59171027 A JP S59171027A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic recording
- protective film
- recording medium
- sputtering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
- G11B5/725—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction containing a lubricant, e.g. organic compounds
Landscapes
- Lubricants (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、磁気テープ、磁気ディスク、磁気・カード、
磁気ドラム等の磁気記録媒体及びその製造方法に係り、
特に蒸着薄膜型磁気記録媒体の保護膜に関するものであ
る。
磁気ドラム等の磁気記録媒体及びその製造方法に係り、
特に蒸着薄膜型磁気記録媒体の保護膜に関するものであ
る。
従来磁気記録層としては、γ−Fit’s −COをド
ーグしたr−Fe、0. 、、、 Fe、04. Cr
O2あるいは強磁性体合金等の微小粉末磁性材料を塩化
ビ= ルー酢fill ビニル共重合体、スチレンブタ
ジェン共重合体、エポキシ樹脂等の上様バインダ中に分
散させ、非磁性体基板上に塗布、乾燥させる塗布型のも
のが広く使用され又いる。近年、高密度記録への要求の
篩まりと共にスパッタリング、真空蒸着、プラズマCV
、D、イオングレーティング等の方法により形成される
蒸着型磁性薄膜はバインダを使用しないいわゆる非バイ
ンダ型の磁気記録層として実用化への努力が種々行なわ
れている。しかしながら、これらは従来の塗布型のもの
に比較して走行中にヘッドとの接触により磁気記録層が
剥離したり、傷ついたりする欠点を有し又いる。
ーグしたr−Fe、0. 、、、 Fe、04. Cr
O2あるいは強磁性体合金等の微小粉末磁性材料を塩化
ビ= ルー酢fill ビニル共重合体、スチレンブタ
ジェン共重合体、エポキシ樹脂等の上様バインダ中に分
散させ、非磁性体基板上に塗布、乾燥させる塗布型のも
のが広く使用され又いる。近年、高密度記録への要求の
篩まりと共にスパッタリング、真空蒸着、プラズマCV
、D、イオングレーティング等の方法により形成される
蒸着型磁性薄膜はバインダを使用しないいわゆる非バイ
ンダ型の磁気記録層として実用化への努力が種々行なわ
れている。しかしながら、これらは従来の塗布型のもの
に比較して走行中にヘッドとの接触により磁気記録層が
剥離したり、傷ついたりする欠点を有し又いる。
上記の欠点を改良するために、特開昭52−15370
7には、非゛バインダ型磁気記録層上に高分子材料を塗
布することにより被覆する方法が開示されている。また
特開[55−88704には界面活性剤を塗布により設
ける方法が述べられている。これらの方法は湿式法であ
るため、膜厚数百λ以下の超薄膜を作業性よく均−r、
t−Jg厚に形成することが困難である。また溶剤蒸気
が多量に発生し、公害の恐れがあり、さらに防爆等のた
め附帯設備を必要とする。
7には、非゛バインダ型磁気記録層上に高分子材料を塗
布することにより被覆する方法が開示されている。また
特開[55−88704には界面活性剤を塗布により設
ける方法が述べられている。これらの方法は湿式法であ
るため、膜厚数百λ以下の超薄膜を作業性よく均−r、
t−Jg厚に形成することが困難である。また溶剤蒸気
が多量に発生し、公害の恐れがあり、さらに防爆等のた
め附帯設備を必要とする。
上記の欠点を改良するブこめに真空蒸ガイ法、プラズマ
重合法で保護膜を形成する方法が提′案されているが、
いまだに十分な特性をもつものは得られていない1、 〔発明の目的〕 本発明の目的は、上記の欠点を改良した新規な磁気記録
媒体及びその製造方法を提供することにある。
重合法で保護膜を形成する方法が提′案されているが、
いまだに十分な特性をもつものは得られていない1、 〔発明の目的〕 本発明の目的は、上記の欠点を改良した新規な磁気記録
媒体及びその製造方法を提供することにある。
即ち、本発明は、磁気記録層上にアミド結合を主鎖に含
む有機晶分子をスパッタして保護膜が設げられた磁気記
録媒体を提供するものである。
む有機晶分子をスパッタして保護膜が設げられた磁気記
録媒体を提供するものである。
さらに本発明は、磁気記録層上にアミド結合を主鎖に含
む有機高分子をスパッタして保護膜を形成する磁気記録
媒体の製造方法を提供するものである。
む有機高分子をスパッタして保護膜を形成する磁気記録
媒体の製造方法を提供するものである。
本発明におけるスパッタリングは、直流、底周波、高゛
周波(R1?)、マイクロ波などのグミー放t、 J:
るスパッタ、イオンビームスパッタ等の公知の方法が可
能であり符に千行亀樟型RFスパッタ、マグネ)aン型
RFスパッタ法が適している。RFスパッタのs谷放箪
電力は0.0’j 〜50 W/cm20)範囲テスハ
ッタテキ、トくニ01〜20 W/cm2の範囲が望丑
しい。ガスの圧力はグミ−放電が生じる範囲ならいずれ
でもよいが10 〜1Torrの範囲が望ましい。ガス
としてはHe 、 Ne 、 Ar 、 Kr 、 X
e等の不活性ガスを用いることができる。またこれらの
ガスに窒素。
周波(R1?)、マイクロ波などのグミー放t、 J:
るスパッタ、イオンビームスパッタ等の公知の方法が可
能であり符に千行亀樟型RFスパッタ、マグネ)aン型
RFスパッタ法が適している。RFスパッタのs谷放箪
電力は0.0’j 〜50 W/cm20)範囲テスハ
ッタテキ、トくニ01〜20 W/cm2の範囲が望丑
しい。ガスの圧力はグミ−放電が生じる範囲ならいずれ
でもよいが10 〜1Torrの範囲が望ましい。ガス
としてはHe 、 Ne 、 Ar 、 Kr 、 X
e等の不活性ガスを用いることができる。またこれらの
ガスに窒素。
酸累、ハロゲン、空気、水等を加え1用いることもでき
る。
る。
朝食書店、昭44年6月発行つに脂肪族ポリアミド、芳
香族ポリアミドとして記載、さねているもので、力旨肪
族ポリアミドとしては、ナイロン6−6 、 ナイロン
6−10 、 fイロン11 、 ナイロン12など、
芳香族ポリアミドとしてはテユボン社@ のNomtx 、日東電工社のAフィルムなどがありこ
れらの混合物、共重合体でもよい。またポリアミド化合
物を硬化剤として用い硬化されたエポキシ樹月旨もd−
!れる。さらにこれらの有機高分子とアルミナ、シリカ
、二硫化モリブデン。
香族ポリアミドとして記載、さねているもので、力旨肪
族ポリアミドとしては、ナイロン6−6 、 ナイロン
6−10 、 fイロン11 、 ナイロン12など、
芳香族ポリアミドとしてはテユボン社@ のNomtx 、日東電工社のAフィルムなどがありこ
れらの混合物、共重合体でもよい。またポリアミド化合
物を硬化剤として用い硬化されたエポキシ樹月旨もd−
!れる。さらにこれらの有機高分子とアルミナ、シリカ
、二硫化モリブデン。
象化ホウ素yzとの無機物、金、アルミ、銅などの金篇
との混合物でもよい。
との混合物でもよい。
上記のスパッタリングによって形成される保護膜の厚さ
は、保積膜としての膜11]1強度、滑り1性liどの
特性が良好であれは特に限定されるも・のではないが、
少量であればあるほど好盪しい。
は、保積膜としての膜11]1強度、滑り1性liどの
特性が良好であれは特に限定されるも・のではないが、
少量であればあるほど好盪しい。
さらに本発明に使用される非磁性基板としてはポリエチ
レンテレフタレート、ポリアミド、ポリイミド、ポリ塩
化ビニル、三酢配セルa−スホリカーボネートのような
非金属基板、アルミニウム、ステンレススチール、黄銅
のよウナ金属基板のいずれでもよい。なお形成された保
護膜の化学構造はターゲットの化学構造と異なることが
多いがとくに差しつかえない。
レンテレフタレート、ポリアミド、ポリイミド、ポリ塩
化ビニル、三酢配セルa−スホリカーボネートのような
非金属基板、アルミニウム、ステンレススチール、黄銅
のよウナ金属基板のいずれでもよい。なお形成された保
護膜の化学構造はターゲットの化学構造と異なることが
多いがとくに差しつかえない。
さらにM記の基板上に蒸着、メッキ等の方法により金属
膜を形成せしめたもの、接着剤等を塗布したものも本発
明の磁気れ己録層としてよい。
膜を形成せしめたもの、接着剤等を塗布したものも本発
明の磁気れ己録層としてよい。
以上磁気記録層とし2℃磁磁性層薄膜を用いた場合を主
に述べたが、磁気記録層としてメッキおよび塗布γムで
形成した場合についても顕著な効果が得られろ。
に述べたが、磁気記録層としてメッキおよび塗布γムで
形成した場合についても顕著な効果が得られろ。
以下、実施例により本発明を説明する。
実施例1
25μ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム基板上
に、約soo Uのコバルト金属膜を蒸斯した磁気dピ
録層上に芳香族ポリアミドフィルム(日東■、工社妄の
゛Aフィルム)をターゲットトし、10mTorrのJ
イrガ、ス中でRF電力I F/cm”の条件でスパッ
タリングを行い、前記磁3連記録層上に保@膜を600
A形成し試料Aとした。J宿肪族ポリアミド樹fj’i
i (東し製ナイロン−6)をターゲットとシ107n
TOrのArガス中゛でRF亀方力11VC7712の
条件でスパッタリング金貸い磁気記録層上に保護膜をs
on、?ti成し試料BとしたOこの試料A、試料Bと
保護膜のない試料Bの摺動強度を回転ロール試験法で測
定した。すなわち20ψ中の回転ロールに90℃の巻角
、20yの張力で押しっけ1回転ロールを500/6r
pmで回転させ。
に、約soo Uのコバルト金属膜を蒸斯した磁気dピ
録層上に芳香族ポリアミドフィルム(日東■、工社妄の
゛Aフィルム)をターゲットトし、10mTorrのJ
イrガ、ス中でRF電力I F/cm”の条件でスパッ
タリングを行い、前記磁3連記録層上に保@膜を600
A形成し試料Aとした。J宿肪族ポリアミド樹fj’i
i (東し製ナイロン−6)をターゲットとシ107n
TOrのArガス中゛でRF亀方力11VC7712の
条件でスパッタリング金貸い磁気記録層上に保護膜をs
on、?ti成し試料BとしたOこの試料A、試料Bと
保護膜のない試料Bの摺動強度を回転ロール試験法で測
定した。すなわち20ψ中の回転ロールに90℃の巻角
、20yの張力で押しっけ1回転ロールを500/6r
pmで回転させ。
摩擦係数が増加しはじめる回転時間を保護膜の寿命とし
た。回転ロール試験の結果を図に示したが、スパッタリ
ングで保護膜を形成した磁気記録媒体はいずれも4分以
上摩擦係数が変化しておらずスパッタリングで保護膜を
形成した効果は大きく、工業的価値は大なるものである
。
た。回転ロール試験の結果を図に示したが、スパッタリ
ングで保護膜を形成した磁気記録媒体はいずれも4分以
上摩擦係数が変化しておらずスパッタリングで保護膜を
形成した効果は大きく、工業的価値は大なるものである
。
実施例2
2771m厚のアルミ板をアルマイト処理番加工した基
板上に約200OAのγ−Fe2O3をスパッタおよび
熱処理して磁気記録層を形成した磁気ティスフ上に、実
施例1と同じターゲット、ガス圧。
板上に約200OAのγ−Fe2O3をスパッタおよび
熱処理して磁気記録層を形成した磁気ティスフ上に、実
施例1と同じターゲット、ガス圧。
RFla力でスパッタリングを行い、磁気ディスク上に
保護膜を30OA形成し 試料とした。ターゲットとし
又芳香族ポリアミドを用いたものを試料D、脂肪族ポリ
アミドを用いたものな試料E、保護膜のない磁気ディス
クを試料Fとし球面摺動試験によって保護膜の強度を測
定した。
保護膜を30OA形成し 試料とした。ターゲットとし
又芳香族ポリアミドを用いたものを試料D、脂肪族ポリ
アミドを用いたものな試料E、保護膜のない磁気ディス
クを試料Fとし球面摺動試験によって保護膜の強度を測
定した。
ずなわちディスクの周速を10TrL/′s−とじサフ
ァイヤの摺動子に10.qの荷重を加え、保護膜と接触
させたまま回転させ、保護膜が摩耗によってなくなり動
摩擦が急激に太きくなるまでの回転数を求めた。、試料
り、E(1)動摩擦が急激に大きくなるまでの回転数は
それぞれ26000回、 14000回であり、試料F
の場合は300回であった。以上保護膜を形成した効果
は大きく、工畿的価値は大なるものである。
ァイヤの摺動子に10.qの荷重を加え、保護膜と接触
させたまま回転させ、保護膜が摩耗によってなくなり動
摩擦が急激に太きくなるまでの回転数を求めた。、試料
り、E(1)動摩擦が急激に大きくなるまでの回転数は
それぞれ26000回、 14000回であり、試料F
の場合は300回であった。以上保護膜を形成した効果
は大きく、工畿的価値は大なるものである。
以上説明したように1本発明はアミド結合を主鎖に含む
有機高分子のスパッタリングによって、耐摩耗性にすぐ
れ長期的に良好な潤滑効果を発揮する有機保護膜を有す
る磁気itj録媒体を得るものである。
有機高分子のスパッタリングによって、耐摩耗性にすぐ
れ長期的に良好な潤滑効果を発揮する有機保護膜を有す
る磁気itj録媒体を得るものである。
図は回転ロール試験強度の検討結果である。
1・・・試料A 2・・・試料B3・・・試料
C 5へ 錠 吏 や 回転時間(m−)
C 5へ 錠 吏 や 回転時間(m−)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 t 磁気記録層上にアミド結合な主鎖に含む有機高分子
をスパッタして保護膜が設けられたことを特徴とする磁
気記録媒体。 2、 アミド結合を主鎖に含む有機高分子をスパッタし
磁気記録層上に保護膜を形成することを特徴とする磁気
記録媒体の製桑専法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58044134A JPS59171027A (ja) | 1983-03-18 | 1983-03-18 | 磁気記録媒体及びその製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58044134A JPS59171027A (ja) | 1983-03-18 | 1983-03-18 | 磁気記録媒体及びその製法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59171027A true JPS59171027A (ja) | 1984-09-27 |
Family
ID=12683152
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58044134A Pending JPS59171027A (ja) | 1983-03-18 | 1983-03-18 | 磁気記録媒体及びその製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59171027A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61210519A (ja) * | 1985-03-15 | 1986-09-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 磁気デイスク媒体及びその製造方法 |
-
1983
- 1983-03-18 JP JP58044134A patent/JPS59171027A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61210519A (ja) * | 1985-03-15 | 1986-09-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 磁気デイスク媒体及びその製造方法 |
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