JPS59168685A - 水冷型レ−ザ反射鏡 - Google Patents
水冷型レ−ザ反射鏡Info
- Publication number
- JPS59168685A JPS59168685A JP4265383A JP4265383A JPS59168685A JP S59168685 A JPS59168685 A JP S59168685A JP 4265383 A JP4265383 A JP 4265383A JP 4265383 A JP4265383 A JP 4265383A JP S59168685 A JPS59168685 A JP S59168685A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling water
- laser
- water
- reflector
- laser reflector
- Prior art date
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- Granted
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/0401—Arrangements for thermal management of optical elements being part of laser resonator, e.g. windows, mirrors, lenses
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/005—Diaphragms
- G02B5/006—Diaphragms cooled
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/0407—Liquid cooling, e.g. by water
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この出願の発明は水冷型ｌ／−ザ反射鏡に関するもので
、特に高出力レーザ反射鏡の冷却装置に関するものであ
る。
、特に高出力レーザ反射鏡の冷却装置に関するものであ
る。
高出力レーザは現在各種の分野において使用されている
。発振されたレーザ光線は複数の反射鏡によって偏向さ
れてその目的に応じて利用されている。高出力レーザに
用いられる反射鏡は、通常反射率は高いが、絶えず高熱
にさらされ又鏡自身も熱エネルギーを吸収して高熱体と
なシ、その結果反射鏡の曲率が変化したシ周囲の部品に
高温の悪影響を及ぼし、時には鏡の特性を変え破壊する
に至ることもある。従って、従来よりこれらの劣化を防
止するために反射鏡を冷却する方法がとられていた。以
下添付図面を参照して、従来例の一つを説明する。
。発振されたレーザ光線は複数の反射鏡によって偏向さ
れてその目的に応じて利用されている。高出力レーザに
用いられる反射鏡は、通常反射率は高いが、絶えず高熱
にさらされ又鏡自身も熱エネルギーを吸収して高熱体と
なシ、その結果反射鏡の曲率が変化したシ周囲の部品に
高温の悪影響を及ぼし、時には鏡の特性を変え破壊する
に至ることもある。従って、従来よりこれらの劣化を防
止するために反射鏡を冷却する方法がとられていた。以
下添付図面を参照して、従来例の一つを説明する。
ボディ２の内面を空洞に形成しその前面にレーザ光線Ｂ
を反射させるレーザ反射鏡６（レーザミラともいう）を
取伺け、ボディ２の裏蓋８にパイプ１０を連結し、この
ノミイブの給水口１２よりノミイブ１０を通じて冷却水
をボディ２内に供給する。
を反射させるレーザ反射鏡６（レーザミラともいう）を
取伺け、ボディ２の裏蓋８にパイプ１０を連結し、この
ノミイブの給水口１２よりノミイブ１０を通じて冷却水
をボディ２内に供給する。
冷却水はボディ ２ 内を充満、循環する際に前面に装
着したレーザミラ６とボディ２を冷却して、排水１」１
４より排出される。この様にして冷却水がミラ６の空洞
中を流通、−循環することにより、ミラを冷却し、必要
以上の高熱の発生を防止できる。まだ冷却水が何等かの
要因により例えばノミイブの破損又は漏水等により断水
した場合又は必要用以下の給水しかできない場合には、
直ちにレーザ発振を停止しレーザミラの破損劣化を防止
しなければならない。このためにボディ２とは別に、ノ
ミイブ等に流量検出器１Ｇを取付ける。然して前記断水
又は必要量以下に減水の際には、レーザ発振を停止すべ
く、前記流量検出器１６より、レーザ発振器本体（図示
せず）の電源をｏｒｒとするだめの信号を発信せしめて
いる。
着したレーザミラ６とボディ２を冷却して、排水１」１
４より排出される。この様にして冷却水がミラ６の空洞
中を流通、−循環することにより、ミラを冷却し、必要
以上の高熱の発生を防止できる。まだ冷却水が何等かの
要因により例えばノミイブの破損又は漏水等により断水
した場合又は必要用以下の給水しかできない場合には、
直ちにレーザ発振を停止しレーザミラの破損劣化を防止
しなければならない。このためにボディ２とは別に、ノ
ミイブ等に流量検出器１Ｇを取付ける。然して前記断水
又は必要量以下に減水の際には、レーザ発振を停止すべ
く、前記流量検出器１６より、レーザ発振器本体（図示
せず）の電源をｏｒｒとするだめの信号を発信せしめて
いる。
然し乍ら、従来例の水冷型レーザ反射鏡には以下のよう
な欠陥があシ、改良すべき点が多かった。
な欠陥があシ、改良すべき点が多かった。
す々わち（Ｊ）鏡の中心部を集中的に冷却できないだめ
、効率的冷却が得られないこと、従って鏡が劣化し易い
こと並に冷却水量を不用意に増大すると内圧が高くなり
鏡を変形させる。史に（２）冷却水の流量を測定する検
出装置を別途に設置するために大きいスペースを要する
と共にボディ２と流量検出器１Ｇとの間を連結するパイ
プに破損又は漏水が生じた場合にはノミイブを流れる冷
却水の水量には、流量検出器１６で計量できない誤差が
生じる場合が生じる等の不具合があった。
、効率的冷却が得られないこと、従って鏡が劣化し易い
こと並に冷却水量を不用意に増大すると内圧が高くなり
鏡を変形させる。史に（２）冷却水の流量を測定する検
出装置を別途に設置するために大きいスペースを要する
と共にボディ２と流量検出器１Ｇとの間を連結するパイ
プに破損又は漏水が生じた場合にはノミイブを流れる冷
却水の水量には、流量検出器１６で計量できない誤差が
生じる場合が生じる等の不具合があった。
この出願の発明は従来例の欠陥を克服すべく工夫改良が
なされたものである。以下添付図面に基づき本発明に係
る一実施例を説明する。添伺第２図、第３図はそれぞれ
斜視図、断（７Ｉｉ図を示すもので、ミラボディ２０前
面にレーザ反射鏡２２を取付け、後述するダイヤフラム
３４を装着した裏蓋２４と前記レーザ反射鏡２２との間
に設けた空洞２６に、ノズル２８を具えた冷却水供給パ
イプ３０をボディ２０内をへて挿入して、前記ノズル２
８をレーザ反射鏡２２の背面のほぼ中心方向に向けて処
置せしぬる。又裏蓋２４の外側、前記ダイヤフラム：（
４に近接して、スイッチ等のセンサ３Ｇを設ける。３２
は外部制水口３８に連結した排水孔でその口径は供給パ
イプ３ｏのノズル２８の口径よりも小さく形成される。
なされたものである。以下添付図面に基づき本発明に係
る一実施例を説明する。添伺第２図、第３図はそれぞれ
斜視図、断（７Ｉｉ図を示すもので、ミラボディ２０前
面にレーザ反射鏡２２を取付け、後述するダイヤフラム
３４を装着した裏蓋２４と前記レーザ反射鏡２２との間
に設けた空洞２６に、ノズル２８を具えた冷却水供給パ
イプ３０をボディ２０内をへて挿入して、前記ノズル２
８をレーザ反射鏡２２の背面のほぼ中心方向に向けて処
置せしぬる。又裏蓋２４の外側、前記ダイヤフラム：（
４に近接して、スイッチ等のセンサ３Ｇを設ける。３２
は外部制水口３８に連結した排水孔でその口径は供給パ
イプ３ｏのノズル２８の口径よりも小さく形成される。
供給パイプ３０より供給された冷却水はレーザ反射鏡２
２の・裏面中心部に向けてノズル２８より集中的に噴出
し、空洞２６内に充満、循環し、レーザ反射鏡２２．ボ
ディ２０等を冷却して後排水孔：（２をへて外部排水口
３８へ送り出される。空洞２Ｇ内を充満循環する冷却水
は通常の状態にお因では所定水量、所定水圧が維持でき
るよう工夫がなされて−るが、屡々所定水量、所定水圧
以上又は以下に変化するアブノーマルな状況に対応する
だめの処置が講ぜられねばならない。
２の・裏面中心部に向けてノズル２８より集中的に噴出
し、空洞２６内に充満、循環し、レーザ反射鏡２２．ボ
ディ２０等を冷却して後排水孔：（２をへて外部排水口
３８へ送り出される。空洞２Ｇ内を充満循環する冷却水
は通常の状態にお因では所定水量、所定水圧が維持でき
るよう工夫がなされて−るが、屡々所定水量、所定水圧
以上又は以下に変化するアブノーマルな状況に対応する
だめの処置が講ぜられねばならない。
空洞２６内に充満循環する冷却水の水量、水圧が規定以
上又は以下に変化した際には、裏蓋２４に装着したダイ
ヤフラム３４が前後に移動変位する。この移動変位をス
イッチ等のセンサ３Ｇで検出して、レーザ発振を停止す
べく、レーザ発振器本体（図示せず）の電源をｏｆｆと
するだめの信号を前記センサよシ発生せしめる。従って
レーザ反射鏡は常に規定水量、水圧の冷却水で冷却され
るように構成されており、アブノーマルな状態で発生す
る危険を防止できる。
上又は以下に変化した際には、裏蓋２４に装着したダイ
ヤフラム３４が前後に移動変位する。この移動変位をス
イッチ等のセンサ３Ｇで検出して、レーザ発振を停止す
べく、レーザ発振器本体（図示せず）の電源をｏｆｆと
するだめの信号を前記センサよシ発生せしめる。従って
レーザ反射鏡は常に規定水量、水圧の冷却水で冷却され
るように構成されており、アブノーマルな状態で発生す
る危険を防止できる。
尚本発明の実施例においては、レーザ反射鏡２２の裏面
の中心に向って供給、ｏイブ３ｏのノズル２８を配設し
であるが、前記裏面の中心部を効率的に冷却するもので
あれば、ノズル以外の構成を採用してもよいことは勿論
である。
の中心に向って供給、ｏイブ３ｏのノズル２８を配設し
であるが、前記裏面の中心部を効率的に冷却するもので
あれば、ノズル以外の構成を採用してもよいことは勿論
である。
第４図、第５図は別の実施例を図示するものである。
レーザ反射鏡２２の裏面に設けた空隙と裏蓋２４の空隙
とを複数の貫通孔４２で連絡しプこ構成を有し、給水パ
イプ３０より流入した冷却水はパイプの中心孔４ｏより
噴出しっ５レ一ザ反射鏡２２の裏面中心部を冷却し、中
心孔４ｏの周りに設けた複数の貫通孔４２を通過循環し
、排出口４４に集まシ、排水孔４６をへて外部へ排出さ
れる。このようにして、第１の実施例と同様にレーザ反
射鏡２２の有効冷却という目的を達成できる。
とを複数の貫通孔４２で連絡しプこ構成を有し、給水パ
イプ３０より流入した冷却水はパイプの中心孔４ｏより
噴出しっ５レ一ザ反射鏡２２の裏面中心部を冷却し、中
心孔４ｏの周りに設けた複数の貫通孔４２を通過循環し
、排出口４４に集まシ、排水孔４６をへて外部へ排出さ
れる。このようにして、第１の実施例と同様にレーザ反
射鏡２２の有効冷却という目的を達成できる。
木発１す］に係る水冷型レーザ反射鏡においては、反射
鏡の中心）１］（全集中的に冷却できるから効率的冷却
が実施できるばかりでなく、反射鏡の劣化を防止、１１
ｉ１久件の維持に役立つと共に冷却水量の増大に伴い内
圧が高くなってもダイヤフラム部で吸収するから、反射
鏡の変形を防止することができる。又従来し１１のよう
に、流−耽検出器を別途設置する必閥はなく、・ξイブ
等の外部に不具合が生じても、それによる影響（例えば
流量計１１４１１誤差）をうけない折の効果がある。
鏡の中心）１］（全集中的に冷却できるから効率的冷却
が実施できるばかりでなく、反射鏡の劣化を防止、１１
ｉ１久件の維持に役立つと共に冷却水量の増大に伴い内
圧が高くなってもダイヤフラム部で吸収するから、反射
鏡の変形を防止することができる。又従来し１１のよう
に、流−耽検出器を別途設置する必閥はなく、・ξイブ
等の外部に不具合が生じても、それによる影響（例えば
流量計１１４１１誤差）をうけない折の効果がある。
第１図は従来例のレーザ反射鏡の冷却装置の路線斜視図
。第２図は本願発明に係る一実施例のレーザ反射鏡冷却
装置の斜視図。第３図は冷却装置の断面図。第４図は別
の実施例の冷却装置の断面図。第５図は第７１図の実施
イク１１の冷却水循環孔を示すためにレーザ反射鏡を除
去した平面図。 ２０ ミラボディ、２２・レーザ反射鏡、２４・・央蓋
、２Ｇ・・・空１１ｉ１．２８・・ノズル、３０・・供
給・センサ、・１０・・・パイプ中心孔、／１２・・・
貫通孔、４４・・排出口、４Ｇ ・排水孔、４８・・・
４１１人、ｏイブ特許出願人 株式会社デルファイ 代理人 弁理士 小 林 栄弔 １ 図 第３図
。第２図は本願発明に係る一実施例のレーザ反射鏡冷却
装置の斜視図。第３図は冷却装置の断面図。第４図は別
の実施例の冷却装置の断面図。第５図は第７１図の実施
イク１１の冷却水循環孔を示すためにレーザ反射鏡を除
去した平面図。 ２０ ミラボディ、２２・レーザ反射鏡、２４・・央蓋
、２Ｇ・・・空１１ｉ１．２８・・ノズル、３０・・供
給・センサ、・１０・・・パイプ中心孔、／１２・・・
貫通孔、４４・・排出口、４Ｇ ・排水孔、４８・・・
４１１人、ｏイブ特許出願人 株式会社デルファイ 代理人 弁理士 小 林 栄弔 １ 図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １−側に排水孔を有するボディにそれぞれ装着したレー
ザ反射鏡とダイヤフラムを具えだ裏蓋と０間に噴出口を
具えた冷却水供給ノミイブを収容し、内部を循環する冷
却水の水圧によるダイヤフラムの変位を検出するセンサ
をダイヤフラムに近接して設けたことを特徴とする水冷
型レーザ反射鏡。 ２ 冷却水供給パイプのノズルをレーザ反射鏡裏面の中
心部に向けて配設した特許請求の範囲第１項に記載の水
冷型レーザ反射鏡。 ３ 排水孔の口径を供給ノミイブのノズルの口径よりも
小さく形成した特許請求の範囲第２項に記載の水冷型レ
ーザ反射鏡。 ４ 供給でｅイブの噴出口よシレーザ反射鏡裏面に供給
された冷却水を裏蓋内側へ流通循環せしめる複数の貫通
孔と前・記貫通孔よりの冷却水を集中排出する排出口を
設けた特許請求の範囲第１項に記載の水冷型レーザ反射
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4265383A JPS59168685A (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | 水冷型レ−ザ反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4265383A JPS59168685A (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | 水冷型レ−ザ反射鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59168685A true JPS59168685A (ja) | 1984-09-22 |
| JPH0126554B2 JPH0126554B2 (ja) | 1989-05-24 |
Family
ID=12641965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4265383A Granted JPS59168685A (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | 水冷型レ−ザ反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59168685A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62139374A (ja) * | 1985-12-13 | 1987-06-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ装置 |
| JPH02231779A (ja) * | 1989-01-10 | 1990-09-13 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | レーザミラーヘッド |
| CN110994338A (zh) * | 2019-12-20 | 2020-04-10 | 福州市纳飞光电科技有限公司 | 一种低模式色散的激光光纤耦合器 |
| CN115857131A (zh) * | 2023-02-16 | 2023-03-28 | 中国航天三江集团有限公司 | 嵌入可调式高散热性能激光截止光阑 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54108665U (ja) * | 1978-01-17 | 1979-07-31 | ||
| JPS5745988A (en) * | 1980-09-02 | 1982-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Laser oscillator |
-
1983
- 1983-03-14 JP JP4265383A patent/JPS59168685A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54108665U (ja) * | 1978-01-17 | 1979-07-31 | ||
| JPS5745988A (en) * | 1980-09-02 | 1982-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Laser oscillator |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62139374A (ja) * | 1985-12-13 | 1987-06-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ装置 |
| JPH02231779A (ja) * | 1989-01-10 | 1990-09-13 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | レーザミラーヘッド |
| CN110994338A (zh) * | 2019-12-20 | 2020-04-10 | 福州市纳飞光电科技有限公司 | 一种低模式色散的激光光纤耦合器 |
| CN115857131A (zh) * | 2023-02-16 | 2023-03-28 | 中国航天三江集团有限公司 | 嵌入可调式高散热性能激光截止光阑 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0126554B2 (ja) | 1989-05-24 |
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