JPH0832152A - 固体レーザ発振装置 - Google Patents

固体レーザ発振装置

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JPH0832152A
JPH0832152A JP15864794A JP15864794A JPH0832152A JP H0832152 A JPH0832152 A JP H0832152A JP 15864794 A JP15864794 A JP 15864794A JP 15864794 A JP15864794 A JP 15864794A JP H0832152 A JPH0832152 A JP H0832152A
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JP
Japan
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solid
housing
state laser
laser medium
cooling
Prior art date
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Pending
Application number
JP15864794A
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English (en)
Inventor
Kiyoshi Takeuchi
清 武内
Tomoyasu Noda
智靖 野田
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Shinmaywa Industries Ltd
Original Assignee
Shin Meiva Industry Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】固体レーザ媒質及びフラッシュランプを均一に
冷却するとともに、ハウジング内にエアが溜まらないよ
うにして、冷却効率の良好な冷却系を備えた固体レーザ
発振装置を提供する。 【構成】水密構造のハウジング1と、該ハウジング1内
に支持された固体レーザ媒質2と、固体レーザ媒質2と
平行に上記ハウジング1内に配置され、固体レーザ媒質
2を光励起するためのフラッシュランプ3と、ハウジン
グ1内に冷却水を供給する冷却系とを備えた固体レーザ
発振装置において、前記固体レーザ媒質2及びフラッシ
ュランプ3は左右に並列に配置される一方、前記冷却系
は、ハウジング1の下部に冷却水の流入口7が、上部に
冷却水の流出口8がそれぞれ設けられるとともに、固体
レーザ媒質2とフラッシュランプ3とを個別に冷却する
冷却用通路5が上下方向にそれぞれ形成されてなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光励起型の固体レーザ
発振装置に関し、特に、冷却系の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、水密構造のハウジング内に、固体
レーザ媒質及びフラッシュランプを支持し、冷却水を該
ハウジング内に流入することで、固体レーザ媒質及びフ
ラッシュランプの冷却を行う固体レーザ発振装置が種々
提供されている。
【0003】例えば、特開昭60−194589号公報
に見られるように、固体レーザ媒質及びフラッシュラン
プを上下に配置するとともに、冷却水の流入口及び流出
口をハウジングの左右に設けたものや、実開平4−74
471号公報に見られるように、固体レーザ媒質及びフ
ラッシュランプを上下に配置するとともに、冷却水の流
入口及び流出口をハウジングの下部に設けたものや、特
開昭55−86177号公報に見られるように、固体レ
ーザ媒質及びフラッシュランプを左右に配置するととも
に、冷却水の流入口及び流出口をハウジングの一側部に
設けたものなどがある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のように、流入口及び流出口を、左右、下部、もしく
は一側部に設けたものでは、ハウジング内に冷却水を充
満させる際に、該ハウジング内の上部にエアが残り易
く、冷却水を円滑に充満させることが困難で、これが固
体レーザ媒質やフラッシュランプの冷却効率の低下を招
くという問題があった。また、ハウジング内にエアが残
っていれば、励起光の一部がそのエアを通過して反射板
により反射され、再び冷却水を通過して固体レーザ媒質
に至るため、励起効率の低下を招き、レーザ性能の低下
を招くことになる。
【0005】また、実開昭61−102064号公報に
見られるように、固体レーザ媒質及びフラッシュランプ
を上下に配置するとともに、冷却水の流入口をハウジン
グの一端下部に、流出口をハウジングの他端上部に設け
ることで、冷却水を充満させる際にエアが残らず冷却水
を容易に充満できるものもあるが、この実開昭61−1
02064号公報に記載のものは、同一水路中にフラッ
シュランプと固体レーザ媒質とが配置されているため、
フラッシュランプを冷却した冷却水がさらに固体レーザ
媒質を冷却することになり、両者を同一温度に保つこと
が困難で、しかも流入口付近と流出口付近とでは、明ら
かに温度差が発生してしまい、冷却能力の低下を招くと
いう問題があった。
【0006】本発明は、上述した問題点に鑑みなされた
もので、固体レーザ媒質及びフラッシュランプを均一に
冷却するとともに、ハウジング内にエアが溜まらないよ
うにして、冷却効率の良好な冷却系を備えた固体レーザ
発振装置を提供することを目的とし、さらに、保守点検
が容易な固体レーザ発振装置を提供することを目的とす
るものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明に係る請求項1記
載の固体レーザ発振装置は、水密構造のハウジングと、
該ハウジング内に支持された固体レーザ媒質と、固体レ
ーザ媒質と平行に上記ハウジング内に配置され、固体レ
ーザ媒質を光励起するためのフラッシュランプと、ハウ
ジング内に冷却水を供給する冷却系とを備えた固体レー
ザ発振装置において、前記固体レーザ媒質及びフラッシ
ュランプは、略水平に且つ左右に並列に配置される一
方、前記冷却系は、ハウジングの下部に冷却水の流入口
が、上部に冷却水の流出口がそれぞれ設けられられると
ともに、前記固体レーザ媒質とフラッシュランプとを個
別に冷却する冷却用通路が上下方向にそれぞれ形成され
たものである。
【0008】本発明に係る請求項2記載の固体レーザ発
振装置は、水密構造のハウジングと、該ハウジング内に
支持された固体レーザ媒質と、固体レーザ媒質と平行に
上記ハウジング内に配置され、固体レーザ媒質を光励起
するためのフラッシュランプと、ハウジング内に冷却水
を供給する冷却系とを備えた固体レーザ発振装置におい
て、前記固体レーザ媒質及びフラッシュランプは、略水
平に且つ上下に並列に配置される一方、前記冷却系は、
ハウジングの左右の一方に冷却水の流入口が、他方に流
出口が設けられるとともに、前記固体レーザ媒質とフラ
ッシュランプとを個別に冷却する冷却用通路が左右方向
にそれぞれ形成され、さらに、ハウジングの上部にエア
抜き用配管が接続されたものである。
【0009】本発明に係る請求項3記載の固体レーザ発
振装置は、ハウジングの下部には、水抜き用配管が接続
されている。
【0010】
【作用】本発明の請求項1に記載の固体レーザ発振装置
によれば、ハウジング内に冷却水を充填させる際には、
冷却水は下部の流入口からハウジング内に入り、上部へ
と徐々に充填していくため、ハウジング内のエアは上部
の流出口から逃げることになり、ハウジング内にエアが
残らず容易に冷却水を充填させる。また、固体レーザ媒
質及びフラッシュランプの冷却は、冷却水が各冷却用通
路を流れることで固体レーザ媒質とフラッシュランプと
をそれぞれ個別に冷却する。
【0011】本発明の請求項2に記載の固体レーザ発振
装置によれば、冷却水を充填させる際には、冷却水は側
部の流入口からハウジング内に入り、下部から上部へと
徐々に充填し、ハウジング内のエアは上部のエア抜き用
配管を経て逃げることになり、ハウジング内にエアが残
らず容易に冷却水を充填させる。また、固体レーザ媒質
及びフラッシュランプの冷却は、冷却水が各冷却用通路
を流れることで固体レーザ媒質とフラッシュランプとを
それぞれ個別に冷却する。
【0012】本発明の請求項3に記載の固体レーザ発振
装置によれば、ハウジング内の冷却水を抜く際には、ハ
ウジングの下部の水抜き用配管から容易に排出させる。
【0013】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。
【0014】図1は、本発明の請求項1に記載の固体レ
ーザ発振装置の概略構成を示している。
【0015】図1において、1は、水密構造のハウジン
グで、該ハウジング1内には固体レーザ媒質2及びフラ
ッシュランプ3が配置されている。
【0016】前記固体レーザ媒質2は、上記ハウジング
1の略中心位置に図1における奥行き方向に配置され、
図示しない支持装置によりこの状態で支持されている。
この固体レーザ媒質2としては、YAG、ガラス、ルビ
ー等が使用される。
【0017】前記フラッシュランプ3は、前記固体レー
ザ媒質2を光励起するためのもので、固体レーザ媒質2
を挟んで左右に且つ平行に配置され、図示しない支持装
置によりこの状態で支持されている。
【0018】前記固体レーザ媒質2とフラッシュランプ
3とは、ハウジング1内にそれぞれ形成されたレーザ媒
質室2a、ランプ室3aに配置されており、これらレー
ザ媒質室2aとランプ室3aとはガラス板4で仕切られ
ている。
【0019】前記ランプ室3aの側壁は金属板等からな
る反射板6が配設されている。
【0020】また、前記レーザ媒質室2aとランプ室3
aには、レーザ媒質室2aとランプ室3aとを個別に挿
通する冷却用通路5が形成されており、これら冷却用通
路5を介してハウジング1の下部に形成された流入室7
aとハウジング1の上部に形成された流出室8aとが連
通されている。
【0021】このハウジング1の下部には流入口7が形
成されるとともに、ハウジングの上部には流出口8が形
成されている。
【0022】流入口7及び流出口8は、ハウジング1内
への冷却水の供給・排出を行うもので、これら流入口7
及び流出口8には冷却装置9、ポンプ10を備えた循環
用配管11が接続され、ハウジング1内へ冷却水を循環
供給可能に構成されている。
【0023】前記循環用配管11の流入口7側には第1
開閉弁12が設けられるとともに、循環用配管11の流
出口8側には第2開閉弁13が設けられている。
【0024】次に、上述のように構成された固体レーザ
発振装置を冷却する場合の動作について説明する。
【0025】第1開閉弁12及び第1開閉弁13を開放
した状態で、冷却装置9、ポンプ10を作動させること
で、冷却装置9で冷却された冷却水は、流入口7からハ
ウジング1の流入室7a内に流入し、各冷却用通路5を
通って流出室8aに流れ、流出口8から排出されて再び
冷却装置9に戻る。このように冷却水を循環させること
で、冷却水が冷却用通路5を通過する際に固体レーザ媒
質2とフラッシュランプ3との冷却を行う。
【0026】この際、各冷却用通路5は、ハウジング1
内への冷却水の流入・流出方向と同一方向であり、しか
も固体レーザ媒質2とフラッシュランプ3とは各冷却用
通路5に配置され各冷却用通路5ごとにそれぞれ個別に
冷却されているため、ハウジング1内における冷却水の
流れがスムースで、且つ固体レーザ媒質2とフラッシュ
ランプ3とを均一に冷却することができる。
【0027】また、冷却を開始する初期の段階でハウジ
ング1内に冷却水を充填させる際には、冷却水は下部の
流入口7からハウジング1内に入り、上部の流出室8a
へと徐々に充填していくため、ハウジング1内のエアは
上部の流出口8から逃げることになり、ハウジング1内
にエアが残らず容易に冷却水を充填させることができ
る。
【0028】図2は、本発明の請求項2及び3に記載の
固体レーザ発振装置の概略構成を示している。なお、前
述した請求項1記載の固体レーザ発振装置と同部材には
同符号を付し、説明は省略する。
【0029】この固体レーザ発振装置は、ハウジング1
の一側部(図示例では右側部)に流入口7が形成される
とともに、ハウジング1の他側部(図示例では左側部)
に流出口8が形成されている。
【0030】固体レーザ媒質2及びフラッシュランプ3
は、略水平に且つ固体レーザ媒質2を挟んで2つのフラ
ッシュランプ3が上下に配置されるとともに、冷却用通
路5は冷却水の流入・流出方向と同方向となる左右方向
に形成されている。
【0031】また、ハウジング1の上部には、エア抜き
用の排出口20が形成され、この排出口20に第3開閉
弁21を介してエア抜き用配管22が接続されている。
【0032】さらに、ハウジング1の下部には、水抜き
用の排出口23が形成され、この排出口23に第4開閉
弁24を介して水抜き用配管25が接続されている。水
抜き用配管25は冷却水循環用の循環用配管11に連通
されている。
【0033】よって、冷却を開始する初期の段階でハウ
ジング1内に冷却水を充填させる際には、まず、第1開
閉弁12と第3開閉弁21とを開放させてポンプ10を
作動させることで、冷却水は側部の流入口7からハウジ
ング1内に入り、下部から上部へと徐々に充填され、該
ハウジング1内を満たす。この際、ハウジング1内のエ
アは上部の排出口20からエア抜き用配管22を経て逃
げることになり、ハウジング1内にエアが残らず容易に
冷却水を充填させることができる。
【0034】また、ハウジング1内の水抜きを行う際に
は、第3開閉弁21及び第4開閉弁24を開放させるこ
とで、ハウジング1内の冷却水を排出口23から容易に
排出させることができ、該ハウジング1内に冷却水が残
留することはない。
【0035】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の請求項1に
記載の固体レーザ発振装置によれば、ハウジング内に冷
却水を充填させる際には、冷却水は下部の流入口からハ
ウジング内に入り、上部へと徐々に充填していくため、
ハウジング内のエアは上部の流出口から逃げることにな
り、ハウジング内にエアが残らず容易に冷却水を充填さ
せることができるとともに、冷却水が各冷却用通路を流
れ、固体レーザ媒質とフラッシュランプとをそれぞれ個
別に冷却することで、固体レーザ媒質及びフラッシュラ
ンプを均一に冷却することができ、冷却効率の良好な冷
却系を提供することができる。
【0036】本発明の請求項2に記載の固体レーザ発振
装置によれば、冷却水を充填させる際には、冷却水は側
部の流入口からハウジング内に入り、下部から上部へと
徐々に充填し、ハウジング内のエアは上部のエア抜き用
配管を経て逃げることになり、ハウジング内にエアが残
らず容易に冷却水を充填させることができるとともに、
冷却水が各冷却用通路を流れ、固体レーザ媒質とフラッ
シュランプとをそれぞれ個別に冷却することで、固体レ
ーザ媒質及びフラッシュランプを均一に冷却することが
でき、冷却効率の良好な冷却系を提供することができ
る。
【0037】本発明の請求項3に記載の固体レーザ発振
装置によれば、ハウジング内の冷却水を抜く際には、ハ
ウジングの下部の水抜き用配管から容易に排出させるこ
とができ、該ハウジング内に冷却水が残留することがな
く、保守点検等を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る請求項1記載の固体レーザ発振装
置を示す断面図である。
【図2】本発明に係る請求項2及び3記載の固体レーザ
発振装置を示す断面図である。
【符号の説明】
1 ハウジング 2 固体レーザ媒質 3 フラッシュランプ 5 冷却用通路 7 流入口 8 流出口 22 エア抜き用配管 25 水抜き用配管

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 水密構造のハウジングと、該ハウジング
    内に支持された固体レーザ媒質と、固体レーザ媒質と平
    行に上記ハウジング内に配置され、固体レーザ媒質を光
    励起するためのフラッシュランプと、ハウジング内に冷
    却水を供給する冷却系とを備えた固体レーザ発振装置に
    おいて、 前記固体レーザ媒質及びフラッシュランプは、略水平に
    且つ左右に並列に配置される一方、前記冷却系は、ハウ
    ジングの下部に冷却水の流入口が、上部に冷却水の流出
    口がそれぞれ設けられられるとともに、前記固体レーザ
    媒質とフラッシュランプとを個別に冷却する冷却用通路
    が上下方向にそれぞれ形成されたことを特徴とする固体
    レーザ発振装置。
  2. 【請求項2】 水密構造のハウジングと、該ハウジング
    内に支持された固体レーザ媒質と、固体レーザ媒質と平
    行に上記ハウジング内に配置され、固体レーザ媒質を光
    励起するためのフラッシュランプと、ハウジング内に冷
    却水を供給する冷却系とを備えた固体レーザ発振装置に
    おいて、 前記固体レーザ媒質及びフラッシュランプは、略水平に
    且つ上下に並列に配置される一方、前記冷却系は、ハウ
    ジングの左右の一方に冷却水の流入口が、他方に流出口
    が設けられるとともに、前記固体レーザ媒質とフラッシ
    ュランプとを個別に冷却する冷却用通路が左右方向にそ
    れぞれ形成され、さらに、ハウジングの上部にエア抜き
    用配管が接続されたことを特徴とする固体レーザ発振装
    置。
  3. 【請求項3】 ハウジングの下部には、水抜き用配管が
    接続された請求項2記載の固体レーザ発振装置。
JP15864794A 1994-07-11 1994-07-11 固体レーザ発振装置 Pending JPH0832152A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100409510C (zh) * 2006-08-15 2008-08-06 北京工业大学 一种大功率激光金属泵浦腔的冷却装置
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CN111313213A (zh) * 2020-02-11 2020-06-19 中国工程物理研究院应用电子学研究所 一种基于分体式流道的直接液冷激光增益装置
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