JPS59163875A - アモルフアスシリコン太陽電池 - Google Patents
アモルフアスシリコン太陽電池Info
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- JPS59163875A JPS59163875A JP58036751A JP3675183A JPS59163875A JP S59163875 A JPS59163875 A JP S59163875A JP 58036751 A JP58036751 A JP 58036751A JP 3675183 A JP3675183 A JP 3675183A JP S59163875 A JPS59163875 A JP S59163875A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/036—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes
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- H01L31/03762—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes including amorphous semiconductors including only elements of Group IV of the Periodic System
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L31/075—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier the potential barriers being only of the PIN type
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/548—Amorphous silicon PV cells
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
(イ)技術分野
本発明は光エネルギーを電気エネルギーに変ン太陽電池
が注目されている。アモルファスシリコン太陽電池は、
安価な基板を用いて低温プロセスで形成する厚さ1μm
以下の薄膜で構成できるため、低コストで製造できる特
徴がある。
が注目されている。アモルファスシリコン太陽電池は、
安価な基板を用いて低温プロセスで形成する厚さ1μm
以下の薄膜で構成できるため、低コストで製造できる特
徴がある。
このような低コストの特徴を活かすには、より一層の光
電変換効率を向」ユし、実用に供し得る性能にする必要
がある。
電変換効率を向」ユし、実用に供し得る性能にする必要
がある。
アモルファスシリコンを使った太陽電池の性能を向上す
るため、各種セル構成が提案されている3p−i−n構
造の太陽電池では、光によって高密度に生成される電子
・正孔対のうち、拡散距離が短かい正孔を収集しやすい
ようにP型層を光入射側に置いて光の総合収集効率を高
める工うにしている9− 場合が多い。しかしながら、一般にポロン(B) 等t
vP型を示すIa 族元素を添加しているP型層は光吸
収係数が大きく、キャリアの生成を行なうi層に多くの
ホトンを導くことができない。このため、光入射側にP
型層を配したp−1−n構造でP型層に禁止帯幅の広い
炭素又は窒素を添加したアモルファスシリコン(以下a
−3i :C:H又はa−5i :N:H)を用いるこ
とによって太陽光などの短波長側の光の−(ハ)発明の
開示 発明者らは、P型層−5i :C:H膜またはa−5i
:N:H膜の組成および製造条件を変えることにより膜
特性を広い範囲にわたって制御できることに着目し、種
々検討を重ねた結果、P型層−5i :C:H膜または
a−5i :N:H膜の電極に接する領域の電導塵をi
型層に接する領域より低くすることにより、太陽電池の
直列抵抗を低減して曲線因子を改善し、光電変換効率を
向上させ得ることを見い出し、本発明を完成させたもの
である。すなわち、本発明は光に対する感度が高く、か
つ直列抵抗の小さい高い光電変換効率のa−5i 太
陽電池を提供することにある。
るため、各種セル構成が提案されている3p−i−n構
造の太陽電池では、光によって高密度に生成される電子
・正孔対のうち、拡散距離が短かい正孔を収集しやすい
ようにP型層を光入射側に置いて光の総合収集効率を高
める工うにしている9− 場合が多い。しかしながら、一般にポロン(B) 等t
vP型を示すIa 族元素を添加しているP型層は光吸
収係数が大きく、キャリアの生成を行なうi層に多くの
ホトンを導くことができない。このため、光入射側にP
型層を配したp−1−n構造でP型層に禁止帯幅の広い
炭素又は窒素を添加したアモルファスシリコン(以下a
−3i :C:H又はa−5i :N:H)を用いるこ
とによって太陽光などの短波長側の光の−(ハ)発明の
開示 発明者らは、P型層−5i :C:H膜またはa−5i
:N:H膜の組成および製造条件を変えることにより膜
特性を広い範囲にわたって制御できることに着目し、種
々検討を重ねた結果、P型層−5i :C:H膜または
a−5i :N:H膜の電極に接する領域の電導塵をi
型層に接する領域より低くすることにより、太陽電池の
直列抵抗を低減して曲線因子を改善し、光電変換効率を
向上させ得ることを見い出し、本発明を完成させたもの
である。すなわち、本発明は光に対する感度が高く、か
つ直列抵抗の小さい高い光電変換効率のa−5i 太
陽電池を提供することにある。
以下実施例について詳細に説明する。
第1図は本発明によるa−8i 太陽電池の一実施例
を示す断面図であり、■は透明ガラス基板、2は透明導
電膜、8はアモルファスシリコン層テ基板側から伝導型
がP型(4)、i型(5)、n型(6)の順に形成され
ている。P型層(4)は、炭素または窒素量の異なる二
層21層(7)および22層(8)からなり、基板側に
近い21層(7)への炭素または窒素添加量がP2Oは
金属電極であり、膜厚5000A のアルミニウムを用
いた。10は入射する太陽光線を示す。
を示す断面図であり、■は透明ガラス基板、2は透明導
電膜、8はアモルファスシリコン層テ基板側から伝導型
がP型(4)、i型(5)、n型(6)の順に形成され
ている。P型層(4)は、炭素または窒素量の異なる二
層21層(7)および22層(8)からなり、基板側に
近い21層(7)への炭素または窒素添加量がP2Oは
金属電極であり、膜厚5000A のアルミニウムを用
いた。10は入射する太陽光線を示す。
第2図は従来の構造例であり、P層は一層である。
第1表はP層に炭素を添加したアモルファスシリコン層
を用いた太陽電池の出力特性を、また第2表はP層に窒
素を添加したアモルファスシリコン層を用いた太陽電池
の出力特性を示す。n型層の電極に接する領域にi型層
に接する領域より低濃度の炭素または、窒素を添加した
場合に曲線因子が著しく改善され、光電変換効率の向上
がはかられていることが明らかである。
を用いた太陽電池の出力特性を、また第2表はP層に窒
素を添加したアモルファスシリコン層を用いた太陽電池
の出力特性を示す。n型層の電極に接する領域にi型層
に接する領域より低濃度の炭素または、窒素を添加した
場合に曲線因子が著しく改善され、光電変換効率の向上
がはかられていることが明らかである。
第1表
5−
(照射光: AM−1(100mW/m2) )P型層
に炭素または窒素のうちの少なくとも1種を添加するの
は、P型層の禁止帯幅を広げて光の吸収を少なくシ、光
電変換に有効なキャリアの生成を行なうi型層により多
くのホトンを導くいわゆる窓効果によって光電変換効率
を改善するためである。
に炭素または窒素のうちの少なくとも1種を添加するの
は、P型層の禁止帯幅を広げて光の吸収を少なくシ、光
電変換に有効なキャリアの生成を行なうi型層により多
くのホトンを導くいわゆる窓効果によって光電変換効率
を改善するためである。
禁止帯幅は炭素または窒素の添加量を増すほど広くでき
、P型層における光吸収を低減することができる。しか
し、炭素または窒素の添加量を増すほどP型層の電導塵
を低下してしまい、とりわけP型層と電極との接合面に
おける電気抵抗にも−〇− とづく太陽電池の直列抵抗を増大してしまう。こ導度が
高く、電極との接合に適した21層と、禁止帯幅が広く
、光吸収の少ないP2 層に分割するためである。
、P型層における光吸収を低減することができる。しか
し、炭素または窒素の添加量を増すほどP型層の電導塵
を低下してしまい、とりわけP型層と電極との接合面に
おける電気抵抗にも−〇− とづく太陽電池の直列抵抗を増大してしまう。こ導度が
高く、電極との接合に適した21層と、禁止帯幅が広く
、光吸収の少ないP2 層に分割するためである。
PI 層の膜厚は50〜150Aであることがのぞま
しい。膜厚が50′kに満たないと、均質なP+ 層
が得られず、所望の良好な電極との接合効果が得られな
いためであり、150Aを越えると、21層での光吸収
が大きくなり、窓効果がなくなるからである。P2
層の膜厚は50〜300Aであることがのぞましい。膜
厚が5OAに満たないと、均質な22層を形成できない
ためであり、300Aを越えると、光吸収量が多くなり
、窓効果が損なわれるからである。
しい。膜厚が50′kに満たないと、均質なP+ 層
が得られず、所望の良好な電極との接合効果が得られな
いためであり、150Aを越えると、21層での光吸収
が大きくなり、窓効果がなくなるからである。P2
層の膜厚は50〜300Aであることがのぞましい。膜
厚が5OAに満たないと、均質な22層を形成できない
ためであり、300Aを越えると、光吸収量が多くなり
、窓効果が損なわれるからである。
実施例では、P型層が電導度の高い21層と、禁止帯幅
の広いP2 層の2層からなる場合について述べたが
、必要な場合は3層以上にすることも可能であり、炭素
または窒素の添加量を連続的に変化させ、P型層の電極
に接する領域の電導度をi型層に接する領域より高くし
てもよい。
の広いP2 層の2層からなる場合について述べたが
、必要な場合は3層以上にすることも可能であり、炭素
または窒素の添加量を連続的に変化させ、P型層の電極
に接する領域の電導度をi型層に接する領域より高くし
てもよい。
本発明はi型層の組成や、多層構造における電極に接触
しないアモルファスシリコン層を制限す第1図は本発明
によるa−5i 太陽電池の一実施例を示す断面図で
ある。第2図は従来例の断面図である。
しないアモルファスシリコン層を制限す第1図は本発明
によるa−5i 太陽電池の一実施例を示す断面図で
ある。第2図は従来例の断面図である。
]−;透明ガラス基板、2;透明導電膜、3;アモルフ
ァスシリコンN、4 ; P 型Mit、5 ; i
3M層、6;n型層、7;21層、8;22層、9;金
属電極、10;太陽光線。
ァスシリコンN、4 ; P 型Mit、5 ; i
3M層、6;n型層、7;21層、8;22層、9;金
属電極、10;太陽光線。
出願人 工業技術院長
石板誠−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)P型層を含むアモルファスシリコン太陽電池にお
いて、P型層の電極に接する領域の電導度をi型層に接
する領域より高くしてなることを特徴トスるアモルファ
スシリコン太s t 池。 (2、特許請求の範囲第(1)項において、該P型層に
炭素、窒素のうち少くとも1種を添加してなることを特
徴とするアモルファスシリコン太陽電池。 (3)特許請求の範囲第(1)項において、P型層の電
極に接する領域の電導度が炭素および/または窒素の添
加量によって制御されてなることを特徴とスルアモルフ
ァスシリコン太陽電池。 (4)特許請求の範囲第(1)項において、炭素または
窒素の量の異るP型層が積層されているか、あるいは炭
素または/および窒素の量が連続的に変化してなること
を特徴とするアモルファスシリコン太陽電池。 1−
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58036751A JPS59163875A (ja) | 1983-03-08 | 1983-03-08 | アモルフアスシリコン太陽電池 |
GB08405687A GB2137810B (en) | 1983-03-08 | 1984-03-05 | A solar cell of amorphous silicon |
DE3408317A DE3408317C2 (de) | 1983-03-08 | 1984-03-07 | Solarzelle aus amorphem Silicium |
FR848403598A FR2542503B1 (fr) | 1983-03-08 | 1984-03-08 | Cellule solaire en silicium amorphe |
US06/587,702 US4612559A (en) | 1983-03-08 | 1984-03-08 | Solar cell of amorphous silicon |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58036751A JPS59163875A (ja) | 1983-03-08 | 1983-03-08 | アモルフアスシリコン太陽電池 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59163875A true JPS59163875A (ja) | 1984-09-14 |
JPH0463550B2 JPH0463550B2 (ja) | 1992-10-12 |
Family
ID=12478432
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58036751A Granted JPS59163875A (ja) | 1983-03-08 | 1983-03-08 | アモルフアスシリコン太陽電池 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59163875A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6190476A (ja) * | 1984-10-09 | 1986-05-08 | Sanyo Electric Co Ltd | 光起電力装置 |
JPS62106670A (ja) * | 1985-11-05 | 1987-05-18 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 半導体素子 |
JPS62232173A (ja) * | 1986-04-01 | 1987-10-12 | Toa Nenryo Kogyo Kk | アモルフアスシリコン太陽電池 |
JPS63289970A (ja) * | 1987-05-22 | 1988-11-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 太陽電池電源 |
JPS6432683A (en) * | 1987-07-28 | 1989-02-02 | Japan Engine Valve Mfg | Semiconductor element |
JPH01105580A (ja) * | 1987-10-19 | 1989-04-24 | Sanyo Electric Co Ltd | 光起電力装置 |
JPH04211179A (ja) * | 1991-03-27 | 1992-08-03 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | スイッチング素子 |
JP2012500483A (ja) * | 2008-08-19 | 2012-01-05 | エーリコン・ソーラー・アーゲー・トリューバッハ | 光電池及び光電池の製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58192387A (ja) * | 1982-04-27 | 1983-11-09 | ア−ルシ−エ− コ−ポレ−シヨン | 光電池 |
-
1983
- 1983-03-08 JP JP58036751A patent/JPS59163875A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58192387A (ja) * | 1982-04-27 | 1983-11-09 | ア−ルシ−エ− コ−ポレ−シヨン | 光電池 |
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JPS6190476A (ja) * | 1984-10-09 | 1986-05-08 | Sanyo Electric Co Ltd | 光起電力装置 |
JPS62106670A (ja) * | 1985-11-05 | 1987-05-18 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 半導体素子 |
JPS62232173A (ja) * | 1986-04-01 | 1987-10-12 | Toa Nenryo Kogyo Kk | アモルフアスシリコン太陽電池 |
JPS63289970A (ja) * | 1987-05-22 | 1988-11-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 太陽電池電源 |
JPS6432683A (en) * | 1987-07-28 | 1989-02-02 | Japan Engine Valve Mfg | Semiconductor element |
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JPH04211179A (ja) * | 1991-03-27 | 1992-08-03 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | スイッチング素子 |
JP2012500483A (ja) * | 2008-08-19 | 2012-01-05 | エーリコン・ソーラー・アーゲー・トリューバッハ | 光電池及び光電池の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0463550B2 (ja) | 1992-10-12 |
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