JP2012500483A - 光電池及び光電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ドーピングの“型(type)”として、正−p−及び負−n−のドーピングが理解される。
“真性型”材料との用語は、ドープされていないか若しくは無視できるわずかな量でドープされただけの材料、又は各ドーピング型が相互に平衡するような方法で両方の型がドープされている材料と理解される。
微晶質構造の材料としては、体積の20%〜80%(両端値を含む)が結晶質である材料が理解される。それとは反対に、その体積の20%未満が結晶質である場合、その材料を、非晶質構造の材料と定義する。
・透明キャリア基板上の透明導電酸化物の電極層と、次に、
・第1型ドープシリコン化合物の接触層と、次に、
・第1型ドープの非晶質シリコン化合物の第1活性層と、次に、
・真性型シリコン化合物の第2活性層と、次に、
・第2型ドープシリコン化合物の第3活性層と、
を備え、
接触層が、非晶質シリコン化合物の層であり、最大10nmの厚さであり、検討される接触層の材料が、第1活性層の材料のバンドギャップよりも小さなバンドギャップを有する。
・透明キャリア基板上の第1型ドープシリコンの接触層と、次に、該接触層と接触して、
・第1型ドープ非晶質シリコン化合物の第1活性層と、次に、該第1活性層と接触して、
・真性型シリコン化合物の第2活性層と、次に、該第2活性層と接触して、
・第2型ドープシリコン化合物の第3活性層と、
を堆積するステップを含み、これにより、非晶質材料であり、かつ最大10nmである厚さを有する接触層を堆積し、接触層の材料のバンドギャップが、第1活性層の材料のバンドギャップよりも小さくなるように制御する。
2b 第1活性層
3b 第2活性層
5b 第3活性層
7b ガラス基板
11b 接触層
13 第2電極層
15 反射層
Claims (13)
- 透明キャリア基板上の透明導電酸化物の電極層と、次に、
第1型ドープシリコン化合物の接触層と、次に、
第1型ドープ非晶質シリコン化合物の第1活性層と、次に、
真性型シリコン化合物の第2活性層と、次に、
第2型ドープシリコン化合物の第3活性層と、
を備え、
前記接触層が、非晶質シリコン化合物の層であり、最大10nmの厚さであり、
前記接触層の材料が、前記第1活性層の材料のバンドギャップよりも小さなバンドギャップを有することを特徴とする光電池。 - 前記第2活性層が、水素化シリコンの層であることを特徴とする請求項1に記載の光電池。
- 前記第2活性層が、非晶質シリコン化合物の層であることを特徴とする請求項1または2に記載の光電池。
- 前記電極層が、ZnOの層であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の光電池。
- 前記第1活性層の材料が、第1原子百分率のCを含み、
前記接触層の材料が、第2原子百分率のCを含み、
前記第2原子百分率が、前記第1原子百分率よりも低く、ゼロ以上であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の光電池。 - 前記接触層が、最大で3nmの厚さであることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の光電池。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の光電池を少なくとも一つ備えた光起電力変換パネル。
- 透明キャリア基板上の透明導電性酸化物の電極層と、次に、該電極層と接触して、
第1型ドープシリコン化合物の接触層と、次に、該接触層と接触して、
第1型ドープ非晶質シリコン化合物の第1活性層と、次に、該第1活性層と接触して、
真性型シリコン化合物の第2活性層と、次に、該第2活性層と接触して、
第2型ドープシリコン化合物の第3活性層と、
を堆積するステップを含み、
これにより、非晶質材料でありかつ最大10nmである厚さを有する前記接触層を堆積し、前記接触層の材料のバンドギャップが、前記第1活性層の材料のバンドギャップよりも小さくなるように制御することを特徴とする光電池の製造方法。 - 前記材料内の各炭素の量によって前記バンドギャップを制御することを含むことを特徴とする請求項8に記載の方法。
- ZnOの前記電極層を堆積することを含むことを特徴とする請求項8または9のいずれか一項に記載の方法。
- 最大で3nmの厚さを有する前記接触層を堆積することを含むことを特徴とする請求項8から10のいずれか一項に記載の方法。
- 水素化シリコンの前記第2活性層を堆積することを含むことを特徴とする請求項8から11のいずれか一項に記載の方法。
- 非晶質材料の前記第2活性層を堆積することを含むことを特徴とする請求項8から12のいずれか一項に記載の方法。
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