JPS59162609U - 位置決め装置 - Google Patents

位置決め装置

Info

Publication number
JPS59162609U
JPS59162609U JP4575384U JP4575384U JPS59162609U JP S59162609 U JPS59162609 U JP S59162609U JP 4575384 U JP4575384 U JP 4575384U JP 4575384 U JP4575384 U JP 4575384U JP S59162609 U JPS59162609 U JP S59162609U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
register
wafer
error coefficient
amount
calculation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4575384U
Other languages
English (en)
Inventor
古川　泰男
井垣　誠吾
岡部　正博
中山　範明
雄史 稲垣
Original Assignee
富士通株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
Priority to JP4575384U priority Critical patent/JPS59162609U/ja
Publication of JPS59162609U publication Critical patent/JPS59162609U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は位置合法を説明するための図、第２図、第３図
は本考案′の位置決め装置を説明するための図、第４図
は本考案の一実施例を示す図である。　　　　　・図中
、Ｍ□〜Ｍ４はマーク、１〜１０はレジスタ、１１〜１
６は乗算器、１７．１８はフルアダー、１９．２０はス
テージ駆動回路、２３．２４はコンパレータ、２５はス
テージ、２６．２７は電子ビーム偏向器である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェハー上のマークを検出して求めた、ウェハーの全誤
    差係数、ウェハーのサイズ誤差係数、回転誤差係数、基
    準位置からの平行移動量をおのおのセットしたレジスタ
    と、該レジスタに格納した上記各係数と、該レジスタに
    格納した上記各係数の相互演算を行ないその演算結果と
    、によりステージの移動量を決定する信号を作成する回
    路と、を含むことを特徴とする位置決め装置。
JP4575384U 1984-03-29 1984-03-29 位置決め装置 Pending JPS59162609U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4575384U JPS59162609U (ja) 1984-03-29 1984-03-29 位置決め装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4575384U JPS59162609U (ja) 1984-03-29 1984-03-29 位置決め装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59162609U true JPS59162609U (ja) 1984-10-31

Family

ID=30176286

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4575384U Pending JPS59162609U (ja) 1984-03-29 1984-03-29 位置決め装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59162609U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS629629A (ja) * 1985-07-08 1987-01-17 Fujitsu Ltd 電子ビーム露光方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS629629A (ja) * 1985-07-08 1987-01-17 Fujitsu Ltd 電子ビーム露光方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS59162609U (ja) 位置決め装置
JPS60123061U (ja) 指紋画像入力装置
JPS59113837U (ja) 図形出力装置
JPS59144483U (ja) 目標追尾装置
JPS5942521U (ja) 磁気デイスク装置
JPH0471272B2 (ja)
JPS59155647U (ja) バタフライ演算回路
JPS5937643U (ja) デ−タ収録装置
JPS58158444U (ja) Ｉｃ実装
JPS60145307U (ja) 膜厚測定装置
JPS5881654U (ja) 演算処理装置
JPS5863746U (ja) 電子ビ−ム露光装置における測定用位置マ−クの構造
JPS60131060U (ja) 画像処理装置
JPS60192695U (ja) デジタルサ−ボモ−タ制御装置
JPS594635U (ja) ボンデイング装置
JPS5945639U (ja) デ−タ転送制御装置
JPS5823751U (ja) 放送案内装置の制御装置
JPS5972492U (ja) 穀物乾燥機の異常表示装置
JPS598734U (ja) 組立装置
JPS58104977U (ja) 方向探知装置
JPS5996642U (ja) パタ−ン識別装置
JPS5974341U (ja) 希釈用秤
JPS58123650U (ja) 回線走査方式通信制御装置
JPS5923848U (ja) カ−ソル
JPS60637U (ja) デ−タ変換装置