JPS59162505A - 光導波路装置 - Google Patents
光導波路装置Info
- Publication number
- JPS59162505A JPS59162505A JP58036940A JP3694083A JPS59162505A JP S59162505 A JPS59162505 A JP S59162505A JP 58036940 A JP58036940 A JP 58036940A JP 3694083 A JP3694083 A JP 3694083A JP S59162505 A JPS59162505 A JP S59162505A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- refractive index
- light guide
- polymer
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/1221—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths made from organic materials
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の分野）
この発明は、大口径化に好適な４１Ｉ造を右づる光導波
路装置゛に関する。
路装置゛に関する。
（従来技術とその問題点）
第１図に、従来の選択光重合法による高分子光導波路フ
ィルムの製造工程を示す。
ィルムの製造工程を示す。
まず、第１図（ａ ）に示す如く、シート状の高分子フ
ィルムを作成するためのキャスト容器１を溶媒で洗浄す
る。
ィルムを作成するためのキャスト容器１を溶媒で洗浄す
る。
次いで、第１図（ｂ）に示ず如く、洗浄後のキャスト容
器１内に、透明な光重合性材料からなるキャスト溶液２
を薄く流し込む。
器１内に、透明な光重合性材料からなるキャスト溶液２
を薄く流し込む。
次いで、第１図（Ｃ）に示す如く、キャスト溶液２内の
溶媒を一部蒸発させることにより、半固形状態の高分子
フィルム２ａを得る。
溶媒を一部蒸発させることにより、半固形状態の高分子
フィルム２ａを得る。
次いで、第１図（ｄ ）に示す如く、高分子フィルム２
ａの表面にフォトマスク４を載置し、更にその上から紫
外線５を露光することにより、マスクされていない部分
に対して選択的に光重合を生ぜしめ、これによりその部
分の屈折率を減少させる。
ａの表面にフォトマスク４を載置し、更にその上から紫
外線５を露光することにより、マスクされていない部分
に対して選択的に光重合を生ぜしめ、これによりその部
分の屈折率を減少させる。
次いｅ１第１図＜ｅ ＞に示ず如く、真空乾燥によって
、非光重合部６に含まれているモノマ７を蒸発させ、こ
れにより非光重合部６の屈折率を光重合部８の屈折率よ
りも大きくする。
、非光重合部６に含まれているモノマ７を蒸発させ、こ
れにより非光重合部６の屈折率を光重合部８の屈折率よ
りも大きくする。
次いで、第１図（ｆ）に示す如く、以上の工程を経た高
分子フィルム２ａの表面および裏面に、屈折率の小さい
樹脂層９．１０をコートし、以上により屈折率の高い非
光重合部６をコア、その周りの屈折率の小さな光重合部
８．コート層９．１０をクラッドとＪる高分子先導波路
フィルムが完Ｏ成する。
分子フィルム２ａの表面および裏面に、屈折率の小さい
樹脂層９．１０をコートし、以上により屈折率の高い非
光重合部６をコア、その周りの屈折率の小さな光重合部
８．コート層９．１０をクラッドとＪる高分子先導波路
フィルムが完Ｏ成する。
しかしながら、以上の工程を経て得られる高分子光導波
路フィルムは、第１図（ｄ ）の紫外線露光・工程にお
いて、第２図に示す如く、高分子フィルム２ａ上に、フ
ォトマスク板４ａを載置し、その上から紫外線露光装置
１１により平行ビーム状の紫外光を照射するようにして
いるため、表面からの深さが増すに従って高分子フィル
ム２ａ内の紫外光強度■は第３図に示す如く減少すると
ともに、これにつれて高分子フィルム２ａ内の屈折率変
化−△ｎの度合も減少し、この結果高分子フィルム２ａ
の裏面付近はど、非光重合部６の屈折率と光重合部８の
屈折率との差が小さくなる。
路フィルムは、第１図（ｄ ）の紫外線露光・工程にお
いて、第２図に示す如く、高分子フィルム２ａ上に、フ
ォトマスク板４ａを載置し、その上から紫外線露光装置
１１により平行ビーム状の紫外光を照射するようにして
いるため、表面からの深さが増すに従って高分子フィル
ム２ａ内の紫外光強度■は第３図に示す如く減少すると
ともに、これにつれて高分子フィルム２ａ内の屈折率変
化−△ｎの度合も減少し、この結果高分子フィルム２ａ
の裏面付近はど、非光重合部６の屈折率と光重合部８の
屈折率との差が小さくなる。
このため、高分子フィルム２ａの裏面付近においては、
非光重合部６（コア）と光重合部８〈クラッド〉との界
面では光の散乱や洩れが大きく、光の閉込め効果が弱い
ため光導波路としての損失が増大するという問題がある
。
非光重合部６（コア）と光重合部８〈クラッド〉との界
面では光の散乱や洩れが大きく、光の閉込め効果が弱い
ため光導波路としての損失が増大するという問題がある
。
例えば、第５図（ａ ）に示す厚さ１００μの高分子フ
ィルムと、第６図（ａ）に示す厚さ２００μの高分子フ
ィルムの場合で比較すると、フィルム内の紫外光強度Ｉ
はそれぞれ第５図（ｂ）、第６図（ｂ）の如＜２００μ
フイルムの方が大きく減衰し、これに伴い裏面付近の屈
折率変化の度合はそれぞれ第５図（Ｃ）、第６図（Ｃ）
の如く２００μフイルムの方が小さくなり、すなわち以
上の問題は高分子フィルムの厚さが増大する程顕著に見
られる。
ィルムと、第６図（ａ）に示す厚さ２００μの高分子フ
ィルムの場合で比較すると、フィルム内の紫外光強度Ｉ
はそれぞれ第５図（ｂ）、第６図（ｂ）の如＜２００μ
フイルムの方が大きく減衰し、これに伴い裏面付近の屈
折率変化の度合はそれぞれ第５図（Ｃ）、第６図（Ｃ）
の如く２００μフイルムの方が小さくなり、すなわち以
上の問題は高分子フィルムの厚さが増大する程顕著に見
られる。
このため、このような製造工程によって、例えば２００
μ以上の大口径光ファイバに接続可能な光導波路を製造
しようとする場合、フィルム裏面近傍における導波損失
の増大によって実用に供し得る製品を得ることができな
かった。
μ以上の大口径光ファイバに接続可能な光導波路を製造
しようとする場合、フィルム裏面近傍における導波損失
の増大によって実用に供し得る製品を得ることができな
かった。
（発明の目的）
この発明の目的“は、例えば２００μ以上の大口径光フ
ァイバとの接続が容易で、かつ導波損、失の小さな大口
径の導波路を提供することにある。
ァイバとの接続が容易で、かつ導波損、失の小さな大口
径の導波路を提供することにある。
（発明の構成と効果）
この発明は上記の目的を達成するために、導波路幅が等
しく、かつ同一パターンを有する高分子先導波路フィル
ムを、各パターンが重なるようにして複数枚接合し、該
接合体の表面および裏面にコート層を設けたものである
。
しく、かつ同一パターンを有する高分子先導波路フィル
ムを、各パターンが重なるようにして複数枚接合し、該
接合体の表面および裏面にコート層を設けたものである
。
このような構成によれば、各高分子光導波路フィルムと
しては、表面と裏面とでコアとクラッドとの屈折率差の
余り変わらない比較的薄いものを使用することができ、
このため全厚さに亘って屈折率変化分布の比較的均一で
導波損失の小さな大口径光導波路を容易に製作すること
ができ、また導波路幅および各フィルム厚さを適当に調
節づることによって、コア径１０００μのプラスチック
ファイバ用導波路をも製作することができる。
しては、表面と裏面とでコアとクラッドとの屈折率差の
余り変わらない比較的薄いものを使用することができ、
このため全厚さに亘って屈折率変化分布の比較的均一で
導波損失の小さな大口径光導波路を容易に製作すること
ができ、また導波路幅および各フィルム厚さを適当に調
節づることによって、コア径１０００μのプラスチック
ファイバ用導波路をも製作することができる。
（実施例の説明）
第７図はこの発明に係わる光導波路装置の一実施例を示
す断面図である。同図に示す如く、この光導波路装置１
１は、導波路幅Ｗが等しく、かつ同一パターンを有する
高分子光導波路フィルム１２．１３．１４を、各パター
ンが重なるようにして３枚接合し、該接合体の表面およ
び裏面にコート層１５，１６を設けてなるものである。
す断面図である。同図に示す如く、この光導波路装置１
１は、導波路幅Ｗが等しく、かつ同一パターンを有する
高分子光導波路フィルム１２．１３．１４を、各パター
ンが重なるようにして３枚接合し、該接合体の表面およ
び裏面にコート層１５，１６を設けてなるものである。
次に、この先導波路装置の製造工程を簡単に説明すると
、まず前記第１図（ａ ）〜（ｅ）と同様な工程を経て
、厚さｄ （例えば６０μ）、導波路幅Ｗ（例えば１８
０μ）からなる３枚の高分子光導波路フィルムを製造し
その表面にはコート層を設けずにお（。
、まず前記第１図（ａ ）〜（ｅ）と同様な工程を経て
、厚さｄ （例えば６０μ）、導波路幅Ｗ（例えば１８
０μ）からなる３枚の高分子光導波路フィルムを製造し
その表面にはコート層を設けずにお（。
次いで、これら３枚の高分子光導波路フィルム１２．１
３．１４を拡大顕微鏡で眺めながら第７図に示す如く１
枚ずつ各パターンの位置合わせを行ない、次いで例えば
ＥＰＯ−ＴＥＣ３０２−３等の耐高温性エポキシ系接着
剤層１７によって互いに接合し、最後に表面および裏面
に水溶性アクリルエマルジョン等により１０μ厚さ程度
にバーコーティング１５．１６を形成する。
３．１４を拡大顕微鏡で眺めながら第７図に示す如く１
枚ずつ各パターンの位置合わせを行ない、次いで例えば
ＥＰＯ−ＴＥＣ３０２−３等の耐高温性エポキシ系接着
剤層１７によって互いに接合し、最後に表面および裏面
に水溶性アクリルエマルジョン等により１０μ厚さ程度
にバーコーティング１５．１６を形成する。
以上の工程で得られた先導波路の幅は縦横１８０μの正
方形となっており、このため口径りとして２００μ程度
の大口径光ファイバとの接続を容易に実現することがで
きる。
方形となっており、このため口径りとして２００μ程度
の大口径光ファイバとの接続を容易に実現することがで
きる。
また、第８図に示す如く、各高分子光導波路）ィルム１
２，１３．１４の表裏の屈折率変化は比較的小さく、こ
のため各フィルムの裏面側において光重合部１８と非光
重合部１９との屈折率差は充分大きく保たれており、こ
のため各フィルムの裏面近傍における損失は小さく全体
として損失の小さなかつ大口径光ファイバとの接続が可
能な光導波路装置が実現できた。
２，１３．１４の表裏の屈折率変化は比較的小さく、こ
のため各フィルムの裏面側において光重合部１８と非光
重合部１９との屈折率差は充分大きく保たれており、こ
のため各フィルムの裏面近傍における損失は小さく全体
として損失の小さなかつ大口径光ファイバとの接続が可
能な光導波路装置が実現できた。
なＪ５、各高分子光導波路フィルムの厚さｄおよび導波
路幅Ｗの値、更には積層枚数についＣは前記実施例に限
定されるものではなく、対応する光ファイバの口径に応
じて適宜増大することができ、これにより損失の小さな
大口径先導波路装置が得られるのである。
路幅Ｗの値、更には積層枚数についＣは前記実施例に限
定されるものではなく、対応する光ファイバの口径に応
じて適宜増大することができ、これにより損失の小さな
大口径先導波路装置が得られるのである。
第１図は従来の高分子光導波路フィルムの製造工程を示
す工程図、第２図は同工程の中で紫外線照射１稈を示す
図、第３図は同工程で得られた先導波路フィルムにおけ
る厚さ方向の紫外光強度分布を示づグラフ、第４図は同
厚さ方向の屈折率変化分布を示すグラフ、第５図（ａ
）は厚さ１００μの高分子光導波路フィルムの断面図、
同（ｂ）は同フィルムにおける厚さ方向の紫外光強度分
布を示すグラフ、同（Ｃ）は厚さ方向の屈折率変化分布
を示すグラフ、第６図（ａ ）は厚さ２００μの高分子
光導波路フィルムの断面図、同（ｂ）は同フィルムにお
ける厚さ方向の紫外光強度分布を示すグラフ、同（Ｃ）
は厚さ方向の屈折率変化分布を示すグラフ、第７図は本
発明の一実施例を示す断面図、第８図（ａ）は本発明先
導波路装置の断面図、同（ｂ ）は同導波路装置におけ
る厚さ方向の屈折率変化分布を示すグラフである。 １１・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・光導
波路装置１２．１３．１４・・・高分子先導波路フィル
ム１５．１６・・・・・・・・・・・・コート層１７・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・接着剤層１
８・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・光重合
部１９・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・非
光重合部Ｗ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・導波路幅ｄ・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・フィルム厚さＤ・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・光ファイバの口径第５図 （０） 第６図 （ａ） （ｂ） （０ （ｂ）（ｃ）
す工程図、第２図は同工程の中で紫外線照射１稈を示す
図、第３図は同工程で得られた先導波路フィルムにおけ
る厚さ方向の紫外光強度分布を示づグラフ、第４図は同
厚さ方向の屈折率変化分布を示すグラフ、第５図（ａ
）は厚さ１００μの高分子光導波路フィルムの断面図、
同（ｂ）は同フィルムにおける厚さ方向の紫外光強度分
布を示すグラフ、同（Ｃ）は厚さ方向の屈折率変化分布
を示すグラフ、第６図（ａ ）は厚さ２００μの高分子
光導波路フィルムの断面図、同（ｂ）は同フィルムにお
ける厚さ方向の紫外光強度分布を示すグラフ、同（Ｃ）
は厚さ方向の屈折率変化分布を示すグラフ、第７図は本
発明の一実施例を示す断面図、第８図（ａ）は本発明先
導波路装置の断面図、同（ｂ ）は同導波路装置におけ
る厚さ方向の屈折率変化分布を示すグラフである。 １１・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・光導
波路装置１２．１３．１４・・・高分子先導波路フィル
ム１５．１６・・・・・・・・・・・・コート層１７・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・接着剤層１
８・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・光重合
部１９・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・非
光重合部Ｗ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・導波路幅ｄ・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・フィルム厚さＤ・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・光ファイバの口径第５図 （０） 第６図 （ａ） （ｂ） （０ （ｂ）（ｃ）
Claims (1)
- （１）導波路幅が等しく、かつ同一パターンを有する高
分子光導波路フィルムを、各パターンが重なるようにし
て複数枚接合し、該接合体の表面および裏面にコート層
を設けてなることを特徴とする先導波路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58036940A JPS59162505A (ja) | 1983-03-07 | 1983-03-07 | 光導波路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58036940A JPS59162505A (ja) | 1983-03-07 | 1983-03-07 | 光導波路装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59162505A true JPS59162505A (ja) | 1984-09-13 |
Family
ID=12483745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58036940A Pending JPS59162505A (ja) | 1983-03-07 | 1983-03-07 | 光導波路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59162505A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5540148A (en) * | 1991-09-19 | 1996-07-30 | Lintec Co., Ltd. | Printing device and die-cutting device |
| WO2008110364A1 (de) * | 2007-03-15 | 2008-09-18 | Hochschule Niederrhein | Optische schaltvorrichtung |
-
1983
- 1983-03-07 JP JP58036940A patent/JPS59162505A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5540148A (en) * | 1991-09-19 | 1996-07-30 | Lintec Co., Ltd. | Printing device and die-cutting device |
| WO2008110364A1 (de) * | 2007-03-15 | 2008-09-18 | Hochschule Niederrhein | Optische schaltvorrichtung |
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