JPS61194407A - 光導波路の作製方法 - Google Patents
光導波路の作製方法Info
- Publication number
- JPS61194407A JPS61194407A JP3581585A JP3581585A JPS61194407A JP S61194407 A JPS61194407 A JP S61194407A JP 3581585 A JP3581585 A JP 3581585A JP 3581585 A JP3581585 A JP 3581585A JP S61194407 A JPS61194407 A JP S61194407A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive resin
- active light
- layer
- sectional shape
- resin layer
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
゛ 〔技術分野〕
本発明は、光ファイバを利用した情報伝送システムに用
いられる光分岐結合、あるいは光を利用したセンサー、
データタブレット、あるいは表示、ディスプレイに用い
られる光導波路の作製方法に関する。
いられる光分岐結合、あるいは光を利用したセンサー、
データタブレット、あるいは表示、ディスプレイに用い
られる光導波路の作製方法に関する。
従来、光導波路の作製方法としては、第１図に示すよう
に、屈折率の低い基板１上に形成された感光性樹脂層２
に、マスク３を通して活性光４を照射し、感光性樹脂層
２の露光部２ａを硬化させ、次いで、未露光部２ｂを現
像液により溶解除去することにより、第２図のような光
成形体５を得る。
に、屈折率の低い基板１上に形成された感光性樹脂層２
に、マスク３を通して活性光４を照射し、感光性樹脂層
２の露光部２ａを硬化させ、次いで、未露光部２ｂを現
像液により溶解除去することにより、第２図のような光
成形体５を得る。
更に、上記光成形体５より低屈折率の樹脂により外部ク
ラッド層６を形成し第３図のような光導波路を作製して
いた。
ラッド層６を形成し第３図のような光導波路を作製して
いた。
しかしながら、上記方法により得られる光成形体５の断
面形状は、活性光４の方向に対して、先の広がプた台形
状となり、光ファイバとのつき合わせ接続においては、
各々の断面形状の差異に基づく接続損失が生じるという
問題があ）た。
面形状は、活性光４の方向に対して、先の広がプた台形
状となり、光ファイバとのつき合わせ接続においては、
各々の断面形状の差異に基づく接続損失が生じるという
問題があ）た。
なお、光成形体５の断面形状が上記のように、活性光４
の照射方向に対して先広がりになる原因としては、（７
）活性光４の平行度、（イ）マスク３面での散乱拡散、
（つ）上部硬化樹脂による散乱・拡散、（勾基板１上で
の反射等が考えられる。
の照射方向に対して先広がりになる原因としては、（７
）活性光４の平行度、（イ）マスク３面での散乱拡散、
（つ）上部硬化樹脂による散乱・拡散、（勾基板１上で
の反射等が考えられる。
従って、光ファイバとの接続損失を低減するためには、
光成形体５の断面形状を円形に近づける必要がある。こ
のためには、マスク３の開口部を連続的に変化させると
共に、上記変化と連動して、基板１を感光性樹脂液中で
引き下げる等の方法が提案されている。
光成形体５の断面形状を円形に近づける必要がある。こ
のためには、マスク３の開口部を連続的に変化させると
共に、上記変化と連動して、基板１を感光性樹脂液中で
引き下げる等の方法が提案されている。
ところが、上記方法では、マスク３の開口部を連続的に
変化させることが困難であり、装置が複雑である等の理
由により実用化に至ってぃない。
変化させることが困難であり、装置が複雑である等の理
由により実用化に至ってぃない。
本発明は上記の点を改善するために成したものであって
、光ファイバとの接続において、断面形状の差異による
接続損失の少ない光導波路の作製方法を提供することに
ある。
、光ファイバとの接続において、断面形状の差異による
接続損失の少ない光導波路の作製方法を提供することに
ある。
本発明の特徴は、感光性樹脂層の略中央部に、活性光を
遮断又は吸収する不活性層を設け、両面から活性光によ
り露光して、断面形状が略六角形の光成形体を作製する
ことにある。
遮断又は吸収する不活性層を設け、両面から活性光によ
り露光して、断面形状が略六角形の光成形体を作製する
ことにある。
以下実施例として掲げた図面に基づき説明する。
第４図は本発明の一実施例を示す図であり、照射光４を
遮断又は吸収する不活性層７の両面に、感光性樹脂層８
ａ 、 ８ｂを形成した積層体８を作る。
遮断又は吸収する不活性層７の両面に、感光性樹脂層８
ａ 、 ８ｂを形成した積層体８を作る。
上記感光性樹脂層Ｂａ 、 ８ｂは液状、固体状あるい
は両者の組み合わせであっても良く、感光性樹脂層８ａ
、 ８ｂの各々は、組織的に異なるものを用いても良
いが、屈折率の整合を取るため、同一のものを用いた方
が良い。上記積層体８の上下面に、所望パターンを有す
る同一のマスク９，１０を位置合わせをしたうえで、各
々設置し、活性光１１ 、１２を各々照射する。不活性
層７の存在により、感光性樹脂層８ａの露光部ｓ ａｌ
は、活性光１１によってのみ硬化され、感光性樹脂層８
６の露光部８ｂ’は、活性光託によってのみ硬化される
。次いで、感光性樹脂層８ａ 、 ８ｂの未露光部及び
、不活性層７の上記未露光部にはさ゛まれだ部分を、現
像液により、同時に溶解除去し、第５図に示すような断
面形状が六角形の光成形体＋３を得る。更に、第４図で
示すように、上記光成形体１３より低屈折率の樹脂層１
４で覆い、第６図のような光導波路とする。
は両者の組み合わせであっても良く、感光性樹脂層８ａ
、 ８ｂの各々は、組織的に異なるものを用いても良
いが、屈折率の整合を取るため、同一のものを用いた方
が良い。上記積層体８の上下面に、所望パターンを有す
る同一のマスク９，１０を位置合わせをしたうえで、各
々設置し、活性光１１ 、１２を各々照射する。不活性
層７の存在により、感光性樹脂層８ａの露光部ｓ ａｌ
は、活性光１１によってのみ硬化され、感光性樹脂層８
６の露光部８ｂ’は、活性光託によってのみ硬化される
。次いで、感光性樹脂層８ａ 、 ８ｂの未露光部及び
、不活性層７の上記未露光部にはさ゛まれだ部分を、現
像液により、同時に溶解除去し、第５図に示すような断
面形状が六角形の光成形体＋３を得る。更に、第４図で
示すように、上記光成形体１３より低屈折率の樹脂層１
４で覆い、第６図のような光導波路とする。
上記光成形体１３の断面形状をより顕著に、六角形にす
るためには、活性光１１ 、１２として、散乱光を用す
るか、あるいは活性光１１ 、１２をマスク９゜１０而
に対して、斜めに入射させることが有効である。
るためには、活性光１１ 、１２として、散乱光を用す
るか、あるいは活性光１１ 、１２をマスク９゜１０而
に対して、斜めに入射させることが有効である。
上記不活性層７としては、紫外線吸収剤を含んだ熱可塑
性樹脂により構成され、感光性樹脂層８ａ、 ８ｂと同
程度の屈折率を有する透明なフィルムを用いるのが望ま
しい。例えば、紫外線吸収剤を練り込んだアクリル樹脂
、ポリビニルアルコール樹脂、ポリアミド樹脂等が良い
。また、露光については、前記のように、マスク９．１
０を通して行なう以外に、マスク９，１０を使用せずに
、活性光ビームを描画する方法によっても可能である。
性樹脂により構成され、感光性樹脂層８ａ、 ８ｂと同
程度の屈折率を有する透明なフィルムを用いるのが望ま
しい。例えば、紫外線吸収剤を練り込んだアクリル樹脂
、ポリビニルアルコール樹脂、ポリアミド樹脂等が良い
。また、露光については、前記のように、マスク９．１
０を通して行なう以外に、マスク９，１０を使用せずに
、活性光ビームを描画する方法によっても可能である。
上記光導波路作製方法に基づいて、具体的に作製した例
を示す。不活性層７として用いるペンゾフヱノンヲ含有
スる厚さ２００μｍのアクリルフィルムと、厚さ３８μ
ｍのＰＥＴフィルム上に、下記配合の厚さ３７０μｍの
感光性樹脂層８ａ 、 ｓｂを 形成したフィルム２枚
を、上記アクリルフィルムを中心に、しかもＰＥＴフィ
ルムが外側になるように１、 ラミネータロール
で張り合わせるととにより、積層体８を作製する。上記
感光性樹脂の配合は、ポリメチルメタアクリレート１０
０重量部、トリメチロールプロパントリアクリレート５
０ ｆｉ 置部、ヘンゾインエチルエーテ）ｖ ２重量
部とする。
を示す。不活性層７として用いるペンゾフヱノンヲ含有
スる厚さ２００μｍのアクリルフィルムと、厚さ３８μ
ｍのＰＥＴフィルム上に、下記配合の厚さ３７０μｍの
感光性樹脂層８ａ 、 ｓｂを 形成したフィルム２枚
を、上記アクリルフィルムを中心に、しかもＰＥＴフィ
ルムが外側になるように１、 ラミネータロール
で張り合わせるととにより、積層体８を作製する。上記
感光性樹脂の配合は、ポリメチルメタアクリレート１０
０重量部、トリメチロールプロパントリアクリレート５
０ ｆｉ 置部、ヘンゾインエチルエーテ）ｖ ２重量
部とする。
次に、上記ＰＥＴフィルムの外（ｉｌｌから、第７図に
示すようなマスク９．１０を、各々の開口部Ｑａ 。
示すようなマスク９．１０を、各々の開口部Ｑａ 。
９ｂ （幅０．５ＦＪＸ長さ５０ｍ）が一致するように
位置合わせした上で、活性光１１ 、１２により、両面
を同時露光する。
位置合わせした上で、活性光１１ 、１２により、両面
を同時露光する。
光源としては、ケミカルランプ（拡散光）１５Ｗ片側２
灯を用い、照射距離ｌＯ−で約５分間露光した後、表面
ＰＥＴフィルムをはく離し、塩化メチル／トリクロルエ
タン混合液で現像することにより、厚さ９４０μｍ、上
下の幅５５０μｍ１中心部の幅１０５０μｍの六角形断
面形状の直線状の光成形体１３を得た。上記光成形体１
３の屈折率は１．５２であ）た。
灯を用い、照射距離ｌＯ−で約５分間露光した後、表面
ＰＥＴフィルムをはく離し、塩化メチル／トリクロルエ
タン混合液で現像することにより、厚さ９４０μｍ、上
下の幅５５０μｍ１中心部の幅１０５０μｍの六角形断
面形状の直線状の光成形体１３を得た。上記光成形体１
３の屈折率は１．５２であ）た。
更に、上記光成形体１３を、ガフス基板１上において、
屈折率１．４５のシリコン樹脂１４ヲコーテイングする
ことにより、光導波路を作製した。
屈折率１．４５のシリコン樹脂１４ヲコーテイングする
ことにより、光導波路を作製した。
上記光導波路とコア径９７０μｍのプラスチック光ファ
イバとの接続損失を、中心波長６６０ ｎｍ のＬＥＤ
光源により測定したところ、約Ｑ、４ ｄＢであ）た。
イバとの接続損失を、中心波長６６０ ｎｍ のＬＥＤ
光源により測定したところ、約Ｑ、４ ｄＢであ）た。
一方、上記と同一の感光性樹脂を用い、従来方法により
作製した、上辺７５０μｍ、下辺１０５０μｍ１高さ９
００μｍの台形状の断面形状を有する光成形体５を、シ
リコン樹脂６でコーティングし、同じくコア径９７０μ
ｍのプラスチック光ファイバ との接続損失を測定した
結果、約０．９ｄＢであった。
作製した、上辺７５０μｍ、下辺１０５０μｍ１高さ９
００μｍの台形状の断面形状を有する光成形体５を、シ
リコン樹脂６でコーティングし、同じくコア径９７０μ
ｍのプラスチック光ファイバ との接続損失を測定した
結果、約０．９ｄＢであった。
従って、本発明の作製法により、作製した光導波路の方
が、光ファイバとの接続損失は、断面形状の差異に基づ
く接続損失が減少した分、小さくなった。
が、光ファイバとの接続損失は、断面形状の差異に基づ
く接続損失が減少した分、小さくなった。
上記のように本発明によれば、活性光を遮断又は吸収す
る不活性層の両面に、感光性樹脂層を形成した積層体を
作製し、上記＠層体の上下面から所望パターンのマスク
を通して、活性光を照射することにより、上記感光性樹
脂層を露光し、未露光部を除去し、断面形状が、略六角
形状の光成形体を得るようにしたので、光ファイバとの
接続における、断面形状の差異による接続損失の小さい
光導波路の作製方法が提供できた。
る不活性層の両面に、感光性樹脂層を形成した積層体を
作製し、上記＠層体の上下面から所望パターンのマスク
を通して、活性光を照射することにより、上記感光性樹
脂層を露光し、未露光部を除去し、断面形状が、略六角
形状の光成形体を得るようにしたので、光ファイバとの
接続における、断面形状の差異による接続損失の小さい
光導波路の作製方法が提供できた。
第１図、第２図及び第３図は、本発明に作る従来例を示
す断面図、第４図、第５図及び第６図は本発明の一実施
例を示す断面図、第７図は同上におゆるマスクの平面図
である。 ７・・・不活性層、８・・・積層体、Ｂａ、 ８ｂ・・
・感光性樹脂層、９．】０・・・マスク、１１ 、１２
・・・活性光、１３・・・光成形体。
す断面図、第４図、第５図及び第６図は本発明の一実施
例を示す断面図、第７図は同上におゆるマスクの平面図
である。 ７・・・不活性層、８・・・積層体、Ｂａ、 ８ｂ・・
・感光性樹脂層、９．】０・・・マスク、１１ 、１２
・・・活性光、１３・・・光成形体。
Claims (1)
- （１）活性光を遮断又は吸収する不活性層の両面に、感
光性樹脂層を形成した積層体を作製し、上記積層体の上
下面から、所望パターンのマスクを通して、活性光を照
射することにより、上記感光性樹脂層を露光し、未露光
部を除去し、断面形状が、略六角形状の光成形体を得る
ことを特徴とする光導波路の作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3581585A JPS61194407A (ja) | 1985-02-25 | 1985-02-25 | 光導波路の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3581585A JPS61194407A (ja) | 1985-02-25 | 1985-02-25 | 光導波路の作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61194407A true JPS61194407A (ja) | 1986-08-28 |
Family
ID=12452426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3581585A Pending JPS61194407A (ja) | 1985-02-25 | 1985-02-25 | 光導波路の作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61194407A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6365406A (ja) * | 1986-09-05 | 1988-03-24 | Fujitsu Ltd | 光導波路の製造方法 |
| WO1996006735A1 (en) * | 1993-01-11 | 1996-03-07 | The Trustees Of The University Of Pennsylvania | Optical coupling device and process for modulating light |
| US5873923A (en) * | 1995-11-22 | 1999-02-23 | Lucent Technologies Incorporated | Method of making a cladding pumped fiber structure |
| JP2004061629A (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-26 | Dainippon Printing Co Ltd | 機能性素子の製造方法 |
| JP2004061634A (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-26 | Dainippon Printing Co Ltd | 機能性素子の製造方法 |
| JP2011112973A (ja) * | 2009-11-28 | 2011-06-09 | Kyocera Corp | 光導波路部材 |
-
1985
- 1985-02-25 JP JP3581585A patent/JPS61194407A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6365406A (ja) * | 1986-09-05 | 1988-03-24 | Fujitsu Ltd | 光導波路の製造方法 |
| WO1996006735A1 (en) * | 1993-01-11 | 1996-03-07 | The Trustees Of The University Of Pennsylvania | Optical coupling device and process for modulating light |
| US5845025A (en) * | 1993-01-11 | 1998-12-01 | The Trustees Of The University Of Pennsylvania | Optical coupling device and process for modulating light |
| US5856384A (en) * | 1993-01-11 | 1999-01-05 | The Trustees Of The University Of Pennsylvania | Polycyclic aromatic compounds having nonlinear optical properties |
| US5873923A (en) * | 1995-11-22 | 1999-02-23 | Lucent Technologies Incorporated | Method of making a cladding pumped fiber structure |
| JP2004061629A (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-26 | Dainippon Printing Co Ltd | 機能性素子の製造方法 |
| JP2004061634A (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-26 | Dainippon Printing Co Ltd | 機能性素子の製造方法 |
| JP2011112973A (ja) * | 2009-11-28 | 2011-06-09 | Kyocera Corp | 光導波路部材 |
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