JPS59160562U - 気相成長装置 - Google Patents

気相成長装置

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JPS59160562U
JPS59160562U JP5521683U JP5521683U JPS59160562U JP S59160562 U JPS59160562 U JP S59160562U JP 5521683 U JP5521683 U JP 5521683U JP 5521683 U JP5521683 U JP 5521683U JP S59160562 U JPS59160562 U JP S59160562U
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JP
Japan
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vapor phase
phase growth
growth equipment
growth apparatus
cap
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Pending
Application number
JP5521683U
Other languages
English (en)
Inventor
修 青木
純次 米野
伊藤　弘巳
Original Assignee
富士通株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の気相成長装置を示す構成図、第２図は本
考案の一実施例である気相成長装置を示す構成図、第３
図は第２図のキャップ部断面図、第４図は本考案のモニ
タ用レンズの部率を算出するための図である。 図において、１は気相成長装置、２は反応管、３は反応
領域、４はガリウムソース１，５は成長領域、６はサセ
プタ、７はＧａＡｓ基板、８はヒータ、１０はソースチ
ャンバー、１１はガス導入口、１２は排気口、１３は塩
化砒素槽、２１はキャップ、２２は監視用モニタ窓、２
３はレンズを示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 開口部全キャップで閉じる開口式反応管内に基板を配置
    して処理を行なう気相成長装置の該キャップに凸レンズ
    を埋込んだ監視用モニタ窓を設け、前記反応管内部を拡
    大して監視し得るようにしたことを特徴とする気相成長
    装置。
JP5521683U 1983-04-13 1983-04-13 気相成長装置 Pending JPS59160562U (ja)

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JP5521683U JPS59160562U (ja) 1983-04-13 1983-04-13 気相成長装置

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JPS59160562U true JPS59160562U (ja) 1984-10-27

Family

ID=30185539

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JP5521683U Pending JPS59160562U (ja) 1983-04-13 1983-04-13 気相成長装置

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5436621U (ja) * 1977-08-17 1979-03-10

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5436621U (ja) * 1977-08-17 1979-03-10

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