JPS59155133A - マスク取り扱い装置 - Google Patents
マスク取り扱い装置Info
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- JPS59155133A JPS59155133A JP59007152A JP715284A JPS59155133A JP S59155133 A JPS59155133 A JP S59155133A JP 59007152 A JP59007152 A JP 59007152A JP 715284 A JP715284 A JP 715284A JP S59155133 A JPS59155133 A JP S59155133A
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70491—Information management, e.g. software; Active and passive control, e.g. details of controlling exposure processes or exposure tool monitoring processes
- G03F7/70541—Tagging, i.e. hardware or software tagging of features or components, e.g. using tagging scripts or tagging identifier codes for identification of chips, shots or wafers
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- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
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- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Library & Information Science (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はマスクアライナ−等のマスク取り扱い装置、特
にマスクアライナ−におけるマスクの自動交換に関する
、 マスクアライナ−においてマスクの供給（ローディング
）、取り外しくアンローディング）は従来手作業で行な
われている。したがって、極めて作業性が低い。
にマスクアライナ−におけるマスクの自動交換に関する
、 マスクアライナ−においてマスクの供給（ローディング
）、取り外しくアンローディング）は従来手作業で行な
われている。したがって、極めて作業性が低い。
一方、露ｚ用のマスクはコンタクト方式のものが多（使
われている。このコンタクト方式のマスクは直接乾光板
に容着することから、傷が付き易い。したがって、マス
ク寿命がたとえば１５０回。
われている。このコンタクト方式のマスクは直接乾光板
に容着することから、傷が付き易い。したがって、マス
ク寿命がたとえば１５０回。
３００回等と品種によって異なる。そこで、従来マスク
の品種、工程、露光回数（使用回数）等のマスクに関す
る情報は作業者がノート等に記録しマスク使用時に各情
報を確認してから使用している。また、マスクアライナ
−を稼動させるための必要条件はすべてマニアル操作で
インプットされている。このため、これらのマスクに関
する情報をチ・ニックしかつ記録させる機能を持たせな
ければ、マスクの自動交換は実現しにくい。
の品種、工程、露光回数（使用回数）等のマスクに関す
る情報は作業者がノート等に記録しマスク使用時に各情
報を確認してから使用している。また、マスクアライナ
−を稼動させるための必要条件はすべてマニアル操作で
インプットされている。このため、これらのマスクに関
する情報をチ・ニックしかつ記録させる機能を持たせな
ければ、マスクの自動交換は実現しにくい。
したがって、本発明の目的はマスクアライナ−のマスク
交換の全自動化を図ることにより、マスクアライメント
の作業性を向上させることにある。
交換の全自動化を図ることにより、マスクアライメント
の作業性を向上させることにある。
このような目的を達成するために本発明の一実施例は、
マスタケースを多段に収容したカートリッジを上下に移
動するカートリッジ載置台と、このカートリッジ載置台
とマスクアライナ−のアライメント部との間に設けられ
マスクケースの両端縁を支えて案内するガイドと、カー
トリッジ内のマスクケースをカートリッジとアライメン
ト部との間を移動させる移送機構と、ガイドの途中に設
けられマスクケースに設けた情報記録部の情報を読み出
してマスクアライナ−の制御系に情報を伝達する読出機
構と、ガイドの途中に設ゆられるとともにマスクアライ
ナ−の制御系から情報を得てマスクケースの情報記録部
に情報を書き込む書込機構とを備え、かつマスクケース
としては一側に収容するマスクに関する情報を記録する
情報記録部を設けたマスクを使用するものであって、以
下実施例により本発明を説明する。
マスタケースを多段に収容したカートリッジを上下に移
動するカートリッジ載置台と、このカートリッジ載置台
とマスクアライナ−のアライメント部との間に設けられ
マスクケースの両端縁を支えて案内するガイドと、カー
トリッジ内のマスクケースをカートリッジとアライメン
ト部との間を移動させる移送機構と、ガイドの途中に設
けられマスクケースに設けた情報記録部の情報を読み出
してマスクアライナ−の制御系に情報を伝達する読出機
構と、ガイドの途中に設ゆられるとともにマスクアライ
ナ−の制御系から情報を得てマスクケースの情報記録部
に情報を書き込む書込機構とを備え、かつマスクケース
としては一側に収容するマスクに関する情報を記録する
情報記録部を設けたマスクを使用するものであって、以
下実施例により本発明を説明する。
なお、本願において「マスク」とは遮光性云ターンを板
状物（ガラス等）に形成したホトリソグラフ用マスク、
レチクル等を示すものである。
状物（ガラス等）に形成したホトリソグラフ用マスク、
レチクル等を示すものである。
第１図は本発明のマスクアライナ−の一実施例を示す。
同図はマスクアライナ−の一部を示すものである。同図
にはガイドｌが示されている。このガイド１は２本の平
行な棒２．３からなり、対面側は一段低くなり、この１
対の棒２，３の低部間には矩形のマスクケース４が載置
されている。
にはガイドｌが示されている。このガイド１は２本の平
行な棒２．３からなり、対面側は一段低くなり、この１
対の棒２，３の低部間には矩形のマスクケース４が載置
されている。
このマスクケース４は矩形枠からなり、その内枠部にガ
ラスからなるマスク５が固定されている。
ラスからなるマスク５が固定されている。
そして、前記ガイド１の一端左側はマスクアライナ−の
アライメント部６に臨んでいる。また、ガイド１の右端
はカートリッジ載置台７に臨んでいる。このカートリッ
ジ載置台７はマスクケース４を多段に積み重ねるような
構造のカートリッジ８を載置するとともに、上下移動キ
コラによって上下に移動可能となっている。また、カー
トリッジ８０対面する１対の内壁には平行に収容溝が設
けられ、この収容溝にはマスクケース４が側方から挿入
されるようになっている。また、カートリッジ載置台７
の一側、アライメント部６とは反対側にはシリンダ機構
９等からなる移送機構が設けられている。そして、この
シリンダ機構９のロッド１０の先端によってマスクケー
ス４をカートリッジ載置台７上のカートリッジ８とアラ
イメント部６との間を移動させるようになっている。ま
た、ロッド１０とマスクケース４との係合はつぎのよう
になっている。
アライメント部６に臨んでいる。また、ガイド１の右端
はカートリッジ載置台７に臨んでいる。このカートリッ
ジ載置台７はマスクケース４を多段に積み重ねるような
構造のカートリッジ８を載置するとともに、上下移動キ
コラによって上下に移動可能となっている。また、カー
トリッジ８０対面する１対の内壁には平行に収容溝が設
けられ、この収容溝にはマスクケース４が側方から挿入
されるようになっている。また、カートリッジ載置台７
の一側、アライメント部６とは反対側にはシリンダ機構
９等からなる移送機構が設けられている。そして、この
シリンダ機構９のロッド１０の先端によってマスクケー
ス４をカートリッジ載置台７上のカートリッジ８とアラ
イメント部６との間を移動させるようになっている。ま
た、ロッド１０とマスクケース４との係合はつぎのよう
になっている。
すなわち、ロッドの先端部側には引掛突子１１が設けら
れるとともに、ロッド１０の先端が延びてくるマスクケ
ース４の一側面には、引掛突子１１を横にした状態の際
挿入できる横に長い挿入孔１２が設けられている。また
、この挿入孔１２と連通する引掛孔１３がマスクケース
４の上面から下面に向って貫通状態で設けられている。
れるとともに、ロッド１０の先端が延びてくるマスクケ
ース４の一側面には、引掛突子１１を横にした状態の際
挿入できる横に長い挿入孔１２が設けられている。また
、この挿入孔１２と連通する引掛孔１３がマスクケース
４の上面から下面に向って貫通状態で設けられている。
この結果−ロッド１０の先端の引掛突子１１を横向きに
してロッド１０を前進させて挿入孔１２に入れ、その後
、引掛突子１１を上向きにすることによって、引掛突子
１１部分は引掛孔１３に入る。そこで、ロッド１０を前
進あるいは後退させれば、引掛突子１１が引掛孔１３の
どちらか一方の縁に引っ掛るので、マスクケース４はロ
ッド１０の動きにしたがって前後進する。このロッド１
０の回転を行なう機構として、シリンダ機構９に９０度
正逆回転ｆるロータリンレノイド１４が固定されている
。
してロッド１０を前進させて挿入孔１２に入れ、その後
、引掛突子１１を上向きにすることによって、引掛突子
１１部分は引掛孔１３に入る。そこで、ロッド１０を前
進あるいは後退させれば、引掛突子１１が引掛孔１３の
どちらか一方の縁に引っ掛るので、マスクケース４はロ
ッド１０の動きにしたがって前後進する。このロッド１
０の回転を行なう機構として、シリンダ機構９に９０度
正逆回転ｆるロータリンレノイド１４が固定されている
。
一方、前記ガイド１の一側には磁気ヘッド１５が配設さ
れるとともに、この磁気ヘッド１５に接触通過する磁気
テープあるいは帯状の磁気コーティング部等からなる情
報記録部１６がマスクケース４の一周縁に設けられてい
る。したがって、マスクケース４が磁気ヘッド１５を通
過すると、磁気ヘッド１５によって情報記録部１６の情
報を読み出すようになっている、また、この磁気ヘッド
１５によって、新な情報をマスクケース４の情報記録部
１６に記録できるようになっている。また、この磁気ヘ
ッド１５はマスクアライナ−の制御系に接続され、情報
の受渡を行なうようになっている。また、前記情報記録
部１６には１品種、工程。
れるとともに、この磁気ヘッド１５に接触通過する磁気
テープあるいは帯状の磁気コーティング部等からなる情
報記録部１６がマスクケース４の一周縁に設けられてい
る。したがって、マスクケース４が磁気ヘッド１５を通
過すると、磁気ヘッド１５によって情報記録部１６の情
報を読み出すようになっている、また、この磁気ヘッド
１５によって、新な情報をマスクケース４の情報記録部
１６に記録できるようになっている。また、この磁気ヘ
ッド１５はマスクアライナ−の制御系に接続され、情報
の受渡を行なうようになっている。また、前記情報記録
部１６には１品種、工程。
マスク腐、露光条件（強度９時間）、対物レンズを自動
的にセラ卜するためのターゲット間隔、ターゲット位置
をセットするためのスキャンニング位置、プレ露光の有
無、ターゲットオフセット量。
的にセラ卜するためのターゲット間隔、ターゲット位置
をセットするためのスキャンニング位置、プレ露光の有
無、ターゲットオフセット量。
マスクの使用回数等の情報が記録されている。
つぎに、アライメント部へのマスクケース（マスク）の
交換作業について説明する。まず作業者は使用する順序
にしたがって上方あるいは下方から次々とカートリッジ
内に各品種のマスクケースを挿入する。この挿入作業は
、あらかじめマスクアライナ−にプログラムした順序に
カートリッジを挿入する場合であっても、また逆に、カ
ートリッジ内に各品種のマスクケースな入れた後、挿入
状態の情報をマスクアライナ−の制御系にインプットす
るようにしてもよい。
交換作業について説明する。まず作業者は使用する順序
にしたがって上方あるいは下方から次々とカートリッジ
内に各品種のマスクケースを挿入する。この挿入作業は
、あらかじめマスクアライナ−にプログラムした順序に
カートリッジを挿入する場合であっても、また逆に、カ
ートリッジ内に各品種のマスクケースな入れた後、挿入
状態の情報をマスクアライナ−の制御系にインプットす
るようにしてもよい。
つぎに、マスクアライナ−のスタート釦をＯＮする。す
ると、カー） ＩＪッジ載置台７は上下動して送り出す
マスクケース４をガイド１と同一の高さに設定する。つ
ぎにシリンダ機構９のロッド１０が引掛突子１１を横に
した状態でカー） ＩＪッジ８内のマスクケース４の挿
入孔１２内に前進し、その後、９０度回転（正転）して
先端の引掛突子１１を引掛孔１３内に臨ます。そして、
ロッド１０の前進によってアライメント部６にマスク５
を運び、ロッドの一回の逆転運動後後退する。この結果
、カートリッジ８内のマスクケース４はアライメント部
６に供給される。
ると、カー） ＩＪッジ載置台７は上下動して送り出す
マスクケース４をガイド１と同一の高さに設定する。つ
ぎにシリンダ機構９のロッド１０が引掛突子１１を横に
した状態でカー） ＩＪッジ８内のマスクケース４の挿
入孔１２内に前進し、その後、９０度回転（正転）して
先端の引掛突子１１を引掛孔１３内に臨ます。そして、
ロッド１０の前進によってアライメント部６にマスク５
を運び、ロッドの一回の逆転運動後後退する。この結果
、カートリッジ８内のマスクケース４はアライメント部
６に供給される。
この際、磁気ヘッド１５けマスクケース４の情報記録部
１６の情報を読み出し、供給するマスクが制御系のプロ
グラミングしたものと一致するものか、あるいはマスク
寿命回数をオーバしていないかをチェックする。そして
、プログラミング情報と読み出し情報とが一致すれば、
前記のように、アライメント部への搬送が行なわれる。
１６の情報を読み出し、供給するマスクが制御系のプロ
グラミングしたものと一致するものか、あるいはマスク
寿命回数をオーバしていないかをチェックする。そして
、プログラミング情報と読み出し情報とが一致すれば、
前記のように、アライメント部への搬送が行なわれる。
また、読出情報によって各部の調整を自動的に行なう。
しかし、一致しない場合には、ロッド１０を後退させて
、マスクケース４をカートリック８に入れるとともに、
作業者に警告を与えかつ全動作を停止させる。
、マスクケース４をカートリック８に入れるとともに、
作業者に警告を与えかつ全動作を停止させる。
つぎに、アライナ部でマスクの露光が所定回数露光する
。この露光回数はマスクアライナ−の制御系に一時的に
記憶させておく。
。この露光回数はマスクアライナ−の制御系に一時的に
記憶させておく。
つぎに、所定回数の露光が行なわれた後、再びシリンダ
機構が動作して、アライメント部への一回の前後進運動
によって、アライメント部のマスクをカートリッジ８内
に入れる。このマスク搬出動作時において、マスクケー
ス４が磁気ヘット１５を通過する際、今までの使用回数
に今回の使用回数を加算した・使用回数がマスクケース
の情報記録部に修正されて書き込まれる。
機構が動作して、アライメント部への一回の前後進運動
によって、アライメント部のマスクをカートリッジ８内
に入れる。このマスク搬出動作時において、マスクケー
ス４が磁気ヘット１５を通過する際、今までの使用回数
に今回の使用回数を加算した・使用回数がマスクケース
の情報記録部に修正されて書き込まれる。
このような実施例によれば、マスク交換は全て自動的に
行なわれるので極めて作業性がよい。
行なわれるので極めて作業性がよい。
また、アライメント部への搬送時、所望のマスクが搬送
されるか否か、および、寿命のオーバしていないマスク
ではないか否−かをチェックするので、トラブルが生じ
にくい。
されるか否か、および、寿命のオーバしていないマスク
ではないか否−かをチェックするので、トラブルが生じ
にくい。
さらに、使用後にはマスク使用回数が新たに情報記録部
に修正書込みされるので、マスクの管理が確実となる。
に修正書込みされるので、マスクの管理が確実となる。
なお、本発明は前記実施例に限定されない。たとえば、
第３図および第４図に示すように、光学的読出機構１７
と光学的情報記録機構１８、とをガイド１部分に配設し
てもよい。この場合、マスクケース４にはバンチテープ
１９を用いる。
第３図および第４図に示すように、光学的読出機構１７
と光学的情報記録機構１８、とをガイド１部分に配設し
てもよい。この場合、マスクケース４にはバンチテープ
１９を用いる。
以上のように、本発明のマスクアライナ−によれば、マ
スクの交換、マスクの情報管理を自動的に行なうことか
ら、極めて作業性が向上する。
スクの交換、マスクの情報管理を自動的に行なうことか
ら、極めて作業性が向上する。
第１図は本発明のマスクアライナ−の一実施例の一部を
示す平面図、第２図は第１図のＩＩ−Ｉ［線に沿う断面
図、第３図は本発明のマスクアライナ−の他の実施例の
一部を示す平面図、第４図は第３図の■−■線に沿う断
面図である。 １・・・ガイド、２，３・・・棒、４・・・マスクケー
ス、５・・・マスク、６・・・アライメント部、７・・
・カートリッジ載置台、８・・・カートリッジ、９・・
・シリンダ機構、１０・・・ロッド、１１・・・引掛突
子、１２・・・挿入孔、１３・・・引掛孔、１４・・・
ロータリソレノイド、１５・・・磁気ヘッド、１６・・
・情報記録部、１７・・・光学的読出機構、１８・・・
光学的情報記録機構、１９・・・バンチテープ。 第 １ 図 第 ３ 図 第 ４ 図
示す平面図、第２図は第１図のＩＩ−Ｉ［線に沿う断面
図、第３図は本発明のマスクアライナ−の他の実施例の
一部を示す平面図、第４図は第３図の■−■線に沿う断
面図である。 １・・・ガイド、２，３・・・棒、４・・・マスクケー
ス、５・・・マスク、６・・・アライメント部、７・・
・カートリッジ載置台、８・・・カートリッジ、９・・
・シリンダ機構、１０・・・ロッド、１１・・・引掛突
子、１２・・・挿入孔、１３・・・引掛孔、１４・・・
ロータリソレノイド、１５・・・磁気ヘッド、１６・・
・情報記録部、１７・・・光学的読出機構、１８・・・
光学的情報記録機構、１９・・・バンチテープ。 第 １ 図 第 ３ 図 第 ４ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 （ａ） マスクケースを多段に収容したマス
ク収納部と （ｂ） 上記マスクケース内のマスクを必要に応じて
取り出し、所定の処理を行なう処理部と （Ｃ） 上記マスク収納部からマスクを上記処理部に
移送する移送機構と （ｄ） 上記処理の結果のマスクに関する情報を記憶
する記録部 からなるマスク取り扱い装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59007152A JPS59155133A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | マスク取り扱い装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59007152A JPS59155133A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | マスク取り扱い装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10048077A Division JPS5434777A (en) | 1977-08-24 | 1977-08-24 | Mask aligner |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59155133A true JPS59155133A (ja) | 1984-09-04 |
| JPS6364050B2 JPS6364050B2 (ja) | 1988-12-09 |
Family
ID=11658093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59007152A Granted JPS59155133A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | マスク取り扱い装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59155133A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5434777A (en) * | 1977-08-24 | 1979-03-14 | Hitachi Ltd | Mask aligner |
| JPS5522134U (ja) * | 1978-07-31 | 1980-02-13 | ||
| JPS55166921A (en) * | 1979-06-15 | 1980-12-26 | Hitachi Ltd | Automatic mask alignment apparatus |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5356376A (en) * | 1976-10-28 | 1978-05-22 | Sharp Kk | Whipped cream making apparatus |
-
1984
- 1984-01-20 JP JP59007152A patent/JPS59155133A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5434777A (en) * | 1977-08-24 | 1979-03-14 | Hitachi Ltd | Mask aligner |
| JPS5522134U (ja) * | 1978-07-31 | 1980-02-13 | ||
| JPS55166921A (en) * | 1979-06-15 | 1980-12-26 | Hitachi Ltd | Automatic mask alignment apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6364050B2 (ja) | 1988-12-09 |
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