JPS59154641A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は砂性薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体に関
Ｌ、特に防蝕性、電磁変換判性、走行性、耐摩耗性にす
ぐれた金属薄膜型磁気記録媒体に関する。

磁気記録媒体とＬ５ては、非磁性支持体」−に磁性粉末
を結合剤中に分散せし、とつ、塗布乾燥させる塗布型の
ものか広く使用きン７てきている。しかし、近年高密度
記録−２の要求が冒まるにつれ、真空蒸着、スパッタリ
ンク゛、・１］ンブレーデイング等のべ一バーデボジシ
ミ１ン法あるいは電気メツＡ−１無電Ｗ（メツ痺等のメ
ッキ法により形成される強磁性金属薄膜を磁気記録層と
する金属薄膜型磁気記録媒体が注目を浴びており実用化
に至っている。

金属薄膜型磁気記録媒体は、飽和磁化の大きな強磁怜金
属をバインダーの如き非磁性物質を介在させない状態で
、極めて薄い層として形成できるので、電磁Ｖ換特性−
１−非常にイ］刊で、高密度記録にも適している。

しかし２ながら、金属洪膜型磁気記録ν′と体に二つ℃
・ての大きな問題点は、製造後経萌しておくと金属表面
か腐蝕１〜電磁変換特性か低下ＬｉＬまうことで、（・
、る。どの欠点を防ｌＩ：、−＝３る方法として、熱可
塑１′１．ポリマー、熱硬化性ポリマーを金属表面に塗
設し、保護層な（＝１与することによつ−Ｃ解決″４る
ことが提案され１い４）。この方法′ｅは、ヘッドと磁
性１鰻間のスペーシング損失のために保護層のノψみな
大きくできないという制約があ４）ため、充分な防蝕性
をイ」与ずろことはできながく）だ。（第２図参照）ま
た、磁性層表面を窒化させる方法（特開昭５０−３３８
０６号公報）ある（・は酸化させる方法（特公昭４ｌ−
２ｔＪＯ２５−け公報）などによつて防蝕性向上するこ
とが知られているが、これらの方法では１０分〜２時間
もの長時開始Ｊ７Ｊｊが必四であったり、処理時間なｔ
（）がく′□４ろと充分な防蝕効果がイ；Ｉられなかっ
た。

本発明者らは先に、強磁性金属薄膜上に厚さ２（）〜２
７０大のプラズマ重合層を設けることによって上記欠点
を克服することに成功［また（　Ｑ’！ｒ　１’Ａｔ昭
５７１８４２９９号）。

本発明者らは、−１−記発明に基ついてさらに研冗をＡ
Ｉねた結束、プラズマ重合層の密１ｗを１．４す、上に
することによって、さらに耐久１イ１−の−′Ｐ１１〜
く数校された保ｉＫ！ｊ層を召ｊること（心成功ｌフイ
・、発明をｉ、’（５成し六−０ 従って、本発明の１つの目的はヘットと磁性層間のスペ
ーシング損失を極力小さくするため超薄層で１７かも商
品り性の良Ｉｆな保護層を有する金属薄膜磁気配録媒体
を提供′することにキ、４・。

本発明のもう１つの目的１；Ｊ１久１〈トの良好な金属
磁気記録媒体を提供す４）ことにある。、本発明の一１
ユ記の目的は、強（ｄＪ性金属湧膜を有す石高分子支持
体の金属薄膜上に、密Ｉ阜１．４以上で厚さ２０〜２７
０Ｘのプラズマ重合層を設けた。＼とを特徴とする磁気
記録媒体によって達成さＪする。

本発明でいうプラズマ重合層の密度とは、形成さえｌた
プラズマＭ（金層を削りとり得られたプラズマ沖合層の
粉を＋１−ヘキーνンーテトラクロルエタンからなる密
度勾配管法によって得られた値を意味する。

尚超薄層でプラズマ重合層だけを削りとれないものは１
９み、１０００　Ａ以上のプラズブ１１合層を、ウユブ
スピードを遅くすることによって得、このプラズマ重合
層の密度で代用１−た１、本発明によるプラズマ重合層
は通常のポリマ一層と比較すると、緻背な架橋構造を有
シ１．ている。

即ち、非常に緻密で、しかも金属薄膜−にに均一な厚み
の層として形成されて℃・ると考えられる。このために
、爬蝕の原因となる酸素、水分等を金属薄膜から遮断し
かつ酸素、水分等を透過しないことによって防蝕性に優
れ、しかも極めて薄い層として形成できるのでヘッド・
磁性層間のスペーシング損失が小さくなることによって
電磁変換特性の良好な磁気記録媒体を得ることができる
。さらに本発明の有利なことは溶剤を全く使わないので
、作業が簡即で乾燥ゾーン々ｊの付’ｉｆｉ’設（ｉｉ
４も不要とｔ（ることである。しかも、金属薄膜の形成
をＬ′１空条件下での４（着等によるベー・ξ−デ］ｊ
ε、クンコン法と組合せると、真望を破ることなく共通
のラインで金属薄膜の形成と保ｄφｊ←ｉとを運次に形
成できるので設備的にも経済的にも有利である。

本発明によるプラズマ重合層の形成に用い４）化合物（
以下低分子化合物と称する）としては、２゜Ｃ１１０’
−’　ｔｏｒｒで莢気圧な有するものなら使用１１丁能
であるが、沸点が２００ｉＣ以下のものが好ましい。特
に好ましい例としては、下ｉ己のものｉａ４４４げるこ
とかできるが、本発明はこれらの化合物に限定されるも
のではない。即ち、メタン、Ｊ−タン、ゾロノξン、ブ
タン、ペタン、ヘキサン、オクタン等の脂肪族飽和炭化
水垢、エチレン、ゾロビし・ン、ブテン、ヘキサン等の
脂肪族飽和炭化水垢、ベンゼン、トルエン、キシレン、
スブレン、エチル４ンゼン等の芳査族炭化水素、フロロ
メタン、ジクロロメタン、トリフロロメタン、ケトンフ
ロロメタン、ジクロロエタン、テトラフロロエチレン、
ヘキサフロロプロピレン、テトラフロロシラン、ジクロ
ロエチレン、テトラクロロエタン等の飽和又は、不飽和
のハロゲン化合物、アルコール類、ケトン類、エーテル
類、脂肪酸類などを単独又は混合して用いることができ
る。

プラズマ庫合処理の装置とし【は無電極放電型、′１．
枠放電型のいずれな用いてもよ℃・がより好まし７くは
電磁が重合槽の中にある内部電極を有する放電１．（Ｉ
Ｊであイ）。内部電極を有１−る放Ｉｐｌｊ：、型を用
いると形成されたプラズマ１（金層は１，４以」−の密
度のものが得られやすい。

第１シＩは本発明のプラズマ重合層を形成する（Ｃ適し
た内部電極型プラズマ重合装置柊の１例を示す略図であ
る。真空装置（重合槽）内に、ザンゾル送出部１とサン
プル巻取部２を設置１〜、平行板箱。

極部３，６０間を、高分子支持体−１−に強磁性金属薄
膜の形成されたサンプル４を連続的に走行させてプラズ
マ重合層を形成させるようになつ【いる。

排気［−コかも真空ポンプｃ　＋＞＋示せず）によって
適当な７Ｊ空度に排気しまた後に、ガス導入部から、低
分子化合物のガスＡを流−３１８及び、？ルプ７を通っ
て適当圧で導入゛−す−で）。な」・Ｓ、・必要に応じ
て不活性ガスＢを同様に流４５−ｆｉ１８及びノ々ルブ
をＢｌ’！ｊつ−（ψ人することが１′きる。

、＠合槽中の低分子化合物の圧力は、１〜ｉｏ−”ｔｏ
ｒｒが好まし、く、更に好ましくは、５Ｘ１０−”〜５
Ｘ１０　　ｔｏｒｒである１、こね上り圧力が高いとき
け、プラズマ重合層が粉状で形成されたり形成されたプ
ラズマ１Ｆ合層の實丁１狂が１．４以下となって４ｊ′
まし、くない３３マた、プラズマ１１）ハ内部の汚れが
大きく、低（・ときは’ｉ君層のノヒ成に時間ケ赦した
り−（るので好＊　Ｌ−＜　〕（ｃい。必要に応じて屋
素ガス、アルゴンガス等の不活性気体を７１１合槽内に
導入１−イ）こと力ζできる。

プラズマのう′６振周波数は７行に限定されるものでは
ないが、１５．５６Ｍｌ１ｚが便利である。

プラズマ重合層の好ましい厚みは２０〜２７０人であり
、更に好ましくは５０〜２ｏｏＸである。

この範囲を越灸て厚くなるとヘツｌコ磁性層のスペーシ
ング損失が大きくなるし、薄くなると防蝕性が低下した
り、プラズマ重合粂件の許容範囲が狭くなって好ましく
ない。

また形成されたプラズマ重合層の密度は１．４以上が好
ましく更に好ましくは１．５以上であり、この場合、耐
久性の著しく改良されたプラズマ重合層が得られる。こ
れより密度が小さくなると耐久性が十分ではない。

プラズマ１（金層の上に更に潤滑剤層を設けることもｉ
ｉＪ能である。潤滑剤とｌ−では、脂肪酸、金属石けん
、脂肪（俊アミｒ、脂肪酸エステル、鉱油、鯨油等の動
柚物油、高級アルコール、シリコンオイル、フロロカー
ゼン類などを単独又は混合して用いることができる。

本発明に使用される高分子支持体としては、ｔ（′□「
酸セルローズ；硝酸セルローズ；エチルセルローズ；メ
チルセルローズ；ポリアミ１２；ポリメチルメタクリレ
ート；ポリテトラフルメルエチレン；ポリトリフル埼ル
エチレン；エチレン、プロピ１／ンのようなα−オレフ
ィンの重合体あるいは共重合体；塩化ビニルの重合体あ
るいは共重合体；ポリ塩化ビニリデン；ポリカーｓ”ネ
ート；ポリイミド；ポリエチレンプレフタレートのよう
なポリエステル類等である。

本発明における強磁性金属薄膜は、ペーパーデポジショ
ンあるいはメッキ法により形成される。

ベーノξ−ｌポジション法とは、不活性ガスあるいは酊
素等の気体あるいは真空空間中において、膜として形成
せｌ−めようという物質文はその化合物を蒸気あるいは
イオン化した蒸気として発生もしくは導入させて所望の
支持体上に膜として析出させる方法で、真空蒸ｆｒζ法
、ス・ξツタリング法、イオンプレーテング法、イオン
ビームガボ′ジション法、化学気相メッキ法等がこれに
相当する。またメッキ法とは電気メッキあるいは無電解
メッキ法等の液相より支持体」二に物質を膜として形成
させ不する方法を言う。強磁性金属薄膜の林料としては
、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉその他の強磁性金属あるいはこれら
の合金、さらにＦｅ−８１、Ｆ　ｅ　−Ｒｈ　。

Ｆ　ｅ　−Ｖ、　Ｆ　ｅ−Ｔ　ｉ、　Ｃｏ−Ｐ、　Ｃｏ
−Ｂ。

Ｃｏ−８ｉ、　Ｃｏ７Ｖ、Ｃｏ−ＹＳＣ：　ｏ−８ｍ。

Ｃｏ−Ｍｎ、　Ｃｏ−Ｎ　ｉ−Ｐ、　Ｃｏ　−Ｎ　ｌ　
−Ｂ。

Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ　−Ｎ　ｌ　−Ｃｒ、　　Ｃｏ　−Ｎ
　ｉ−Ａｇ。

Ｃｏ　−Ｎ　ｉ　−Ｐ　ｄｌＣｏ　−Ｎ　ｌ　−Ｚ　ｎ
ＳＣｏ−Ｃｕ。

Ｃｏ　−Ｎ　ｉ−Ｃｕ、　Ｃｏ　−Ｗ、　Ｃｏ　−Ｎ　
ｌ　−Ｗ。

Ｃｏ−Ｍｎ−ＰｌＣｏ−８ｍ−Ｃｕ、　Ｃｏ−Ｎｊ−Ｚ
ｎ−Ｐ。

Ｃｏ−Ｖ−ｐｒ、等が用いられる。茹に好・止しくは、
強磁性薄膜はＣＯを５０’、ｉｔ％以上含有する。

本発明による磁気記録媒体の強磁性薄膜の膜片は一般に
は０．０２μｍ〜５μｍ、好ましくは０．０５μｒｎ〜
１１ｔｍである。高分子支持体の１−早さは４μｍ〜５
０μｍが好ましい。強イム性薄膜の密着同上、磁気特性
の改良のために高分子支持体上に下地層を設けてもいい
。高分子支持体の磁性層と反対側（に・々ツクコート層
を設けてもよい。

磁気記録媒体の形状はテープ、シート、カーｒ、デスク
等いずれでも良いが、特に好ましいのはデージ形状であ
る。

次に本発明の実施例につい−（説明するが、本発明は下
記の実ｈ（へ例に制限されろものでは力（い。実施例中
１一部」Ｌよ「重社部」を示−１゜１２μｍＪＧ’の７
社すエチレンテレフタレートフイルノ・の表面に、チ［
め蒸着によってＣｏＣｏ−Ｎ１（Ｎ１２０％）磁性Ｍｉ
　（膜）ｙｌｏｏｏＸ）　を設げたものを実施例にｆｊ
４用した。

実施例１ 第１図の装りを川Ｌ−て、＜＝ｈ□＝ｃｘｓ２ノｌスと
Ａｒガスσ、）混合比が１　、、／　Ｉ　Ｏ、重合（′
ハ内の圧力１０−２ｔｏｒｒ。

５０　ｗａｔｔで１に極間の１）１１在時間が１０秒間
になるようにしてプラズマ＃〔合処」■＋１を行ないサ
ンプル、糸１を得た。

実施例２ 第１図の装置る・用いて、ＣＪＩＦ”　２ＣＩＩＦ　２
ガスとＡｒ）ガスの混合比が１／１Ｇ、正合槽内の圧力
８×１０□３ｔｏｒｒ、５０ｗａｔｔｆ電極間の滞在時
間が１０秒間にブＺるよ５にしてプラズマ重合処理を行
ないサンプＡ／Ａ２を得た。

実施例６ 第ｉ図の重合槽１月の１しカフ外５　Ｘ　’＋　Ｏ”ｔ
ｏｒｒ　Ｋな４）ようにスチし′ンをχ「て発きせ、ス
チト′ンガス＾アル１１ンガスの混合比が１／８になる
Ｊ−うにニした他は丈施１く・１１１と１７１ｊじ条Ｆ
ｉ’てサンプルμ６を得ｌ、〜１、実施例４ 第１し］の正合槽内の圧力が７　Ｘ　１０−３ｔ、ｏｒ
ｒ　に７ｆるよう１７ｔ−Ｃ２Ｈ、、ｔ！ス及びアルゴ
ンＮスの混合比１／１０の混合ガスを導入する他は実施
例１と１ｉ１１様に処理してダンゾルＡ４本で得た３、 実施例５ ″１−Ｉｉ溌間内の７１１）什１相間なり、下のように
変える以外は実施例１と同−条ｆ１で行１．ｆつだ。

５０８間・・・・・・・・・サンプルＡ５２５秒間　　
　　　〃　ｊ五６ す ５（・１間　　　　　！／＆７ ２秒間　　　　　Ｈ扁８ １秒間　　　　　Ｉ／Ａ？ 比較例１ 実施例１に於てｉｔ合層内の圧力が１０−’　ｔｏｒｒ
で滞在時間が６秒間になるようにしてプラズマ重合処理
を行いサンプルＡ　１０を得た。

比較例２ 実施例１にに於て１）−合１す１内の圧力が５　Ｘ　１
０　　ｔｏｒｒで滞在時間が５秒間に／ｆるよ５Ｋして
プラズマ重合処理をイ″」ないサンゾル筋１１を得た１
、比較例６ 塩ビ酊マ共″Ｒ１合体（Ｉ−１Ｃ社製、商品名ＶＹＴＨ
ｉ）０．０５％ＭＦ、に台Ｉ液をＣｏ−Ｎｉ値性１・〆
１−ヒに捻布乾燥しサンゾル筋１２を紹だ。

比較例４ スヂレンブタジエン共距合体の０．５％Ｍ　Ｅ　Ｋ　溶
液をＣｏ−Ｎ１（長ｆＬ層十に塗布し東、燥して４１−
ンゾル扁１６を間だ。

」−記サンプルを用いて以下の試験な行ない防蝕性及び
耐久性の効果を調べた１、 結果を第１人に示す。

防蝕性試験は、６０Ｕ、８０％ＲＨのズＹ囲気で７日間
さら１〜た８のち、目ＪＩＮで判定した３、耐久性試験
は１／２インチにスリットしたのち、家庭用ビーｒオデ
ーゾレコーダー（ビクター製３６００　）でスプール耐
久時間（分）を測定温度は、２３ｔＴ６５ツｆｏ　ＲＩ
−１，。

）♀みの測足は水晶発振子で行ない、畢合ＩＩ、ｊ間で
１１１一定１〜ブこ。

これらの結果を見ると不発明によっていがしこ防蝕（’
ｌ及び耐久性良好でかつスペーシング損失の少ｌ（い超
薄層の保箇ｉ曽であ７．）が明らかである。

【図面の簡単な説明】

第１し１は内部市杉壓プラズマＡＩ合装名′でキ、る。 １：　−ｔ＋−７−ｆ　、／１．送出部　２ニ一リンゾ
ル巻取部３：平行板ｆＲ’、　１ｔすｋＰｉｌ）４　：
ダンゾル５：ガス導入部　　　６：刊気口 ７：パルプ　　　　　８：流墓ｉ−１

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 強磁性金属薄膜を有する高分子支持体の金属薄膜−にに
   、密度１．４以」二で厚さ２０へ一２７ＤＸのプラズマ
   重合層を設けたことを特徴とする磁気記録媒体。